JP2011235625A - パターン形成装置および位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板に対してパターン形成を行うパターン形成装置1であって、第1装着部35aが一方の基板位置検出手段51に位置し第2装着部37aが加工手段21に位置する第1のエリアと、第1装着部35aが加工手段21に位置し第2装着部37aが他方の基板位置検出手段52に位置する第2のエリアとの間で、駆動座標軸に沿って移動台26を往復搬送する駆動手段32を備え、座標位置検出手段32cの検出に基づき駆動座標軸上の第1の目標座標と第2の目標座標との間で移動台26が往復動するように駆動手段32を作動させ、第1のエリアで検出された移動台26の位置偏差に基づいて第1の目標座標を補正し、第2のエリアで検出された移動台26の位置偏差に基づいて第2の目標座標を補正する。
【選択図】図1
Description
10 コンベア
21 加工装置
26 移動台
26a ドグ
32 駆動装置
32a ボールねじ
32b 駆動モータ
32c 回転検出器
35a 第1装着部
36 第1位置修正装置
37a 第2装着部
38 第2位置修正装置
51 第1基板位置検出装置
52 第2基板位置検出装置
61a 第1位置検出センサ
61b 第2位置検出センサ
Claims (6)
- 基板に対してパターン形成を行うパターン形成装置であって、
基板がそれぞれ装着される第1装着部および第2装着部を有する移動台と、
前記第1装着部または第2装着部に取り付けられた基板に対してパターン形成を行う加工手段と、
前記加工手段を挟んで両側にそれぞれ配置され、前記第1装着部または第2装着部に取り付けられた基板の位置を検出する基板位置検出手段と、
検出された基板の位置を修正する基板位置修正手段と、
前記第1装着部が一方の前記基板位置検出手段に位置し前記第2装着部が前記加工手段に位置する第1のエリアと、前記第1装着部が前記加工手段に位置し前記第2装着部が他方の前記基板位置検出手段に位置する第2のエリアとの間で、駆動座標軸に沿って前記移動台を往復搬送する駆動手段と、
前記駆動座標軸上の前記移動台の座標位置を検出する座標位置検出手段と、
前記第1のエリアおよび第2のエリアに搬送された前記移動台の基準位置からの偏差を検出する移動台検出手段と、
前記駆動手段の作動を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記座標位置検出手段の検出に基づき前記駆動座標軸上の第1の目標座標と第2の目標座標との間で前記移動台が往復動するように前記駆動手段を作動させ、前記第1のエリアで検出された前記移動台の位置偏差に基づいて前記第1の目標座標を補正し、前記第2のエリアで検出された前記移動台の位置偏差に基づいて前記第2の目標座標を補正することを特徴とするパターン形成装置。 - 前記駆動手段は、前記駆動座標軸に沿って延びるように配置されたボールねじと、前記移動台に固定され前記ボールねじに螺合するボールねじナットと、前記ボールねじを回転駆動する駆動モータとを備え、
前記座標位置検出手段は、前記ボールねじの回転数を検出する回転数検出手段を備えており、
前記第1の目標座標および第2の目標座標は、前記ボールねじの回転数に対応する請求項1に記載のパターン形成装置。 - 前記駆動手段は、前記駆動座標軸に沿って並設された複数の磁石を有するステータと、前記ステータを囲繞するコイルを有し前記移動台に固定されたスライダとを備え、
前記座標位置検出手段は、前記駆動座標軸に沿って配置されたリニアスケールと、前記リニアスケールに対向するように前記スライダに設けられた検出部とを備え、
前記第1の目標座標および第2の目標座標は、前記検出部が検出する前記リニアスケール上の位置情報に対応する請求項1に記載のパターン形成装置。 - 前記移動台検出手段は、前記移動台に設けられたドグまでの距離を検出する変位センサを備え、前記変位センサは、前記移動台の搬送方向に沿って対向配置されており、
前記ドグは、前記移動台の搬送方向に沿った位置が前記第1装着部または第2装着部のいずれかと一致するように、前記移動台に固定されている請求項1から3のいずれかに記載のパターン形成装置。 - 前記加工手段は、設定された加工目標座標に基づいて平面上でレーザスポットを走査することにより、基板に対してパターン形成を行うことができるレーザ加工装置であり、
前記基板位置修正手段は、前記基板位置検出手段の検出に基づいて、前記加工目標座標を補正する請求項1から4のいずれかに記載のパターン形成装置。 - 基板がそれぞれ装着される第1装着部および第2装着部を有する移動台と、
前記第1装着部または第2装着部に取り付けられた基板に対してパターン形成を行う加工手段と、
前記加工手段を挟んで両側にそれぞれ配置され、前記第1装着部または第2装着部に取り付けられた基板の位置を検出する基板位置検出手段と、
検出された基板の位置を修正する基板位置修正手段と、
前記第1装着部が一方の前記基板位置検出手段に位置し前記第2装着部が前記加工手段に位置する第1のエリアと、前記第1装着部が前記加工手段に位置し前記第2装着部が他方の前記基板位置検出手段に位置する第2のエリアとの間で、駆動座標軸に沿って前記移動台を往復搬送する駆動手段と、
前記駆動座標軸上の前記移動台の座標位置を検出する座標位置検出手段とを備えるパターン形成装置に用いられる位置決め装置であって、
前記第1のエリアおよび第2のエリアに搬送された前記移動台の基準位置からの偏差を検出する移動台検出手段と、
前記駆動手段の作動を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記座標位置検出手段の検出に基づき前記駆動座標軸上の第1の目標座標と第2の目標座標との間で前記移動台が往復動するように前記駆動手段を作動させ、前記第1のエリアで検出された前記移動台の位置偏差に基づいて前記第1の目標座標を補正し、前記第2のエリアで検出された前記移動台の位置偏差に基づいて前記第2の目標座標を補正することを特徴とする位置決め装置。
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