JP2011210774A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板上に素子領域とライフタイム測定用のモニタ領域を設け、モニタ領域は酸化膜と保護膜で覆った状態でエッチングと不純物注入を行い、表面に酸化膜のみを形成したライフタイム測定用のモニタ領域と素子パターンを形成する工程と、半導体基板に荷電粒子を照射する工程と、モニタ領域で、半導体基板のライフタイムτ0を測定する工程と、半導体基板をアニールする工程と、モニタ領域で、半導体基板のライフタイムτ1を測定する工程と、ライフタイムτ0、τ1から、以下の式:k=(τ1−τ0)/τ0からライフタイムの回復率kを求める工程と、目標とするライフタイムτ2を得るのに必要な追加のアニール時間tを、回復率kとライフタイムτ0から求める工程と、半導体基板を、アニール時間tだけアニールする工程とを含む。
【選択図】図5
Description
半導体基板上に素子領域とライフタイム測定用のモニタ領域を設け、モニタ領域は酸化膜と保護膜で覆った状態でエッチングと不純物注入を行い、表面に酸化膜のみを形成したライフタイム測定用のモニタ領域と素子パターンを形成する工程と、
半導体基板に荷電粒子を照射する照射工程と、
モニタ領域で、半導体基板のライフタイムτ0を測定する第1測定工程と、
半導体基板をアニールする第1アニール工程と、
モニタ領域で、半導体基板のライフタイムτ1を測定する第2測定工程と、
ライフタイムτ0、τ1から、以下の式:
k=(τ1−τ0)/τ0
からライフタイムの回復率kを求める工程と、
目標とするライフタイムτ2を得るのに必要な追加のアニール時間tを、回復率kとライフタイムτ0から求める算出工程と、
半導体基板を、アニール時間tだけアニールする第2アニール工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法である。
まず、図1に示すように、基板11上に、素子パターン形成用の素子領域12とライフタイム測定用のモニタ領域13とを規定する。続いて、上述の製造プロセスを用いて素子パターンとモニタ領域を形成する。
基板11の全面に対して、例えば、電子線、プロトン照射、He+等の荷電粒子の照射を行う。電子線を照射した場合は基板全体に欠陥が形成される。電子線照射以外のプロトンやHe+を照射した場合は、基板内の所定の領域のみに欠陥が形成される。
工程S1の荷電粒子照射により、基板11と酸化膜22との界面において界面準位が増加する。これに対して、水素還元雰囲気中でアニールすることにより、基板11と酸化膜22との界面準位を安定化することができ、基板ライフタイムの測定精度を向上させることができる。
荷電粒子照射後のライフタイムτ0を、μ−PCD法(Microwave Photo Conductivity Decay法:マイクロ波光導電減衰法)を用いて測定する。電気特性測定などプローブを用いた接触法で測定を行った場合、プローブの接触により基板にダメージが発生したり、プローブからの異物が付着するという問題があったが、非接触で測定可能なμ−PCD法を用いることで、このような問題を回避できる。
同一仕様の2枚の基板(サンプル1、2)の荷電粒子照射後のライフタイムτ0を、基準強度Aを1/e、設定強度Bを1/e2として測定したところ、サンプル1ではτ0は0.269μsec、サンプル2ではτ0は0.261μsecとなった。
基板に対してファーストアニールを行う。アニールによりライフタイムは増加するが、アニール後のライフタイムが最終的に素子に必要な仕上がりライフタイム(ここでは1.600±0.05μsec)を越えないようにファーストアニールの条件を設定する。ここでは、サンプル1、2に対して、アニール温度345℃で26分間アニール処理を行った。
μ−PCD法を用いてファーストアニール後のライフタイムτ1を測定する。
ライフタイム測定工程1(S3)で得られたライフタイムτ0と、ライフタイム測定工程2(S5)で得られたライフタイムτ1から、以下の式(1)を用いて回復率kを算出する。
図8は、式(1)で求めた回復率がk1、k2、k3のサンプルについて、セカンドアニールを行った場合の、セカンドアニール時間とセカンドアニール後のライフタイムとの関係を示すグラフである。ここでは、セカンドアニール温度はファーストアニール温度と同じ温度である。図8から分かるように、セカンドアニール前のライフタイム(τa、τb、τc)と回復率(k1、k2、k3)が分かれば、素子に必要なライフタイムを得るために必要なセカンドアニール時間を求めることができる。
工程S7で求めたセカンドアニール条件(アニール時間)でアニールを行い、所望のライフタイムを得る。
サンプル1に対してアニール温度345℃で12分間、サンプル2に対してアニール温度345℃で28分間、それぞれセカンドアニールを行ったところ、セカンドアニール後のライフタイムは、サンプル1で1.605μsec、サンプル2で1.582μsecとなり、目標のライフタイムτ2(1.600±0.05μsec)が得られた。
Claims (8)
- ライフタイムを制御した半導体装置の製造方法であって、
半導体基板上に素子領域とライフタイム測定用のモニタ領域を設け、モニタ領域は酸化膜と保護膜で覆った状態でエッチングと不純物注入を行い、表面に酸化膜のみを形成したライフタイム測定用のモニタ領域と素子パターンを形成する工程と、
半導体基板に荷電粒子を照射する照射工程と、
モニタ領域で、半導体基板のライフタイムτ0を測定する第1測定工程と、
半導体基板をアニールする第1アニール工程と、
モニタ領域で、半導体基板のライフタイムτ1を測定する第2測定工程と、
ライフタイムτ0、τ1から、以下の式:
k=(τ1−τ0)/τ0
からライフタイムの回復率kを求める工程と、
目標とするライフタイムτ2を得るのに必要な追加のアニール時間tを、回復率kとライフタイムτ0から求める算出工程と、
半導体基板を、アニール時間tだけアニールする第2アニール工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 上記第1アニール工程と上記第2アニール工程は、同じアニール温度で行われることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 上記第1アニール工程は、τ1がτ2より小さくなるように半導体基板をアニールする工程であることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 上記算出工程は、ライフタイムτ1と回復率kとに対応するアニール時間tを予め定めたデータベースからアニール時間tを選択する工程であることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 上記第1測定工程と上記第2測定工程は、μ−PCD法を用いて行われる工程であることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 上記第1測定工程と上記第2測定工程は、酸化膜のみで覆われたモニタ領域で、半導体基板のライフタイムを測定する工程であることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 上記保護膜がフォトレジストレジストからなることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 上記照射工程と上記第1測定工程との間に、水素雰囲気で半導体基板をアニールする工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
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