JP2011169772A - プローブユニットおよび回路基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】離間した状態で対向配置された一対の第1支持板31および第2支持板32に形成された挿通孔(挿通孔51a〜51c,52a〜52c,71a〜71c,72a〜72c)に先端部21側および基端部22側がそれぞれ挿通されて各支持板31,32によって支持されると共に各支持板31,32の間に位置する中央部23がプロービング対象体に対するプロービング時に湾曲する直径P1a〜P1cが互いに異なる複数種類のプローブピン11a〜11cを備え、プローブピンが挿通された一対の挿通孔におけるプローブピンの中央部側の各縁部間の距離Da〜Dcが、プロービング時における各プローブピン11a〜11cに加わる荷重が互いに近づくように直径P1a〜P1cに応じて異なるように規定されている。
【選択図】図3
Description
I=π×P4/64・・・・(1)式
次に、プローブピン11に加わる荷重をF(gf)、プローブピン11を構成する材料のヤング率をEとすると、荷重F、ヤング率Eおよび長さLの関係は、次の式によって表される。
F=((4×E×I×π2)/L2)×1000・・・・(2)式
(2)式に(1)式を代入すると次の式が得られる。
F=((4×E×(π×P4/64)×π2)/L2)×1000
=(E×π3×P4/16L2)×1000
=1000×E×π3×P4/16L2・・・・(3)式
(3)式を変形すると、次の式が得られる。
L2=1000×E×π3×P4/16F
=(1000×E×π3/16F)×P4・・・・(4)式
(4)式から次の式が得られる。
L=((1000×E×π3/16F)×P4)^(1/2)
=((1000×E×π3/16F)^(1/2))×P2・・・・(5)式
(5)式から、プローブピン11に加わる荷重Fが一定で、かつヤング率Eが一定のときには、プローブピン11における湾曲する部分の長さLがプローブピン11の直径Pの2乗に比例することが理解される。言い換えると、ヤング率Eが一定のときにプローブピン11に加わる荷重Fを一定に維持するには、長さLを直径Pの2乗に比例するように規定すればよいことが理解される。
E=F/(1000×π3×P4/16L2)
=(F×16L2)/(1000×π3×P4)・・・・(6)式
(6)式から、プローブピン11に加わる荷重Fが一定で、かつプローブピン11における湾曲する部分の長さLが一定のときには、ヤング率Eがプローブピン11の直径P1の4乗に反比例することが理解される。言い換えると、長さLが一定のときにプローブピン11に加わる荷重Fを一定に維持するには、ヤング率Eを直径Pの4乗に反比例するように規定すればよいことが理解される。このことから、ヤング率Eを、直径P1の4乗に反比例するように規定することで、各プローブピン11に加わる荷重をほぼ同じ値に維持することが可能となる。
2 プローブユニット
5 検査部
11a,11b,11c プローブピン
12 本体部
21 先端部
22 基端部
23 中央部
31 第1支持板
32 第2支持板
41,61 固定板
42,62 スライド板
51a〜51c,52a〜52c,71a〜71c,72a〜72c 挿通孔
Da,Db,Dc 距離
E ヤング率
La,Lb,Lc 長さ
P1a,P1b,P1c 直径
Claims (6)
- 複数の挿通孔がそれぞれ形成されると共に離間した状態で対向配置された一対の支持板と、前記各支持板の前記各挿通孔に先端部側および基端部側がそれぞれ挿通されて当該各支持板によって支持されると共に当該各支持板の間に位置する中央部がプロービング対象体に対するプロービング時に湾曲する複数のプローブピンとを備えたプローブユニットであって、
直径が互いに異なる複数種類の前記プローブピンを備え、
前記プローブピンが挿通された一対の前記挿通孔における当該プローブピンの前記中央部側の各縁部間の距離、および当該プローブピンを構成する材料のヤング率の少なくとも一方が、前記プロービング時における当該各プローブピンに加わる荷重が互いに近づくように前記直径に応じて異なるように規定されているプローブユニット。 - 前記直径が大きいほど前記距離が大きく規定されている請求項1記載のプローブユニット。
- 前記距離が前記直径の2乗に比例するように規定されている請求項2記載のプローブユニット。
- 前記直径が大きいほど前記ヤング率が小さく規定されている請求項1から3のいずれかに記載のプローブユニット。
- 前記ヤング率は、前記直径の4乗に反比例するように規定されている請求項4記載のプローブユニット。
- 請求項1から5のいずれかに記載のプローブユニットと、前記プロービング対象体としての回路基板に接触させた前記プローブユニットを介して入力した電気信号に基づいて当該回路基板に対する電気的検査を実行する検査部とを備えている回路基板検査装置。
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