JP6150708B2 - 基板検査装置およびプローブユニットシステム - Google Patents
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Description
Kpa:Kpb=Ksa:Ksb・・・式(1)
つまり、ばね定数Kpaに対するばね定数Kpbの比率と、ばね定数Ksaに対するばね定数Ksbの比率とが同じ比率となるようにプローブユニット2a,2bが構成されている。なお、プローブ10のばね定数は、プローブ10の長さ方向に力を加えたときのプローブ10の先端部10aから基端部10cまでの長さ(先端部10aから基端部10cまでの直線距離)の変化量で、加えた力を除算した値に相当する。また、スプリング33のばね定数は、スプリング33の長さ方向に力を加えたときのスプリング33の長さの変化量で、加えた力を除算した値に相当する。
Fa=Ka×Za・・・式(2)
Fb=Kb×Zb・・・式(3)
ここで、押圧力Fa,Fbを同じ大きさ(Fa=Fb)とすると、上記の式(2),(3)から、次の式(4)の関係が成り立つ。
Ka×Za=Kb×Zb・・・式(4)
式(4)を変形すると、次の式(5)が導かれる。
Za/Kb=Zb/Ka・・・式(5)
また、式(5)を変形すると、次の式(6)が導かれる。
Za×(1/Kb)=Zb×(1/Ka)・・・式(6)
さらに、式(6)を変形すると、次の式(7)が導かれる。
Za:Zb=1/Ka:1/Kb・・・式(7)
Ka=Kpa+Ksa・・・式(8)
Kb=Kpb+Ksb・・・式(9)
Ka:Kb=Kpa:Kpb=Ksa:Ksb・・・式(10)
また、式(10)の関係が成り立つと、次の式(11)の関係が成り立つ。
1/Ka:1/Kb=1/Kpa:1/Kpb=1/Ksa:1/Ksb・・・式(11)
2a,2b プローブユニット
3a,3b 移動機構
6 記憶部
7 処理部
10 プローブ
10a 先端部
10c 基端部
11 支持部
12 当接板
12a 電極
13 付勢部
22 先端面
100 基板
200 圧力センサ
Fa,Fb 押圧力
Ka,Kb 係数
Kpa,Ksa,Kpb,Ksb ばね定数
Za,Zb 移動量
Claims (5)
- 基板に対するプロービングの際に弾性変形して先端部が当該基板を押圧するプローブ、当該プローブを支持すると共に前記プロービングの際に前記基板に先端面が当接する支持部、前記プローブの基端部に接触する電極が配設されて前記プロービングの際に当該基端部が当接する当接板、および前記支持部と前記当接板との間に配設されて前記プロービングの際に前記先端面によって前記基板を押圧する向きに前記支持部を付勢する付勢部を有する一対のプローブユニットを介して入出力する電気信号に基づいて当該基板を検査可能に構成された基板検査装置であって、
前記一対のプローブユニットにおける前記当接板を前記基板に向けて押圧して当該各プローブユニットを当該基板の一面側および他面側から当該基板に向けてそれぞれ移動させる一対の移動機構と、
前記一対の移動機構を制御する制御処理を実行する制御部と、
前記先端面が前記基板に当接している状態で当該基板に向けて前記当接板が移動させられたときに前記基板に作用する前記プローブからの押圧力および前記付勢部の付勢力によって前記基板に作用する前記先端面からの押圧力の合力を当該当接板の移動量で除算して得られる係数を記憶する記憶部とを備え、
前記制御部は、前記制御処理において、前記各プローブユニットのいずれか一方の前記先端面が前記基板に当接したときからの当該いずれか一方のプローブユニットにおける前記当接板の移動量と前記各プローブユニットの他方の前記先端面が前記基板に当接したときからの当該他方のプローブユニットにおける前記当接板の移動量との比率が、前記いずれか一方のプローブユニットにおける前記係数の逆数と前記他方のプローブユニットにおける前記係数の逆数との比率と同じ比率となるように前記各当接板の移動量を調整しつつ前記当接板を押圧させる基板検査装置。 - 前記当接板の移動量および前記各押圧力の合力を特定して当該押圧力の合力を当該移動量で除算して前記係数を算出する算出処理を実行すると共に、当該算出した係数を前記記憶部に記憶させる処理部を備えている請求項1記載の基板検査装置。
- 前記一対のプローブユニットで構成されるプローブユニットシステムを備えている請求項1または2記載の基板検査装置。
- 前記プローブユニットシステムは、前記一対のプローブユニットのいずれか一方における前記プローブのばね定数に対する当該各プローブユニットの他方における前記プローブのばね定数の比率と、前記いずれか一方のプローブユニットにおける前記付勢部のばね定数に対する前記他方のプローブユニットにおける前記付勢部のばね定数の比率とが同じ比率となるように当該各プローブユニットが構成されている請求項3記載の基板検査装置。
- 基板に対するプロービングの際に弾性変形して先端部が当該基板を押圧するプローブ、当該プローブを支持すると共に前記プロービングの際に前記基板に先端面が当接する支持部、前記プローブの基端部に接触する電極が配設されて前記プロービングの際に当該基端部が当接する当接板、および前記支持部と前記当接板との間に配設されて前記プロービングの際に前記先端面によって前記基板を押圧する向きに前記支持部を付勢する付勢部を有して、前記基板の一面および他面に対してそれぞれプロービングさせて行う基板の検査に用いられる一対のプローブユニットを備え、
前記一対のプローブユニットのいずれか一方における前記プローブのばね定数に対する当該各プローブユニットの他方における前記プローブのばね定数の比率と、前記いずれか一方のプローブユニットにおける前記付勢部のばね定数に対する前記他方のプローブユニットにおける前記付勢部のばね定数の比率とが同じ比率となるように当該各プローブユニットが構成されているプローブユニットシステム。
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