JP5431524B2 - 検査プローブ接触検知機構および回路基板検査装置 - Google Patents
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Description
前記導電部を介して前記電極部相互間に流される電流は、前記検査プローブを前記被測定パターンに接触させた際に受ける接触圧により、前記プローブ移動手段を前記電極部側から変形離間させてその流れが遮断されることで、前記計測回路による前記検査プローブの前記被測定パターンへの接触の検知を自在としたことを最も主要な特徴とする。
12 検査プローブ
13 四端子計測用プローブ
13a 電流印加側端子
13b 電圧検出側端子
22 プローブ移動手段
23 本体部
24 可動腕部
25 モータ
26,27 支杆部
26a 対向面
28 保持部
29 導電部
33 計測回路
34 計測線
38,39 電極部
41 回路基板検査装置
42 中央処理手段(CPU)
43 プロービング制御手段
51 回路基板
52 被測定素子
53 被測定パターン
Claims (3)
- 1本の検査プローブと、該検査プローブを検査対象の回路基板における被測定パターンへの接触を自在に保持するプローブ移動手段と、該プローブ移動手段が備える導電部を介してその初期状態時に相互の電気的な導通を自在に離間配置されて位置固定される一対の電極部と、該電極部に接続されて電流を検出する計測回路とを少なくとも備え、
前記導電部を介して前記電極部相互間に流される電流は、前記検査プローブを前記被測定パターンに接触させた際に受ける接触圧により、前記プローブ移動手段を前記電極部側から変形離間させてその流れが遮断されることで、前記計測回路による前記検査プローブの前記被測定パターンへの接触の検知を自在としたことを特徴とする検査プローブ接触検知機構。 - 請求項1に記載の検査プローブ接触検知機構と、全体を統括制御する中央処理手段と、前記検査プローブ接触検知機構が検知する電気的信号に基づいてプロービング動作を制御するプロービング制御手段とを少なくとも具備させたことを特徴とする回路基板検査装置。
- 前記プロービング制御手段は、被測定パターンへの検査プローブの接触検知位置である停止予定位置と、実際に停止した停止指令位置との差分を検出し、該差分だけ位置データを補正した上でプロービング動作を停止させる請求項2に記載の回路基板検査装置。
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