JP2009524238A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 複数の接触電極と複数の電気接点との間の相対位置を維持するように動作する試験システムであって、
   前記複数の電気接点に結合したデバイスを保持するように構成された第１コンポーネントに結合し、３次元座標系の軸に沿って第１パラメータを測定するように構成された第１センサと、
   前記第１コンポーネントに結合し、前記軸に沿って第２パラメータを測定するように構成された第２センサと、
   前記第１センサと前記第２センサから情報を受信するように構成され、かつ、前記情報に基づいて作動力を決定するように構成された、前記第１コンポーネントに結合した制御システムと、
   を備え、
   前記作動力は前記接触電極と前記電気接点との間の所望の相対位置を維持することを特徴とする前記第１コンポーネントに作用するシステム。
2. 複数の接触電極と複数の電気接点との間の相対位置を正確に維持するように動作する試験システムであって、
   前記複数の電気接点に結合したデバイスを保持するように構成された第１コンポーネントに結合し、３次元座標系の軸に沿って第１パラメータを測定するように構成され、非熱マウントに結合された第１センサと、
   前記第１コンポーネントに結合し、前記軸に沿って第２パラメータを測定するように構成された第２センサと、
   前記第１センサと前記第２センサから情報を受信するように構成され、前記情報に基づいて作動力を決定するように構成された、前記第１コンポーネントに結合した制御システムと、
   前記制御システムによって決定された作動力を加え、かつ、前記接触電極と前記電気接点との間の接触力によって引き起こされる前記第１コンポーネントの傾斜をなくすように構成された、前記第１コンポーネントに結合された複数のアクチュエータと、
   を備え、
   前記作動力は前記接触電極と前記電気接点との間の所望の相対位置を維持するように、前記第１コンポーネントに作用することを特徴とする試験システム。
3. 複数の接触電極と複数の電気接点との間の相対位置を正確に維持するように動作する試験システムであって、
   前記複数の電気接点に結合した第１デバイスを保持するように構成された第１コンポーネントと、
   前記複数の接触電極に結合した第２デバイスを保持するように構成され、高い圧力で前記第１コンポーネントに接触状態になるように構成された第２コンポーネントと、
   前記第１コンポーネントに結合され、かつ複数のセンサに結合した制御システムであって、前記センサが前記第１コンポーネントの傾斜を測定するように構成される制御システムと、
   前記第１コンポーネント及び前記制御システムに結合され、前記制御システムからコマンドを受信し、前記傾斜をなくすために、前記第１コンポーネントに力を加えるように構成された複数のアクチュエータと、
   を備えることを特徴とする試験システム。
4. 複数の電気接点に対して複数の接触電極を正確に位置決めする方法であって、
   前記複数の電気接点を有するデバイスを保持するように構成された第１コンポーネントに結合した第１センサを使用して３次元座標系の軸に沿って第１パラメータを測定するステップと、
   前記第１コンポーネントに結合した第２センサを使用して前記軸に沿って第２パラメータを測定するステップと、
   前記第１コンポーネントに結合され、前記第１センサと前記第２センサから情報を受信するように構成された制御システムを使用して、作動力を決定するステップと、
   を備え、
   前記作動力は、前記接触電極と前記電気接点との間の所望の相対位置を維持するように、前記第１コンポーネントに作用することを特徴とする方法。
5. 複数のパッドに対して複数の接触電極を正確に位置決めする方法であって、
   前記複数の電気接点に結合したデバイスを保持するように構成された第１コンポーネントに結合した第１センサを使用して３次元座標系の軸に沿って第１パラメータを測定するステップであって、前記第１センサは、非熱マウントに結合されているステップと、
   前記第１コンポーネントに結合した第２センサを使用して前記軸に沿って第２パラメータを測定するステップと、
   前記第１コンポーネントに結合されており、前記第１センサと前記第２センサから情報を受信するように構成された制御システムを使用して、作動力を決定するステップと、
   から構成され、
   前記作動力は、前記複数の接触電極と前記複数の電気接点との間の所望の相対位置を維持するように、前記第１コンポーネントに作用することを特徴とする方法。
6. 複数の電気接点に対して複数の接触電極を接触させるために、正確に位置決めする方法であって、
   第１コンポーネントと第２コンポーネントを高い圧力の下で接触させるステップと、
   圧力による前記第１コンポーネントの傾斜を測定するステップと、
   前記傾斜をなくすために、前記第１コンポーネントに印加する補正力を決定するステップと、
   前記補正力を印加するステップと、
   から構成され、
   前記第１コンポーネントは、複数の電気接点に結合した第１デバイスを保持するように構成され、前記第２コンポーネントは、複数の接触電極に結合した第２デバイスを保持するように構成されることを特徴とする方法。
7. フレームに結合したウエハ・チャックと、
   前記フレームに結合したプローブ・カード・アセンブリ・ホルダと、
   非熱機械マウントを通して前記ウエハ・チャックに結合し、前記ウエハ・チャックの位置を検知する位置センサと、
   を備えることを特徴とするウエハ・プローバ。
8. データ処理システムによって実行されると、そのシステムに、複数の電気接点に対して複数の接触電極を正確に位置決めする方法を実施させる実行可能プログラム命令を備える機械読み取り可能媒体であって、前記方法は、
   前記複数の電気接点を有するデバイスを保持するように構成された第１コンポーネントに結合した第１センサを使用して３次元座標系の軸に沿って第１パラメータを測定するステップと、
   前記第１コンポーネントに結合した第２センサを使用して前記軸に沿って第２パラメータを測定するステップと、
   前記第１コンポーネントに結合しており、前記第１センサと前記第２センサから情報を受信するように構成された制御システムを使用して、作動力を決定するステップと、
   を含み、
   前記作動力は前記接触電極と前記電気接点との間の所望の相対位置を維持するように前記第１コンポーネントに作用することを特徴とする機械読み取り可能媒体
9. 複数のパッドに対して複数の接触電極を正確に位置決めする方法を実施させる実行可能プログラム命令を備える機械読み取り可能媒体であって、データ処理システムによって実行されると、前記方法が前記システムをして、
   前記複数の電気接点に結合したデバイスを保持するように構成された第１コンポーネントに結合した第１センサを使用して３次元座標系の軸に沿って第１パラメータを測定させ、
   前記第１コンポーネントに結合した第２センサを使用して前記軸に沿って第２パラメータを測定させ、
   前記第１コンポーネントに結合しており、前記第１センサと前記第２センサから情報を受信するように構成された制御システムを使用して、作動力を決定し、
   前記第１センサは非熱マウントに結合され、
   前記作動力は、前記接触電極と前記電気接点との間の所望の相対位置を維持するように、前記第１コンポーネントに作用することを特徴とする機械読み取り可能媒体。
10. 複数の電気接点に対して複数の接触電極を接触させるように正確に位置決めするための方法を実行できるような命令を提供する機械読み取り可能媒体であって、データ処理システムが実行されると、その方法が前記システムをして、
    第１コンポーネントと第２コンポーネントを高い圧力の下で接触させ、
    圧力による前記第１コンポーネントの傾斜を測定させ、
    前記傾斜をなくすために、前記第１コンポーネントに印加する補正力を決定させ、
    前記補正力を印加させ、
    前記第１コンポーネントは、複数の電気接点に結合した第１デバイスを保持するように構成され、前記第２コンポーネントは、複数の接触電極に結合した第２デバイスを保持するように構成されることを特徴とする機械読み取り可能媒体。