JP2009025284A - プローブカードを位置決めする方法と配列装備 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試験基板に対してプローブカードの垂直な位置決めに関し、プローブカードのニードルチップと記憶される基板の間の距離を生産させるために第一位置決め工程でアプローチされる分離位置と、プローブカードが記憶される基板と接触させるまで、第二位置決め工程でアプローチされる接触位置と、表示されるプローブニードルの画像に関し、プローブカードが変更された後に誤った作用を回避する目的に基づいている。これは、ニードルチップを画像形成するときに、記憶された接触位置が画像形成され、この接触位置の表示がそれぞれのプローブカードに適切な接点の現実の高さに対応するまで変更され、次にこの設定は新たな接触位置として記憶される事実によって達成される。
【選択図】図1
Description
2.....表示装置
3.....ニードルチップ
4.....プローブ水平線
5.....プローブカード
6.....プローブカードホルダー
7.....摺動ピース
8.....センサーピース
9.....圧力ライン
10....開口
Claims (14)
- 基板の表面に垂直な方向に試験される基板の表面に対してニードルチップを有し、基板の表面に対してニードルチップの第一位置が測定されて、第一位置決め工程でアプローチされるような方法で分離位置として記憶され、その第一位置決め工程がニードルチップと基板の表面の間の距離を測定できなく、ニードルチップと基板の表面の間の距離を形成させ、基板の表面に対してニードルチップの第二位置が測定されて、第二位置決め工程でアプローチされるような方法で接触位置として記憶され、ニードルチップが基板の表面と接触させるまで、その第二位置決め工程がニードルチップと基板の表面の間の距離を測定できない、ニードルチップの画像がニードルチップと平行である少なくとも一つの水平な方向に沿って記録され且つ表示される、プローブニードルによりプローブカードを位置決めする方法において、ニードルチップを画像形成するときに、記憶された接触位置が画像形成されるか、或いは記憶された接触位置に対応するニードルチップの絶対高さが画像形成され、ニードルチップの画像形成された接触位置或いは画像形成された絶対高さは、これら位置の表示がそれぞれのプローブカードに適切であるニードルチップの高さに対応するまで変更され、そして次に設定されたこの接触位置が新たな接触位置として記憶されるか、或いは対応接触位置が接触の設定高さから算出されて記憶されることを特徴とする方法。
- 分離位置の高さが記憶された接触位置から算出されるか、或いは予め定義された距離にわたりニードルチップの記憶された高さを使用して算出されて記憶されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- ニードルチップを画像形成するときに、記憶された接触位置が画像形成され、その記憶された接触位置はこれら位置の表示がそれぞれのプローブカードに適切である分離位置の高さに対応し、次に設定されたこの分離位置が新たな分離位置として記憶されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- プローブカードのそのプローブカードホルダーの取り出しが検出されて、取り出しが決定されたときに記憶された接触位置が表示されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の方法。
- プローブカードとプローブカードホルダーの間の距離が超過されるならば、プローブカードの取り出しが検出されることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- ニードルチップの位置がニードルチップの画像から電子的に決定されて記憶されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の方法。
- 接触位置はニードルチップの記憶された位置から算出されて記憶されることを特徴とする請求項6の記載の方法。
- 分離位置がニードルチップの記憶された位置から算出されるか、或いは算出された接触位置から算出されて記憶されることを特徴とする請求項6或いは7の記載の方法。
- 取り出しが検出されるときに、ニードルチップの位置と記憶された接触位置の間の定義可能な差が超過されるならば、誤差信号が出力されることを特徴とする請求項4乃至8のいずれか一項に記載の方法。
- ニードルチップを有して、それらが適当な位置に配向されるようにプローブカードに配列される、プローブニードルによりプローブカードを位置決めする配列装備であって、基板ホルダーと、プローブカードに対して基板ホルダーを調整させる設定装置と、記録軸線がプローブニードルに向けられて基板面と平行である記録装置とを有して、設定装置が接触位置と分離位置とを記憶するメモリーを備えている駆動装置を備えている配列装備において、ニードルチップと記憶された接触位置を表示する表示装置がメモリーと記録装置とに接続されて、接触位置を変える入力手段を有することを特徴とする配列装備。
- プローブカードの取り出しを検出する手段は記録装置に接続されていることを特徴とする請求項10に記載の配列装備。
- プローブカードとプローブカードホルダーの間の距離を検出する手段が設けられていることを特徴とする請求項11に記載の配列装備。
- 圧力ラインによって圧縮空気源或いは真空源に接続されている開口がプローブカードホルダーに配列されていて、前記開口はプローブカードがプローブカードホルダーに挿入されるときに閉鎖され且つプローブカードが取り出されるときに開放され、そして圧力ラインは圧力ラインの圧力差を検出する圧力測定装置に接続されて、その一部では、圧力差を決定する評価ユニットに接続されていることを特徴とする請求項10或いは11に記載の配列装備。
- プローブカードホルダーはプローブカードを固定する摺動ピースを備えていて、プローブカードを解放して開口が開放される位置と、プローブカードを固定して開口が閉鎖される位置とを有することを特徴とする請求項13に記載の配列装備。
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