JP5595640B2 - プローブカードを位置決めするための方法及び装置 - Google Patents
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Description
1つのプローブカードを、試験されるべき基板の表面に対して、前記基板の表面に対して垂直な方向に位置決めするための方法であって、前記プローブカードが、複数のニードルチップ付きの複数のプローブニードルを有し、複数の前記ニードルチップと前記基板の表面との間が接近する程度に距離をあけるように、これらのニードルチップの第1位置が、分離位置として測定されて記憶され、複数の前記ニードルチップが前記基板の表面に接触した後に、これらのニードルチップの第2位置が、接触位置として測定されて記憶され、複数の前記ニードルチップの画像が、前記基板の表面に対してほぼ平行である少なくとも1つの水平な画像表示方向に沿って記録されて表示される当該方法において、複数の前記ニードルチップを画像表示するときに、当該記憶された前記接触位置を示すプローブ水平線が画像表示され、当該画像表示された前記接触位置が、前記プローブカードに適する複数の前記ニードルチップの高さに一致するまで、つまり前記接触位置の適切な高さに一致するまで、当該画像表示された前記接触位置が変更され、この設定された接触位置が、新しい接触位置として記憶されることによって解決され(請求項1)、
さらに、前記分離位置の高さが、記憶された前記接触位置から計算されて記憶されることを特徴とする請求項1に記載の方法によって解決され(請求項2)、
さらに、複数の前記ニードルチップを画像表示するときに、記憶された前記分離位置が画像表示され、当該画像表示された前記分離位置が、前記プローブカードに適する分離位置に一致するまで、当該画像表示された前記分離位置が変更され、この設定された分離位置が、新しい分離位置として記憶されることを特徴とする請求項1に記載の方法によって解決され(請求項3)、
さらに、前記プローブカードの、このプローブカードのプローブカードホルダーからの取り出しが決定されたときに、当該取り出しが検出され、記憶された前記接触位置が画像表示されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法によって解決され(請求項4)、
さらに、複数の前記ニードルチップの位置が、これらのニードルチップの画像から電子的に測定されて記憶されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法によって解決され(請求項5)、
さらに、前記接触位置は、複数の前記ニードルチップの記憶された位置から計算されて記憶されることを特徴とする請求項5の記載の方法によって解決され(請求項6)、
さらに、前記分離位置は、複数の前記ニードルチップの記憶された位置から又は算出された前記接触位置から計算されて記憶されることを特徴とする請求項5又は6の記載の方法によって解決され(請求項7)、
さらに、複数のプローブニードルを有する1つのプローブカードを位置決めする装置であって、これらのプローブニードルは、複数のニードルチップを有し且つこれらのニードルチップが所定の位置に配向されるように前記プローブカード上に配置されていて、前記装置が、基板ホルダーと、この基板ホルダーを前記プローブカードに対して調整するための設定装置と、記録装置とを有し、この記録装置の記録軸線が、前記プローブニードルに向けられていて且つ前記基板の表面に対してほぼ平行であり、前記設定装置が、駆動装置を有し、この駆動装置が、接触位置及び分離位置を記憶するメモリーを有する当該装置において、複数の前記ニードルチップと記憶された前記接触位置を示すプローブ水平線とを画像表示する表示装置が、前記メモリーと前記記録装置とに接続されていて且つ前記接触位置を変更する入力手段を有することによって解決される(請求項8)。
2 表示装置
3 ニードルチップ
4 プローブ水平線
5 プローブカード
6 プローブカードホルダー
7 摺動ピース
8 センサーピース
9 圧力ライン
10 開口部
Claims (8)
- 1つのプローブカードを、試験されるべき基板の表面に対して、前記基板の表面に対して垂直な方向に位置決めするための方法であって、
前記プローブカードが、複数のニードルチップ付きの複数のプローブニードルを有し、 複数の前記ニードルチップと前記基板の表面との間が接近する程度に距離をあけるように、これらのニードルチップの第1位置が、分離位置として測定されて記憶され、
複数の前記ニードルチップが前記基板の表面に接触した後に、これらのニードルチップの第2位置が、接触位置として測定されて記憶され、
複数の前記ニードルチップの画像が、前記基板の表面に対してほぼ平行である少なくとも1つの水平な画像表示方向に沿って記録されて表示される当該方法において、
複数の前記ニードルチップを画像表示するときに、当該記憶された前記接触位置を示すプローブ水平線が画像表示され、
当該画像表示された前記接触位置が、前記プローブカードに適する複数の前記ニードルチップの高さに一致するまで、つまり前記接触位置の適切な高さに一致するまで、当該画像表示された前記接触位置が変更され、
この設定された接触位置が、新しい接触位置として記憶されることを特徴とする方法。 - 前記分離位置の高さが、記憶された前記接触位置から計算されて記憶されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 複数の前記ニードルチップを画像表示するときに、記憶された前記分離位置が画像表示され、
当該画像表示された前記分離位置が、前記プローブカードに適する分離位置に一致するまで、当該画像表示された前記分離位置が変更され、
この設定された分離位置が、新しい分離位置として記憶されることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記プローブカードの、このプローブカードのプローブカードホルダーからの取り出しが決定されたときに、当該取り出しが検出され、記憶された前記接触位置が画像表示されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- 複数の前記ニードルチップの位置が、これらのニードルチップの画像から電子的に測定されて記憶されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記接触位置は、複数の前記ニードルチップの記憶された位置から計算されて記憶されることを特徴とする請求項5の記載の方法。
- 前記分離位置は、複数の前記ニードルチップの記憶された位置から又は算出された前記接触位置から計算されて記憶されることを特徴とする請求項5又は6の記載の方法。
- 複数のプローブニードルを有する1つのプローブカードを位置決めする装置であって、これらのプローブニードルは、複数のニードルチップを有し且つこれらのニードルチップが所定の位置に配向されるように前記プローブカード上に配置されていて、
前記装置が、基板ホルダーと、この基板ホルダーを前記プローブカードに対して調整するための設定装置と、記録装置とを有し、
この記録装置の記録軸線が、前記プローブニードルに向けられていて且つ前記基板の表面に対してほぼ平行であり、
前記設定装置が、駆動装置を有し、この駆動装置が、接触位置及び分離位置を記憶するメモリーを有する当該装置において、
複数の前記ニードルチップと記憶された前記接触位置を示すプローブ水平線とを画像表示する表示装置が、前記メモリーと前記記録装置とに接続されていて且つ前記接触位置を変更する入力手段を有することを特徴とする装置。
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