JP2018059797A - 電気的接続装置及び電気的接続装置の製造方法 - Google Patents
電気的接続装置及び電気的接続装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施形態1に係る電気的接続装置1の概略構成を示す側面図である。
次に、実施形態1に係る電気的接続装置1の製造方法について説明する。具体的には、上方ガイド板110と中間ガイド板130と下方ガイド板120とにプローブ20を挿通させてプローブ支持体18を製造する際の製造方法について説明する。当該製造方法は、挿通工程と、穴形成工程と、湾曲形成工程を含む。
以上のように、本発明の実施形態1に係る電気的接続装置1は、上方ガイド板110と、中間ガイド板130と、下方ガイド板120と、上方ガイド板110と中間ガイド板130と下方ガイド板120とに挿通されるプローブ20とを備える。また、プローブ20は、線状の本体部21と、中間ガイド板130において本体部21の上下方向Zおける移動を係止する係止部40とを備える。中間ガイド板130は、第1開口穴131aが形成された第1板部材131と、第1板部材131に積層され、第2開口穴132aが形成された第2板部材132とを有する。第1板部材131と第2板部材132との少なくとも一方は、左右方向Xに移動可能に構成される。また、中間ガイド板130の中間ガイド穴130aは、第1開口穴131aの一部と第2開口穴132aの一部との重複部分として係止部40よりも幅狭に形成される。
以上、上述の実施形態を用いて本発明について詳細に説明したが、当業者にとっては、本発明が本明細書中に説明した実施形態に限定されるものではないということは明らかである。
14 半導体ウエハ
14a 電極パッド
16 プローブ基板
18 プローブ支持体
20 プローブ
20a 先端部
20b 基端部
21 本体部
40 係止部
41 第1係止部
42 第2係止部
100 ガイド板
110 上方ガイド板
110a 上方ガイド穴
120 下方ガイド板
120a 下方ガイド穴
130 中間ガイド板
130a 中間ガイド穴
131 第1板部材
131a 第1開口穴
132 第2板部材
132a 第2開口穴
Claims (7)
- 上下方向に貫通する中間ガイド穴を有する中間ガイド板と、
前記中間ガイド穴に挿通されるプローブと、
を備える電気的接続装置であって、
前記プローブは、線状の本体部と、前記中間ガイド板において前記本体部の上下方向における移動を係止する係止部とを備え、
前記中間ガイド板は、第1開口穴が形成された第1板部材と、第2開口穴が形成された、前記第1板部材に積層される第2板部材とを有し、
前記第1板部材と前記第2板部材との少なくとも一方は、上下方向に直交する左右方向に移動可能に構成され、
前記中間ガイド穴は、前記第1開口穴の一部と前記第2開口穴の一部との前記左右方向における重複部分として前記係止部よりも幅狭に形成される
ことを特徴とする電気的接続装置。 - 前記係止部は、
前記第2板部材よりも上方に配置され、前記第1開口穴、及び前記第2開口穴よりも幅広に構成される第1係止部と、
前記第1板部材よりも下方に配置され、前記第1開口穴、及び前記第2開口穴よりも幅広に構成される第2係止部と、を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の電気的接続装置。 - 前記中間ガイド板の上方に間隔をおいて配置され、上下方向に貫通する上方ガイド穴を有する上方ガイド板と、
前記中間ガイド板の下方向に間隔をおいて配置され、上下方向に貫通する下方ガイド穴を有する下方ガイド板と、を備え、
前記プローブは、前記上方ガイド穴と前記中間ガイド穴と前記下方ガイド穴とに挿通され、前記上方ガイド板と前記下方ガイド板との間において湾曲する湾曲部を有する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の電気的接続装置。 - 前記中間ガイド板は、前記係止部よりも幅広に開口する第3開口穴が形成された、前記第2板部材に積層される第3板部材を有し、
前記第1板部材、前記第2板部材、及び前記第3板部材の少なくとも一方は、上下方向に直交する左右方向に移動可能に構成され、
前記中間ガイド穴は、前記第1開口穴の一部、前記第2開口穴の一部、及び前記第3開口穴の一部の前記左右方向における重複部分として前記係止部よりも幅狭に形成される
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電気的接続装置。 - 前記係止部は、前記本体部に固着される係止部材により形成される
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の電気的接続装置。 - 前記係止部は、前記本体部の一部を太くすることにより形成される
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の電気的接続装置。 - 請求項2に記載の電気的接続装置の製造方法であって、
前記中間ガイド穴に前記プローブを挿通するとともに、前記第1係止部と前記第2係止部との間に前記中間ガイド穴を配置する工程と、
前記第1板部材と前記第2板部材との少なくとも一方を上下方向に直交する左右方向に移動させて、前記第1開口穴の一部と前記第2開口穴の一部との重複部分を、前記第1係止部及び前記第2係止部の幅よりも幅狭な前記中間ガイド穴として形成する工程と、を含む
ことを特徴とする電気的接続装置の製造方法。
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