JP2011111654A - 蒸着材の製造方法及び該方法により製造された蒸着材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】蒸着材10の表面に突起11を1又は2以上形成する第5工程を含み、突起11の蒸着材10表面から最大高さが1〜5mmであって、突起11の蒸着材10表面から突出する部分の最大幅が1〜5mmであることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
先ず、純度が99.7%の高純度ZnO粉末と、純度が99.5%の高純度Ga2O3粉末と、バインダと、有機溶媒とを用意した。これらを混合して、濃度が30質量%のスラリーを調製した。このとき、ZnO粉末は平均粒径が2μm、Ga2O3粉末は平均粒径が1.5μmのものを使用した。また、Ga2O3粉末は、形成後の蒸着材に含まれるGa元素が、5質量%含まれるように添加した。これらをボールミルによる湿式混合により、濃度30質量%のスラリーを調製した。
成形体の表面に突状物を形成する際に、押し出し成形により形成した成形物を切断して得られた細棒体を用いたこと以外は、実施例1と同様に、ZnO蒸着材を得た。このZnO蒸着材は、蒸着材表面から高さが3mmであって、直径が2mmである円柱状の突起を33個有する蒸着材であった。
成形体の表面に突状物を形成する際に、半球状の雌型の金型を用いて形成した半球体を用いたこと以外は、実施例1と同様に、ZnO蒸着材を得た。このZnO蒸着材は、蒸着材表面から高さが3mmであって、突起の蒸着材表面から突出する部分の最大径が3mmである半球状の突起を33個有する蒸着材であった。
成形体の表面に突状物を形成する際に、この成形体を焼成して得られた焼結体と同一組成の成形体を粉砕して得られた粉砕物を用いたこと以外は、実施例1と同様に、ZnO蒸着材を得た。このZnO蒸着材は、蒸着材表面から最大高さが3〜4mmの範囲の所定値であって、蒸着材表面から突出する部分の最大幅が2mmである突起を33個有する蒸着材であった。
先ず、実施例1と同様に、混合造粒粉末を得た。次に混合造粒粉末を所定の型に入れて一軸プレス装置によりプレス成形して成形体を形成し、この成形体を大気雰囲気中1300℃の温度で5時間焼結させることにより、厚さ及び直径がそれぞれ30mm、20mmの焼結体を得た。
焼結体の表面に機械研削処理を施す代わりに、酸によるエッチング処理(化学浸食処理)を施したこと以外は、実施例5と同様に、ZnO蒸着材を得た。このZnO蒸着材は、蒸着材表面から最大高さが3mmであって、蒸着材表面から突出する部分の最大幅が2mmである突起を33個有するZnO蒸着材であった。
焼結体の表面に機械研削処理を施さなかったこと以外は、実施例5と同様に、ZnO蒸着材を得た。即ち、この蒸着材は突起が形成されていないものである。
比較例1と同様に、ZnO蒸着材を得た。即ち、この蒸着材には突起が形成されていないものである。
実施例1〜6及び比較例1,2で得られた蒸着材、及び図14に示すRPD装置を用い、ガラス基材に蒸着膜を成膜した。その際、図13に示すように、プラズマ放電電流は、一定勾配αを5アンペア/分に設定し、蒸着材の昇華が開始するA値まで上昇させた。続いて20アンペア(B値)まで低下させ、以降B値に固定して蒸着膜の成膜を行った。
11 突起
Claims (6)
- 金属酸化物粉末と、バインダと、有機溶媒とを混合してスラリーを調製する第1工程と、前記スラリーを噴霧乾燥して混合造粒粉末を得る第2工程と、前記混合造粒粉末を型に入れ、加圧成形して円板状の成形体を形成する第3工程と、前記成形体を焼成して焼結体を得る第4工程とを含む、プラズマ蒸着法により蒸着膜を成膜するための蒸着材の製造方法において、
前記蒸着材の表面に突起を1又は2以上形成する第5工程を含み、
前記突起の蒸着材表面から最大高さが1〜5mmであって、前記突起の蒸着材表面から突出する部分の最大幅が1〜5mmである
ことを特徴とする蒸着材の製造方法。 - 第3工程において第5工程で形成される突起の数に相応した数の凹部を成形体の表面に形成し、
第5工程が、第3工程に続いて、押し出し成形により前記成形体と同一組成の細長い棒状の成形物を形成し、前記細長い棒状の成形物を所定の長さに切断して細棒体を得る工程と、前記成形体の表面に形成された凹部に前記細棒体の下部を挿入して前記成形体の表面に突状物を設ける工程とを含み、
第4工程において前記成形体の表面に設けられた前記突状物を焼成する工程と
を含む請求項1記載の蒸着材の製造方法。 - 第3工程において第5工程で形成される突起の数に相応した数の凹部を成形体の表面に形成し、
第5工程が、第3工程に続いて、前記成形体の形成に用いた粉末と同一組成の混合造粒粉末を、前記凹部の開口部に相応した半径を有する円錐状又は半球状の雌型の金型に詰めて成形することにより、円錐体又は半球体を得る工程と、前記成形体の表面に形成された凹部に前記円錐体又は球状体の基部を挿入して前記成形体の表面に突状物を設ける工程とを含み、
第4工程において前記成形体の表面に設けられた前記突状物を焼成する工程と
を含む請求項1記載の蒸着材の製造方法。 - 第3工程において第5工程で形成される突起の数に相応した数の凹部を成形体の表面に形成し、
第5工程が、第3工程に続いて、前記成形体を焼成して得られた焼結体と同一組成の焼結体を粉砕して、前記凹部の開口部より小さく前記凹部の深さより大きい粉砕物を得る工程と、前記成形体の表面に形成された凹部に前記粉砕物の一部を挿入して前記成形体の表面に突状物を設ける工程とを含み、
第4工程において前記突状物が設けられた前記成形体を焼成する工程と
を含む請求項1記載の蒸着材の製造方法。 - 第5工程が、第4工程で成形体を焼成して焼結体を得た後に、前記焼結体の表面に機械研削処理又は化学浸食処理を施すことにより蒸着材の表面に突起を形成する工程である請求項1記載の蒸着材の製造方法。
- 請求項1ないし5いずれか1項に記載の方法により製造された蒸着材。
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