JP2011108948A - 粘着材供給装置及びその製造方法 - Google Patents
粘着材供給装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011108948A JP2011108948A JP2009264314A JP2009264314A JP2011108948A JP 2011108948 A JP2011108948 A JP 2011108948A JP 2009264314 A JP2009264314 A JP 2009264314A JP 2009264314 A JP2009264314 A JP 2009264314A JP 2011108948 A JP2011108948 A JP 2011108948A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon
- adhesive material
- resin layer
- material supply
- elastic resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/10—Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/11—Manufacturing methods
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/11—Manufacturing methods
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/1517—Multilayer substrate
- H01L2924/15172—Fan-out arrangement of the internal vias
- H01L2924/15174—Fan-out arrangement of the internal vias in different layers of the multilayer substrate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
【解決手段】シリコン基板部10と、シリコン基板部10の下面側に突出して設けられたシリコン転写ピン12と、シリコン転写ピン12の付け根部又は先端部に設けられて、上下方向に収縮する弾性樹脂層14とを含む。ディスペンス方式の粘着材供給装置のシリコンノズルの付け根部又は先端部に弾性樹脂層を設けてもよい。
【選択図】図4
Description
本発明の実施形態を説明する前に、本発明に関連する関連技術の問題点について説明する。図1〜図3は関連技術における配線基板の接続パッドにフラックスを転写する方法を示す断面図である。
図4は本発明の第1実施形態の粘着材供給装置を示す断面図、図5〜図10は同じく粘着材供給装置の製造方法を示す断面図、図11〜図14は同じく粘着材供給装置を使用して配線基板の接続パッドにフラックスを転写し、はんだバンプを形成する方法を示す断面図である。
最初に、図4(a)の第1の粘着材供給装置1aの第1の製造方法について説明する。
前述した第1、第2の粘着材供給装置1a,1bの第1の製造方法の代わりに、以下に示す第2の製造方法を使用してもよい。
次に、前述した図4(c)及び(d)の第3、第4の粘着材供給装置1c,1dの第1の製造方法について説明する。図7(a)に示すように、まず、下面にシリコン酸化層16が形成された第1シリコンウェハ10aを用意する。第1シリコンウェハ10aの厚みは100μm程度である。第1シリコンウェハ10aの上面にもシリコン酸化層が設けられていてもよい。
前述した第3、第4の粘着材供給装置1c,1dの第1の製造方法の代わりに、以下に示す第2の製造方法を使用してもよい。
第1実施形態では、前述した図4(c)の第3の粘着材供給装置1cを例に挙げて配線基板の接続パッドにフラックスを転写し、はんだバンプを形成する方法について説明する。
第1絶縁層40の下面には、端子用接続パッドC2を露出させる開口部44aが設けられたソルダレジスト44が形成されている。第1絶縁層40には端子用接続パッドC2に接続される第1ビアホールVH1が形成されている。
図15は本発明の第2実施形態の粘着材供給装置を示す断面図、図16〜図19は同じく粘着材供給装置の製造方法を示す断面図、図20及び図21は同じく粘着材供給装置を使用して配線基板の接続パッドにフラックスを供給し、はんだバンプを形成する方法を示す断面図である。
最初に、前述した図15(a)及び(b)の第1、第2の粘着材供給装置2a,2bの第1の製造方法について説明する。図16(a)に示すように、まず、厚みが200〜500μmのシリコンウェハ10aを用意する。
前述した第1、第2の粘着材供給装置2a,2bの第1の製造方法の代わりに、以下に示す第2の製造方法を使用してもよい。
次に、前述した図15(c)及び(d)の第2、第3の粘着材供給装置2c,2dの製造方法について説明する。
本実施形態では、前述した図15(c)の粘着材供給装置2cを例に挙げて配線基板の接続パッドにフラックスを供給し、はんだバンプを形成する方法について説明する。
Claims (12)
- シリコン基板部と、
前記シリコン基板部の下面側に突出して設けられたシリコン転写ピンと、
前記シリコン転写ピンの付け根部に設けられて、上下方向に収縮する弾性樹脂層とを有することを特徴とする粘着材供給装置。 - シリコン基板部と、
前記シリコン基板部の下面側に突出して設けられたシリコン転写ピンと、
前記シリコン転写ピンの先端部に設けられて、上下方向に収縮する弾性樹脂層とを有することを特徴とする粘着材供給装置。 - 前記シリコン転写ピンの先端部にシリコン酸化層が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の粘着材供給装置。
- 前記弾性樹脂層は、前記シリコン転写ピンの前記付け根部から前記シリコン基板部の下面全体に設けられていることを特徴とする請求項1又は3に記載の粘着材供給装置。
- 厚み方向に貫通する供給穴を備えたシリコン基板部と、
前記シリコン基板部の下面側に突出して設けられ、前記供給穴に連通する吐出穴を内部に備えたシリコンノズルと、
前記シリコンノズルの付け根部に設けられて前記供給穴及び前記吐出穴に連通する開口部を内部に備え、上下方向に収縮する弾性樹脂層とを有することを特徴とする粘着材供給装置。 - 厚み方向に貫通する供給穴を備えたシリコン基板部と、
前記シリコン基板部の下面側に突出して設けられ、前記供給穴に連通する吐出穴を内部に備えたシリコンノズルと、
前記シリコンノズルの先端部に設けられて前記吐出穴に連通する開口部を内部に備え、上下方向に収縮する弾性樹脂層とを有することを特徴とする粘着材供給装置。 - 前記弾性樹脂層は、前記シリコンノズルの付け根部から前記シリコン基板部の下面全体に設けられていることを特徴とする請求項5に記載の粘着材供給装置。
- 前記弾性樹脂層は、表面が粗化面となっていることを特徴とする請求項2又は6に記載の粘着材供給装置。
- シリコンウェハの一方の面に感光性樹脂をパターン化して形成する工程と、
前記感光性樹脂をマスクにして前記シリコンウェハを厚みの途中までエッチングすることにより、前記シリコンウェハから突出して設けられて、先端部に前記感光性樹脂からなる弾性樹脂層が形成されたシリコン転写ピンを形成する工程と有することを特徴とする粘着材供給装置の製造方法。 - 少なくとも下面側にシリコン酸化層が形成された第1シリコンウェハの上に、弾性樹脂層を介して第2シリコンウェハが貼り付けられた構造を作成する工程と、
前記第1シリコンウェハの下面側から前記シリコン酸化層及び前記第1シリコンウェハを貫通加工してパターン化することにより、前記弾性樹脂層から突出して設けられて、先端部に前記シリコン酸化層が設けられたシリコン転写ピンを得る工程とを有することを特徴とする粘着材供給装置の製造方法。 - シリコンウェハの一方の面に供給穴を形成するためのマスクとして機能する第1感光性樹脂をパターン化して形成すると共に、シリコンウェハの他方の面に前記供給穴に連通するシリコンノズルを形成するためのマスクとして機能する第2感光性樹脂をパターン化して形成する工程と、
前記シリコンウェハの両面側から前記第1感光性樹脂及び第2感光性樹脂をマスクにして前記シリコンウェハをそれぞれエッチングすることにより、厚み方向に貫通する前記供給穴を備えたシリコン基板部と、前記供給穴に連通する吐出穴を備えて、前記シリコン基板部から突出して設けられた前記シリコンノズルを得る工程とを有し、
前記シリコンノズルの先端部に残された前記第2感光性樹脂が弾性樹脂層として機能することを特徴とする粘着材供給装置の製造方法。 - 第1シリコンウェハを厚み方向に貫通加工することにより、供給穴を形成する工程と、
前記第1シリコンウェハの一方の面に前記供給穴に連通する開口部が設けられた弾性樹脂層を形成する工程と、
前記弾性樹脂層の露出面に第2シリコンウェハを貼り付ける工程と、
前記第2シリコンウェハをその露出面から厚み方向に貫通加工してパターン化することにより、前記弾性樹脂層の前記開口部に連通する吐出穴を内部に備えたシリコンノズルを前記弾性樹脂層から突出させて形成する工程とを有することを特徴とする粘着材供給装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009264314A JP5500954B2 (ja) | 2009-11-19 | 2009-11-19 | 粘着材供給装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009264314A JP5500954B2 (ja) | 2009-11-19 | 2009-11-19 | 粘着材供給装置及びその製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011108948A true JP2011108948A (ja) | 2011-06-02 |
JP2011108948A5 JP2011108948A5 (ja) | 2012-10-04 |
JP5500954B2 JP5500954B2 (ja) | 2014-05-21 |
Family
ID=44232099
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009264314A Active JP5500954B2 (ja) | 2009-11-19 | 2009-11-19 | 粘着材供給装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5500954B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014086693A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 粘着材供給装置及びその製造方法 |
KR101575641B1 (ko) | 2014-04-21 | 2015-12-08 | 주식회사 루멘스 | 솔더 패터닝 시스템 및 솔더 패터닝 방법 |
US9263414B2 (en) | 2013-02-27 | 2016-02-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flip chip packaging method, and flux head manufacturing method applied to the same |
KR102206228B1 (ko) * | 2020-03-27 | 2021-01-22 | (주)에스에스피 | 탄성패드를 이용한 플럭스툴 |
WO2021194093A1 (ko) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | (주) 에스에스피 | 탄성패드를 이용한 플럭스툴 |
EP4163041A1 (en) * | 2021-09-22 | 2023-04-12 | Fasford Technology Co., Ltd. | Dipping apparatus, die bonding apparatus, and manufacturing method for semiconductor device |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6415768U (ja) * | 1987-07-21 | 1989-01-26 | ||
JP2001135925A (ja) * | 1999-11-04 | 2001-05-18 | Nec Corp | フラックス供給装置及び供給方法 |
JP2004047874A (ja) * | 2002-07-15 | 2004-02-12 | Nec Semiconductors Kyushu Ltd | フラックス転写装置 |
JP2009043324A (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-26 | Toshiba Corp | 複製スタンパ、その製造方法、そのスタンパを用いて製造された磁気記録媒体が搭載される磁気記録装置、およびそのスタンパを用いて製造された光ディスク |
-
2009
- 2009-11-19 JP JP2009264314A patent/JP5500954B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6415768U (ja) * | 1987-07-21 | 1989-01-26 | ||
JP2001135925A (ja) * | 1999-11-04 | 2001-05-18 | Nec Corp | フラックス供給装置及び供給方法 |
JP2004047874A (ja) * | 2002-07-15 | 2004-02-12 | Nec Semiconductors Kyushu Ltd | フラックス転写装置 |
JP2009043324A (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-26 | Toshiba Corp | 複製スタンパ、その製造方法、そのスタンパを用いて製造された磁気記録媒体が搭載される磁気記録装置、およびそのスタンパを用いて製造された光ディスク |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014086693A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 粘着材供給装置及びその製造方法 |
US9263414B2 (en) | 2013-02-27 | 2016-02-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flip chip packaging method, and flux head manufacturing method applied to the same |
KR101575641B1 (ko) | 2014-04-21 | 2015-12-08 | 주식회사 루멘스 | 솔더 패터닝 시스템 및 솔더 패터닝 방법 |
KR102206228B1 (ko) * | 2020-03-27 | 2021-01-22 | (주)에스에스피 | 탄성패드를 이용한 플럭스툴 |
WO2021194093A1 (ko) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | (주) 에스에스피 | 탄성패드를 이용한 플럭스툴 |
US20230087608A1 (en) * | 2020-03-27 | 2023-03-23 | S.S.P. Inc. | Flux tool using elastic pad |
US11850683B2 (en) | 2020-03-27 | 2023-12-26 | S.S.P. Inc. | Flux tool using elastic pad |
EP4163041A1 (en) * | 2021-09-22 | 2023-04-12 | Fasford Technology Co., Ltd. | Dipping apparatus, die bonding apparatus, and manufacturing method for semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5500954B2 (ja) | 2014-05-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4444322B2 (ja) | 導電性ボールの搭載方法及び導電性ボール搭載装置 | |
JP5500954B2 (ja) | 粘着材供給装置及びその製造方法 | |
JP5636265B2 (ja) | 半導体パッケージ及びその製造方法 | |
JP2009182201A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5903920B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び電子装置の製造方法 | |
JP4636090B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2004327527A (ja) | 電子装置及びその製造方法並びに電子機器 | |
KR100990396B1 (ko) | 적층 웨이퍼 레벨 패키지 및 이의 제조 방법 | |
US7726544B2 (en) | Method of packaging flip chip and method of forming pre-solders on substrate thereof | |
JP2009182202A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010251346A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
TWI420610B (zh) | 半導體裝置及其製造方法 | |
JP2009152286A (ja) | 導電性ボールの搭載方法及び余剰ボール除去装置 | |
US20030036220A1 (en) | Printed circuit board having plating conductive layer with bumps and its manufacturing method | |
JP2009111063A (ja) | 貫通電極形成方法及び半導体チップ | |
JP2000306949A (ja) | 半導体装置及びその製造方法並びにその実装構造 | |
CN112447657A (zh) | 半导体装置以及半导体装置的制造方法 | |
JP3698223B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US20040123750A1 (en) | Sonic screen printing | |
JP2010129555A (ja) | 金属膜の転写供給方法 | |
JP2003023034A (ja) | フリップチップ実装方法 | |
JP5055900B2 (ja) | 印刷用マスクの拭き取り装置及び拭き取り方法 | |
JP2007253593A (ja) | スクリーン印刷方法 | |
JP2011082404A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3675435B2 (ja) | 半導体モジュールの製造方法および半導体モジュール製造用トレイ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120820 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120820 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130827 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130910 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131025 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140304 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140311 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5500954 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |