JP2011108948A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するため、本発明は粘着材供給装置に係り、シリコン基板部と、前記シリコン基板部の下面側に突出して設けられ、先端部にシリコン酸化層が形成されたシリコン転写ピンと、前記シリコン転写ピンの付け根部に設けられて、上下方向に収縮する弾性樹脂層とを有し、フラックスを供給することを特徴とする。

図６（ａ）に示すように、まず、シリコンウェハ１０ａの一方の面にレジスト１８をフォトリソグラフィでパターン化して形成する。次いで、図６（ｂ）に示すように、レジスト１８をマスクにしてシリコンウェハ１０ａを異方性ドライエッチングによって厚みの途中まで加工することにより、シリコン転写ピン１２を得る。その後に、図６（ｃ）に示すように、レジスト１８を除去する。

Claims (14)

1. シリコン基板部と、
   前記シリコン基板部の下面側に突出して設けられ、先端部にシリコン酸化層が形成されたシリコン転写ピンと、
   前記シリコン転写ピンの付け根部に設けられて、上下方向に収縮する弾性樹脂層とを有し、フラックスを供給することを特徴とする粘着材供給装置。
2. 前記弾性樹脂層は、前記シリコン転写ピンの前記付け根部から前記シリコン基板部の下面全体に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の粘着材供給装置。
3. シリコン基板部と、
   前記シリコン基板部の下面側に突出して設けられたシリコン転写ピンと、
   前記シリコン転写ピンの先端部に設けられ、シリコンよりもフラックスの濡れ性がよい上下方向に収縮する弾性樹脂層とを有し、前記フラックスを供給することを特徴とする粘着材供給装置。
4. 前記弾性樹脂層は、表面が粗化面となっていることを特徴とする請求項３に記載の粘着材供給装置。
5. 前記シリコン転写ピンと前記弾性樹脂層との間にシリコン酸化層が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の粘着材供給装置。
6. 厚み方向に貫通する供給穴を備えたシリコン基板部と、
   前記シリコン基板部の下面側に突出して設けられ、前記供給穴に連通する吐出穴を内部に備えたシリコンノズルと、
   前記シリコンノズルの付け根部に設けられて前記供給穴及び前記吐出穴に連通する開口部を内部に備え、上下方向に収縮する弾性樹脂層とを有することを特徴とする粘着材供給装置。
7. 厚み方向に貫通する供給穴を備えたシリコン基板部と、
   前記シリコン基板部の下面側に突出して設けられ、前記供給穴に連通する吐出穴を内部に備えたシリコンノズルと、
   前記シリコンノズルの先端部に設けられて前記吐出穴に連通する開口部を内部に備え、上下方向に収縮する弾性樹脂層とを有することを特徴とする粘着材供給装置。
8. 前記弾性樹脂層は、前記シリコンノズルの付け根部から前記シリコン基板部の下面全体に設けられていることを特徴とする請求項６に記載の粘着材供給装置。
9. 前記弾性樹脂層は、表面が粗化面となっていることを特徴とする請求項７に記載の粘着材供給装置。
10. シリコンウェハの一方の面に感光性樹脂をパターン化して形成する工程と、
    前記感光性樹脂をマスクにして前記シリコンウェハを厚みの途中までエッチングすることにより、前記シリコンウェハから突出して設けられて、先端部に前記感光性樹脂からなる弾性樹脂層が形成されたシリコン転写ピンを形成する工程と有することを特徴とする粘着材供給装置の製造方法。
11. 前記シリコンウェハと前記感光性樹脂との間にシリコン酸化層が形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の粘着材供給装置の製造方法。
12. 少なくとも一方の面にシリコン酸化層が形成された第１シリコンウェハの他方の面に、弾性樹脂層を介して第２シリコンウェハが貼り付けられた構造を作成する工程と、
    前記第１シリコンウェハの一方の面側から前記シリコン酸化層及び前記第１シリコンウェハを貫通加工してパターン化することにより、前記弾性樹脂層から突出して設けられて、先端部に前記シリコン酸化層が設けられたシリコン転写ピンを得る工程とを有することを特徴とする粘着材供給装置の製造方法。
13. シリコンウェハの一方の面に供給穴を形成するためのマスクとして機能する第１感光性樹脂をパターン化して形成すると共に、シリコンウェハの他方の面に前記供給穴に連通するシリコンノズルを形成するためのマスクとして機能する第２感光性樹脂をパターン化して形成する工程と、
    前記シリコンウェハの両面側から前記第１感光性樹脂及び第２感光性樹脂をマスクにして前記シリコンウェハをそれぞれエッチングすることにより、厚み方向に貫通する前記供給穴を備えたシリコン基板部と、前記供給穴に連通する吐出穴を備えて、前記シリコン基板部から突出して設けられた前記シリコンノズルを得る工程とを有し、
    前記シリコンノズルの先端部に前記第２感光性樹脂を残すことを特徴とする粘着材供給装置の製造方法。
14. 第１シリコンウェハを厚み方向に貫通加工することにより、供給穴を形成する工程と、
    前記第１シリコンウェハの一方の面に前記供給穴に連通する開口部が設けられた弾性樹脂層を形成する工程と、
    前記弾性樹脂層の露出面に第２シリコンウェハを貼り付ける工程と、
    前記第２シリコンウェハをその露出面から厚み方向に貫通加工してパターン化することにより、前記弾性樹脂層の前記開口部に連通する吐出穴を内部に備えたシリコンノズルを前記弾性樹脂層から突出させて形成する工程とを有することを特徴とする粘着材供給装置の製造方法。