JP2011100825A - 電子デバイスの中空樹脂パッケージの形成方法および形成装置 - Google Patents
電子デバイスの中空樹脂パッケージの形成方法および形成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011100825A JP2011100825A JP2009253939A JP2009253939A JP2011100825A JP 2011100825 A JP2011100825 A JP 2011100825A JP 2009253939 A JP2009253939 A JP 2009253939A JP 2009253939 A JP2009253939 A JP 2009253939A JP 2011100825 A JP2011100825 A JP 2011100825A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- forming
- resin package
- hollow resin
- electronic device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】チップ6が搭載された基板7を、第3の金型3の、第1の金型1の凹部13が形成された面と対向可能な面に配置し、第1の金型1と第2の金型2を接合させて形成するキャップのカバー部5a形成用のキャビティ内に樹脂材料を充填して固化させ、カバー部5aを成形する。その成形されたカバー部5aを第1の金型1の内側に保持した状態で、第1の金型1と第4の金型4と第3の金型3とを順番に積層して、カバー部5aを、第3の金型3に配置された基板7上に配置する。そして、カバー部5aが基板7上に配置された状態で、カバー部5aと第4の金型4との間に樹脂材料を充填して固化させ、カバー部5aの外周に位置する接合部を成形する。
【選択図】図5
Description
2 第2の金型
3 第3の金型
4 第4の金型
4a孔部
5 キャップ
5aカバー部
5b接合部
6 チップ
7 基板
13凹部
14突起部
15溝
41スライド機構
Claims (19)
- 一方の面に凹部が形成された第1の金型と、前記第1の金型の前記一方の面と対向可能な第2の金型、第3の金型、および第4の金型とを有し、前記第2の金型の、前記第1の金型の前記一方の面と対向可能な面には、突起部と、前記突起部の外周に位置する溝とが設けられており、前記第4の金型は、前記第1の金型と前記第3の金型との間に介在することができ、孔部を有する筒状である、電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成装置を用いる電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成方法であって、
チップが搭載された基板を、前記第3の金型の、前記第1の金型の前記一方の面と対向可能な面に配置する工程と、
前記第1の金型と前記第2の金型を接合させて前記凹部と前記突起部との間の隙間と前記溝とによってキャップのカバー部形成用のキャビティを構成し、該キャビティ内に樹脂材料を充填して固化させることによりキャップのカバー部を成形する工程と、
成形された前記カバー部を前記第1の金型の前記凹部の内側に付着させて保持した状態で、該第1の金型と前記第4の金型と前記第3の金型とを順番に積層して、前記第1の金型に保持された前記カバー部を、前記第4の金型の前記孔部を介して前記第3の金型に配置された前記基板上に配置する工程と、
前記カバー部が前記基板上に配置された状態で、前記カバー部と前記第4の金型の前記孔部の壁面との間に樹脂材料を充填して固化させ、前記カバー部の外周に位置する接合部を成形する工程と、
を含み、
前記カバー部を前記基板上に配置する工程では、前記カバー部によって、前記チップに対して間隔をおいた状態で該チップを覆い、
前記接合部を形成する工程では、前記接合部を前記カバー部と一体化させることによって前記キャップを完成させるとともに、前記接合部によって前記キャップと前記基板とを接合する、電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成方法。 - 前記第3の金型を、前記第1の金型の前記一方の面に対向する位置に固定し、
前記第1の金型の前記一方の面と間隔を置いた位置に設けられた、前記第2の金型および前記第4の金型を支持しているスライド機構を移動させることにより、前記カバー部を成形する工程では、前記第2の金型を前記第1の金型と対向する位置に配置し、前記接合部を成形する工程では、前記第4の金型を前記第1の金型と対向する位置に配置する、請求項1に記載の電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成方法。 - 前記第2の金型および前記第4の金型を、前記スライド機構に設けられたスプリングを有する機構部で支持し、
前記カバー部を成形する工程では、前記第1の金型を前記第3の金型側に移動させて前記第2の金型の前記スプリングを押し込み、前記第1の金型と前記第2の金型と前記第3の金型とを順に積層させ、前記カバー部を成形した後は、前記第1の金型を前記第3の金型と離間させることで、前記第2の金型を、押し込まれていた前記スプリングの弾性力で前記第3の金型から離間させ、
前記接合部を成形する工程では、前記第1の金型を前記第3の金型側に移動させて前記第4の金型の前記スプリングを押し込み、前記第1の金型と前記第4の金型と前記第3の金型とを順に積層させ、前記接合部を成形した後は、前記第1の金型を前記第3の金型と離間させることで、前記第4の金型を、押し込まれていた前記スプリングの弾性力で前記第3の金型から離間させる、請求項2に記載の電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成方法。 - 前記第1の金型の前記一方の面と間隔を置いた位置に設けられた、前記第2の金型と、前記第3の金型と、スプリングを有する機構部により支持され、前記第3の金型に対応する位置に前記第4の金型とが設けられたスライド機構を移動させ、前記第2の金型または前記第4の金型を前記第1の金型の一方の面と対向する位置に配置する、請求項1に記載の電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成方法。
- 前記カバー部を成形する工程では、前記スライド機構を移動させて、前記第2の金型を前記第1の金型と対向させてから、前記第1の金型と前記第2の金型とを当接させ、
前記接合部を成形する工程では、前記スライド機構を移動させて、前記第4の金型を前記第1の金型と対向させてから、前記第1の金型を前記第3の金型側に移動させて前記第4の金型の前記スプリングを押し込み、前記第1の金型と前記第4の金型と前記第3の金型とを順に積層させ、前記接合部を成形した後は、前記第1の金型を前記第3の金型と離間させることで、前記第4の金型を、押し込まれていた前記スプリングの弾性力で前記第3の金型から離間させる、請求項4に記載の電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成方法。 - 前記スライド機構に駆動源を設け、前記駆動源により前記スライド機構を移動させる、請求項2から5のいずれか1項に記載の電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成方法。
- 前記第4の金型の高さを、前記第2の金型の溝の高さよりも高くする、請求項1から6のいずれか1項に記載の電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成方法。
- スライド機構を設けた台座に一方の端部が接続され、前記台座と間隔をおいて対向する位置に配置した台に他方の端部が接続されている複数の軸を設けて、
前記ヒータ部の、前記第1の金型との当接面とは反対の面に設けられ、前記台の前記台座とは反対の面に設けた駆動源と可動軸を介して接続される可動台を前記軸に貫通させて、
前記第1の金型の他方の面をヒータ部と当接させ、前記第1の金型を加熱しながら、前記駆動源を駆動させて前記軸に沿って前記可動台および前記第1の金型を移動させる、請求項1から7のいずれか1項に記載の電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成方法。 - 前記第1の金型、第2の金型、第3の金型、第4の金型のうち少なくとも1つを形成装置本体から取り外し、別の大きさの金型に交換することで、さまざまなサイズの中空樹脂パッケージを形成することが可能である、請求項1から8のいずれか1項に記載の電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成方法。
- 前記樹脂材料は熱硬化性樹脂、または熱硬化性樹脂と熱可塑性樹脂を混ぜたものである、請求項1から9のいずれか1項に記載の中空樹脂パッケージの形成方法。
- 一方の面に凹部が形成された第1の金型と、
前記第1の金型の前記一方の面に対向する位置を、前記第1の金型の前記一方の面と間隔をおいて移動可能なスライド機構と、
前記スライド機構に支持され、または前記第1の金型の前記一方の面と対向する位置に固定されており、前記第1の金型の前記一方の面と対向可能な面に、チップが搭載された基板を配置可能な第3の金型と、
前記スライド機構に支持され、前記第1の金型の前記一方の面と対向可能な面に、突起部と、前記突起部の外周に位置する溝とが設けられている第2の金型と、
前記スライド機構に支持され、前記第1の金型と前記第3の金型との間に介在することができる、孔部を有する筒状の第4の金型とを有し、
前記第1の金型は、前記第2の金型、前記第3の金型、前記第4の金型に対してそれぞれ接近および離間可能であり、
前記第2の金型の前記突起部は、前記第1の金型の前記凹部の平面形状よりも小さく、かつ前記第3の金型上に配置される基板上のチップの平面形状よりも大きい平面形状を有するとともに、前記第3の金型上に配置される前記基板上の前記チップの高さよりも大きく、かつ前記第1の金型と前記第2の金型が接合した状態で前記凹部の内面と当接しない高さとを有し、
前記第4の金型は、前記第2の金型の前記溝の深さよりも大きい高さを有するとともに、前記第4の金型の前記孔部は、前記第1の金型の前記凹部の平面形状よりも小さい平面形状を有し、
前記スライド機構は、前記第1の金型と前記第2の金型とが対向した状態と、前記第1の金型と前記第4の金型と前記第3の金型とが順番に重なるように対向した状態とを可能にするように、少なくとも前記第2の金型と前記第4の金型を移動させることができるものであり、
前記第1の金型と前記第2の金型が接合した状態で、前記凹部と前記突起部との間の隙間と前記溝とによって、キャップのカバー部形成用のキャビティが構成される、
電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成装置。 - 前記第3の金型は、前記第1の金型の前記一方の面に対向する位置に固定されており、前記第2の金型と前記第4の金型は、前記スライド機構に設けられたスプリングを有する機構部により支持され、前記第3の金型上に配置された基板の高さよりも高い位置に設けられている、請求項11に記載の電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成装置。
- 前記第2の金型の前記突起部が設けられているのとは反対の面であり、前記第2の金型と前記第3の金型とが接するときに前記チップと対向する位置に、前記チップよりも大きな窪みが設けられている、請求項12に記載の電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成装置。
- 前記第2の金型は前記スライド機構上に配置されており、
前記第4の金型が前記スライド機構上に設けられたスプリングを有する機構部により支持されており、
前記スライド機構上であり、かつ該スライド機構と前記第4の金型との間に前記第3の金型が配置されている、請求項11に記載の電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成装置。 - 前記第1の金型の前記凹部の側部には、前記第1の金型の外部に至る、樹脂材料を流入させるための流路を構成するランナーが設けられている、請求項11から14のいずれか1項に記載の電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成装置。
- 前記スライド機構が設けられた台座と、前記台座と間隔をおいて対向する台とが設けられており、前記台座と前記台との間に複数の軸が設けられ、前記軸の一方の端部は前記台座に接続され、前記軸の他方の端部は前記台に接続されており、前記第1の金型の前記凹部が設けられているのとは反対の面にはヒータを有するヒータ部が取り付けられており、前記ヒータ部の前記第1の金型と当接しているのとは反対の面には、前記軸に貫通され、前記軸に沿って移動可能な可動台が取り付けられている、請求項11から15のいずれか1項に記載の電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成装置。
- 前記台の前記台座とは反対の面には、可動台と接続する可動軸を移動させる駆動源が設けられている、請求項16に記載の電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成装置。
- 前記スライド機構には駆動源が設けられている、請求項11から17のいずれか1項に記載の電子デバイス用中空樹脂パッケージの形成装置。
- 前記第1の金型、第2の金型、および第4の金型はそれぞれ形成装置本体から取り外しが可能である、請求項11から18のいずれか1項に記載の中空樹脂パッケージの形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009253939A JP5495176B2 (ja) | 2009-11-05 | 2009-11-05 | 中空樹脂パッケージの形成方法および形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009253939A JP5495176B2 (ja) | 2009-11-05 | 2009-11-05 | 中空樹脂パッケージの形成方法および形成装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011100825A true JP2011100825A (ja) | 2011-05-19 |
JP2011100825A5 JP2011100825A5 (ja) | 2012-12-20 |
JP5495176B2 JP5495176B2 (ja) | 2014-05-21 |
Family
ID=44191791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009253939A Expired - Fee Related JP5495176B2 (ja) | 2009-11-05 | 2009-11-05 | 中空樹脂パッケージの形成方法および形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5495176B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013187450A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Nec Corp | 中空パッケージ成型用の金型、中空パッケージ及びその製造方法 |
JP2013193388A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Nec Corp | 射出成型機及び金型並びに中空封止構造の製造方法 |
US20140166352A1 (en) * | 2011-09-26 | 2014-06-19 | Nec Corporation | Hollow sealing structure |
JP2015214125A (ja) * | 2014-05-13 | 2015-12-03 | キヤノン株式会社 | トランスファ成形方法、トランスファ成形装置および成形品 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04299609A (ja) * | 1991-03-28 | 1992-10-22 | Toshiba Corp | 電子部品の製造方法 |
JPH06188672A (ja) * | 1992-12-21 | 1994-07-08 | Toshiba Corp | 電子部品装置 |
JP2001044228A (ja) * | 1999-07-29 | 2001-02-16 | Japan Steel Works Ltd:The | 電子部品の成形方法 |
-
2009
- 2009-11-05 JP JP2009253939A patent/JP5495176B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04299609A (ja) * | 1991-03-28 | 1992-10-22 | Toshiba Corp | 電子部品の製造方法 |
JPH06188672A (ja) * | 1992-12-21 | 1994-07-08 | Toshiba Corp | 電子部品装置 |
JP2001044228A (ja) * | 1999-07-29 | 2001-02-16 | Japan Steel Works Ltd:The | 電子部品の成形方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140166352A1 (en) * | 2011-09-26 | 2014-06-19 | Nec Corporation | Hollow sealing structure |
US9125311B2 (en) * | 2011-09-26 | 2015-09-01 | Nec Corporation | Hollow sealing structure |
JP2013187450A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Nec Corp | 中空パッケージ成型用の金型、中空パッケージ及びその製造方法 |
JP2013193388A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Nec Corp | 射出成型機及び金型並びに中空封止構造の製造方法 |
JP2015214125A (ja) * | 2014-05-13 | 2015-12-03 | キヤノン株式会社 | トランスファ成形方法、トランスファ成形装置および成形品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5495176B2 (ja) | 2014-05-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI692999B (zh) | 攝像模組的模塑電路板及其製造設備和製造方法 | |
JP6444381B2 (ja) | 樹脂モールド金型および樹脂モールド方法 | |
KR101440218B1 (ko) | 수지봉지 성형장치 | |
JP2018130026A (ja) | 磁石埋込み型コアの製造装置 | |
JP5495176B2 (ja) | 中空樹脂パッケージの形成方法および形成装置 | |
US20080230950A1 (en) | Resin sealing method, mold for resin sealing, and resin sealing apparatus | |
JP7189990B2 (ja) | 撮像モジュールのモールド回路基板の製造装置およびその製造方法 | |
JP2001185568A (ja) | 半導体装置の製造方法及びこの方法に用いる分割金型 | |
JP5799422B2 (ja) | 樹脂モールド方法および樹脂モールド装置 | |
CN103296990A (zh) | 基体、电子器件的制造方法以及电子设备 | |
TW201910091A (zh) | 樹脂成型裝置及樹脂成型品的製造方法 | |
JP5065747B2 (ja) | 半導体パッケージの製造方法及び製造装置 | |
KR20190017684A (ko) | 수지 성형품의 반송 기구, 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법 | |
JP6470599B2 (ja) | 成形金型 | |
TWI657910B (zh) | 樹脂成形模具、樹脂成形方法、及成形品的製造方法 | |
JP5218573B2 (ja) | 樹脂成形装置 | |
JP5870385B2 (ja) | 成形金型および樹脂封止装置 | |
JP2011100825A5 (ja) | 中空樹脂パッケージの形成方法および形成装置 | |
JP5771865B2 (ja) | モールド金型 | |
WO2013153721A1 (ja) | 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 | |
JP2006168256A (ja) | 樹脂成形型及び樹脂成形方法 | |
CN109689330B (zh) | 压缩成型装置、压缩成型方法、及压缩成型品的制造方法 | |
JP2014237260A (ja) | プラスチックレンズ及びレンズユニット並びにプラスチックレンズの製造金型 | |
JP6404734B2 (ja) | 樹脂成形方法、樹脂成形金型、および成形品の製造方法 | |
JP2000286279A (ja) | 樹脂封止装置及び封止方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121102 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121102 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130404 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130416 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130521 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140210 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5495176 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140223 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |