JP2011091297A - 静電チャック - Google Patents
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Abstract
【解決手段】静電チャック10は、ベース部材11と、被加工物Wを吸着保持する静電チャック基板17との間にヒータ13が挟み込まれ、このヒータ13が接着層14を介在させてベース部材11に接着された構造を有している。ヒータ13とベース部材11の間に介在する接着層14は、熱伝導率の高い接着剤を硬化させてなる第1の接着剤層15と、該接着剤よりも粘度の低い接着剤を硬化させてゲル状にした第2の接着剤層16とが積層された構造を有している。第1、第2の各接着剤層15,16の材料として、好適には、同じシリコーン系の樹脂が使用される。
【選択図】図1
Description
11…ベースプレート(金属製の基盤/ベース部材)、
13…ヒータ、
14,14a,14b…ヒータ接着層、
15,15a,15b…接着剤層(第1の接着剤層)、
16…接着剤層(応力緩和層/第2の接着剤層)、
17…静電チャック(ESC)基板、
17S…吸着面、
18…基板接着層、
W…(加工処理対象の)ウエハ。
Claims (5)
- 金属製のベース部材と、被加工物を吸着保持する静電チャック基板との間にヒータが挟み込まれ、前記ヒータが接着層を介在させて前記ベース部材に接着された構造を有する静電チャックにおいて、
前記接着層は、熱伝導率の高い接着剤を硬化させてなる第1の接着剤層と、該接着剤よりも粘度の低い接着剤を硬化させてゲル状にした第2の接着剤層とが積層された構造を有することを特徴とする静電チャック。 - 前記第1、第2の各接着剤層の材料として、同じシリコーン系の樹脂を使用したことを特徴とする請求項1に記載の静電チャック。
- 前記第1の接着剤層は前記ヒータに接着され、前記第2の接着剤層は前記ベース部材に接着されていることを特徴とする請求項2に記載の静電チャック。
- 前記第1の接着剤層は前記ベース部材に接着され、前記第2の接着剤層は前記ヒータに接着されていることを特徴とする請求項2に記載の静電チャック。
- 前記接着層は、前記ヒータ及び前記ベース部材にそれぞれ接着された前記第1の接着剤層の間に前記第2の接着剤層が挟み込まれた構造を有することを特徴とする請求項2に記載の静電チャック。
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