JP2017112298A - 静電チャックの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
A−1.静電チャック10の構成:
図1は、第1実施形態における静電チャック10の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、第1実施形態における静電チャック10のXZ断面構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック10は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。図3以降についても同様である。
次に、第1実施形態における静電チャック10の製造方法を説明する。図3は、第1実施形態における静電チャック10の製造方法を示すフローチャートである。また、図4から図6は、第1実施形態における静電チャック10の製造方法を示す概略図である。
第1実施形態における静電チャック10の製造方法によれば、以下の効果を奏する。図7および図8は、比較例における静電チャック10の製造方法を示す概略図である。ベース板200は、その内部に冷媒流路210(図2)が形成されており、金属製で、厚さも比較的厚いため、凹凸やうねりが生じやすい。また、セラミックス板100にも凹凸やうねりが生じ得る。ベース板200およびセラミックス板100の両方に凹凸やうねりが存在する場合に、図7に示す比較例のように、ベース板200とセラミックス板100との一方のみ(図7の例ではベース板200のみ)にシート状接着剤Asを貼り付け、図8に示すようにシート状接着剤Asを硬化させて接着層300を形成すると、製造された静電チャック10において、シート状接着剤Asが貼り付けられた方の部材(ベース板200)の凹凸やうねりは緩和されるものの、他方の部材(セラミックス板100)の凹凸やうねりは効果的に緩和されず、接着層300が他方の部材(セラミックス板100)の表面(セラミックス側接着面S2)に密着しない箇所が生じ、当該箇所において伝熱性が低下する場合がある。このような場合には、ベース板200の冷媒流路210に冷媒を流してベース板200を冷却し、これによってセラミックス板100を冷却する際に、伝熱性が低下した箇所においてセラミックス板100の冷却が十分になされず、セラミックス板100における温度分布の均一性が低下し、ひいては、吸着面Ssに保持されたウェハWの温度分布の均一性が低下するおそれがある。本実施形態の静電チャック10の製造方法は、ベース板200のベース側接着面S1に第1のシート状接着剤As1を貼り付け、セラミックス板100のセラミックス側接着面S2に第2のシート状接着剤As2を貼り付ける工程を備えるため、ベース板200とセラミックス板100との両方に凹凸やうねりが存在しても、第1のシート状接着剤As1によってベース板200の凹凸やうねりが緩和され、かつ、第2のシート状接着剤As2によってセラミックス板100の凹凸やうねりが緩和され、接着層300がベース板200のベース側接着面S1やセラミックス板100のセラミックス側接着面S2に密着しない箇所が生ずることが抑制され、セラミックス板100における温度分布の均一性が低下することを抑制することができる。
図9から図11は、第2実施形態における静電チャック10の製造方法を示す概略図である。以下では、第2実施形態における静電チャック10の製造方法の内、上述した第1実施形態における静電チャック10の製造方法と同一内容については、その説明を適宜省略する。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (6)
- 第1の表面を有する板状であり、内部に冷媒流路が形成されたベース板と、第2の表面を有する板状であり、前記第2の表面が前記ベース板の前記第1の表面に対向するように配置された他の部材と、前記ベース板の前記第1の表面と前記他の部材の前記第2の表面との間に配置され、前記ベース板と前記他の部材とを接着する接着層と、を備える静電チャックの製造方法において、
前記ベース板の前記第1の表面に、第1のシート状接着剤を貼り付ける工程と、
前記他の部材の前記第2の表面に、第2のシート状接着剤を貼り付ける工程と、
前記ベース板の前記第1の表面と前記他の部材の前記第2の表面とを前記第1のシート状接着剤および前記第2のシート状接着剤を介して貼り合わせた状態で、前記第1のシート状接着剤および前記第2のシート状接着剤を硬化させることにより、前記接着層を形成する工程と、
を備えることを特徴とする、静電チャックの製造方法。 - 請求項1に記載の静電チャックの製造方法において、
前記第1のシート状接着剤の厚さは、前記第2のシート状接着剤の厚さと略同一であることを特徴とする、静電チャックの製造方法。 - 請求項1に記載の静電チャックの製造方法において、
前記ベース板が前記他の部材より厚い場合には、前記第1のシート状接着剤は前記第2のシート状接着剤より厚く、
前記ベース板が前記他の部材より薄い場合には、前記第1のシート状接着剤は前記第2のシート状接着剤より薄いことを特徴とする、静電チャックの製造方法。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の静電チャックの製造方法において、
前記第1のシート状接着剤および前記第2のシート状接着剤は、接着成分と粉末成分とを含み、
前記第1のシート状接着剤における前記接着成分の含有割合である接着成分割合(%)の値と、前記第2のシート状接着剤における前記接着成分の含有割合である接着成分割合(%)の値との差の絶対値は20(%)以下であることを特徴とする、静電チャックの製造方法。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の静電チャックの製造方法において、
前記第1のシート状接着剤および前記第2のシート状接着剤は、接着成分と粉末成分とを含み、
前記第1のシート状接着剤に含まれる前記接着成分と、前記第2のシート状接着剤に含まれる前記接着成分とは、同一材料であることを特徴とする、静電チャックの製造方法。 - 請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の静電チャックの製造方法において、
前記他の部材は、セラミックスで形成されたセラミックス板であることを特徴とする、静電チャックの製造方法。
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