JP6530729B2 - 半硬化接着剤の製造方法、および、複合体の製造方法 - Google Patents
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A−1.静電チャック100の構成:
図1は、本実施形態における静電チャック100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、本実施形態における静電チャック100のXZ断面構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
次に、本実施形態における静電チャック100の製造方法を説明する。図3は、本実施形態における静電チャック100の製造方法を示すフローチャートである。はじめに、セラミックス板10とベース板20とを準備する(S110)。上述したように、セラミックス板10はセラミックスにより形成され、ベース板20はセラミックスと複合材用アルミニウム合金とから構成される複合材料により形成される。なお、セラミックス板10およびベース板20は、公知の製造方法によって製造可能であるため、ここでは製造方法の説明を省略する。
<粘弾性条件>
動的粘弾性測定において、損失正接tanδが1であるときの温度上昇に対するlog(|η*|)の変化率が0.18以下である。
ただし、
損失正接tanδ=粘性項η’/剛性項η’’
・粘性項η’:複素粘度η*(η*=η’−iη’’、但し、iは虚数単位である)の実部
・剛性項η’’:複素粘度η*の虚部
動的粘弾性測定の測定条件は、例えば次の通りである。
・接着ペーストを、直径15(mm)の2枚の円板の間に挟む
・歪み0.1(%)
・昇温速度1(℃/分)
・角周波数6.28(rad/秒)
上述した製造方法で使用される樹脂接着剤(接着ペースト、接着シート)を対象に、以下に説明する性能評価を行った。図6は、性能評価の結果を示す説明図である。
図6に示すように、性能評価では、実施例1〜6および比較例1〜3の樹脂組成物を準備し、各樹脂組成物から接着ペーストを作製し、接着ペーストを半硬化させて接着シートを形成し、接着シートを本硬化させて接着層を形成する。
各実施例および各比較例の接着ペーストの作製方法は、次の通りである。ビニルシリル基を備えたオルガノポリシロキサンと、ヒドロシリル基を備えたオルガノポリシロキサンとを、それぞれの官能基が当量(1:1)になるように配合し、触媒として白金触媒を白金の重量で20ppm添加する。これにより、接着ペーストが作製される。接着ペーストの硬化速度は、充填剤の種類と量とによっても調整でき、同じ種類の充填剤を使用した場合、添加量が多いほど、硬化速度が遅くなる傾向にある。熱伝導率や強度の制御のための充填剤としてアルミナ(Al2O3)粒子を使用し、粘度調整のための充填剤としてシリカ粒子を使用する。
・1分子中に少なくとも2個の脂肪族不飽和炭化水素基を有するオルガノポリシロキサン
・1分子中に2個以上のケイ素原子に結合した水素原子(即ち、SiH基)を有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン
・白金族金属触媒
・1分子中に2個以上のケイ素原子に結合したアルコキシル基(即ち、Si−OR基)を有するシランカップリング剤
・アルミナ粒子を49wt%
・シリカ粒子を1wt%
樹脂組成物における充填剤の含有量を変更することで、温度上昇に対する流動性の変化(複素粘度の温度依存性)を変更することができる。このため、図6に示すように、実施例2〜6および比較例1〜3の各樹脂組成物は、実施例1に対して充填剤(アルミナ粒子、シリカ粒子)の含有量が異なっている。
各実施例および各比較例の接着シートの形成方法(接着ペーストの半硬化(シート化)方法)は、次の通りである。上述のように作製した接着ペーストをポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの上に塗り広げる。塗り広げる方法は、公知の方法を用いることができ、本性能評価では、ドクターブレードを用いる。次に、PETフィルムに塗り広げられた接着ペーストを所定の大きさに切断し、その後、切断されたPETフィルム付の接着ペーストを乾燥機によって所定の時間、所定の温度で加熱することによって接着ペーストを硬化させる。これにより、PETフィルム付の接着シートが形成される。なお、加熱中において、埃の付着を防ぐなどの必要に応じて、各接着ペーストをカバーフィルムで覆ってもよい。
形成された実施例1〜6および比較例1〜3のPETフィルム付の接着シートについて、接着性を有しつつ形状の安定性が高い樹脂接着剤であるか否かを判断するために、シート化(半硬化)の評価と、硬化の均一性の評価とを行う。
シート化の評価では、実施例1〜6および比較例1〜3のPETフィルム付の接着シートについて、剥離性試験と接着性試験とを行った。
接着シートの剥離性試験では、接着シートのPETフィルムが付いていない面に例えばアルミニウム板を配置してゴムロール等によって押圧することによって接着シートをアルミニウム板に貼り付ける。その後、接着シートからPETフィルムを剥離する。そして、次の貼付条件と剥離条件との両方を満たした場合に、剥離性は良好であると評価する。
貼付条件:アルミニウム板に貼り付ける際に、接着シートがほとんど広がらない。
剥離条件:PETフィルムを剥離する際に、接着シートが、全面にわたって破れることなく、かつ、PETフィルムに残ることなくアルミニウム板に均等に転写、付着できる。
硬化の均一性の評価では、上述の作製した接着ペーストを直径30(mm)のシャーレに厚さが5(mm)〜10(mm)程度になるように入れて、接着ペーストの表面が平らになるまで放置する。その後、接着ペーストが入ったシャーレを、乾燥機によって150(℃)で加熱して接着ペーストを硬化させ、その硬化体を観察する。硬化体の表面が平らで、凹凸、歪み、割れ、硬さのばらつきなどが無かった場合、硬化の均一性は良好であると評価する。逆に、硬化体の表面が平らでなく何らかの異常があった場合、硬化の均一性は不良であると評価する。接着ペーストの硬化速度が速すぎると、接着ペーストが均等に硬化しないため、硬化体の表面の凹凸や歪みが発生すると考えられる。
図6に示すように、比較例1〜3では、充填剤(アルミナ粒子、シリカ粒子)の含有量がほぼゼロであり、硬化開始温度T1におけるlog(|η*|)の変化率は、0.20〜0.28である。また、比較例1〜3では、シート化の評価と硬化の均一性の評価との両方が「×」と評価されている。これに対して、実施例1〜6では、充填剤の含有量が10%以上であり、硬化開始温度T1におけるlog(|η*|)の変化率は、0.05〜0.18であり、比較例1〜3に比べて小さい。また、実施例1〜6では、シート化の評価と硬化の均一性の評価との両方が「○」と評価されている。
上述したように、本願の発明者は、樹脂接着剤の動的粘弾性測定の結果に基づき、当該樹脂接着剤の硬化速度を評価し、その評価結果から適正硬化速度の樹脂接着剤を効率よく準備する方法を見出した。すなわち、損失正接tanδが1であるときの温度は、硬化開始温度T1を意味する。複素粘度η*の絶対値(|η*|)は、接着剤の流動性を示すものであり、|η*|が大きいほど、流動性が低いことを意味する。温度上昇に対する|η*|の変化率(傾き)は、樹脂接着剤の硬化速度を意味する。これらのことから、本願の発明者は、損失正接tanδが1であるときの温度上昇に対するlog(|η*|)の変化率から、樹脂接着剤の硬化開始温度T1における硬化速度を特定し、その特定結果から、接着性を有しつつ形状の安定性が高い接着シートを形成することができることを見出した。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
歪み0.1(%)、昇温速度1(℃/分)、角周波数6.28(rad/秒)の条件で行われる動的粘弾性測定において、損失正接tanδ(tanδ=η’/η’’、但し、η’は複素粘度η*(η*=η’−iη’’、但し、iは虚数単位である)の実部であり、η’’は前記複素粘度η*の虚部である。)が1であるときの温度上昇に対するlog(|η*|)の変化率が0.18以下である半硬化前の樹脂接着剤を硬化させることにより形成されたものであることを特徴とする、半硬化接着剤。
Claims (5)
- 半硬化接着剤の製造方法において、
歪み0.1(%)、昇温速度1(℃/分)、角周波数6.28(rad/秒)の条件で行われる動的粘弾性測定において、損失正接tanδ(tanδ=η’/η’’、但し、η’は複素粘度η*(η*=η’−iη’’、但し、iは虚数単位である)の実部であり、η’’は前記複素粘度η*の虚部である。)が1であるときの温度上昇に対するlog(|η*|)の変化率が0.18以下であり、熱硬化性樹脂を含む半硬化前の樹脂接着剤を準備する工程と、
前記半硬化前の樹脂接着剤を、前記損失正接tanδが1であるときの温度の±15(℃)の温度範囲内で加熱することによって半硬化させて前記半硬化接着剤を形成する工程と、を備えることを特徴とする、半硬化接着剤の製造方法。 - 請求項1に記載の半硬化接着剤の製造方法において、
前記半硬化前の樹脂接着剤を準備する工程において、前記温度上昇に対するlog(|η*|)の変化率が0.05以上であることを特徴とする、半硬化接着剤の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載の半硬化接着剤の製造方法において、
前記熱硬化性樹脂は、熱硬化性シリコーン樹脂であることを特徴とする、半硬化接着剤の製造方法。 - 請求項3に記載の半硬化接着剤の製造方法において、
前記熱硬化性シリコーン樹脂は、付加硬化型熱硬化性シリコーン樹脂であることを特徴とする、半硬化接着剤の製造方法。 - 第1の部材と、第2の部材と、前記第1の部材と前記第2の部材とを接着する接着層とを備える複合体の製造方法において、
歪み0.1(%)、昇温速度1(℃/分)、角周波数6.28(rad/秒)の条件で行われる動的粘弾性測定において、損失正接tanδ(tanδ=η’/η’’、但し、η’は複素粘度η*(η*=η’−iη’’、但し、iは虚数単位である)の実部であり、η’’は前記複素粘度η*の虚部である。)が1であるときの温度上昇に対するlog(|η*|)の変化率が0.18以下であり、熱硬化性樹脂を含む半硬化前の樹脂接着剤を準備する工程と、
前記半硬化前の樹脂接着剤を、前記損失正接が1であるときの温度の±15(℃)の温度範囲内で加熱して半硬化させて半硬化接着剤を形成する工程と、
前記半硬化接着剤を、前記第1の部材と前記第2の部材との間に配置する工程と、
前記第1の部材と前記第2の部材との間に配置された前記半硬化接着剤を硬化させることにより前記接着層を形成する工程と、を備えることを特徴とする、複合体の製造方法。
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