JP2011064880A - 低コスト・高生産性を実現する液晶パネル - Google Patents

低コスト・高生産性を実現する液晶パネル Download PDF

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JP2011064880A JP2009214462A JP2009214462A JP2011064880A JP 2011064880 A JP2011064880 A JP 2011064880A JP 2009214462 A JP2009214462 A JP 2009214462A JP 2009214462 A JP2009214462 A JP 2009214462A JP 2011064880 A JP2011064880 A JP 2011064880A
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健太 鴨志田
Kazuyoshi Nagayama
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Abstract

【課題】NMOSプロセスで作成された基板の場合、誤判定または検査に要する測定時間の増大を回避するために、表示領域近傍にダミー画素領域を設けその中に不良ダミー画素を配置することにより、基板毎に自己検査機能回路(BISAT)の検査条件の最適化をし得るアレイ基板の提供を目的とする。
【解決手段】
複数の信号線の一方の端に、検査用基準画素と信号線セレクターと走査線セレクターと、比較信号線と、センスアンプとEOR比較器と、OR出力部と、出力ライン部とから構成される自己検査回路(BISAT)を有効に活用するために、表示領域近傍にダミー画素領域を設けて、該自己検査回路の測定条件を定めるために、前記ダミー画素領域に不良画素を設置し、該不良画素を前記自己検査回路(BISAT)で検査し、正常に前記不良画素を不良と判定されることを確認して、基板ごとに最適な測定条件を定める。
【選択図】図1

Description

本発明は、低コストで高生産性を実現し得る液晶パネルに関する。
近年、液晶パネルの検査装置の簡易化を目的に、アレイ基板上に自己検査機能を備えるBISAT(Built In self array test)が開発されている。なお、該BISATの構成については、図2、3、4にその概略を開示している。
このBISATにおいては、DRAM技術を利用して、各信号線に比較画素、センスアンプ、XOR回路からなるコンパレータを備え、該信号線に接続された検査対象となる画素と前記比較画素との間で書き込まれた電圧を比較し、その結果から良否情報を生成し、その後、シフトレジスタにより各信号線の全画素良否情報を出力する。しかしながらこのBISAT構成をNMOSプロセスで製造したアレイ基板に適用する場合、以下の点において問題があった。
超LSIメモリ 培風館 伊藤清男 p93
NMOSプロセスで製造したアレイ基板を前記BISATで検査する場合、センスアンプの共通ソース電圧を下げて電圧差を増幅するが、この降圧速度がゆっくりであれば所望の増幅が可能であるが、欠点としては検査時間の増大が問題となる。また、逆に降圧速度が速やかであれば、検査時間の増大を解消できても比較すべき両者の電圧が降下してしまい、所望の増幅ができないために誤判定する可能性が生じてしまう。
従って、検査時間と増幅性能の両者を満足させるよう、センスアンプの降圧速度を最適化することが重要となる。
さらに、ある基板において降圧速度を最適化しても、特性、寸法、膜厚等の仕上がり状態の異なる別の基板で最適とは限らず、基板毎に降圧条件を最適化することが望ましいが、これまでは増幅性能を素早く確認できる手段がなかった。
そこで本発明は、製品のダミー画素領域に正常に動作しない不良画素を設け、その不良画素をBISAT方法で検査させることで、センスアンプの増幅が満足できるものか、即ち降圧条件の妥当性を基板ごとに確認できるようにし、その結果、より短い時間での検査方法または誤判定の少ない検査方法を実現するものである。
請求項1に記載された発明は、絶縁基板上に画素電極、前記画素電極に個別に接続される画素スイッチング素子、前記画素スイッチング素子を介して画素電極を駆動する、格子状に配設された複数の走査線及び信号線を有するアレイ基板において、
第1自己検査回路部と、表示領域部と、前記表示領域部近傍に設けられたダミー画素領域部と、を備え、
前記第1自己検査回路部は、
複数の信号線の一方の端に信号線毎に検査用の検査用基準画素と、
複数の信号線から検査対象の画素に接続されている信号線を選択するための信号線セレクターと、
複数の走査線から検査対象の画素のゲートに接続されている走査線を選択するための走査線セレクターと、
検査の基準とする期待値を送るための比較信号線と、
前記検査用基準画素からのデータと信号線セレクターにより選択された信号線に接続された画素からのデータを検出・増幅するセンス・アンプと、
前記比較信号線からの信号と前記センス・アンプの出力との排他的論理和をとるEOR比較器と、
前記EOR比較器の出力と前記信号線セレクターとの 論理和をとるOR出力部と、
すべての前記OR出力部の出力を接続することによりワイヤード・オアを形成する出力ライン部と、を具備し、
前記ダミー画素領域部は、前記表示画素領域の画素が接続している信号線および走査線に加えて、前記表示画素領域内の通常の画素には接続していないダミー走査線および/またはダミー信号線と、を有し、
前記ダミー画素領域部内のダミー画素に対応する信号線には、前記第1自己検査回路部を備え、
前記ダミー画素領域部には、正常に動作しないダミー画素を配置し、
前記正常に動作しないダミー画素を前記第1自己検査回路部で検査し、正常に動作しない不良画素であることを確認することにより、正常に動作しない不良ダミー画素の検査条件に基づいて前記第1自己検査回路部の基板毎に異なる前記センス・アンプの最適な増幅条件を確認し得ることを特徴とする。
請求項2に記載された発明は、絶縁基板上に画素電極、前記画素電極に個別に接続される画素スイッチング素子、前記画素スイッチング素子を介して画素電極を駆動する、格子状に配設された複数の走査線及び信号線を有するアレイ基板において、
第1自己検査回路部と、表示領域部と、前記表示領域部近傍に設けられたダミー画素領域部と、を備え、
前記第1自己検査回路部は、
複数の信号線の一方の端に信号線毎に検査用の検査用基準画素と、
複数の信号線から検査対象の画素に接続されている信号線を選択するための信号線セレクターと、
複数の走査線から検査対象の画素のゲートに接続されている走査線を選択するための走査線セレクターと、
検査の基準とする期待値を送るための比較信号線と、
前記検査用基準画素からのデータと信号線セレクターにより選択された信号線に接続された画素からのデータを検出・増幅するセンス・アンプと、
前記比較信号線からの信号と前記センス・アンプの出力との排他的論理和をとるEOR比較器と、
前記EOR比較器の出力と前記信号線セレクターとの 論理和をとるOR出力部と、
すべての前記OR出力部の出力を接続することによりワイヤード・オアを形成する出力ライン部と、を具備し、
前記ダミー画素領域部は、前記表示画素領域の画素が接続している信号線および走査線に加えて、前記表示画素領域内の通常の画素には接続していないダミー走査線および/またはダミー信号線と、を有し、
前記ダミー画素領域部内のダミー画素に対応する信号線には、前記第1自己検査回路部を備え、
前記ダミー画素領域部には、正常に動作しないダミー画素と正常に動作するダミー画素の双方を配置し、
前記正常に動作するダミー画素を前記第1自己検査回路部で検査し、正常に動作する正常画素であることを確認するとともに、前記正常に動作しないダミー画素についても、前記第1自己検査回路部で検査し、正常に動作しない不良画素であることを確認することにより、前記正常ダミー画素と前記不良ダミー画素の検査条件に基づいて前記第1自己検査回路部の基板毎に異なる前記センス・アンプの最適な増幅条件を確認し得ることを特徴とする。
請求項3に記載された発明は、絶縁基板上に画素電極、前記画素電極に個別に接続される画素スイッチング素子、前記画素スイッチング素子を介して画素電極を駆動する、格子状に配設された複数の走査線及び信号線を有するアレイ基板において、
第2自己検査回路部と、表示領域部と、前記表示領域部近傍に設けられたダミー画素領域部と、を備え、
前記第2自己検査回路部は、
前記複数の信号線の一方の端に信号線毎に検査用の検査用基準画素と、
前記検査用基準画素への書き込みを許可または禁止する検査用の検査用画素入力走査線と、
前記検査用基準画素からの出力を許可または禁止する検査用の検査用画素出力走査線と、
前記検査用基準画素の出力と各信号線に接続された画素内のデータを信号線を通じて比較する比較器と、
前記比較器の出力を保持し、シフトレジスターを形成している保持器と、を具備し、
前記ダミー画素領域部は、前記表示画素領域の画素が接続している信号線および走査線に加えて、前記表示画素領域内の通常の画素には接続していないダミー走査線および/またはダミー信号線と、を有し、
前記ダミー画素領域部内のダミー画素に対応する信号線には、前記第2自己検査回路部を備え、
前記ダミー画素領域部には、正常に動作しないダミー画素を配置し、
前記正常に動作しないダミー画素を前記第2自己検査回路部で検査し、正常に動作しない不良画素であることを確認することにより、正常に動作しない不良ダミー画素の検査条件に基づいて前記第2自己検査回路部の基板毎に最適な検査条件を確認し得ることを特徴とする。
請求項4に記載された発明は、絶縁基板上に画素電極、前記画素電極に個別に接続される画素スイッチング素子、前記画素スイッチング素子を介して画素電極を駆動する、格子状に配設された複数の走査線及び信号線を有するアレイ基板において、
第2自己検査回路部と、表示領域部と、前記表示領域部近傍に設けられたダミー画素領域部と、を備え、
前記第2自己検査回路部は、
前記複数の信号線の一方の端に信号線毎に検査用の検査用基準画素と、
前記検査用基準画素への書き込みを許可または禁止する検査用の検査用画素入力走査線と、
前記検査用基準画素からの出力を許可または禁止する検査用の検査用画素出力走査線と、
前記検査用基準画素の出力と各信号線に接続された画素内のデータを信号線を通じて比較する比較器と、
前記比較器の出力を保持し、シフトレジスターを形成している保持器と、を具備し、
前記ダミー画素領域部は、前記表示画素領域の画素が接続している信号線および走査線に加えて、前記表示画素領域内の通常の画素には接続していないダミー走査線および/またはダミー信号線と、を有し、
前記ダミー画素領域部内のダミー画素に対応する信号線には、前記第2自己検査回路部を備え、
前記ダミー画素領域部には、正常に動作しないダミー画素と正常に動作するダミー画素の双方を配置し、
前記正常に動作するダミー画素を前記第2自己検査回路部で検査し、正常に動作する正常画素であることを確認するとともに、前記正常に動作しないダミー画素についても、前記第2自己検査回路部で検査し、正常に動作しない不良画素であることを確認することにより、前記正常ダミー画素と前記不良ダミー画素の検査条件に基づいて前記第2自己検査回路部の基板毎に異なる最適な検査条件を確認し得ることを特徴とする。
請求項5に記載された発明は、液晶パネルについて、請求項1乃至4のいずれかに記載されたアレイ基板を有することを特徴とする。
NMOSプロセスで製造されたアレイ基板に対して、簡易な自己検査用の回路(BISAT)を適用する際に、基板ごとに検査条件(検査時間と増幅条件)を最適化することにより、検査時間の短縮と誤判定の最小化が可能となる。
本発明の実施の形態1に係るアレイ 基板と該検査方法の概要を示す説明図である。 本発明の実施の形態1に係るアレイ基板の第1自己検査回路の概要を示す説明図である。 本発明の実施の形態2に係るアレイ基板の第2自己検査回路の概要を示す説明図である。 図1に示された本発明の実施の形態に係るアレイ基板の回路図を例示的に示した模式図である
(実施の形態1)
以下、図を参照しつつ、本発明を実施するための実施の形態1につき説明する。
本発明を実施するための実施の形態1は、ダミー画素領域に不良ダミー画素を設けて、該不良ダミー画素を前記第1自己検査回路部(本明細書においては「Bisat」ともいう)に検査させることにより、前記第1自己検査回路部で検査させる際のセンスアンプの増幅が満足できるものか、即ち、降圧条件の妥当性を確認し、より短い時間または誤判定の少ない検査を実現するものである。
図1は本発明を実施するための実施の形態1に係るアレイ基板と該検査方法の概要を示す説明図である。
図1において、110は通常の画像が表示される表示領域であり、100は前記第1自己検査回路部(Bisat)であり、120は通常の表示領域110の近傍に設けられるダミー画素領域である。また、122,123,132,133は、通常の表示領域110内に設置される画素を示す。101,102,103,104は信号線であり、各信号線の一方の端には、第1自己検査回路部(Bisat)100が設置されている。ここで101と104はダミー信号線であるが、不良ダミー画素を、表示領域110内の画素に接続される信号線にのみ設けるような場合(例えば、ダミー画素111,121,131,141を設けないような場合)には、ダミー信号線(例えばダミー信号線101)は必須ではない。
また、191,192,193,194は走査線であり、190は通常の走査線出力回路である。ここで191と194は、ダミー走査線であるが、ダミー走査線についてもダミー信号線と同様である。
一方、ダミー画素領域120には、ダミー画素111,112,113,114,121,131,141,142,143,124,134,144がそれぞれの位置に設置されている。ダミー画素のうちには不良の画素が含まれ、112,124、131,143はダミー領域120に設置される不良画素を示す。なお図1ではダミー画素領域に設置される不良画素は4個であるが、4個に限定されるわけではなく、少なくとも1個設置されればよい。ダミー画素領域120のそれぞれのダミー画素は、信号線と走査線出力回路から延在する走査線を有し、該信号線の一方の端には第1自己検査回路部(Bisat)100が設けらている。
NMOSプロセスで製造したアレイ基板を、前記第一自己検査回路部(Bisat)で検査させる際にはセンスアンプの共通ソース電圧を下げて電圧差を増幅するが、この降圧速度がゆっくりであれば所望の増幅が可能であるが欠点としては検査時間の増大が問題となる。
逆に、降圧速度が速やかであれば、検査時間の増大を解消できても比較すべき両者の電圧が降下してしまい、所望の増幅ができないために誤判定する可能性が生じてしまう。
従って、検査時間と増幅性能の両者を満足させるよう、センスアンプの降圧速度を最適化することが重要な課題となる。
さらに、ある基板において降圧速度を最適化しても、特性、寸法、膜厚等の仕上がり状態の異なる別の基板で最適とは限らず、基板毎に降圧条件を最適化することが望ましいが、これまでは増幅性能を素早く確認できる手段がなかった。そこで、ダミー画素領域に予め不良画素と分かっている不良画素110を設けて、基板毎に異なる降圧条件を最適化することが本発明の特徴である。
次に、前記第1自己検査回路部(Bisat)の概略について説明する。図2はシフトセレクターを使用した前記第1自己検査回路部(Bisat)の概略を示す回路図である。
図2において、110は通常の画像が表示される画素マトリックスである。200は第1自己検査回路部(Bisat)の概略を示している(図1では第1自己検査回路部100に相当する)。図2においては理解の容易のために、通常の画像の表示領域110は、4 x 4の画素マトリックスとして図示しているが、実際にはこの数字には限定されない。
231乃至234は検査用基準画素である。
290は画素マトリックス内の信号線を選択する 信号線セレクターである。228は画素マトリックス内の走査線を選択する走査線セレクターである。
201は信号線であり、202も信号線であり、203も信号線であり、204も信号線である。291は走査線であり、292も走査線であり、293も走査線であり、294も走査線である。251乃至254はセンスアンプである。
センスアンプ251は、信号線201を通じて、走査線291乃至294の内から選択された走査線に接続された画素のデータをセンスして増幅する。センスアンプ252乃至254についても、それぞれ同様である。
261乃至264はEOR(排他的論理和)比較回路である。280は比較信号線である。271乃至274はOR(論理和)出力回路である。281は出力ラインであり、OR(論理和)出力回路の出力が接続されワイアードオア( 論理和)を形成している。
本発明は図2に示される第1自己検査回路部(Bisat)200に、図1に示されるダミー画素領域120を設け、該ダミー領域内にダミーの不良画素および/またはダミーの正常画素、並びに、ダミー信号線とダミー走査線を設けて、該ダミー不良画素および/またはダミーの正常画素を第1自己検査回路部(Bisat)200によって検査をすることにより、基板毎に異なるセンスアンプの降圧速度を最適化することが本発明の特徴である。
また、図4は図2に示された第1自己検査回路部(Bisat)の回路図を例示的に示した模式図である。
図4において、231は検査用基準画素(図2の231に 対応する検査用基準画素)である。251はセンスアンプであり、261はEOR(排他的論理和)比較回路である。299は検査対象の画素である。281は出力ラインであり、ワイアード・オアを形成している。
ただし、図4に示した回路は本発明を実現するための例示的な回路であり、同様の機能を果たす回路であれば、他の回路であっても良い。
(実施の形態2)
以下、図3を参照しつつ、本発明を実施するための実施の形態2につき説明する。
図3は、シフトレジスターを使用した第2自己検査回路部(Bisat)の概略を示す回路図である。
本発明を実施するための実施の形態2は、本発明を実施するための実施の形態1における前記第1自己検査回路部におけるシフトセレクターを、シフトレジスターにしたものである。327は信号線シフトレジスターであり、328は走査線シフトレジスターである。
尚、326は、隣り合う信号線の短絡を検査するショートリング検査回路であり、本発明と直接的な関係はない。
その他は、本発明を実施するための実施の形態1と同じであるので説明は省略する
NMOSプロセスで製造したアレイ基板を、基板毎に最適な測定条件により効果的に検査でき、製造コストを低減できる。
100 第1自己検査回路部(Bisat)
110 通常の画像が表示される表示領域
120 ダミー画素領域
101 ダミー信号線
102 信号線
103 信号線
104 ダミー信号線
111 ダミー画素
112 ダミー不良画素
113 ダミー画素
114 ダミー画素
121 ダミー画素
122 画素
123 画素
124 ダミー不良画素
131 ダミー不良画素
132 画素
133 画素
134 ダミー画素
141 ダミー画素
142 ダミー画素
143 ダミー不良画素
144 ダミー画素
190 走査線出力回路
191 ダミー走査線
192 走査線
193 走査線
194 ダミー走査線

Claims (5)

  1. 絶縁基板上に画素電極、前記画素電極に個別に 接続される画素スイッチング素子、前記画素スイッチング素子を介して画素電極を駆動する、格子状に配設された複数の走査線及び信号線を有するアレイ基板において、
    第1自己検査回路部と、表示領域部と、前記表示領域部近傍に設けられたダミー画素領域部と、を備え、
    前記第1自己検査回路部は、
    複数の信号線の一方の端に信号線毎に検査用の検査用基準画素と、
    複数の信号線から検査対象の画素に接続されている信号線を選択するための信号線セレクターと、
    複数の走査線から検査対象の画素のゲートに接続されている走査線を選択するための走査線セレクターと、
    検査の基準とする期待値を送るための比較信号線と、
    前記検査用基準画素からのデータと信号線セレクターにより選択された信号線に接続された画素からのデータを検出・増幅するセンス・アンプと、
    前記比較信号線からの信号と前記センス・アンプの出力との排他的論理和をとるEOR比較器と、
    前記EOR比較器の出力と前記信号線セレクターとの 論理和をとるOR出力部と、
    すべての前記OR出力部の出力を接続することによりワイヤード・オアを形成する出力ライン部と、を具備し、
    前記ダミー画素領域部は、前記表示画素領域の画素が接続している信号線および走査線に加えて、前記表示画素領域内の通常の画素には接続していないダミー走査線および/またはダミー信号線と、を有し、
    前記ダミー画素領域部内に配置されるダミー画素に対応する信号線は、前記第1自己検査回路部を備え、
    前記ダミー画素領域部には、正常に動作しないダミー画素を配置し、
    前記正常に動作しないダミー画素を前記第1自己検査回路部で検査し、正常に動作しない不良画素であることを確認することにより、正常に動作しない不良ダミー画素の検査条件に基づいて、前記第1自己検査回路部の基板毎に異なる前記センス・アンプの最適な増幅条件を確認し得ることを特徴とするアレイ基板。
  2. 絶縁基板上に画素電極、前記画素電極に個別に 接続される画素スイッチング素子、前記画素スイッチング素子を介して画素電極を駆動する、格子状に配設された複数の走査線及び信号線を有するアレイ基板において、
    第1自己検査回路部と、表示領域部と、前記表示領域部近傍に設けられたダミー画素領域部、を備え、
    前記第1自己検査回路部は、
    複数の信号線の一方の端に信号線毎に検査用の検査用基準画素と、
    複数の信号線から検査対象の画素に接続されている信号線を選択するための信号線セレクターと、
    複数の走査線から検査対象の画素のゲートに接続されている走査線を選択するための走査線セレクターと、
    検査の基準とする期待値を送るための比較信号線と、
    前記検査用基準画素からのデータと信号線セレクターにより選択された信号線に接続された画素からのデータを検出・増幅するセンス・アンプと、
    前記比較信号線からの信号と前記センス・アンプの出力との排他的論理和をとるEOR比較器と、
    前記EOR比較器の出力と前記信号線セレクターとの 論理和をとるOR出力部と、
    すべての前記OR出力部の出力を接続することによりワイヤード・オアを形成する出力ライン部と、を具備し、
    前記ダミー画素領域部は、前記表示画素領域の画素が接続している信号線および走査線に加えて、前記表示画素領域内の通常の画素には接続していないダミー走査線および/またはダミー信号線と、を有し、
    前記ダミー画素領域部内に配置されるダミー画素に対応する信号線は、前記第1自己検査回路部を備え、
    前記ダミー画素領域部には、正常に動作しないダミー画素と正常に動作するダミー画素の双方を配置し、
    前記正常に動作するダミー画素を前記第1自己検査回路部で検査し、正常に動作する正常画素であることを確認するとともに、前記正常に動作しないダミー画素についても、前記第1自己検査回路部で検査し、正常に動作しない不良画素であることを確認することにより、正常ダミー画素と不良ダミー画素の検査条件に基づいて、前記第1自己検査回路部の基板毎に異なる前記センス・アンプの最適な増幅条件を確認し得ることを特徴とするアレイ基板。
  3. 絶縁基板上に画素電極、前記画素電極に個別に 接続される画素スイッチング素子、前記画素スイッチング素子を介して画素電極を駆動する、格子状に配設された複数の走査線及び信号線を有するアレイ基板において、
    第2自己検査回路部と、表示領域部と、前記表示領域部近傍に設けられたダミー画素領域部、を備え、
    前記第2自己検査回路部は、
    前記複数の信号線の一方の端に信号線毎に検査用の検査用基準画素と、
    前記検査用基準画素への書き込みを許可または禁止する検査用の検査用画素入力走査線と、
    前記検査用基準画素からの出力を許可または禁止する検査用の検査用画素出力走査線と、
    前記検査用基準画素の出力と各信号線に接続された画素内のデータを信号線を通じて比較する比較器と、
    前記比較器の出力を保持し、シフトレジスターを形成している保持器と、を具備し、
    前記ダミー画素領域部は、前記表示画素領域の画素が接続している信号線および走査線に加えて、前記表示画素領域内の通常の画素には接続していないダミー走査線および/またはダミー信号線と、を有し、
    前記ダミー画素領域部内のダミー画素に対応する信号線には、前記第2自己検査回路部を備え、
    前記ダミー画素領域部には、正常に動作しないダミー画素を配置し、
    前記正常に動作しないダミー画素を前記第2自己検査回路部で検査し、正常に動作しない不良画素であることを確認することにより、正常に動作しない不良ダミー画素の検査条件に基づいて、前記第2自己検査回路部の基板毎に最適な検査条件を確認し得ることを特徴とするアレイ基板。
  4. 絶縁基板上に画素電極、前記画素電極に個別に 接続される画素スイッチング素子、前記画素スイッチング素子を介して画素電極を駆動する、格子状に配設された複数の走査線及び信号線を有するアレイ基板において、
    第2自己検査回路部と、表示領域部と、前記表示領域部近傍に設けられたダミー画素領域部、を備え、
    前記第2自己検査回路部は、
    前記複数の信号線の一方の端に信号線毎に検査用の検査用基準画素と、
    前記検査用基準画素への書き込みを許可または禁止する検査用の検査用画素入力走査線と、
    前記検査用基準画素からの出力を許可または禁止する検査用の検査用画素出力走査線と、
    前記検査用基準画素の出力と各信号線に接続された画素内のデータを信号線を通じて比較する比較器と、
    前記比較器の出力を保持し、シフトレジスターを形成している保持器とを具備し、
    前記ダミー画素領域部は、前記表示画素領域の画素が接続している信号線および走査線に加えて、前記表示画素領域内の通常の画素には接続していないダミー走査線および/またはダミー信号線と、を有し、
    前記ダミー画素領域部内のダミー画素に対応する信号線には、前記第2自己検査回路部を備え、
    前記ダミー画素領域部には、正常に動作しないダミー画素と正常に動作するダミー画素の双方を配置し、
    前記正常に動作するダミー画素を前記第2自己検査回路部で検査し、正常に動作する正常画素であることを確認するとともに、前記正常に動作しないダミー画素についても、前記第2自己検査回路部で検査し、正常に動作しない不良画素であることを確認することにより、正常ダミー画素と不良ダミー画素の検査条件に基づいて前記第2自己検査回路部の基板毎に異なる最適な検査条件を確認し得ることを特徴とするアレイ基板。
  5. 請求項1乃至4のいずれかに記載されたアレイ基板を有することを特徴とする液晶パネル。

















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