JP2011061093A - ディスペンス装置およびディスペンス方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板と基板に搭載されたチップとの間隙にアンダーフィル剤を減圧下で充填するディスペンス装置であって、前記アンダーフィル剤の充填開始から充填終了までの時間を計測する充填時間計測手段と、前記充填時間計測手段で計測したアンダーフィル剤の充填時間と、粘度変化時間とを比較し、アンダーフィル剤の粘度の変化に応じて前記基板の雰囲気を減圧状態から大気開放状態に変更する機能を備えたディスペンス装置およびディスペンス方法を提供する。
【選択図】 図4
Description
基板と基板に搭載されたチップとの間隙にアンダーフィル剤を減圧下で充填するディスペンス装置であって、
前記アンダーフィル剤の充填開始から充填終了までの時間を計測する充填時間計測手段と、
前記充填時間計測手段で計測したアンダーフィル剤の充填時間と、粘度変化時間とを比較し、アンダーフィル剤の粘度の変化に応じて前記基板の雰囲気を減圧状態から大気開放状態に変更する機能を備えたディスペンス装置である。
基板と基板に搭載された搭載チップとの間隙にアンダーフィル剤を減圧下で充填するディスペンス方法であって、
基板に搭載されたチップにアンダーフィル剤を充填する時間を計測するステップと、
計測したアンダーフィル剤の充填時間と、アンダーフィル剤の粘度変化時間とを比較するステップと、
アンダーフィル剤の粘度の変化に応じて前記基板の雰囲気を減圧状態から大気開放状態に変更するステップと、を有するディスペンス方法である。
2 基板ローダー
3 チップ搭載装置
4 ディスペンス装置
8 基板アンローダー
9 制御装置
K 基板
C チップ
21 基板マガジン
22 オーブン
23 待機ステージ
31 可動ステージ
32 チップストッカー
33 反転部
34 2視野カメラ
35 ボンディングヘッド
42 第1ゲートバルブ
43 第2ゲートバルブ
46 真空ポンプ
47 開放バルブ
52 チャンバー
54 透明窓
62 開閉バルブ
64 開閉バルブ
65 三方弁
66 第1貯留部
67 第2貯留部
68 配管
69 チェックバルブ
71 可動ステージ
72 カメラ
73 ディスペンサ
74 ステージ駆動部
75 圧力センサ
81 基板マガジン
82 オーブン
90 制御装置
J1 水平軸
P2 設定圧
Q1 警告信号
400 ディスペンス装置
460 減圧手段
520 チャンバー
710 可動ステージ
71H 保持面
720 カメラ
730 ディスペンサ
73N 吐出ノズル
Claims (3)
- 基板と基板に搭載されたチップとの間隙にアンダーフィル剤を減圧下で充填するディスペンス装置であって、
前記アンダーフィル剤の充填開始から充填終了までの時間を計測する充填時間計測手段と、
前記充填時間計測手段で計測したアンダーフィル剤の充填時間と、粘度変化時間とを比較し、アンダーフィル剤の粘度の変化に応じて前記基板の雰囲気を減圧状態から大気開放状態に変更する機能を備えたディスペンス装置。 - 前記粘度変化時間が、予め計測された前記アンダーフィル剤毎の粘度の変化と時間の関係から求められる時間、もしくは、前記アンダーフィル剤毎に設定された時間である請求項1に記載のディスペンス装置。
- 基板と基板に搭載された搭載チップとの間隙にアンダーフィル剤を減圧下で充填するディスペンス方法であって、
基板に搭載されたチップにアンダーフィル剤を充填する時間を計測するステップと、
計測したアンダーフィル剤の充填時間と、アンダーフィル剤の粘度変化時間とを比較するステップと、
アンダーフィル剤の粘度の変化に応じて前記基板の雰囲気を減圧状態から大気開放状態に変更するステップと、を有するディスペンス方法。
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DE102017111509B4 (de) | 2016-06-01 | 2023-07-06 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Herstellungsverfahren für eine Vollfestkörperbatterie, Herstellungsvorrichtung für eine Vollfestkörperbatterie, und Vollfestkörperbatterie |
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