KR101495286B1 - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 기판이 위치되는 지지부재; 상기 기판에 용액을 도포하는 도포유닛을 포함하는 도포유닛어셈블리; 및 상기 지지부재의 양측에 이동 가능하게 결합되고, 상기 기판에 도포된 상기 용액에 흡입압력을 제공하는 고형화유닛을 포함하고, 상기 도포유닛은, 상기 지지부재의 양측에 이동 가능하게 결합되는 도포이송부재; 및 상기 도포이송부재에 결합되어, 상기 기판에 상기 용액을 잉크젯 방식으로 도포하는 도포부재를 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{Substrate treating apparatus and substrate treating method}

본 발명은 직접쓰기 방식으로 기판상에 패턴을 형성하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.

정보 처리 장치는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하는 디스플레이 장치를 갖는다. 과거에는 주로 디스플레이 장치로 브라운관(Cathode ray tube) 모니터가 사용되었으나, 현재에는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD)가 주로 사용되고 있다. 그러나, 액정 표시 장치는 별도의 광원을 필요로 하는 장치로서 밝기, 시야각 및 대면적화 등에 한계가 있어, 최근에는 저전압 구동, 자기 발광, 경량 박형, 넓은 시야각, 그리고 빠른 응답 속도 등의 장점을 갖는 유기 발광 소자를 이용한 유기 발광 표시 장치(Organic light emitting diode display)가 각광받고 있다.

유기 발광 표시 장치는 기판상에 순차적으로 형성된 박막 트랜지스터(Thin film transistor, TFT), 화소전극, 유기 발광 소자(Organic light emitting diode), 공통전극을 포함한다. 유기 발광 소자는 순차적으로 형성된 정공 주입층(Hole injection layer, HIL), 정공 수송층(Hole transporting layer, HTL), 유기 발광층, 전자 수송층(electron transportiong layer, ETL), 전자 주입층(electron injection layer, EIL)을 포함한다. 기판에 유기 발광 소자를 이루는 각 층을 형성하기 위해 증착법이 이용된다. 먼저, 하나의 층의 패턴과 동일한 패턴을 갖는 파인 메탈 마스크를 기판에 정렬 한 후, 하나의 재료를 증착/패턴화한다. 이후 기판에서 파인 메탈 마스크를 픽셀만큼 이동 정렬한 후 다른 재료를 증착 패턴화한다. 그러나, 기판에 파인 메탈 마스크가 정렬되는 과정에서 먼저 형성된 층이 파인 메탈 마스크와의 접촉으로 손상된다. 또한, 증착 공정이 진공 상에서 이뤄지기 때문에 대형 유기 발광 표시 장치의 제작시 많은 비용이 든다. 따라서, 비용 이 절감되는 유기 발광 소자의 제작 공정의 개발이 요구된다.

본 발명은 기판에 유기 발광 소자를 이루는 각층을 인쇄하는 기판 처리 장치를 제공하기 위한 것이다.

또한, 본 발명은 기판에 인쇄된 용액을 즉시 고형화시키는 기판 처리 장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판이 위치되는 지지부재; 상기 기판에 용액을 도포하는 도포유닛을 포함하는 도포유닛어셈블리; 및 상기 지지부재의 양측에 이동 가능하게 결합되고, 상기 기판에 도포된 상기 용액에 흡입압력을 제공하는 고형화유닛을 포함하고, 상기 도포유닛은, 상기 지지부재의 양측에 이동 가능하게 결합되는 도포이송부재; 및 상기 도포이송부재에 결합되어, 상기 기판에 상기 용액을 잉크젯 방식으로 도포하는 도포부재를 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 고형화유닛은 상기 도포이송부재에 결합되는 고형화부재로 제공될 수 있다.

또한, 상기 도포유닛은, 상기 지지부재와 평행한 방향으로 이동 가능하게, 상기 도포이송부재에 결합되는 주행부재를 더 포함하고, 상기 도포부재 및 상기 고형화부재는 상기 주행부재에 결합될 수 있다.

또한, 상기 고형화유닛은, 상기 지지부재의 양측에 이동 가능하게 결합되는 고형화이송부재; 및 상기 고형화이송부재에 결합되고, 상기 기판의 상부에 있는 기체를 흡입하는 고형화부재를 포함할 수 있다.

또한, 상기 도포유닛은, 상기 지지부재와 평행한 방향으로 이동 가능하게, 상기 도포이송부재에 결합되는 도포주행부재를 더 포함하고, 상기 도포부재는 상기 도포주행부재에 결합될 수 있다.

또한, 상기 고형화유닛은, 상기 지지부재와 평행한 방향으로 이동 가능하게, 상기 고형화이송부재에 결합되는 고형화주행부재를 더 포함하고, 상기 고형화부재는 상기 고형화주행부재에 결합될 수 있다.

또한, 상기 고형화부재는 제 1 라인을 통해 펌프와 연결되고, 상기 고형화부재는 그 하면이 기체가 유입되는 흡입홀이 형성될 수 있다.

또한, 상기 고형화부재는 제 2 라인을 통해 기체를 공급하는 탱크에 연결되고,

상기 고형화부재의 하면에는 상기 제 2 라인으로 공급된 기체가 분사되는 분사홀이 형성될 수 있다.

또한, 상기 제 2 라인에는 상기 기체의 온도를 조절하는 온도조절부재가 제공될 수 있다.

또한, 상기 온도조절부재는 상기 기체를 가열하는 히터일 수 있다.

또한, 상기 온도조절부재는 상기 기체를 냉각하는 쿨러일 수 있다.

또한, 상기 도포유닛어셈블리는, 상기 도포유닛을 5개포함하고, 5개의 상기 도포유닛은 각각 제 1 용액, 제 2 용액, 제 3 용액, 제 4 용액 및 제 5 용액을 상기 기판에 도포할 수 있다.

또한, 5개의 상기 도포유닛은 상기 지지부재의 반대쪽으로 순차적으로 배열될 수 있다.

또한, 상기 제 1 용액 내지 상기 제 5 용액은, 각각 상기 기판의 상면에 정공 주입층, 정공 수송층, 유기 발광층, 전자 수송층 및 전자 주입층을 형성할 수 있다.

또한, 상기 지지부재의 상부에 위치되어, 상하로 승강 가능하게 제공되는 베이크부재를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 베이크부재는 라인으로 기체탱크에 연결되고, 상기 라인에는 상기 기체탱크에서 상기 베이크부재로 공급되는 기체의 양을 조절하는 밸브가 제공될 수 있다.

또한, 상기 라인에는 상기 기체를 가열하는 히터가 제공될 수 있다.

또한, 상기 기판의 상면을 검사하는 검사유닛을 더 포함하고, 상기 검사유닛은 상기 지지부재의 양측에 이동 가능하게 결합되는 검사이송부재; 및 상기 검사이송부재에 결합되어, 상기 기판의 상면을 촬영하는 검사부재를 포함할 수 있다.

또한, 상기 기판의 결함을 보수하는 보수유닛을 포함하는 보수유닛어셈블리를 더 포함하고, 상기 보수유닛은 상기 도포유닛과 동일한 수로 제공될 수 있다.

또한, 상기 보수유닛은, 상기 지지부재의 양측에 이동 가능하게 결합되는 보수이송부재; 상기 지지부재와 평행한 방향으로 이동 가능하게, 상기 보수이송부재에 결합되는 보수주행부재; 및

그 길이가 상기 도포부재의 길이보다 짧게 제공되고, 상기 기판에 용액을 도포하는 보수부재를 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 지지부재에 위치된 기판의 상면에 정공 주입층, 정공 수송층, 유기 발광층, 전자 수송층 또는 전자 주입층을 형성하는 용액 중 하나를 도포한 후, 상기 지지부재에 위치된 기판의 상면에 흡입압력을 제공하여, 상기 용액에 고형화 공정을 수행하는 기판 처리 방법이 제공될 수 있다.

또한, 상기 고형화 공정이 수행된 후, 상기 지지부재에 위치된 상기 기판을 가열하는 베이크공정을 수행하여, 상기 기판에 도포된 용액을 평탄화 할 수 있다.

또한, 상기 용액을 편탄화 한 후, 상기 지지부재에 위치된 상기 기판의 상면을 촬영하여, 상기 기판의 상면에 있는 결함을 검사할 수 있다.

또한, 상기 지지부재에 위치된 상기 기판의 상면 중에서 상기 결함이 있는 위치에 상기 용액을 도포하여, 상기 결함을 보수할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판에 유기 발광 소자의 각층을 인쇄 할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판에 인쇄된 유기 발광 소자의 각층을 즉시 고형화시켜 공정시간이 단축된다.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 유기 발광 소자의 각층을 검사할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 유기 발광 소자의 각층에 있는 결함을 보수할 수 있다.

도 1a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.
도 1b 및 도 1c는 도 1의 기판 처리 장치의 일부를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 장치가 기판에 제 1 용액을 도포하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 3은 기판에 제 1 용액이 도포되는 모습을 나타낸 측 단면도이다.
도 4는 베이크공정이 수행되는 모습을 나타내는 도면이다.
도 5는 도 1의 기판 처리 장치가 검사공정을 수행하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 6은 도 1의 기판 처리 장치에서 제 1 보수유닛이 지지부재 방향으로 이동되는 모습을 나타내는 도면이다.
도 7은 하부에서 본 보수유닛을 나타내는 도면이다.
도 8은 제 1 보수유닛이 기판을 보수하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 9는 도 1의 기판 처리 장치에서 고형화유닛 및 검사유닛이 이동하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 10은 도 1의 기판 처리 장치가 기판에 제 2 용액을 도포하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 11은 기판에 제 2 용액이 도포되는 모습을 나타낸 측 단면도이다.
도 12는 다른 실시 예에 따른 도포유닛 및 고형화유닛을 나타내는 도면이다.
도 13은 도 12의 도포유닛 및 고형화유닛의 동작을 설명하는 도면이다.
도 14는 다른 실시 예에 따른 고형화부재를 나타내는 도면이다.
도 15는 도 14의 고형화부재의 동작을 나타내는 도면이다.
도 16은 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.
도 17은 또 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.
도 18은 도 17의 기판 처리 장치에서 결함빔, 도포부재 및 고형화부재의 측단면도이다

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.

도 1a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이고, 도 1b 및 도 1c는 도 1의 기판 처리 장치의 일부를 나타내는 도면이다.

도 1a 내지 도 1c를 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 지지부재(100), 도포유닛어셈블리(200), 고형화유닛(300), 베이크부재(400), 검사유닛(500) 및 보수유닛어셈블리(600)를 포함한다.

이하, 제 1 레일(701)의 길이 방향을 제 1 방향(1), 상부에서 바라볼 때 제 1 방향(1)에 수직한 방향을 제 2 방향(2), 제 1 방향(1) 및 제 2 방향(2)에 수직한 방향을 제 3 방향(3)이라 한다. 그리고, 제 1 방향(1)에서 좌측을 전방이라 하고, 제 1 방향(1)에서 우측을 후방이라 한다.

지지부재(100)는 플레이트 형상으로 제공된다. 지지부재(100)의 상면에는 처리된 기판(s)이 위치된다. 지지부재(100)의 상면은 처리될 기판(s)의 면적 이상으로 제공될 수 있다. 기판(s)은 로봇암(미도시)에 의해 외부에서 지지부재(100)의 상부로 이송되거나, 지지부재(100)의 상부에서 외부로 반출 될 수 있다. 지지부재(100)에는 홀(미도시)이 형성될 수 있다. 홀에는 리프트 핀(미도시)이 위치된다. 리프트 핀은 기판(s)을 로딩 또는 언로딩하는 것을 보조한다. 지지부재(100)는 제 1 방향(1)으로 이동가능 하게 제공될 수 있다.

도포유닛어셈블리(200)는 제 1 도포유닛(200a), 제 2 도포유닛(200b), 제 3 도포유닛(200c), 제 4 도포유닛(200d) 및 제 5 도포유닛(200e)을 포함한다. 제 1 도포유닛(200a)은 제 1 도포이송부재(201a) 및 제 1 도포부재(205a)를 포함한다.

제 1 도포이송부재(201a)는 제 1 도포지지대(203a) 및 제 1 도포결합빔(202a)을 포함한다. 제 1 도포결합빔(202a)은 제 2 방향(2)으로 연장된 막대 형상으로 제공된다. 제 1 도포결합빔(202a)의 양단은 제 1 도포지지대(203a)에 결합된다. 제 1 도포지지대(203a)는 제 3 방향(3)으로 연장된 막대 형상으로 제공된다. 제 1 도포결합빔(202a)은 제 1 도포지지대(203a)를 따라 제 3 방향(3)으로 이동 가능하다. 지지부재(100)의 양측에는 제 1 방향(1)을 따라 한 쌍의 제 1 레일(701)이 제공된다. 제 1 레일(701)은 제 1 도포결합빔(202a)의 길이에 대응하는 거리만큼 제 2 방향(2)으로 서로 이격되어 위치된다. 제 1 도포지지대(203a)는 제 1 레일(701)상에 설치된다. 제 1 도포이송부재(201a)는 제 1 레일(701)을 따라 제 1 방향(1)으로 이동 가능하다.

제 1 도포부재(205a)는 제 1 도포결합빔(202a)의 일 면에 결합된다. 일 예로, 제 1 도포부재(205a)는 제 1 도포결합빔(202a)의 측면 또는 하면에 부착될 수 있다. 제 1 도포부재(205a)는 그 길이 방향이 제 2 방향(2)으로 제공된다. 제 1 도포부재(205a)의 길이는 기판(s)의 폭 이상으로 제공될 수 있다. 제 1 도포부재(205a)는 제 1 라인(206a)으로 제 1 탱크(207a)에 연결된다. 제 1 탱크(207a)는 제 1 도포부재(205a)로 제 1 용액을 공급한다. 제 1 도포부재(205a)는 지지부재(100)에 위치된 기판(s)의 상면에 제 1 용액을 도포한다. 제 1 도포부재(205a)는 잉크젯 방식을 이용하여 직접쓰기 방식으로 제 1 용액을 도포한다. 제 1 도포부재(205a)의 하면에는 다수의 용액 배출부(도 3의 208a)가 형성된다. 각각의 용액 배출부(208a)는 독립적으로 제 1 용액의 배출이 제어된다. 일 예로 제 1 도포부재(205a)는 잉크젯 헤드로 제공될 수 있다.

제 2 도포유닛(200b)은 제 2 도포이송부재(201b) 및 제 2 도포부재(205b)를 포함한다. 제 2 도포부재(205b)는 제 2 라인(206b)으로 제 2 탱크(207b)에 연결된다. 제 2 탱크(207b)는 제 2 용액을 저장한다. 제 2 도포유닛(200b)은 제 1 도포유닛(200a)의 전방에 위치된다. 제 2 도포부재(205b)는 기판(s)에 제 2 용액을 도포한다.

제 3 도포유닛(200c)은 제 3 도포이송부재(201c) 및 제 3 도포부재(205c)를 포함한다. 제 3 도포부재(205c)는 제 3 라인(206c)으로 제 3 탱크(207c)에 연결된다. 제 3 탱크(207c)는 제 3 용액을 저장한다. 제 3 도포유닛(200c)은 제 2 도포유닛(200b)의 전방에 위치된다. 제 3 도포부재(205c)는 기판(s)에 제 3 용액을 도포한다.

제 4 도포유닛(200d)은 제 4 도포이송부재(201d) 및 제 4 도포부재(205d)를 포함한다. 제 4 도포부재(205d)는 제 4 라인(206d)으로 제 4 탱크(207d)에 연결된다. 제 4 탱크(207d)는 제 4 용액을 저장한다. 제 4 도포유닛(200d)은 제 3 도포유닛(200c)의 전방에 위치된다. 제 4 도포부재(205d)는 기판(s)에 제 4 용액을 도포한다.

제 5 도포유닛(200e)은 제 5 도포이송부재(201e) 및 제 5 도포부재(205e)를 포함한다. 제 5 도포부재(205e)는 제 5 라인(206e)으로 제 5 탱크(207e)에 연결된다. 제 5 탱크(207e)는 제 5 용액을 저장한다. 제 5 도포유닛(200e)은 제 4 도포유닛(200d)의 전방에 위치된다. 제 5 도포부재(205e)는 기판(s)에 제 5 용액을 도포한다.

제 2 도포유닛(200b) 내지 제 5 도포유닛(200e)의 구성은 제 1 도포유닛(200a)에 대응하므로, 반복된 설명은 생략한다.

고형화유닛(300)은 고형화이송부재(301) 및 고형화부재(305)를 포함한다. 고형화이송부재(301)는 고형화지지대(303) 및 고형화결합빔(302)을 포함한다.

고형화결합빔(302)은 제 2 방향(2)으로 연장된 막대 형상으로 제공된다. 고형화결합빔(302)은 제 1 도포결합빔(202a)보다 짧게 형성된다. 고형화결합빔(302)의 양단은 제 3 방향(3)으로 이동 가능하게 고형화지지대(303)에 결합된다. 고형화지지대(303)는 제 3 방향(3)으로 연장된 막대 형상으로 제공된다. 고형화지지대(303)는 제 1 도포지지대(203a)보다 짧게 제공된다. 지지부재(100)와 제 1 레일(701) 사이에는 제 1 방향(1)으로 제 2 레일(702)이 제공된다. 고형화지지대(303)는 제 2 레일(702)에 위치된다. 고형화유닛(300)은 제 2 레일(702)을 따라 제 1 방향(1)으로 이동 가능하다.

고형화부재(305)는 고형화결합빔(302)의 일면에 결합된다. 일 예로, 고형화부재(305)는 고형화결합빔(302)의 측면 또는 하면에 결합될 수 있다. 고형화부재(305)는 그 길이 방향이 제 2 방향(2)으로 제공된다. 고형화부재(305)의 길이는 기판(s)의 폭 이상으로 제공될 수 있다. 고형화부재(305)의 하면에는 흡입홀(도 3의 306)이 형성된다. 고형화부재(305)는 제 6 라인(307)으로 펌프(308)에 연결된다. 펌프(308)가 동작하면, 고형화부재(305)의 하부에 있는 기체는 흡입홀(306)로 유입된다.

베이크부재(400)는 지지부재(100)의 상부에 위치된다. 베이크부재(400)는 지지부재(100)에 대응하는 플레이트 형상으로 제공될 수 있다. 베이크부재(400)는 제 7 라인(402)을 통해 기체 탱크(403)에 연결된다. 제 7 라인(402)에는 히터(404) 및 밸브(405)가 제공된다. 히터(404)는 베이크부재(400)에 공급되는 기체를 일정온도로 가열한다. 밸브(405)는 베이크부재(400)에 공급되는 기체의 유량을 조절한다. 베이크부재(400)의 하면에는 기체가 분사되는 홀들(미도시)이 형성된다. 베이크부재(400)의 상면에는 승강로드(401)가 제공된다. 승강로드(401)는 베이크부재(400)의 상면에서 제 3 방향(3)으로 연장된다. 승강로드(401)의 타단은 승강수단(미도시)에 연결된다. 일 예로 승강부단은 유압실린더로 제공될 수 있다. 베이크부재(400)는 승강로드(401)에 의해 제 3 방향(3)으로 이동가능하다.

검사유닛(500)은 검사이송부재(501) 및 검사부재(505)를 포함한다. 검사이송부재(501)는 검사지지대(503) 및 검사결합빔(502)을 포함한다. 검사결합빔(502)은 제 2 방향(2)으로 연장된 막대 형상으로 제공된다. 검사결합빔(502)은 제 2 레일(702)이 제 2 방향(2)으로 서로 이격된 거리에 대응하게 제공된다. 검사결합빔(502)의 양단은 검사지지대(503)에 결합된다. 검사지지대(503)는 제 3 방향(3)으로 연장된 막대 형상으로 제공된다. 검사지지대(503)는 제 2 레일(702)에 위치된다. 검사유닛(500)은 제 2 레일(702)을 따라 제 1 방향(1)으로 이동 가능하다.

검사부재(505)는 검사결합빔(502)에 결합된다. 일 예로, 검사부재(505)는 검사결합빔(502)의 하면 또는 측면에 결합되어, 제 2 방향(2)으로 제공된다. 검사부재(505)는 기판(s)의 상면을 검사하여, 기판(s)의 결함 여부를 검사한다. 일 예로 검사부재(505)는 기판(s)의 상면을 촬영하는 카메라로 제공될 수 있다.

보수유닛어셈블리(600)는 제 1 보수유닛(600a), 제 2 보수유닛(600b), 제 3 보수유닛(600c), 제 4 보수유닛(600d) 및 제 5 보수유닛(600e)을 포함한다.

제 1 보수유닛(600a)은 제 1 보수이송부재(601a) 및 제 1 보수부재(605a)를 포함한다.

제 1 보수이송부재(601a)는 제 1 보수지지대(603a) 및 제 1 보수결합빔(602a)을 포함한다. 제 1 보수결합빔(602a)은 제 2 방향(2)으로 연장된 막대 형상으로 제공된다. 제 1 보수결합빔(602a)의 양단은 제 1 보수지지대(603a)에 결합된다. 제 1 보수지지대(603a)는 제 3 방향(3)으로 연장된 막대 형상으로 제공된다. 제 1 보수결합빔(602a)은 제 1 보수지지대(603a)를 따라 제 3 방향(3)으로 이동 가능하다. 지지부재(100)와 제 2 레일(702) 사이에는 제 3 레일(703)이 제공된다. 제 1 보수결합빔(602a)은 제 3 레일(703)이 이격된 거리에 대응한 길이를 갖는다. 제 1 보수지지대(603a)는 제 3 레일(703)상에 설치된다. 제 1 보수이송부재(601a)는 제 3 레일(703)을 따라 제 1 방향(1)으로 이동 가능하다.

제 1 보수부재(605a)은 제 1 보수결합빔(602a)의 일 면에 결합된다. 일 예로, 제 1 보수부재(605a)는 제 1 보수결합빔(602a)의 측면 또는 하면에 부착될 수 있다. 제 1 보수부재(605a)는 그 길이 방향이 제 2 방향(2)으로 제공된다. 제 1 보수부재(605a)의 길이는 제 1 도포부재(205a)의 길이보다 짧게 제공된다. 제 1 보수부재(605a)는 제 1 보수부재(605a)는 제 8 라인(606a)으로 제 1 탱크(207a)에 연결된다.

제 1 보수부재(605a)는 지지부재(100)에 위치된 기판(s)의 상면에 제 1 용액을 도포한다. 제 1 보수부재(605a)는 잉크젯 방식으로 제 1 용액을 도포한다. 제 1 보수부재(605a)의 하면에는 다수의 용액 배출부가 형성된다. 각각의 배출부는 독립적으로 제 1 용액의 배출이 제어된다. 일 예로 제 1 보수부재(605a)는 잉크젯 헤드로 제공될 수 있다.

제 2 보수유닛(600b)은 제 2 보수이송부재(601b) 및 제 2 보수부재(605b)를 포함한다. 제 2 보수부재(605b)는 제 9 라인(606b)으로 제 2 탱크(207b)에 연결된다. 제 2 보수유닛(600b)은 제 1 보수유닛(600a)의 전방에 위치된다. 제 2 보수부재(605b)는 기판(s)에 제 2 용액을 도포한다.

제 3 보수유닛(600c)은 제 3 보수이송부재(601c) 및 제 3 보수부재(605c)를 포함한다. 제 3 보수부재(605c)는 제 10 라인(606c)으로 제 3 탱크(207c)에 연결된다. 제 3 보수유닛(600c)은 제 2 보수유닛(600b)의 전방에 위치된다. 제 3 보수부재(605c)는 기판(s)에 제 3 용액을 도포한다.

제 4 보수유닛(600d)은 제 4 보수이송부재(601d) 및 제 4 보수부재(605d)를 포함한다. 제 4 보수부재(605d)는 제 11 라인(606d)으로 제 4 탱크(207d)에 연결된다. 제 4 보수유닛(600d)은 제 3 보수유닛(600c)의 전방에 위치된다. 제 4 보수부재(605d)는 기판(s)에 제 4 용액을 도포한다.

제 5 보수유닛(600e)은 제 5 보수이송부재(601e) 및 제 5 보수부재(605e)를 포함한다. 제 5 보수부재(605e)는 제 12 라인(606e)으로 제 5 탱크(207e)에 연결된다. 제 5 보수유닛(600e)은 제 4 보수유닛(600d)의 전방에 위치된다. 제 5 보수부재(605e)는 기판(s)에 제 5 용액을 도포한다.

제 2 보수유닛(600b) 내지 제 5 보수유닛(600e)의 구성은 제 1 보수유닛(600a)에 대응하므로, 반복된 설명은 생략한다.

도 2는 도 1의 기판 처리 장치가 기판에 제 1 용액을 도포하는 모습을 나타내는 도면이고, 도 3은 기판에 제 1 용액이 도포되는 모습을 나타낸 측 단면도이다.

도 2 및 도 3을 참조하여, 기판(s)의 상면에 제 1 용액을 도포하는 과정을 설명한다.

지지부재(100)의 상면에는 기판(s)이 위치된다. 기판(s)은 유기 발광 표시 장치의 (Organic light emitting diode display)의 제조에 사용될 수 있다. 기판(s)에는 유기 발광 소자(Organic light emitting diode)로 제공되는 화소의 온/오프를 제어하는 박막 트랜지스터(Thin film transistor, TFT)가 형성되어 있다. 또한, 각각의 화소에 전원을 공급하는 화소전극 및 각각의 화소를 구획하는 화소벽이 형성될 수 있다.

지지부재(100)의 전방에는 제 1 도포유닛(200a)이 위치된다. 제 1 도포결합빔(202a)이 하방으로 이동하여, 제 1 도포부재(205a)는 기판(s)의 상면에서 일정거리 이격되어 위치된다. 일 예로, 제 1 도포부재(205a)가 고형화부재(305)와 동일한 높이가 되도록, 제 1 도포결합빔(202a)이 이동될 수 있다. 고형화유닛(300)은 제 1 도포유닛(200a)과 일정 거리 이격된 전방에 위치된다. 이후, 제 1 도포유닛(200a)과 고형화유닛(300)은 서로 일정거리를 유지하면서, 전방에서 후방으로 이동된다. 제 1 도포유닛(200a)은 기판(s)의 상면에 제공되는 화소에 제 1 용액을 도포한다. 고형화유닛(300)은 기판(s)의 상부에 흡입압력을 제공한다. 기판(s)에 도포된 제 1 용액에 포함된 용매는 일정량씩 증발된다. 증발된 용매는 고형화유닛(300)으로 흡입된다. 따라서, 제 1 용액에서 용매의 증발이 촉진된다. 용매가 증발되면, 제 1 용액은 고형화된다.

제 1 용액은 기판(s)에 도포된 후 용매가 증발 되어야 고형화된다. 용매의 증발을 위해 기판(s)은 추가 공정이 수행될 수 있다. 추가 공정의 수행을 위해 기판(s)을 이송하는 경우, 기판(s)에 흔들림 또는 경사가 발생할 수 있다. 그 결과, 기판(s)에 도포된 제 1 용액의 면이 불균일 해진다. 본 발명의 실시 예에 의하면, 제 1 용액은 도포된 직후 고형화가 수행되므로, 제 1 용액의 면이 균일해 진다. 또한, 본 발명의 실시 예에 의하면, 제 1 용액의 도포 직 후 고형화가 수행되므로, 공정시간이 단축된다.

도 4는 베이크공정이 수행되는 모습을 나타내는 도면이다.

도 4를 참조하여, 베이크공정을 설명한다.

기판(s)의 화소에 제 1 용액이 도포되면, 베이크부재(400)가 제 3 방향(3)을 따라 지지부재(100)쪽으로 이동된다. 베이크부재(400)는 기판(s)의 상면에서 일정거리 이격된 위치에 정지된다. 기체탱크(403)에서 공급되는 기체는 히터(404)에서 일정온도로 가열된다. 기체가 일정온도에 도달하면, 밸브(405)가 개방된다. 밸브(405)는 일정량의 기체가 베이크부재(400)로 공급되도록 기체의 흐름을 조절한다. 베이크부재(400)에서 분사된 기체는 기판(s)의 상면으로 공급된다. 기체는 기판(s)의 상면에 열을 공급하면서 유동된다. 제 1 용액에서 증발된 용매는 기체에 의해, 기판(s)의 상면에서 멀어진다. 따라서, 기판(s)의 상면에는 용매의 양이 적게 형성되어, 제 1 용액에서 용매의 증발이 촉진된다. 또한, 기체에서 공급된 열은 베이크공정을 수행한다. 베이크공정이 완료되면, 기판(s)의 상면에는 정공 주입층(Hole injection layer, HIL)이 형성된다.

본 발명의 실시 예에 의하면, 제 1 용액이 도포된 후 기판(s)의 이송 없이 베이크 공정이 수행된다. 따라서, 공정시간이 단축된다.

도 5는 도 1의 기판 처리 장치가 검사공정을 수행하는 모습을 나타내는 도면이다.

도 5를 참조하여, 검사공정이 수행되는 과정을 설명한다.

베이크공정이 완료되면, 베이크부재(400)는 제 3 방향(3)을 따라 지지부재(100)의 상부로 이동된다. 이후, 검사유닛(500)은 전방에서 후방으로 이동된다. 검사결합빔(502)이 하방으로 이동되어, 검사부재(505)는 기판(s)의 상면에서 일정거리 이격되게 위치된다. 검사유닛(500)이 전방에서 후방으로 이동하는 동안, 검사부재(505)는 정공 주입층에 있는 결함을 검사한다.

도 6은 도 1의 기판 처리 장치에서 제 1 보수유닛이 지지부재 방향으로 이동되는 모습을 나타내는 도면이다.

도 6을 참조하면, 검사공정이 완료되면 제 1 보수유닛(600a)은 지지부재(100) 쪽으로 이동된다. 정공 주입층에 결함이 발견되지 않았으면, 제 1 보수유닛(600a)은 지지부재(100)를 지나간다. 정공 주입층에서 결함이 발견되면, 제 1 보수유닛(600a)은 보수공정을 수행한다.

도 7은 하부에서 본 보수유닛을 나타내는 도면이다.

도 7을 참조하면, 제 1 보수결합빔(602a)에는 제 1 보수주행부재(603a)가 제공된다. 제 1 보수주행부재(603a)는 제 1 보수결합빔(602a)의 하면 또는 측면에 제공될 수 있다. 제 1 보수주행부재(603a)는 제 1 보수결합빔(602a)을 따라 제 2 방향(2)으로 이동 가능하다. 제 1 보수부재(605a)는 주행부재에 고정된다.

제 2 보수유닛(600b), 제 3 보수유닛(600c), 제 4 보수유닛(600d) 및 제 5 보수유닛(600e)에는 각각 제 2 보수주행부재(605b), 제 3 보수주행부재(605c), 제 4 보수주행부재(605d) 및 제 5 보수주행부재(605e)가 제공된다. 제 2 보수주행부재(605b) 내지 제 5 보수주행부재(605e)의 동작은 제 1 보수주행부재(603a)와 동일하므로, 반복된 설명은 생략한다.

도 8은 제 1 보수유닛이 기판을 보수하는 과정을 나타내는 도면이다.

도 8을 참조하여, 보수공정이 수행되는 과정을 설명한다.

제 1 보수이송부재(601a)는 제 1 방향(1)으로 이동하여, 결함(d)의 위치에 대응하는 곳에 멈춘다. 이후, 제 1 보수부재(605a)는 제 2 방향(2)으로 이동하여, 결함(d)의 상부에 멈춘다. 제 1 보수부재(605a)는 결함(d)에 제 1 용액을 도포하여, 화소에 발생된 결함을 보수한다.

본 발명의 실시 예에 의하면, 제 1 보수부재(605a)는 제 1 도포부재(205a)보다 폭이 좁게 제공되어, 제 1 보수부재(605a)의 하면에는 제 1 도포부재(205a)보다 용액 배출부의 수가 작게 제공된다. 따라서, 화소의 결함이 있는 곳에만 제 1용액이 배출되도록 제어하기 쉽다.

또한, 본 발명의 실시 예에 의하면, 정공 수송층이 형성되고 기판(s)이 이송되지 않고 보수공정이 수행되므로, 공정 시간이 단축된다.

도 9는 도 1의 기판 처리 장치에서 고형화유닛(300) 및 검사유닛(500)이 이동하는 모습을 나타내는 도면이다.

도 9를 참조하면, 기판(s)에 제 2 용액이 도포되기 전에 고형화유닛(300) 및 검사유닛(500)은 후방에서 전방으로 이동된다. 고형화유닛(300) 또는 검사유닛(500)은 검사공정이 수행 되기 전에 이동되거나, 검사공정이 수행된 후 이동될 수 있다.

도 10은 도 1의 기판 처리 장치가 기판에 제 2 용액을 도포하는 모습을 나타내는 도면이고, 도 11은 기판에 제 2 용액이 도포되는 모습을 나타낸 측 단면도이다.

도 10 및 도 11을 참조하여, 기판(s)의 상면에 제 2 용액을 도포하는 과정을 설명한다.

지지부재(100)의 전방에는 제 2 도포유닛(200b)이 위치된다. 제 2 도포결합빔(202b)이 하방으로 이동하여, 제 2 도포부재(205b)는 기판(s)의 상면에서 일정거리 이격되어 위치된다. 일 예로, 제 2 도포부재(205b)가 고형화부재(305)와 동일한 높이가 되도록, 제 2 도포결합빔(202b)이 이동될 수 있다. 고형화유닛(300)은 제 2 도포유닛(200b)과 일정 거리 이격된 전방에 위치된다. 이후, 제 2 도포유닛(200b)과 고형화유닛(300)은 서로 일정거리를 유지하면서, 전방에서 후방으로 이동된다. 제 2 도포유닛(200b)은 기판(s)의 상면에 제공되는 화소에 제 2 용액을 도포한다. 고형화유닛(300)은 기판(s)의 상부에 흡입압력을 제공한다. 기판(s)에 도포된 제 2 용액에 포함된 용매는 일정량씩 증발된다. 증발된 용매는 고형화유닛(300)으로 흡입된다. 따라서, 제 2 용액에서 용매의 증발이 촉진된다. 용매가 증발되면, 제 2 용액은 고형화된다.

화소에 제 2 용액이 도포되면, 도 4 내지 도5의 베이크공정, 검사공정이 수행된다. 제 2 용액은 정공 주입층의 상면에 정공 수송층(Hole transporting layer, HTL)을 형성한다. 그리고, 도 6 내지 도 8의 제 1 보수유닛(600a)과 동일한 방법으로 제 2 보수유닛(600b)이 보수공정을 수행한다.

제 3 도포유닛(200c)과 제 3 보수유닛(600c), 제 4 도포유닛(200d)과 제 4 보수유닛(600d), 그리고 제 5 도포유닛(200e)과 제 5 보수유닛(600e)은 유사한 공정을 반복수행 하여, 정공 수송층의 상면에 유기 발광층, 전자 수송층(electron transportiong layer, ETL)및 전자 주입층(electron injection layer, EIL)을 순차적으로 형성한다. 제 3 도포유닛(200c)과 제 3 보수유닛(600c), 제 4 도포유닛(200d)과 제 4 보수유닛(600d), 그리고 제 5 도포유닛(200e)과 제 5 보수유닛(600e)의 동장은 제 1 도포유닛(200a) 및 제 1 보수유닛(600a)과 동일하므로 반복된 설명은 생략한다.

또 다른 실시 예로, 제 2 도포유닛(200b) 내지 제 5 도포유닛(200e)은 하나이상이 생략되고 실시될 수 있다. 보수유닛들(600a, 600b, 600c, 600d, 600e)은 도포유닛들(200a, 200b, 200c, 200d, 200e)과 동일한 수로 제공된다.

또 다른 실시 예로, 도포유닛어셈블리(200)는 제 6 도포유닛 및 제 7 도포유닛이 추가로 제공될 수 있다. 제 1 도포유닛(200a), 제 2 도포유닛(200b), 제 3 도포유닛(200c), 제 4 도포유닛(200d), 제 5 도포유닛(200e), 제 6 도포유닛 및 제 7 도포유닛에서 공급되는 용액은 각각 정공 주입층(Hole injection layer, HIL), 정공 수송층(Hole transporting layer, HTL), R유기 발광층, G유기 발광층, B유기 발광층, 전자 수송층(electron transportiong layer, ETL) 및 전자 주입층(electron injection layer, EIL)을 형성한다.

도 12는 다른 실시 예에 따른 도포유닛들 및 고형화유닛을 나타내는 도면이다.

도 12를 참조하면, 제 1 도포유닛(210a)에는 제 1 도포주행부재(214a)가 제공된다. 제 1 도포주행부재(214a)는 제 1 도포결합빔(212a)의 하면 또는 측면에 제공될 수 있다. 제 1 도포주행부재(214a)는 제 1 도포결합빔(212a)을 따라 제 2 방향(2)으로 이동 가능하다. 제 1 도포부재(215a)는 제 1 도포주행부재(214a)에 고정된다. 제 1 도포부재(215a)는 기판(s)의 제 2 방향(2) 폭보다 짧게 제공된다.

제 2 도포유닛(210b), 제 3 도포유닛(210c), 제 4 도포유닛(210d) 및 제 5 도포유닛(210e)에는 각각 제 2 도포주행부재(214b), 제 3 도포주행부재(214c), 제 4 주행부재도포(214d) 및 제 5 도포주행부재(214e)가 제공된다. 제 2 도포주행부재(214b), 제 3 도포주행부재(214c), 제 4 주행부재도포(214d) 및 제 5 주행부재(214d)에는 각각 제 2 도포부재(215b), 제 3 도포부재(215c), 제 4 도포부재(215d) 및 제 5 도포부재(215e)가 고정된다. 제 2 도포주행부재(214b) 내지 제 5 도포주행부재(214e)의 구성은 제 1 도포주행부재(214a)와 동일하므로, 반복된 설명은 생략한다.

고형화유닛(310)에는 고형화주행부재(314)가 제공된다. 고형화주행부재(314)는 고형화결합빔(312)의 하면 또는 측면에 제공될 수 있다. 고형화주행부재(314)는 고형화결합빔(312)을 따라 제 2 방향(2)으로 이동 가능하다. 고형화부재(315)는 고형화주행부재(314)에 고정된다. 고형화부재(315)의 길이는 도포부재의 길이 이상으로 제공될 수 있다.

도 13은 도 12의 도포유닛 및 고형화유닛의 동작을 설명하는 도면이다.

도 13을 참조하면, 고형화부재(315)는 도포부재들(215a, 215b, 215c 215d, 215e)중 하나와 나란하게 위치된다. 도포부재들(215a, 215b, 215c 215d, 215e)중 하나와 고형화유닛(310)은 일정간격을 유지하면서, 기판(s)의 일단에서 타단으로 이동된다. 도포부재는 기판(s)에 용액을 도포하고, 고형화부재(315)는 기판(s)에 흡입압력을 제공한다. 도포부재들(215a, 215b, 215c 215d, 215e)중 하나와 고형화유닛(310)는 기판(s)의 타단에 도달하면, 다시 기판(s)의 일단으로 이동한다. 이때, 도포부재들(215a, 215b, 215c 215d, 215e)중 하나와 고형화유닛(310)은 동작하지 않는다. 기판(s)의 일단에서 도포부재들(215a, 215b, 215c 215d, 215e)중 하나와 고형화부재(315)는 제 2 방향(2)으로 이동된다. 도포부재들(215a, 215b, 215c 215d, 215e)중 하나와 고형화유닛(310)은 기판(s)의 일단에서 타단으로 이동하면서, 기판(s)의 상면에 용액의 도포 및 기체의 흡입을 수행한다. 이와 같은 공정을 기판(s)의 상면 전부에 용액이 도포될 때까지 반복 수행한다.

도 14는 다른 실시 예에 따른 고형화부재를 나타내는 도면이다.

도 14를 참조하면, 고형화부재(320)에는 흡입홀(321) 및 분사홀(322)이 형성된다. 흡입홀(321)은 제 1 라인(322)을 통해 펌프(323)에 연결된다. 분사홀(322)을 제 2 라인(324)을 통해 탱크(325)에 연결된다. 탱크(325)는 분사홀(322)에 기체를 공급한다. 제 2 라인(324)에는 밸브(327) 및 온도조절부재(326)가 제공된다. 온도조절부재(326)는 제 2 라인(324)으로 공급되는 온도를 조절한다. 일 예로, 온도조절부재(326)는 히터 또는 쿨러로 제공될 수 있다. 또는, 온도조절부재(326)는 히터 및 쿨러를 함께 포함하여, 기체의 가열 및 냉각을 수행할 수 있다. 밸브(327)는 분사홀(322)로 공급되는 기체의 량을 조절한다. 분사홀(322)은 흡입홀(321)의 후방에 위치된다.

도 15는 도 14의 고형화부재의 동작을 나타내는 도면이다.

고형화부재(320)는 기판(s)의 상부를 전방에서 후방으로 이동한다. 기판(s)의 상부의 한 지점은 분사홀(322)이 지나간 후 흡입홀(321)이 지나간다. 분사홀(322)은 제 1 용액 내지 제 5 용액이 분사된 기판(s)의 상면에 일정온도의 기체를 분사한다. 분사된 기체는 기판(s)의 상부에 기류를 형성한다. 기류는 용액 및 기판(s)과 열교환되면서, 용액 및 기판(s)을 가열 또는 냉각한다. 또한, 기류는 용액의 용매가 증발되는 것을 촉진한다.

흡입홀(321)은 기판(s)의 상면에 흡입압력을 제공하여, 용매가 고형화되는 것을 촉진한다. 또한, 흡입홀(321)은 용매가 포함된 기체를 흡입한다.

도 16은 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.

도 16을 참조하면, 기판 처리 장치(11)는 도 1 의 기판 처리 장치(10)에서 검사유닛(500) 및 보수유닛어셈블리(600)가 생략되고 실시 될 수 있다. 지지부재(110), 도포유닛어셈블리(220), 고형화유닛(330) 및 베이크부재(430)의 동작은 도 1의 기판 처리 장치(10)와 동일하므로 반복된 설명은 생략한다.

또 다른 실시 예로, 도 16의 기판 처리 장치(11)에서 베이크부재(400)가 생략되고 실시 될 수 있다.

도 17은 또 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이고, 도 18은 결함빔, 도포부재 및 고형화부재의 측단면도이다.

도 17 및 도 18을 참조하면, 기판 처리 장치(12)는 지지부재(140), 도포유닛어셈블리(240) 및 고형화유닛들(246a, 246b, 246c, 246d, 246e)을 포함한다.

지지부재(140)의 구성은 도 1의 기판 처리 장치(10)와 동일하다.

도포유닛어셈블리(240)는 제 1 도포유닛(240a), 제 2 도포유닛(240b), 제 3 도포유닛(240c), 제 4 도포유닛(240d) 및 제 5 도포유닛(240e)을 포함한다.

제 1 도포유닛(240a)은 제 1 도포이송부재(241a) 및 제 1 도포부재(245a) 를 포함한다.

제 1 도포이송부재(241a)는 제 1 도포지지대(243a) 및 제 1 도포결합빔(242a)을 포함한다. 제 1 도포결합빔(242a)은 제 2 방향(2)으로 연장된 막대 형상으로 제공된다. 제 1 도포결합빔(242a)의 양단은 제 1 도포지지대(243a)에 결합된다. 제 1 도포지지대(243a)는 제 3 방향(3)으로 연장된 막대 형상으로 제공된다. 제 1 도포결합빔(242a)은 제 3 방향(3)으로 이동 가능하게 제 1 도포지지대(243a)에 결합된다. 지지부재(140)의 양측에는 제 1 방향(1)을 따라 한 쌍의 레일(741)이 제공된다. 레일(741)은 제 1 도포결합빔(242a)의 길이에 대응하는 거리만큼 제 2 방향(2)으로 이격되어 위치된다. 제 1 도포지지대(243a)는 레일(741)상에 설치된다. 제 1 도포이송부재(241a)는 레일(741)을 따라 제 1 방향(1)으로 이동 가능하다.

제 2 도포유닛(240b)은 제 2 도포이송부재(241b) 및 제 2 도포부재(245b) 를 포함한다. 제 3 도포유닛(240c)은 제 3 도포이송부재(241c) 및 제 3 도포부재(245c) 를 포함한다. 제 4 도포유닛(240d)은 제 4 도포이송부재(241d) 및 제 4 도포부재(245d) 를 포함한다. 그리고, 제 5 도포유닛(240e)은 제 5 도포이송부재(241e) 및 제 5 도포부재(245e) 를 포함한다.

도 17의 기판 처리 장치(12)는 고형화유닛들(246a, 246b, 246c, 246d, 246e)이 고형화부재들(246a, 246b, 246c, 246d, 246e)로 제공된다. 제 1 도포부재(245a) 및 제 1 고형화부재(246a)는 제 1 도포결합빔(242a)에 결합된다. 제 2 도포부재(245b) 및 제 2 고형화부재(246b)는 제 2 도포결합빔(242b)에 결합된다. 제 3 도포부재(245c) 및 제 3 고형화부재(246c)는 제 3 도포결합빔(242c)에 결합된다. 제 4 도포부재(245d) 및 제 4 고형화부재(246d)는 제 4 도포결합빔(242d)에 결합된다. 제 5 도포부재(245e) 및 제 5 고형화부재(246e)는 제 5 도포결합빔(242e)에 결합된다. 도포부재들(245a, 245b, 245c, 245d, 245e)은 각각 고형화부재들(246a, 246b, 246c, 246d, 246e)의 후방에 위치된다. 도포부재들(245a, 245b, 245c, 245d, 245e) 및 고형화부재들(246a, 246b, 246c, 246d, 246e)의 동작은 도 1의 기판 처리 장치에 제공되는 도포부재들(205a, 205b, 205c, 205d, 205e) 및 고형화부재(305)와 동일하다.

또 다른 실시 예에 의하면, 도 17의 기판 처리 장치(12)는 도 1의 기판 처리 장치(10)와 동일한 베이크부재, 검사유닛, 보수유닛어셈블리을 더 포함할 수 있다. 이 때, 도포유닛 어셈블리, 검사유닛 및 보수유닛어셈블리는 도 1과 동일하게 각각 상이한 레일에 위치된다.

또 다른 실시 예에 의하면, 도 17의 제 1 도포이송부재(241a), 제 2 도포이송부재(241b), 제 3 도포이송부재(241c), 제 4 도포이송부재(241d) 및 제 5 도포이송부재(241e)에는 각각 도 12의 제 1 도포주행부재(214a) 내지 제 5 도포주행부재(214e) 와 유사한 제 1 주행부재, 제 2 주행부재, 제 3 주행부재, 제 4 주행부재 및 제 5 주행부재가 제공될 수 있다.

제 1 도포부재(245a) 내지 제 5 도포부재(245e)와 제 1 고형화부재(246a) 내지 제 5 고형화부재(246e)는 그 길이가 기판의 길이보다 짧게 제공된다.

제 1 도포부재(245a) 및 제 1 고형화부재(246a)는 제 1 주행부재에 결합된다. 제 2 도포부재(245b) 및 제 2 고형화부재(246b)는 제 2 주행부재에 결합된다. 제 3 도포부재(245c) 및 제 3 고형화부재(246c)는 제 3 주행부재에 결합된다. 제 4 도포부재(245d) 및 제 4 고형화부재(246d)는 제 4 주행부재에 결합된다. 제 5 도포부재(245e) 및 제 5 고형화부재(246e)는 제 5 주행부재에 결합된다.

제 1 주행부재 내지 제 5 주행부재의 동작은 도 7의 주행부재들(603a, 603b, 603c, 603d, 603e)과 동일하므로 반복된 설명은 생략한다.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

100: 지지부재 200:도포유닛어셈블리
200a: 제 1 도포유닛 200b: 제 2 도포유닛
200c: 제 3 도포유닛 200d: 제 4 도포유닛
200e: 제 5 도포유닛 300: 고형화유닛
400: 베이크부재 500: 검사유닛
600: 보수유닛어셈블리 701: 제 1 레일
702: 제 2 레일 703: 제 3 레일

Claims (24)

1. 기판이 위치되는 지지부재;
   상기 기판에 용액을 도포하는 도포유닛을 포함하는 도포유닛어셈블리;
   상기 지지부재의 상부에 위치되어, 상하로 승강 가능하게 제공되는 베이크부재; 및
   상기 지지부재의 양측에 이동 가능하게 결합되고, 상기 기판에 도포된 상기 용액을 고형화시키는 고형화부재를 갖는 고형화유닛을 포함하고,
   상기 도포유닛은,
   상기 지지부재의 양측에 이동 가능하게 결합되는 도포이송부재; 및
   상기 도포이송부재에 결합되어, 상기 기판에 상기 용액을 잉크젯 방식으로 도포하는 도포부재를 포함하고,
   상기 고형화부재에는,
   제 1 라인과 연결되고 상기 기판의 상면의 기체를 흡입하는 흡입홀; 및
   제 2 라인을 통해 분사될 기체를 공급하는 탱크와 연결되고, 상기 분사될 기체를 분사하여 상기 기판의 상부에 기류를 형성하는 분사홀이 형성되고,
   상기 베이크부재는 라인으로 기체탱크에 연결되고, 상기 라인에는 상기 기체탱크에서 상기 베이크부재로 공급되는 기체의 양을 조절하는 밸브가 제공되는 기판 처리 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 고형화유닛은 상기 도포이송부재에 결합되는 고형화부재로 제공되는 기판 처리 장치.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 도포유닛은, 상기 지지부재와 평행한 방향으로 이동 가능하게, 상기 도포이송부재에 결합되는 주행부재를 더 포함하고,
   상기 도포부재 및 상기 고형화부재는 상기 주행부재에 결합되는 기판 처리 장치.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 고형화유닛은,
   상기 지지부재의 양측에 이동 가능하게 결합되고, 상기 고형화부재가 결합되는 고형화이송부재를 포함하는 기판 처리 장치.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 도포유닛은, 상기 지지부재와 평행한 방향으로 이동 가능하게, 상기 도포이송부재에 결합되는 도포주행부재를 더 포함하고,
   상기 도포부재는 상기 도포주행부재에 결합되는 기판 처리 장치.
6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
   상기 고형화유닛은, 상기 지지부재와 평행한 방향으로 이동 가능하게, 상기 고형화이송부재에 결합되는 고형화주행부재를 더 포함하고,
   상기 고형화부재는 상기 고형화주행부재에 결합되는 기판 처리 장치.
7. 삭제
8. 삭제
9. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 2 라인에는 상기 기체의 온도를 조절하는 온도조절부재가 제공되는 기판 처리 장치.
10. 제 9 항에 있어서,
    상기 온도조절부재는 상기 기체를 가열하는 히터인 기판 처리 장치.
11. 제 9 항에 있어서,
    상기 온도조절부재는 상기 기체를 냉각하는 쿨러인 기판 처리 장치.
12. 삭제
13. 삭제
14. 제 1 항에 있어서,
    상기 도포유닛어셈블리는,
    상기 지지부재의 반대쪽으로 순차적으로 배열되도록 상기 도포유닛을 5개 포함하고, 5개의 상기 도포유닛은,
    각각 상기 기판의 상면에 정공 주입층, 정공 수송층, 유기 발광층, 전자 수송층 및 전자 주입층을 형성하는 용액을 도포하는 기판 처리 장치.
15. 삭제
16. 삭제
17. 제 1 항에 있어서,
    상기 라인에는 상기 기체를 가열하는 히터가 제공되는 기판 처리 장치.
18. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판의 상면을 검사하는 검사유닛을 더 포함하고,
    상기 검사유닛은 상기 지지부재의 양측에 이동 가능하게 결합되는 검사 이송부재; 및
    상기 검사이송부재에 결합되어, 상기 기판의 상면을 촬영하는 검사부재를 포함하는 기판 처리 장치.
19. 기판이 위치되는 지지부재;
    상기 기판에 용액을 도포하는 도포유닛을 포함하는 도포유닛어셈블리; 및
    상기 지지부재의 양측에 이동 가능하게 결합되고, 상기 기판에 도포된 상기 용액에 흡입압력을 제공하는 고형화유닛을 포함하고,
    상기 도포유닛은,
    상기 지지부재의 양측에 이동 가능하게 결합되는 도포이송부재;
    상기 도포이송부재에 결합되어, 상기 기판에 상기 용액을 잉크젯 방식으로 도포하는 도포부재;
    상기 기판의 상면을 검사하는 검사유닛; 및
    상기 기판의 결함을 보수하는 보수유닛을 포함하는 보수유닛어셈블리를 포함하되,
    상기 보수유닛은,
    상기 지지부재의 양측에 이동 가능하게 결합되는 보수이송부재;
    상기 지지부재와 평행한 방향으로 이동 가능하게, 상기 보수이송부재에 결합되는 보수주행부재; 및
    그 길이가 상기 도포부재의 길이보다 짧게 제공되고, 상기 기판에 용액을 도포하는 보수부재를 포함하는 기판 처리 장치.
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