JP4902962B2 - 有機物噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は有機物噴射装置に関し、より詳細には、有機物を基板の指定された位置に液滴形態で精密に滴下する有機物噴射装置に関する。

一般に、表示装置は、情報処理装置で処理されたデータを画像として表示する一種のインターフェース装置である。

表示装置は、蛍光層に衝突する電子の流れを制御して画像を表示する陰極線管表示装置（ＣＲＴ）、液晶を用いて画像を表示する液晶表示装置（ＬＣＤ）、順方向電流により発光する有機発光層を有する有機電界発光表示装置（ＥＬ）、プラズマを用いて画像を表示するプラズマ表示パネル（ＰＤＰ）等多様な種類が開発されている。

最近開発された有機電界発光表示装置（有機エレクトロルミネッセント表示装置）は非常に薄い厚さで製作が可能であり、輝度が高く、色感が豊かであり、電気信号の応答速度が液晶表示装置より非常に速く、フル−カラーディスプレイが可能であり、消費電力量が液晶表示装置より小さく、作動温度範囲が液晶表示装置より広く、生産コストが低いという多様な長所を有する。

有機電界発光表示装置は、基板にマトリックス形態で配置されたアノード電極、基板の全面に形成され、アノード電極部分が選択的に開口され形成されたキャビティを有する有機膜、キャビティに滴下されアノード電極上に形成された有機発光層、有機発光層を覆うカソード電極を含む。

このような典型的な構造を有する有機電界発光表示装置の有機発光層は、正孔注入層（Ｈｏｌｅ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ Ｌａｙｅｒ、ＨＩＬ）、発光層（Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｌａｙｅｒ、ＥＭＬ）、及び選択的に電子注入層（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ Ｌａｙｅｒ、ＥＩＬ）を含む。

有機発光層は、スリットマスク、スピンコーティング、ロールトゥロール（ｒｏｌｌ−ｔｏ−ｒｏｌｌ）、真空蒸着等により形成される。最近では、有機膜に形成されたキャビティの内部に液滴形態で有機発光物質を滴下する「有機物噴射方式」も用いられている。

有機物噴射方式でキャビティに有機発光層を形成するために、従来では複数個のキャビティに液滴形態の有機物を噴射する有機物噴射システムが用いられた。従来の有機物噴射システムは、インクジェットプリンターと類似の作動原理によりキャビティに有機物を噴射するもので、従来の有機物噴射システムは、有機物噴射ユニット及び有機物噴射ユニットを移送する移送装置を含む。

しかし、従来の有機物噴射システムは、１つの有機物噴射ユニットで液滴形態を有する有機発光物質をマトリックス形態で配置されたキャビティに同時に噴射するのが難しいため、従来の有機物噴射ユニットはスキャン方式で各キャビティに有機物を噴射する。

しかし、有機物噴射ユニットがスキャン方式で各キャビティに有機物を噴射することにより、有機物が各キャビティに噴射される間に時間差が発生し、これによって有機物の乾燥時間が変わって、各キャビティに噴射され形成された有機膜の特性及び形態が互いに異なるという問題点を有する。

各キャビティに噴射された有機物の特性及び形態が互いに異なる場合、有機物から形成された各有機層から発生した光の輝度、光の輝度均一性が互いに異なるようになって、致命的な表示不良が発生するという問題点を有する。

これを防止するために、最近開発された有機物噴射システムは、複数個の有機物噴射ユニットから同時に有機物をキャビティに噴射して、有機膜の特性及び形態を均一にする。

しかし、このような従来の有機物噴射システムは、１つの有機物噴射ユニットに１つの移送装置が設置されているので、有機物噴射システムの全体的なサイズが大きく増加する。又、従来の有機物噴射システムは、有機物噴射ユニット間の間隔を調節するのが難しいとう問題点を有する。

従って、本発明はこのような従来の問題点を勘案したものであって、本発明の目的は、システムの設備が占める面積及び部品の個数を減少させながらも、有機物を指定された位置に正確に滴下できる有機物噴射装置を提供することにある。

このような本発明の目的を具現するために、本発明は、液滴形態で有機物を噴射する噴射ユニット、噴射ユニットを指定された方向に移送する移送ユニット、及び移送ユニットと噴射ユニットとの間に介在し噴射ユニットを指定された位置に整列させる位置調整ユニットを含む有機物噴射装置を提供する。

本発明によると、基板上に液滴形態の有機物を指定された位置に精密に滴下して、基板上に良質の有機パターンを形成し有機物を基板上に滴下する設備のサイズを大きく減少させる。

以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。

図１は、本発明の第１実施例による有機物噴射装置の概念図である。

図１を参照すると、有機物噴射装置１００は、噴射ユニット１１０、移送ユニット１２０、及び位置調整ユニット１３０を含む。

噴射ユニット１１０は、有機物、例えば、有機発光物質、カラーフィルター組成物等を液滴形態で基板１０に向かって噴射し、この結果、基板１０には規則的に配置された有機膜パターン２０が形成される。

噴射ユニット１１０は、有機物を基板１０の複数箇所に規則的に滴下するために、複数個の噴射ノズル１１２を含む。噴射ノズル１１２は、基板１０と向かい合うように噴射ユニット１１０上に配置される。

噴射ノズル１１２は、噴射ユニット１１０に複数個が移送ユニット１２０の移送方向と平行に配置される。この際、噴射ノズル１１２は、相互に数〜数百μｍ程度の間隔を有するように噴射ユニット１１０上に精密に配置される。

本実施例において、噴射ユニット１１０は、噴射ノズル１１２を通じて有機物を基板１０の複数箇所に滴下するために、有機物供給ユニット１１５を更に含むことができる。

有機物供給ユニット１１５は、有機物を貯蔵するための有機物貯蔵タンク１１４、及び有機物貯蔵タンク１１４から供給された有機物を各噴射ノズル１１２に供給する供給配管１１３を更に含むことができる。又、有機物供給ユニット１１５は、有機物貯蔵タンク１１４から供給された有機物を指定された流量で噴射ノズル１１２に供給する質量流量制御器（Ｍａｓｓ Ｆｌｏｗ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ、ＭＦＣ）を含むことができる。

移送ユニット１２０は、噴射ユニット１１０を指定された方向に移送する。本実施例において、移送ユニット１２０は噴射ユニット１１０を直線往復運動させ、噴射ユニット１１０が指定された位置で静止状態に置かれるようにする。

一方、噴射ユニット１１０の噴射ノズル１１２は、数〜数百μｍ間隔で配置されているので、位置決めはこれらのもの全てが各々の所定位置に整合しなければならないことを考えると噴射ノズル１１２は移送ユニット１２０のみにより指定された位置に精密に整列させるのは困難である。

噴射ユニット１１０の位置を精密に制御するために、噴射ユニット１１０には位置調整ユニット１３０が配置される。位置調整ユニット１３０は、噴射ユニット１１０の位置をμｍの単位で精密に調節して、噴射ユニット１１０の噴射ノズル１１２を指定された位置に精密に整列させる。

位置調整ユニット１３０は移送ユニット１２０上に配置され、移送ユニット１２０に沿って移送され、噴射ユニット１１０は位置調整ユニット１３０に結合される。

位置調整ユニット１３０は、噴射ユニット１１０を移送ユニット１２０の移送方向と同じ方向に移送する。ここで、位置調整ユニット１３０は、移送方向と同じ方向内で噴射ユニット１１０を前後方向に調整する。

本実施例において、位置調整ユニット１３０は、噴射ユニット１１０の動きを精密に制御する直線往復運動手段を用いることができる。

本実施例によると、移送ユニット１２０により噴射ユニット１１０を短時間内に指定された位置に迅速に移送し、噴射ユニット１１０が指定された位置に到達した後、位置調整ユニット１３０により噴射ユニット１１０の噴射ノズル１１２が指定された位置に正確に整列するようにし、噴射ノズル１１２から噴射された液滴形態の有機物が基板の指定された位置に精密に滴下されるようにする。

図２は、本発明の第２実施例による有機物噴射装置の概念図である。本発明の第２実施例による有機物噴射装置は、実施例１の位置調整ユニットの構成を除くと、実施例１の有機物噴射装置と同じである。従って、 実施例１と同じ部材には、同じ参照番号を付与して、その重複説明は省略する。

図２を参照すると、位置調整ユニット１３０は、好ましく、位置測定ユニット１３２及びデータ処理ユニット１３４を更に含む。

位置測定ユニット１３２は、噴射ユニット１１０の位置を測定する。本実施例において、位置測定ユニット１３２としては、好ましくは、噴射ユニット１１０の位置を判断するための整列キー３０を画像で撮影するイメージ撮影装置が用いられる。イメージ撮影装置は、ＣＣＤカメラを用いることが好ましい。この際、位置測定ユニット１３２は、少なくとも２つの整列キーを用いて、噴射ユニット１１０の位置を測定することができる。

データ処理ユニット１３４は、位置測定ユニット１３２で測定された噴射ユニット１１０の位置データの入力を受け、情報処理機構によって位置データを処理し、この結果、データ処理ユニット１３４は噴射ユニット１１０の位置と関連した整列データを電気的信号フォーマットで保存しまた電気的信号フォーマット形態で位置調整ユニット１３０に出力する。

データ処理ユニット１３４で発生した整列データは、噴射ユニット１１０の整列不良の存否に関し、噴射ユニット１１０の位置が指定された位置から外れている場合、噴射ユニット１１０が整列から外れている方向及びその外れの距離と連関したデータを含む。

データ処理ユニット１３４で発生した整列データは、位置調整ユニット１３０に印加され、位置調整ユニット１３０は整列データによって噴射ユニット１１０を指定された位置に整列させる。

本実施例によると、噴射ユニット１１０の位置を測定する位置測定ユニット１３２、及び位置測定ユニット１３２で測定された位置データを処理するデータ処理ユニット１３４によって位置調整ユニット１３０が噴射ユニット１１０の位置を補正することにより、噴射ユニット１１０を指定された位置に精密に整列させることができるという長所を有する。

図３は、本発明の第３実施例による有機物噴射装置の概念図である。本発明の第３実施例による有機物噴射装置は、実施例１の位置調整ユニットの構成を除くと、実施例１の有機物噴射装置と同じである。従って、実施例１と同じ部材には、同じ参照番号を付与して、その重複説明は省略する。

図３を参照すると、有機物噴射装置１００は、少なくとも２つの位置調整ユニット１３０ａ、１３０ｂ（これらを合わせて１３０で表示する）を含む。

ここで、位置調整ユニット１３０は移送ユニット１２０に支持され、移送ユニット１２０上で２つの位置調整ユニット１３０ａ，１３０ｂがは相互に一定の間隔を保つよう配置される。従って、位置調整ユニット１３０は、移送ユニット１２０の移送方向に沿って移送され、この間２つの位置調整ユニット１３０ａ，１３０ｂは、移送中にも常に同じ間隔を維持する。

噴射ユニット１１０は、位置調整ユニット１３０ａ，１３０ｂにそれぞれ配置される。この際、噴射ユニット１１０間の間隔は、各噴射ユニット１１０の噴射ノズル１１２の幅の倍数になるようにすることが好ましい。

各噴射ユニット１１０間の間隔が互いに変動する場合、各噴射ユニット１１０に配置された噴射ノズル１１２により滴下された有機物の間隔も不均一になる。これを防止するために、各噴射ユニット１１０間の間隔は、位置調整ユニット１３０の調節により均一に調節される。

従って、位置調整ユニット１３０間の間隔が変動したとしても、位置調整ユニット１３０に配置された噴射ユニット１１０は位置調整ユニットによる調整により常に同じ間隔を有するようにでき、基板に液滴形態で滴下された有機物の配置を非常に精密に調節できる。

図４は、本発明の第４実施例による有機物噴射装置の概念図である。本発明の第４実施例による有機物噴射装置は、実施例１の移送ユニットの構成を除くと、実施例１の有機物噴射装置と同じである。従って、実施例１と同じ部材には、同じ参照番号を付与して、その重複説明は省略する。

図４を参照すると、本実施例による移送ユニット１２０は、コンベヤーベルト１２６及び駆動ユニット１２２、１２４を含む。

本実施例において、コンベヤーベルト１２６は閉ループ形状を有する。駆動ユニット１２２、１２４は、閉ループ形状を有するコンベヤーベルト１２６の内側に配置され、コンベヤーベルト１２６が指定された張力を有するように離隔して配置される。駆動ユニット１２２、１２４のうち、いずれか一つ（この例では１２２）は、モーター等により回転する駆動ローラーであり、残りの一つ１２４は、受動ローラーである。駆動ローラーは、コンベヤーベルト１２６を時計方向又は反時計方向で回転させ、受動ローラーはコンベヤーベルト１２６の回転によって回転される。

コンベヤーベルト１２６には、位置調整ユニット１３０が螺子１２６ａ等により堅固に結合され、位置調整ユニット１３０には、噴射ユニット１１０が設けられる。

本実施例において、位置調整ユニット１３０及び噴射ユニット１１０は、コンベヤーベルト１２６に固定されるが、これと異なり、移送ユニット１２０としては直線往復運動を行う多様な手段、例えば、流体圧シリンダー、ボールスクリュー装置等を用いても良い。

本実施例では、移送ユニット１２０としてコンベヤーベルト１２６を用いて、位置調整ユニット１３０及び噴射ユニット１１０を指定された方向に移送することにより、移送ユニット１２０による噴射ユニット１１０の移送性能をより向上させる。

図５は、本発明の第５実施例による有機物噴射装置の概念図である。本発明の第５実施例による有機物噴射装置は、実施例１の移送ユニットの構成を除くと、実施例１の有機物噴射装置と同じである。従って、実施例１と同じ部材には、同じ参照番号を付与して、その重複説明は省略する。

移送装置１２０により位置調整ユニット１３０及び噴射ユニット１１０を指定された方向に移送する途中、位置調整ユニット１３０又は噴射ユニット１１０が激しく揺れる場合、移送後、噴射ユニット１１０により液滴形態で噴射された有機物が指定された位置に正しく滴下されない場合がある。

本実施例では、これを防止するために、位置調整ユニット１３０又は噴射ユニット１１０が移送される移送経路上にはガイドレール１４０が配置される。

ガイドレール１４０は、位置調整ユニット１３０又は噴射ユニット１１０のうち、いずれか一つ又は両方に組み合わされるように配置されることができる。本実施例においては、ガイドレール１４０は、好ましい態様として、位置調整ユニット１３０を貫通するよう配置され、この結果、位置調整ユニット１３０及び噴射ユニット１１０は、移送ユニット１２０により移送される途中、 揺れ及び振動が防止される。

ガイドレール１４０は、棒、例えば、円柱形態で製作することが好ましく、それらの２つの組が位置調整ユニット１３０又は噴射ユニット１１０を通過することが好ましい。

本実施例によると、コンベヤーベルト等のような直線往復運動手段によって、噴射ユニット１１０又は位置調整ユニット１３０を移送する途中に発生する揺れをガイドレール１４０で防止して、噴射ユニット１１０で噴射された有機物が指定された位置に正しく滴下されるようにする。

図６は、本発明の第６実施例による有機物噴射装置の概念図である。本発明の第６実施例による有機物噴射装置は、実施例１の噴射ユニットの構成を除くと、実施例１の有機物噴射装置と同じである。従って、実施例１と同じ部材には、同じ参照番号を付与して、その重複説明は省略する。

図６を参照すると、位置調整ユニット１３０と噴射ユニット１１０との間には、噴射ユニット１１０を基板１０と平行な状態で回動させる回動ユニット１５０が配置される。回動ユニット１５０は、噴射ユニット１１０を基板１０上で所定角度回動させる。

回動ユニット１５０は、モーター及びギア等の組合せで製作され、有機物を配布すべき所定の位置の列に対し噴射ノズル１１２の列の方向が正確に一致していない場合でも有機物を基板上に正確に滴下することが可能になる。

即ち本実施例によると、噴射ユニット１１０に回動ユニット１５０が設けられ、それにより噴射ユニット１１０を角度的に調整し正確に基板に有機物を滴下することができる長所を有する。

図７は、本発明の第７実施例による有機物噴射装置の概念図である。

図７を参照すると、有機物噴射装置１００は、噴射ユニット１１０、移送ユニット１２０、結合ユニット１６０、及び位置調整ユニット１３０を更に含む。

噴射ユニット１１０は、有機物、例えば、有機発光物質、カラーフィルター組成物、及びその他の有機物を液滴形態で基板１０に向かって噴射し、この結果、基板１０上には一定のパターンを有する有機膜２０が形成される。本実施例において、噴射ユニット１１０は、１つ又は２つあるいはそれ以上で構成されることができ、噴射ユニット１１０が複数個で構成される場合、各噴射ユニット１１０は直列配置される。

有機物を基板１０の複数箇所に滴下するために、噴射ユニット１１０は、複数個の噴射ノズル１１２を含む。噴射ノズル１１２は、基板１０と向かい合うように噴射ユニット１１０上に配置され、噴射ノズル１１２は、複数個が該移送ユニット１２０の方向と平行に噴射ユニット１１０上に配置される。この際、噴射ノズル１１２は、相互に数〜数百μｍ程度の間隔を有する。

噴射ユニット１１０は、噴射ノズル１１２を通じて有機物を基板１０の複数箇所に滴下するために、有機物供給ユニット１１５を更に含むことができる。

有機物供給ユニット１１５は、有機物を貯蔵するための有機物貯蔵タンク１１４、及び有機物貯蔵タンク１１４から供給された有機物を各噴射ノズル１１２に供給する供給配管１１３を更に含むことができる。

又、有機物供給ユニット１１５は、有機物貯蔵タンク１１４から供給された有機物を指定された流量で噴射ノズル１１２に供給する質量流量制御器ＭＦＣを更に含むことができる。

又、噴射ユニット１１０は、回動ユニット１５０を更に含むことができる。回動ユニット１５０は、噴射ユニット１１０を水平方向で所定角度回動させる。

回動ユニット１５０は、モーター及びギア等の組合せで製作され、有機物を配布すべき所定の位置の列に対し噴射ノズル１１２の列の方向が正確に一致していない場合でも基板上に有機物を正確に滴下するようにする。

又、噴射ユニット１１０は、後述される移送ユニット１２０により移送される途中、後述する手段を講じないと振動又は揺れが発生する恐れがあり、これによって、噴射ユニット１１０の噴射ノズル１１２から噴射された有機物が指定された位置に正確に滴下されない場合がある。これを防止するために、噴射ユニット１１０には、噴射ユニット１１０の揺れを防止するためのガイドレール１４０を組み合わせることが好ましい。

移送ユニット１２０は、噴射ユニット１１０を指定された方向に移送する。本実施例において、移送ユニット１１０は噴射ユニット１１０を直線往復運動させ、噴射ユニット１１０が指定された位置で静止させられるようにする。噴射ユニットが複数の場合、それらの間隔は一定に保たれる。本実施例において、移送ユニット１２０としては、コンベヤーベルト移送装置、流圧シリンダー、及ボールスクリュー装置等のような直線往復運動手段が用いられることができる。

結合ユニット１６０は、移送ユニット１２０に配置される。結合ユニット１６０は、移送ユニット１２０に配置され移送ユニット１２０の移送方向に沿って移送される。結合ユニット１６０は、位置調整ユニット１３０又は噴射ユニット１１０を移送ユニット１２０上に直接連結することが難しい時に用いられる。

位置調整ユニット１３０は、結合ユニット１６０と噴射ユニット１１０との間に介在される。位置調整ユニット１３０は、結合ユニット１６０及び噴射ユニット１１０を機械的に連結し、噴射ユニット１１０が指定された位置に精密に整列されるように噴射ユニット１１０の位置を精密に制御する。

本実施例において、位置調整ユニット１３０は、噴射ユニット１１０を直線往復運動させるための直線往復運動手段を含む。

本実施例において、位置調整ユニット１３０は、好ましくは、位置測定ユニット１３２及びデータ処理ユニット１３４を更に含むことができる。

位置測定ユニット１３２は、噴射ユニット１１０の位置を測定する。本実施例において、位置測定ユニット１３２としては、好ましくは、噴射ユニット１１０の位置を判断するための整列キー３０を画像で撮影するイメージ撮影装置が用いられる。イメージ撮影装置は、ＣＣＤカメラを用いることが好ましい。

データ処理ユニット１３４は、位置測定ユニット１３２で測定された噴射ユニット１１０の位置データの入力を受けて、情報処理機構により処理し、この結果、データ処理ユニット１３４は、噴射ユニット１１０の位置と関連した整列データを電気的信号フォーマットで保存しまた位置調整ユニット１３０に出力する。

データ処理ユニット１３４から発生した整列データは、噴射ユニット１１０の整列不良の存否と連関したデータ及び噴射ユニット１１０の整列方向及び整列距離と連関したデータを含む。

データ処理ユニット１３４で発生した整列データは、位置調整ユニット１３０に印加され、位置調整ユニット１３０は、整列データにより噴射ユニット１１０を指定された位置に整列させる。

図８は、本発明の第８実施例による有機物噴射装置の概念図である。

図８を参照すると、有機物噴射装置１００は、第１有機物噴射装置２００及び第２有機物噴射装置３００を含む。

第１有機物噴射装置２００は、第１噴射ユニット２１０、第１移送ユニット２２０、及び第１位置調整ユニット２３０を含む。

第１噴射ユニット２１０は、有機物、例えば、有機発光物質、カラーフィルター組成物、及びその他の有機物を液滴形態で基板１０に向かって噴射し、この結果、基板１０には一定のパターンで有機膜２０が形成される。第１噴射ユニット２１０は、１つ又は複数個を設けることができ、本実施例では図示のものは第１噴射ユニット２１０を２つ有するが、第１噴射ユニットの数がそれより多い場合もその作動原理は同様である。

複数個の第１噴射ユニット２１０はそれぞれ直列に配置され、有機物を基板１０の複数の箇所で滴下するために、各第１噴射ユニット２１０は、複数個の第１噴射ノズル２１２を含む。第１噴射ノズル２１２は、基板１０と向かい合うよう各第１噴射ユニット２１０に配置され、第１噴射ノズル２１２は、各第１噴射ユニット２１０上に相互に数〜数百μｍ程度の間隔を有するように精密に配置される。

第１噴射ユニット２１０は、第１噴射ノズル２１２を通じて有機物を基板１０の複数箇所に滴下するために、有機物供給ユニット５００に接続される。

有機物供給ユニット５００は、有機物を貯蔵するための有機物貯蔵タンク５１０、及び有機物貯蔵タンク５１０から供給された有機物を各噴射ノズル２１２に供給する供給配管５２０を更に含むことができる。又、有機物供給ユニット５００は、有機物貯蔵タンク５１０から供給された有機物を指定された流量で第１噴射ノズル２１２に供給する質量流量制御器（ＭＦＣ）を含むことができる。

有機物供給ユニット５００は、第１有機物噴射装置２００、及び第２有機物噴射装置３００に共通的に有機物を供給する。

第１移送ユニット２２０は、第１噴射ユニット２１０を指定された方向に移送する。本実施例において、第１移送ユニット２２０は、第１噴射ユニット２１０を直線往復運動させ、第１噴射ユニット２１０が基板１０の指定された位置で静止するようにする。

一方、第１噴射ユニット２１０の第１噴射ノズル２１２は、数〜数百μｍの間隔で配置されているので、第１移送ユニット２２０により第１噴射ノズル２１２を指定された位置に精密に整列させるのが非常に難しい。

第１噴射ユニット２１０の位置を精密に制御するために、第１噴射ユニット２１０には、第１位置調整ユニット２３０が配置される。第１位置調整ユニット２３０は、第１噴射ユニット２１０の位置を非常に微細に調節して、第１噴射ユニット２１０の第１噴射ノズル２１２を指定された位置に精密に整列させる。

第１位置調整ユニット２３０は、第１移送ユニット２２０と第１噴射ユニット２１０との間に配置され、第１移送ユニット２２０と共に移送される。

第１位置調整ユニット２３０は、第１噴射ユニット２１０を第１移送ユニット２２０の移送方向と同じ方向に移送する。ここで、第１位置調整ユニット２３０は、移送方向と同じ方向内で第１噴射ユニット２１０を前後の方向に調整できるようにすることが好ましい。

本実施例において、第１位置調整ユニット２３０は、第１噴射ユニット２１０の動きを精密に制御する直線往復運動手段を用いることができる。

第２有機物噴射装置３００は、第２噴射ユニット３１０、第２移送ユニット３２０、及び第２位置調整ユニット３３０を含む。

第２噴射ユニット３１０は、有機物、例えば、有機発光物質、カラーフィルター組成物、及びその他の有機物を液滴形態で基板１０に向かって噴射し、この結果、基板１０には一定のパターンを有する有機膜が形成される。第２噴射ユニット３１０は、１つ又は複数個を設けることができ、本実施例では図示のものは第２噴射ユニット３１０を２つ有するが、第２噴射ユニットの数がそれより多い場合もその作動原理は同様である。

複数個の第２噴射ユニット３１０は、それぞれ直列に配置される。又、第２噴射ユニット３１０は、第１噴射ユニット２１０とそれぞれ平行に配置される。

各第２噴射ユニット３１０は、有機物を基板１０の複数箇所に滴下するために、複数個の第２噴射ノズル３１２を含む。第２噴射ノズル３１２は、基板１０と向かい合うよう各第２噴射ユニット３１０に配置され、第２噴射ノズル３１２は、各第２噴射ユニット３１０上に相互に数〜数百μｍ程度の間隔を有するように精密に配置される。

ここで、第１噴射ノズル２１２及び第２噴射ノズル３１２は、相互にジグザグの関係で配置され、第１噴射ノズル２１２及び第２噴射ノズル３１２で噴射された有機物は、同じ位置に滴下されない。この配置により、第１及び第２移送ユニット２２０，３２０を図８の矢印の方向に移動させることにより全ての有機膜パターン２０の位置をカバーすることができる。

第２噴射ユニット３１０は、前述した有機物供給ユニット５００により有機物の供給を受けるもので、これに関しては有機物供給ユニット５００の重複された説明は省略する。

第２移送ユニット３２０は、第２噴射ユニット３１０を指定された方向に移送する。本実施例において、第２移送ユニット３２０は、第２噴射ユニット３１０を直線往復運動させ、第２噴射ユニット３１０が指定された位置で静止するようにする。

一方、第２噴射ユニット３１０の第２噴射ノズル３１２は、数〜数百μｍの間隔で配置されているので、第２移送ユニット３２０により第２噴射ノズル３１２を指定された位置に精密に整列させるのが非常に難しい。

特に、第１移送ユニット２２０及び第２移送ユニット３２０はそれぞれ個別に駆動されるので、第１移送ユニット２２０により移送される第１噴射ユニット２１０及び第２移送ユニット３２０により移送される第２噴射ユニット３１０を共に指定された位置に精密に整列させるのが非常に難しい。

第２噴射ユニット３１０の位置を精密に制御するために、第２噴射ユニット３１０には第２位置調整ユニット３３０が配置される。第２位置調整ユニット３３０は、第２噴射ユニット３１０の位置を非常に微細に調節して、第２噴射ユニット３１０の第２噴射ノズル３１２を指定された位置に精密に整列させる。

第２位置調整ユニット３３０は、第２移送ユニット３２０と第２噴射ユニット３１０との間に配置され、第２移送ユニット３２０と共に移送される。

第２位置調整ユニット３３０は、第２噴射ユニット３１０を第２移送ユニット３２０の移送方向と同じ方向に移送する。ここで、第２位置調整ユニット３３０は、移送方向と同じ方向内で第２噴射ユニット３１０を前後方向に調整できるようにすることが好ましい。

本実施例において、第２位置調整ユニット３３０は、第２噴射ユニット３１０の動きを精密に制御する直線往復運動手段を用いることができる。

以上で詳細に説明したように、基板に有機物を液滴形態で滴下する設備のサイズをよりコンパクトにすることができ、基板の指定された位置に有機物を正確に滴下できるという長所を有する。

以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。

本発明の一実施例による有機物噴射装置の概念図である。 本発明の他の実施例による有機物噴射装置の概念図である。 本発明のさらに他の実施例による有機物噴射装置の概念図である。 本発明のさらに他の実施例による有機物噴射装置の概念図である。 本発明のさらに他の実施例による有機物噴射装置の概念図である。 本発明のさらに他の実施例による有機物噴射装置の概念図である。 本発明のさらに他の実施例による有機物噴射装置の概念図である。 本発明のさらに他の実施例による有機物噴射装置の概念図である。

符号の説明

１０ 基板
２０ 有機膜パターン
３０ 整列キー
１００ 有機物噴射装置
１１０ 噴射ユニット
１１２ 噴射ノズル
１１４、５１０ 有機物貯蔵タンク
１１５、５００ 有機物供給ユニット
１２０ 移送ユニット
１２２、１２４ 駆動ユニット
１２６ コンベヤーベルト
１２６ａ 螺子
１３０ 位置調整ユニット
１３２ 位置測定ユニット
１３４ データ処理ユニット
１４０ ガイドレール
１５０ 回動ユニット
１６０ 結合ユニット
２００ 第１有機物噴射装置
２１０ 第１噴射ユニット
２１２ 第１噴射ノズル
２２０ 第１移送ユニット
２３０ 第１位置調整ユニット
３００ 第２有機物噴射装置

Claims (16)

1. 液滴形態で有機物を噴射する少なくとも２個が直列に配置された複数の噴射ユニットと、
   前記複数の噴射ユニットを第１方向及び前記第１方向の反対方向である第２方向に移送する移送ユニットと、
   前記移送ユニットと前記複数の噴射ユニットとの間にそれぞれ介在し、前記移送ユニットによって移送され、前記第１方向及び前記第２方向に前記複数の噴射ユニットをそれぞれ動かして前記複数の噴射ユニットをそれぞれ所定の位置に配置するよう制御する複数の位置調整ユニットと、を含む有機物噴射装置であって、
   前記複数の位置調整ユニットは、それぞれ前記移送ユニットにより移送される間、前記複数の位置調整ユニットにそれぞれ結合された前記複数の噴射ユニット間の間隔が互いに同じ間隔となるように制御し、
   前記複数の位置調整ユニットにより互いに同じ間隔となるように制御された前記複数の噴射ユニットは有機物を液滴形態で噴射することを特徴とする有機物噴射装置。
2. 前記噴射ユニットは、前記有機物を噴射するために、複数個が前記第１方向とほぼ平行に配置された噴射ノズルを含むことを特徴とする請求項１記載の有機物噴射装置。
3. 前記位置調整ユニットは、前記噴射ユニットを移動させるための直線往復運動手段を含むことを特徴とする請求項１記載の有機物噴射装置。
4. 前記位置調整ユニットは、前記噴射ユニットの位置を測定するための位置測定ユニットを更に含むことを特徴とする請求項１記載の有機物噴射装置。
5. 前記移送ユニットは、前記位置調整ユニットに結合された噴射ユニットを直線往復運動させるコンベヤーベルト及び該コンベヤーベルトを駆動する駆動ユニットを含むことを特徴とする請求項１記載の有機物噴射装置。
6. 前記噴射ユニットは、前記噴射ユニットの移動を案内するためのガイドレールと組み合わされることを特徴とする請求項１記載の有機物噴射装置。
7. 前記噴射ユニットは、前記噴射ユニットを回動させるための回動ユニットを更に含むことを特徴とする請求項１記載の有機物噴射装置。
8. 液滴形態で有機物を噴射するものであり、少なくとも２個が直列に配置された複数の噴射ユニットと、
   前記複数の噴射ユニットを第１方向及び前記第１方向の反対方向である第２方向に移送するための移送ユニットと、
   前記移送ユニットと前記複数の噴射ユニットとの間にそれぞれ配置され、前記移送ユニットに前記噴射ユニットを結合させるための複数の結合ユニットと、
   前記複数の噴射ユニットと前記複数の結合ユニットとの間にそれぞれ配置され、前記移送ユニットによって移送され、前記第１方向及び前記第２方向に前記複数の噴射ユニットをそれぞれ動かして前記複数の噴射ユニット間の間隔を調節して、前記複数の噴射ユニットをそれぞれ所定の位置に配置するよう制御するための複数の位置調整ユニットと、を含む有機物噴射装置であって、
   前記複数の位置調整ユニットは、それぞれ前記移送ユニットにより移送される間、前記複数の位置調整ユニットにそれぞれ結合された前記複数の噴射ユニット間の間隔が互いに同じ間隔となるように制御し、
   前記複数の位置調整ユニットにより互いに同じ間隔となるように制御された前記複数の噴射ユニットは有機物を液滴形態で噴射することを特徴とする有機物噴射装置。
9. 前記各噴射ユニットは、前記有機物を噴射するために、複数個が前記第１方向とほぼ平行に配置された噴射ノズルを含むことを特徴とする請求項８記載の有機物噴射装置。
10. 前記噴射ユニット間の間隔を調節するために、前記各位置調整ユニットを直線往復運動させる直線往復運動手段を含むことを特徴とする請求項８記載の有機物噴射装置。
11. 前記移送ユニットは、前記位置調整ユニットを直線往復運動させるコンベヤーベルト及び該コンベヤーベルトを駆動する駆動ユニットを含むことを特徴とする請求項８記載の有機物噴射装置。
12. 前記噴射ユニットは、前記噴射ユニットの移動を案内するためのガイドレールと組み合わされることを特徴とする請求項８記載の有機物噴射装置。
13. 前記各噴射ユニットは、前記噴射ユニットの位置を撮影し位置調整のデータを提供するための画像撮影ユニットを更に含むことを特徴とする請求項８記載の有機物噴射装置。
14. 前記各噴射ユニットは、前記噴射ユニットを回動させるための回動ユニットを更に含むことを特徴とする請求項８記載の有機物噴射装置。
15. 液滴形態で有機物を噴射する少なくとも２個が直列に配置された複数の第１噴射ユニット及び前記複数の第１噴射ユニットに連結され前記第１噴射ユニットを第１方向及び前記第１方向の反対方向である第２方向に移送する第１移送ユニットを含む第１有機物噴射装置と、
    液滴形態で有機物を噴射する少なくとも２個が直列に配置された複数の第２噴射ユニット及び前記複数の第２噴射ユニットに連結され前記第２噴射ユニットを前記第１方向及び前記第２方向に移送する第２移送ユニットを含む第２有機物噴射装置と、
    前記第１移送ユニットと前記複数の第１噴射ユニットにそれぞれ配置され、前記第１移送ユニットによって移送され、前記第１方向及び前記第２方向に前記複数の第１噴射ユニットをそれぞれ動かして前記複数の第１噴射ユニットをそれぞれ所定の位置に配置するよう制御する複数の第１位置調整ユニットと、
    前記第２移送ユニットと前記複数の第２噴射ユニットにそれぞれ配置され、前記第２移送ユニットによって移送され、前記第１方向及び前記第２方向に前記複数の第２噴射ユニットをそれぞれ動かして前記複数の第２噴射ユニットをそれぞれ所定の位置に配置するよう制御する複数の第２位置調整ユニットと、を含む有機物噴射装置であって、
    前記複数の第１及び第２位置調整ユニットは、それぞれ前記第１及び第２移送ユニットにより移送される間、前記複数の第１及び第２位置調整ユニットにそれぞれ結合された前記複数の第１及び第２噴射ユニット間の間隔が互いに同じ間隔となるように制御し、
    前記複数の第１及び第２位置調整ユニットにより互いに同じ間隔となるように制御された前記複数の第１及び第２噴射ユニットは有機物を液滴形態で噴射することを特徴とする有機物噴射装置。
16. 前記第１及び第２噴射ユニットは、それぞれ、前記第１及び第２移送ユニットにジグザグ形態で配置されることを特徴とする請求項１５記載の有機物噴射装置。

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