JP2011061060A - 貼り合わせ基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】熱処理を伴わない薄膜化ストップ層の除去が可能で、このストップ層の除去作業が簡易化して基板の生産効率が高まり、熱処理による欠陥が発生せず、ウェーハ面内での研磨量均一性を保持してのストップ層の研磨が可能な貼り合わせ基板の製造方法を提供する。
【解決手段】貼り合わせウェーハを活性層用ウェーハ側から薄膜化して薄膜化ストップ層を露出後、薄膜化ストップ層をHF溶液によりポーラス化し、薄膜化ストップ層を研磨のみで除去する。これにより、熱処理を伴わない薄膜化ストップ層の除去が可能で、このストップ層の除去作業が容易化して基板の生産効率が高まり、熱処理による欠陥が発生せず、ウェーハ面内での研磨量均一性を保持してのストップ層の研磨が可能となる。
【選択図】図1
【解決手段】貼り合わせウェーハを活性層用ウェーハ側から薄膜化して薄膜化ストップ層を露出後、薄膜化ストップ層をHF溶液によりポーラス化し、薄膜化ストップ層を研磨のみで除去する。これにより、熱処理を伴わない薄膜化ストップ層の除去が可能で、このストップ層の除去作業が容易化して基板の生産効率が高まり、熱処理による欠陥が発生せず、ウェーハ面内での研磨量均一性を保持してのストップ層の研磨が可能となる。
【選択図】図1
Description
この発明は、貼り合わせ基板の製造方法、詳しくは例えば薄膜貼り合わせSOIウェーハおよび裏面照射型固体撮像素子など、活性層の薄膜化が必要な貼り合わせ基板の製造方法に関する。
貼り合わせ基板の一種である例えば貼り合わせSOIウェーハは、一般的に、シリコンからなる活性層用ウェーハと、シリコンからなる支持基板用ウェーハとを絶縁膜を介して貼り合わせ、その後、活性層用ウェーハをその裏面側から研削、研磨して所望の厚さの活性層とすることで製造される。また、他の貼り合わせ基板として、デバイスの微細化、低消費電力化の要求に対応するため、絶縁膜を介さず、2枚のウェーハを直接貼り合わせるDSB(Direct Silicon Bond)ウェーハも開発されている。
半導体デバイスの高集積度化、高速度化が提唱される中、貼り合わせ基板における活性層の極薄膜化、高平坦化の傾向は著しい。例えば、裏面照射型CMOS固体撮像素子の製造工程においては、今日、活性層の厚さを0.3μm以下、表面粗さを2.0nm(rms)以下まで低減することが要求されている。
このように、極薄でかつ高平坦度の活性層を有した貼り合わせ基板を製造する際には、両ウェーハの貼り合わせ後、所望の平坦度や所望の厚さの活性層を得るため、新たな活性層用ウェーハの研削および研磨の技術開発が必要となる。しかも、このように新しい生産技術を開発するためには、製品の高精度化のみならず、生産効率、低コスト化も考慮する必要がある。
従来、このような貼り合わせ基板の製造方法として、特許文献1に記載のものが知られている。これは、酸素のイオン注入層を有した活性層用ウェーハと支持基板用ウェーハとを貼り合わせ、その後、アルカリ性研磨液を供給しながら、活性層用ウェーハ側からイオン注入層まで研削、研磨(エッチング)してイオン注入層を露出し、その後、貼り合わせウェーハを熱処理し、このイオン注入層の露出面に酸化膜を形成する。次に、HF溶液を使用し、酸化膜とともにイオン注入層をエッチングする。これにより、活性層の薄膜化および膜厚の均一化を可能とするものである。
しかしながら、特許文献1に記載された従来法では、このように貼り合わせウェーハを活性層用ウェーハ側から薄膜化してイオン注入層を露出し、次に貼り合わせウェーハを熱処理してイオン注入層の表面側に酸化膜(犠牲酸化膜)を形成し、その後、HF溶液に貼り合わせウェーハを浸漬することで、イオン注入層を酸化膜とともにエッチング除去していた。そのため、イオン注入層の除去作業が煩雑となり、貼り合わせ基板の生産効率が低下していた。
ところで、例えば特許文献1の技術を利用して裏面照射型CMOS固体撮像素子を製造する際には、まず活性層用ウェーハに酸素をイオン注入してイオン注入層を設け、次に活性層の表面にエピタキシャル膜を成膜し、エピタキシャル膜へのデバイスの形成後、活性層用ウェーハと支持基板用ウェーハとを貼り合わせて貼り合わせウェーハとし、次いで上述した薄膜化処理により、活性層を除く活性層用ウェーハとイオン注入層とを除去していた。
しかしながら、この貼り合わせウェーハにあっては、イオン注入層の直下(裏側)に、デバイスを含むエピタキシャル膜が存在することになる。そのため、特許文献1の技術のうち、高温酸化処理(犠牲酸化)を伴ったイオン注入層の除去は採用することができなかった。これは、高温酸化処理時に、エピタキシャル膜中のデバイスが熱により劣化するためである。
しかしながら、この貼り合わせウェーハにあっては、イオン注入層の直下(裏側)に、デバイスを含むエピタキシャル膜が存在することになる。そのため、特許文献1の技術のうち、高温酸化処理(犠牲酸化)を伴ったイオン注入層の除去は採用することができなかった。これは、高温酸化処理時に、エピタキシャル膜中のデバイスが熱により劣化するためである。
そこで、発明者は鋭意研究の結果、貼り合わせウェーハからのイオン注入層(薄膜化ストップ層)の除去方法として、上述した犠牲酸化を伴わずに行う研磨に着目した。すなわち、研磨を主体としたイオン注入層の除去方法を開発すれば、このような問題は全て解消されることを知見し、この発明を完成させた。
ただし、研磨のみによるイオン注入層の除去では、イオン注入層の研磨量がウェーハ面内でばらつくおそれがある。これは、イオン注入層の組成が面内で異なるためで、特にイオン注入層の外周部が研磨されやすい。その結果、近年の活性層に対する極薄化および高平坦化の傾向に対応できない。例えば、裏面照射型CMO固体撮像素子においては、活性層の厚さを0.3μm以下、その表面粗さを2.0rms(nm)以下とする要請がある。
ただし、研磨のみによるイオン注入層の除去では、イオン注入層の研磨量がウェーハ面内でばらつくおそれがある。これは、イオン注入層の組成が面内で異なるためで、特にイオン注入層の外周部が研磨されやすい。その結果、近年の活性層に対する極薄化および高平坦化の傾向に対応できない。例えば、裏面照射型CMO固体撮像素子においては、活性層の厚さを0.3μm以下、その表面粗さを2.0rms(nm)以下とする要請がある。
そこで、発明者のさらなる鋭意研究の結果、活性層用ウェーハの薄膜化により露出したイオン注入層(薄膜化ストップ層)をHF溶液と接触させ、イオン注入層中のシリコン酸化物のみをエッチングすることにより、イオン注入層を機械加工が容易なポーラス(多孔質)状とする技術を開発するに至った。そして、このポーラスなイオン注入層を上述した研磨のみで除去すれば、ウェーハ面内での研磨量均一性の問題を含めた全ての課題を解消可能であることを知見し、この発明を完成させた。
この発明は、熱処理を伴わない薄膜化ストップ層の除去が可能となり、これにより薄膜化ストップ層の除去作業の煩雑さが解消されて貼り合わせ基板の生産効率が高まり、かつこの熱処理を原因とした半導体素子などの欠陥が発生せず、しかもウェーハ面内での研磨量均一性を保持して薄膜化ストップ層を研磨することも可能な貼り合わせ基板の製造方法を提供することを目的としている。
請求項1に記載の発明は、シリコンからなる活性層用ウェーハの表面から酸素をイオン注入して、前記活性層用ウェーハの表層に、シリコン粒とシリコン酸化物とが混在する薄膜化ストップ層を形成し、かつ該薄膜化ストップ層より前記活性層用ウェーハの表面側に活性層を形成し、その後、該活性層の表面に直接または絶縁膜を介して間接的に、シリコンからなる支持基板用ウェーハを貼り合わせて貼り合わせウェーハを作製し、この貼り合わせ後、前記活性層用ウェーハを、該活性層用ウェーハの裏面側から薄膜化して前記薄膜化ストップ層を露出させ、次に、前記貼り合わせウェーハをHF溶液に浸漬し、前記露出した薄膜化ストップ層中のシリコン酸化物を除去することで前記薄膜化ストップ層をポーラス化し、その後、該ポーラスな薄膜化ストップ層を研磨により除去する貼り合わせ基板の製造方法である。
請求項1に記載の発明によれば、酸素のイオン注入により形成された薄膜化ストップ層を含む活性層用ウェーハと支持基板用ウェーハとを貼り合わせ、得られた貼り合わせウェーハから所定厚さの活性層を有した貼り合わせ基板を製造する。
その際には、まず活性層用ウェーハ(貼り合わせウェーハ)を、活性層用ウェーハの裏面側から薄膜化して薄膜化ストップ層を露出させる。その後、貼り合わせウェーハをHF溶液に浸漬し、薄膜化ストップ層中のシリコン酸化物(SiO2など)のみをエッチングし、薄膜化ストップ層を機械加工が容易なポーラス状とする。次に、このポーラスな薄膜化ストップ層を研磨により除去する。
その際には、まず活性層用ウェーハ(貼り合わせウェーハ)を、活性層用ウェーハの裏面側から薄膜化して薄膜化ストップ層を露出させる。その後、貼り合わせウェーハをHF溶液に浸漬し、薄膜化ストップ層中のシリコン酸化物(SiO2など)のみをエッチングし、薄膜化ストップ層を機械加工が容易なポーラス状とする。次に、このポーラスな薄膜化ストップ層を研磨により除去する。
そのため、薄膜化ストップ層の除去に際して、従来のような犠牲酸化の熱処理が不要となり、作業の煩雑さが解消され、貼り合わせ基板の生産効率を高めることができる。しかも、薄膜化ストップ層をポーラス化したことで、ポーラスでない薄膜化ストップ層を研磨する場合に比べて、ウェーハ面内での研磨量均一性を保持し、薄膜化ストップ層を研磨により除去することができる。その結果、活性層のさらなる膜厚の均一化を可能とすることができる。
また、従来のように、薄膜化ストップ層を犠牲酸化するための高温酸化処理を行わなくとも、薄膜化ストップ層を高精度に除去することができる。その結果、裏面照射型固体撮像素子などの製造工程への適用も可能となる。
また、従来のように、薄膜化ストップ層を犠牲酸化するための高温酸化処理を行わなくとも、薄膜化ストップ層を高精度に除去することができる。その結果、裏面照射型固体撮像素子などの製造工程への適用も可能となる。
貼り合わせ基板としては、例えば貼り合わせSOI基板、裏面照射型固体撮像素子などを採用することができる。このうち、固体撮像素子としては、例えばCMOS型のものを採用することができる。その他、CCD型のものなどでもよい。ここでの固体撮像素子は、撮像領域の画素分離領域部、半導体ウェル領域部およびフォトダイオードが形成されたエピタキシャル膜と、多層配線層とから構成されている。
活性層用ウェーハおよび支持基板用ウェーハとしては、例えば単結晶シリコンウェーハ、多結晶シリコンウェーハなどを採用することができる。活性層用ウェーハおよび支持基板用ウェーハの厚さは、例えば725〜775μmである。
活性層用ウェーハおよび支持基板用ウェーハには、P型のドーパント(Bなど)またはN型のドーパント(P、As、Sbなど)を添加し、所定の比抵抗とすることができる。
活性層用ウェーハおよび支持基板用ウェーハとしては、例えば単結晶シリコンウェーハ、多結晶シリコンウェーハなどを採用することができる。活性層用ウェーハおよび支持基板用ウェーハの厚さは、例えば725〜775μmである。
活性層用ウェーハおよび支持基板用ウェーハには、P型のドーパント(Bなど)またはN型のドーパント(P、As、Sbなど)を添加し、所定の比抵抗とすることができる。
活性層用ウェーハの表層への酸素のイオン注入は、低エネルギ法(100keV以下)、低ドーズ法、モデファイド低ドーズ法の何れのSIMOXプロセスのイオン注入に準じてもよい。何れを採用した場合でも、酸素のイオン注入量は、該当するSIMOXプロセスの場合の25〜50%とする方が好ましい。
酸素イオン注入時の活性層用ウェーハの加熱温度は、例えば200℃〜600℃である。200℃未満では、活性層用ウェーハの表層に酸素の大きい注入ダメージが残る。また、600℃を超えれば、イオン注入機からの脱ガス量が増加する。
酸素の注入エネルギは、20〜220keVである。20keV未満では、活性層用ウェーハの表面欠陥が大きくなる。また、220keVを超えれば、市販のイオン注入機では対応できず、イオン注入エネルギが大きい特別な注入機が必要となる。
酸素イオン注入時の活性層用ウェーハの加熱温度は、例えば200℃〜600℃である。200℃未満では、活性層用ウェーハの表層に酸素の大きい注入ダメージが残る。また、600℃を超えれば、イオン注入機からの脱ガス量が増加する。
酸素の注入エネルギは、20〜220keVである。20keV未満では、活性層用ウェーハの表面欠陥が大きくなる。また、220keVを超えれば、市販のイオン注入機では対応できず、イオン注入エネルギが大きい特別な注入機が必要となる。
酸素のイオン注入量は、1.0×1016atoms/cm2〜1.5×1017atoms/cm2である。1.0×1016atoms/cm2未満では、薄膜化ストップ層が活性層用ウェーハの薄化処理時の終点検知部としての機能を十分に果たすことができない。また、1.5×1017atoms/cm2を超えれば、活性層用ウェーハの表層への酸素のイオン注入時間が長くなり、貼り合わせ基板の生産性が低下し、コスト高を招く。酸素の好ましいイオン注入量は、6.5×1016atoms/cm2〜1.3×1017atoms/cm2である。この範囲であれば、貼り合わせ基板の生産性を極端に低下させず、終点検知層の形成が可能というさらに好適な効果が得られる。
酸素のイオン注入深さは、0.05〜0.5μmである。酸素の活性層用ウェーハの表層へのイオン注入は1回のみでも、複数回に分けて注入してもよい。また、酸素イオンを複数の注入エネルギで注入してもよい。
酸素のイオン注入深さは、0.05〜0.5μmである。酸素の活性層用ウェーハの表層へのイオン注入は1回のみでも、複数回に分けて注入してもよい。また、酸素イオンを複数の注入エネルギで注入してもよい。
薄膜化ストップ層とは、SiO2を含むSiOXからなる析出酸化物や帯状酸化物などのシリコン酸化物と、活性層用ウェーハ中のシリコンが酸素のイオン注入により粒状化したシリコン粒とが所定の割合で混在し、かつ活性層用ウェーハの表層に埋め込まれた、完全でないシリコン酸化膜(不完全埋め込み酸化膜)をいう。完全でないシリコン酸化膜とは、薄膜化ストップ層の全域でシリコン酸化膜が非連続的に(断続的に)形成されている状態をいう。
薄膜化ストップ層の厚さは0.05〜0.5μmである。0.05μm未満では活性層用ウェーハの薄膜化処理時の終点検知部としての機能を十分に果たすことができない。また、0.5μmを超えれば、酸素のイオン注入時間が長くなり、貼り合わせ基板の生産性が低下し、コスト高を招く。
「薄膜化ストップ層より活性層用ウェーハの表面側」とは、活性層用ウェーハの表層において、薄膜化ストップ層とウェーハ表面との間の部分(活性層)をいう。
活性層の厚さは、酸素のイオン注入深さに応じた0.05〜0.5μmである。この注入深さは、作製されるデバイスの要求により適宜変更される。
「薄膜化ストップ層より活性層用ウェーハの表面側」とは、活性層用ウェーハの表層において、薄膜化ストップ層とウェーハ表面との間の部分(活性層)をいう。
活性層の厚さは、酸素のイオン注入深さに応じた0.05〜0.5μmである。この注入深さは、作製されるデバイスの要求により適宜変更される。
活性層用ウェーハと支持基板用ウェーハとの貼り合わせは、活性層の表面に直接支持基板用ウェーハを貼り合わせても、活性層の表面に絶縁膜を介して間接的に貼り合わせてもよい。絶縁膜を介して間接的に貼り合わせた貼り合わせウェーハは、後工程を経てSOIウェーハとなる。一方、絶縁膜を介さずに直接貼り合わせたシリコンウェーハ複合体は、後工程を経てDSBウェーハとなる。
絶縁膜としては、酸化層(SiO2)、窒化層(Si3N4)などを採用することができる。絶縁膜の形成方法としては、例えば貼り合わせの前工程において、活性層用ウェーハおよび支持基板用シリコンウェーハの何れか一方または両方に熱酸化処理または熱窒化処理を施す方法、CVD法によりSiO2層またはSi3N4層を形成する方法などが挙げられる。なお、絶縁膜の形成は、活性層用ウェーハに薄膜化ストップ層を形成する前、活性層用ウェーハに薄膜化ストップ層を形成する後の何れであってもよい。
絶縁膜としては、酸化層(SiO2)、窒化層(Si3N4)などを採用することができる。絶縁膜の形成方法としては、例えば貼り合わせの前工程において、活性層用ウェーハおよび支持基板用シリコンウェーハの何れか一方または両方に熱酸化処理または熱窒化処理を施す方法、CVD法によりSiO2層またはSi3N4層を形成する方法などが挙げられる。なお、絶縁膜の形成は、活性層用ウェーハに薄膜化ストップ層を形成する前、活性層用ウェーハに薄膜化ストップ層を形成する後の何れであってもよい。
活性層用ウェーハと支持基板用ウェーハとの貼り合わせ方法としては、例えば、常温での貼り合わせ、真空での貼り合わせ、プラズマによる貼り合わせなどを採用することができる。また、貼り合わせ後、貼り合わせウェーハを熱酸化炉に挿入して貼り合わせ熱処理を施し、貼り合わせ強度を高めてもよい。貼り合わせ熱処理の加熱温度は800℃以上、例えば1100℃である。貼り合わせ熱処理の時間は2時間程度である。熱酸化炉内の雰囲気ガスには酸素などが用いられる。
活性層用ウェーハの薄膜化方法としては、例えば研削、研磨を採用することができる。研削時には、活性層用ウェーハの裏面(貼り合わせ面とは反対側の面)を、例えば#800(砥粒径15〜25μm)のレジノイド研削砥石により研削する。
研削後、薄膜化ストップ層まで活性層用ウェーハを例えば1〜10μm程度削り残してもよい。その際、研削後の活性層用ウェーハの残部は、公知の研磨装置を用いた研磨により除去することができる。研磨に代えて、エッチングにより除去してもよい。
活性層用ウェーハの薄膜化方法としては、例えば研削、研磨を採用することができる。研削時には、活性層用ウェーハの裏面(貼り合わせ面とは反対側の面)を、例えば#800(砥粒径15〜25μm)のレジノイド研削砥石により研削する。
研削後、薄膜化ストップ層まで活性層用ウェーハを例えば1〜10μm程度削り残してもよい。その際、研削後の活性層用ウェーハの残部は、公知の研磨装置を用いた研磨により除去することができる。研磨に代えて、エッチングにより除去してもよい。
HF溶液としては、例えばHF濃度が1〜50質量%のものを採用することができる。また、HF溶液への貼り合わせウェーハの浸漬時間は、例えば1〜60分である。HF溶液の温度は20〜30℃である。
「薄膜化ストップ層がポーラス化する」とは、薄膜化ストップ層を構成する、SiO2を含むSiOXからなる析出酸化物や帯状酸化物などのシリコン酸化物と、活性層用ウェーハ中のシリコンが酸素のイオン注入により粒状化したシリコン粒とのうち、前記シリコン酸化物がHF溶液により溶失することで、薄膜化ストップ層がスポンジのように多孔質化することをいう。
「薄膜化ストップ層がポーラス化する」とは、薄膜化ストップ層を構成する、SiO2を含むSiOXからなる析出酸化物や帯状酸化物などのシリコン酸化物と、活性層用ウェーハ中のシリコンが酸素のイオン注入により粒状化したシリコン粒とのうち、前記シリコン酸化物がHF溶液により溶失することで、薄膜化ストップ層がスポンジのように多孔質化することをいう。
ポーラス化した薄膜化ストップ層の研磨は、種々の研磨装置を用いて行うことができる。例えば、表面に研磨布を有する研磨定盤と、貼り合わせウェーハを保持して貼り合わせウェーハの研磨面を研磨布に押圧する研磨ヘッドとを備え、研磨液を供給しながら研磨する、枚葉式またはバッチ式の研磨装置を採用することができる。特に、貼り合わせウェーハを1枚毎に研磨する枚葉式の研磨装置が好ましい。
ポーラス化した薄膜化ストップ層の研磨レートは、0.01〜0.1μm/分である。0.01μm/分未満では、ストップ層を完全に除去することができない。また、0.1μm/分を超えれば、ストップ層を超えて支持基板側まで研磨するおそれが高まる。薄膜化ストップ層の好ましい研磨レートは、0.02〜0.05μm/分である。
薄膜化ストップ層の研磨量は、薄膜化ストップ層の厚さに応じて適宜変更される。
ポーラス化した薄膜化ストップ層の研磨レートは、0.01〜0.1μm/分である。0.01μm/分未満では、ストップ層を完全に除去することができない。また、0.1μm/分を超えれば、ストップ層を超えて支持基板側まで研磨するおそれが高まる。薄膜化ストップ層の好ましい研磨レートは、0.02〜0.05μm/分である。
薄膜化ストップ層の研磨量は、薄膜化ストップ層の厚さに応じて適宜変更される。
研磨は、アルカリ性研磨液を用いたメカノケミカル研磨とすることが好ましい。アルカリ性研磨液を用いれば、シリコンとSiO2層(薄膜化ストップ層)とのエッチングレート差が生じ易く、薄膜化ストップ層が研磨ストップ層として有効に機能する。
アルカリ性研磨液としては、例えば、無機アルカリ(KOH、NaOHなど)やアミンを主成分とした有機アルカリ(ペピラジン、エチレンジアミンなど)などを採用することができる。アルカリ性研磨液は、遊離砥粒を含むものを採用してもよい。遊離砥粒としては、例えばシリカ(コロイダルシリカ粒子)、ダイヤモンドなどを採用することができる。
アルカリ性研磨液としては、例えば、無機アルカリ(KOH、NaOHなど)やアミンを主成分とした有機アルカリ(ペピラジン、エチレンジアミンなど)などを採用することができる。アルカリ性研磨液は、遊離砥粒を含むものを採用してもよい。遊離砥粒としては、例えばシリカ(コロイダルシリカ粒子)、ダイヤモンドなどを採用することができる。
遊離砥粒の平均粒径は、例えば0.03〜0.08μmである。アルカリ性研磨液の砥粒濃度は10質量%以下、好ましくは0.1質量%未満とすることが、砥粒によるウェーハのキズ発生を抑制する点、アルカリ性研磨液のpH安定性を確保する点および凝縮を抑制する点で好ましい。
研磨布としては、不織布にウレタンを含浸させて湿式発泡させた研磨布が好ましい。これは、エッチングレート差が一層生じ易くなるためである。
研磨工程では、シリコンとSiO2層とのエッチングレート差に基づき、研磨面の一部が薄膜化ストップ層に到達することを検知する必要があるが、このような検知手段としては、例えば、研磨加工トルクを計測しながら研磨する手段を採用することができる。
研磨加工のトルク変化を検知する方法としては、例えば、研磨装置の研磨定盤の回転駆動力となる電動モータの電流値変化を検知する方法、研磨定盤の回転軸に生じるねじれ値の変化を検知する方法、研磨定盤の振動値の変化を検知する方法などを採用することができる。
研磨布としては、不織布にウレタンを含浸させて湿式発泡させた研磨布が好ましい。これは、エッチングレート差が一層生じ易くなるためである。
研磨工程では、シリコンとSiO2層とのエッチングレート差に基づき、研磨面の一部が薄膜化ストップ層に到達することを検知する必要があるが、このような検知手段としては、例えば、研磨加工トルクを計測しながら研磨する手段を採用することができる。
研磨加工のトルク変化を検知する方法としては、例えば、研磨装置の研磨定盤の回転駆動力となる電動モータの電流値変化を検知する方法、研磨定盤の回転軸に生じるねじれ値の変化を検知する方法、研磨定盤の振動値の変化を検知する方法などを採用することができる。
請求項2に記載の発明は、前記HF溶液はHF濃度が1〜50質量%で、該HF溶液への前記貼り合わせウェーハの浸漬時間が1〜60分である請求項1に記載の貼り合わせ基板の製造方法である。
HF溶液のHF濃度が1質量%未満では、HF濃度が低すぎて薄膜化ストップ層のポーラス化が不十分である。また、50質量%を超えればウェーハの面あれが生じる。HF溶液の好ましいHF濃度は5〜10質量%である。この範囲であれば、この面あれを起こさず、比較的短時間で薄膜化ストップ層のポーラス化を行うことができる。
HF溶液への貼り合わせウェーハの浸漬時間が1分未満では、浸漬時間が短すぎてのポーラス化が不十分である。また、60分を超えればこの面あれが生じる。
HF溶液への貼り合わせウェーハの浸漬時間が1分未満では、浸漬時間が短すぎてのポーラス化が不十分である。また、60分を超えればこの面あれが生じる。
請求項3に記載の発明は、前記薄膜化ストップ層の研磨は、不織布にウレタンを含浸させて、該ウレタンを湿式発泡させた研磨布と、アルカリ性研磨液とを使用するメカノケミカル研磨である請求項1または請求項2に記載の貼り合わせ基板の製造方法である。
請求項3に記載の発明によれば、不織布にウレタンを含浸させて湿式発泡させたスエード状の研磨布とアルカリ性研磨液とを使用し、メカノケミカル研磨により薄膜化ストップ層を除去する。これにより、シリコンからなる活性層とポーラスな薄膜化ストップ層とのアルカリ性研磨液によるエッチングレート差が拡大する。その結果、薄膜化ストップ層の研磨の終端が検知し易くなる。
すなわち、この発明によれば、通常、仕上げ研磨で使用される研磨布を、粗研磨も兼ねたポーラスな薄膜化ストップ層の研磨に適用することで、シリコンと薄膜化ストップ層とのエッチングレート差が検知し易くなる。なお、不織布にウレタンを含浸させて湿式発泡させた研磨布としては、公知のものを採用することができる。
すなわち、この発明によれば、通常、仕上げ研磨で使用される研磨布を、粗研磨も兼ねたポーラスな薄膜化ストップ層の研磨に適用することで、シリコンと薄膜化ストップ層とのエッチングレート差が検知し易くなる。なお、不織布にウレタンを含浸させて湿式発泡させた研磨布としては、公知のものを採用することができる。
請求項1に記載の発明によれば、貼り合わせウェーハを活性層用ウェーハ側から薄膜化して薄膜化ストップ層を露出させ、その後、貼り合わせウェーハをHF溶液に浸漬して薄膜化ストップ層をポーラス化し、次にポーラスな薄膜化ストップ層を研磨のみで除去する。これにより、薄膜化ストップ層の除去に従来の熱処理が不要となり、作業の煩雑さが解消され、貼り合わせ基板の生産効率を高めることができる。しかも、裏面照射型固体撮像素子などの製造工程への適用が可能となる。また、薄膜化ストップ層をポーラス化したことで、例えばポーラスではない不完全酸化膜の薄膜化ストップ層を研磨する場合に比べて、ウェーハ面内での研磨量均一性を保持し、薄膜化ストップ層を高精度に除去することができる。
請求項3に記載の発明によれば、不織布にウレタンを含浸させて湿式発泡させたスエード状の研磨布を使用し、アルカリ性研磨液を供給しながら、メカノケミカル研磨により薄膜化ストップ層を研磨により除去する。これにより、シリコンからなる活性層とポーラスな薄膜化ストップ層とのアルカリ性研磨液によるエッチングレート差が拡大する。その結果、薄膜化ストップ層の研磨の終端が検知し易くなる。
以下、この発明の実施例を具体的に説明する。
以下、図1のフローシートを参照して、この発明の実施例1に係る貼り合わせ基板の製造方法を説明する。
まず、活性層用ウェーハを準備する。
活性層用ウェーハは、CZ法により引き上げられたシリコン単結晶を加工して得られた直径が300mm、ボロンドープによる比抵抗が1.0Ω・cm、P+(111)の単結晶シリコンウェーハである。
その後、活性層用ウェーハに対して、ウェーハ表面から酸素をイオン注入し、ウェーハ表層に、シリコン粒とシリコン酸化物とが混在する不完全シリコン酸化膜である薄膜化ストップ層(イオン注入層)を形成する。具体的には、活性層用ウェーハの表面から、ウェーハ温度が400℃、加速電圧が216keV、イオン注入量1.3×1017atoms/cm2で酸素イオンを注入する。これにより、活性層用ウェーハの表面から0.5μmの深さに、厚さ0.15μmの薄膜化ストップ層が形成される。これと同時に、活性層用ウェーハの表面と薄膜化ストップ層との間に、厚さ0.35μmの活性層が形成される。
まず、活性層用ウェーハを準備する。
活性層用ウェーハは、CZ法により引き上げられたシリコン単結晶を加工して得られた直径が300mm、ボロンドープによる比抵抗が1.0Ω・cm、P+(111)の単結晶シリコンウェーハである。
その後、活性層用ウェーハに対して、ウェーハ表面から酸素をイオン注入し、ウェーハ表層に、シリコン粒とシリコン酸化物とが混在する不完全シリコン酸化膜である薄膜化ストップ層(イオン注入層)を形成する。具体的には、活性層用ウェーハの表面から、ウェーハ温度が400℃、加速電圧が216keV、イオン注入量1.3×1017atoms/cm2で酸素イオンを注入する。これにより、活性層用ウェーハの表面から0.5μmの深さに、厚さ0.15μmの薄膜化ストップ層が形成される。これと同時に、活性層用ウェーハの表面と薄膜化ストップ層との間に、厚さ0.35μmの活性層が形成される。
次に、活性層用ウェーハに対して、アルゴンガス雰囲気中で1200℃、1時間のプレアニールを施し、その後、さらに水蒸気雰囲気で950℃、4時間の熱処理を施し、膜厚が150nmのシリコン酸化膜を形成する。
一方、支持基板用ウェーハとして、CZ法により引き上げられたシリコン単結晶を加工して得られた直径が300mm、P−(100)の単結晶シリコンウェーハを準備する。
次に、活性層用ウェーハと支持基板用ウェーハとにSC1洗浄液を使用し、貼り合わせ前洗浄を施す。
一方、支持基板用ウェーハとして、CZ法により引き上げられたシリコン単結晶を加工して得られた直径が300mm、P−(100)の単結晶シリコンウェーハを準備する。
次に、活性層用ウェーハと支持基板用ウェーハとにSC1洗浄液を使用し、貼り合わせ前洗浄を施す。
その後、活性層用ウェーハの酸素イオン注入側の表面と支持基板用ウェーハの一方の面とをプラズマ貼り合わせ法により貼り合わせ、水蒸気雰囲気中、350℃で10時間の貼り合わせ強化熱処理を施す。これにより、貼り合わせウェーハが得られる。
貼り合わせウェーハに対して、#300のビトリファイド研削砥石を用いて、活性層用ウェーハ側から、薄膜化ストップ層との間に10μmのシリコン薄膜を残して研削する。次いで、KOH濃度が35質量%のKOH水溶液(80℃)を使用し、このシリコン薄膜をエッチングする。これにより、貼り合わせウェーハに薄膜化ストップ層が露出する。
貼り合わせウェーハに対して、#300のビトリファイド研削砥石を用いて、活性層用ウェーハ側から、薄膜化ストップ層との間に10μmのシリコン薄膜を残して研削する。次いで、KOH濃度が35質量%のKOH水溶液(80℃)を使用し、このシリコン薄膜をエッチングする。これにより、貼り合わせウェーハに薄膜化ストップ層が露出する。
次に、薄膜化ストップ層が露出した貼り合わせウェーハを、HF濃度が8質量%のHF溶液(25℃)に15分間浸漬し、薄膜化ストップ層中のシリコン酸化物をエッチングしてポーラス化する。
このエッチング後、貼り合わせウェーハを枚葉式の片面研磨装置へ送り、ポーラス化した薄膜化ストップ層を研磨する。具体的には、薄膜化ストップ層を下向きにして研磨ヘッドの下面に貼り合わせウェーハを固定し、研磨定盤の上面に研磨布を貼着する。研磨布としては、不織布にウレタンを含浸させて湿式発泡させたスウェードタイプのものを用いる。次に、研磨布に研磨液を0.5リットル/分で供給しながら、研磨定盤を30rpmで、研磨ヘッドを31rpmで同一方向へ回転させつつ研磨ヘッドを徐々に下降させ、薄膜化ストップ層を研磨布に押し付けて研磨し、薄膜化ストップ層を除去する。これにより、活性層が露出し、SOI構造の貼り合わせ基板が製造される。研磨液としては、平均粒径0.05μmのシリカからなる遊離砥粒が0.01質量%で分散されたKOH研磨液(アルカリ性研磨液)を使用する。
このエッチング後、貼り合わせウェーハを枚葉式の片面研磨装置へ送り、ポーラス化した薄膜化ストップ層を研磨する。具体的には、薄膜化ストップ層を下向きにして研磨ヘッドの下面に貼り合わせウェーハを固定し、研磨定盤の上面に研磨布を貼着する。研磨布としては、不織布にウレタンを含浸させて湿式発泡させたスウェードタイプのものを用いる。次に、研磨布に研磨液を0.5リットル/分で供給しながら、研磨定盤を30rpmで、研磨ヘッドを31rpmで同一方向へ回転させつつ研磨ヘッドを徐々に下降させ、薄膜化ストップ層を研磨布に押し付けて研磨し、薄膜化ストップ層を除去する。これにより、活性層が露出し、SOI構造の貼り合わせ基板が製造される。研磨液としては、平均粒径0.05μmのシリカからなる遊離砥粒が0.01質量%で分散されたKOH研磨液(アルカリ性研磨液)を使用する。
このような構成としたので、薄膜化ストップ層の除去に従来の熱処理が不要となり、作業の煩雑さが解消され、貼り合わせ基板の生産効率を高めることができる。しかも、裏面照射型固体撮像素子などの製造工程への適用が可能となる。また、薄膜化ストップ層をポーラス化したので、例えばポーラスではない不完全酸化膜の薄膜化ストップ層を研磨する場合に比べて、ウェーハ面内での研磨量均一性を保持し、薄膜化ストップ層を高精度に除去することができる。さらに、不織布にウレタンを含浸させて湿式発泡させたスエード状の研磨布を使用し、KOH研磨液を供給しながら、メカノケミカル研磨により薄膜化ストップ層を研磨により除去している。その結果、シリコンからなる活性層とポーラスな薄膜化ストップ層とのKOH研磨液によるエッチングレート差が拡大し、薄膜化ストップ層の研磨の終端が検知し易くなる。
以下、実施例1の貼り合わせウェーハに対して次の試験を実施し、研磨前後の活性層の膜厚およびその膜厚均一性と、薄膜化ストップ層の研磨量とその研磨量均一性とを評価した結果を報告する。
(比較例1)
薄膜化ストップ層が露出した貼り合わせウェーハを、枚葉式の片面研磨装置へ搬送した。ここでは、薄膜化ストップ層を下向きにして研磨ヘッドの下面に貼り合わせウェーハを固定した。また、研磨定盤の上面には、不織布にウレタンを含浸させて湿式発泡させた研磨布(スウェードタイプ)を貼着した。次に、研磨ヘッドを徐々に下降させて活性層用ウェーハのエッチング面を押圧し、研磨定盤を30rpmで回転させ、かつ研磨ヘッドを31rpmで研磨定盤と同一方向へ回転させることで、薄膜化ストップ層を600秒間研磨し、活性層の膜厚およびその膜厚均一性とを評価した。その結果から、薄膜化ストップ層の研磨量およびその研磨量均一性も評価した。結果を表1に示す。
薄膜化ストップ層が露出した貼り合わせウェーハを、枚葉式の片面研磨装置へ搬送した。ここでは、薄膜化ストップ層を下向きにして研磨ヘッドの下面に貼り合わせウェーハを固定した。また、研磨定盤の上面には、不織布にウレタンを含浸させて湿式発泡させた研磨布(スウェードタイプ)を貼着した。次に、研磨ヘッドを徐々に下降させて活性層用ウェーハのエッチング面を押圧し、研磨定盤を30rpmで回転させ、かつ研磨ヘッドを31rpmで研磨定盤と同一方向へ回転させることで、薄膜化ストップ層を600秒間研磨し、活性層の膜厚およびその膜厚均一性とを評価した。その結果から、薄膜化ストップ層の研磨量およびその研磨量均一性も評価した。結果を表1に示す。
研磨中は、平均粒径0.05μmの遊離砥粒(シリカ)が砥粒濃度0.01質量%で分散されたKOH研磨液を、0.5リットル/分で研磨布へ供給した。また、貼り合わせウェーハの研磨前後の活性層の膜厚の評価は、エリプソメータ(KLAテンコール社製のAset)を使用し、ウェーハ面内120点の測定を行った。活性層の膜厚均一性は、ウェーハ面内120点の測定点の中で「最大値−最小値」によって定義した。また、研磨量均一性の評価は、ウェーハ面内120点の研磨量を、研磨前後の活性層厚の差から算出し、その平均値を求めることで行った。
(比較例2)
薄膜化ストップ層が露出した別の貼り合わせウェーハを、前記片面研磨装置に移送し、研磨時間を890秒間に変更した他は、比較例1と同じ条件で各貼り合わせウェーハの薄膜化ストップ層を研磨した。その結果を同じく表1に示す。
薄膜化ストップ層が露出した別の貼り合わせウェーハを、前記片面研磨装置に移送し、研磨時間を890秒間に変更した他は、比較例1と同じ条件で各貼り合わせウェーハの薄膜化ストップ層を研磨した。その結果を同じく表1に示す。
(試験例1)
薄膜化ストップ層が露出したまた別の貼り合わせウェーハを、HF濃度が8質量%のHF溶液(25℃)に15分間浸漬し、薄膜化ストップ層中のシリコン酸化物をエッチングしてポーラス化した。その後、比較例1と同じ条件(研磨時間は600秒間)で、貼り合わせウェーハの薄膜化ストップ層を研磨し、研磨後の活性層の膜厚および活性層の膜厚均一性を評価した。また、その結果から、薄膜化ストップ層の研磨量および薄膜化ストップ層の研磨量均一性も評価した。その結果を同じく表1に示す。
薄膜化ストップ層が露出したまた別の貼り合わせウェーハを、HF濃度が8質量%のHF溶液(25℃)に15分間浸漬し、薄膜化ストップ層中のシリコン酸化物をエッチングしてポーラス化した。その後、比較例1と同じ条件(研磨時間は600秒間)で、貼り合わせウェーハの薄膜化ストップ層を研磨し、研磨後の活性層の膜厚および活性層の膜厚均一性を評価した。また、その結果から、薄膜化ストップ層の研磨量および薄膜化ストップ層の研磨量均一性も評価した。その結果を同じく表1に示す。
(試験例2)
薄膜化ストップ層が露出したさらに別の貼り合わせウェーハを、試験例1と同様の条件でHF濃度が8質量%のHF溶液(25℃)に浸漬し、薄膜化ストップ層中のシリコン酸化物をエッチングしてポーラス化した。その後、前記片面研磨装置に移送し、研磨時間を890秒間に変更した他は、試験例1と同じ条件で貼り合わせウェーハの薄膜化ストップ層を研磨した。その結果を同じく表1に示す。
薄膜化ストップ層が露出したさらに別の貼り合わせウェーハを、試験例1と同様の条件でHF濃度が8質量%のHF溶液(25℃)に浸漬し、薄膜化ストップ層中のシリコン酸化物をエッチングしてポーラス化した。その後、前記片面研磨装置に移送し、研磨時間を890秒間に変更した他は、試験例1と同じ条件で貼り合わせウェーハの薄膜化ストップ層を研磨した。その結果を同じく表1に示す。
表1より明らかなように、HF溶液に浸漬しない比較例1,2に比べて、HF溶液に浸漬してポーラスな薄膜化ストップ層とした試験例1,2の方が、研磨時間が600秒、890秒の何れの場合にも、研磨量が増加するとともに、ウェーハ面内での研磨量均一性も高まった。その結果、研磨後の活性層の膜厚は低減し、研磨後のウェーハ面内での活性層の膜厚均一性も高まった。
この発明は、活性層用ウェーハと支持基板用ウェーハとの貼り合わせ後、高温熱処理を施さずに貼り合わせ基板を作製できるので、例えばデバイスの熱劣化を嫌う裏面照射型固体撮像素子などの製造などに有用である。
Claims (3)
- シリコンからなる活性層用ウェーハの表面から酸素をイオン注入して、前記活性層用ウェーハの表層に、シリコン粒とシリコン酸化物とが混在する薄膜化ストップ層を形成し、かつ該薄膜化ストップ層より前記活性層用ウェーハの表面側に活性層を形成し、
その後、該活性層の表面に直接または絶縁膜を介して間接的に、シリコンからなる支持基板用ウェーハを貼り合わせて貼り合わせウェーハを作製し、
この貼り合わせ後、前記活性層用ウェーハを、該活性層用ウェーハの裏面側から薄膜化して前記薄膜化ストップ層を露出させ、
次に、前記貼り合わせウェーハをHF溶液に浸漬し、前記露出した薄膜化ストップ層中のシリコン酸化物を除去することで前記薄膜化ストップ層をポーラス化し、
その後、該ポーラスな薄膜化ストップ層を研磨により除去する貼り合わせ基板の製造方法。 - 前記HF溶液はHF濃度が1〜50質量%で、該HF溶液への前記貼り合わせウェーハの浸漬時間が1〜60分である請求項1に記載の貼り合わせ基板の製造方法。
- 前記薄膜化ストップ層の研磨は、不織布にウレタンを含浸させて、該ウレタンを湿式発泡させた研磨布と、アルカリ性研磨液とを使用するメカノケミカル研磨である請求項1または請求項2に記載の貼り合わせ基板の製造方法。
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