JP2011054755A - インプリント方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及びインプリント装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】テンプレートTをウェハW側に下降させて所定の位置に配置する(図6(a))。第1の距離H1は、第1の端部E1とウェハWとの間にレジスト液の毛細管現象を発生させる距離である。第2の距離H2は、第2の端部E2とウェハWとの間にレジスト液の毛細管現象を発生させない距離である。その後、第1の端部E1の外側からレジスト液Rを供給する(図6(b))。このとき、レジスト液Rは、毛細管現象によってテンプレートTの内側を第1の端部E1に沿って拡散する。その後、第2の距離H2を第1の距離H1に等しくするように、第2の端部E2をウェハW側に移動させる(図6(c))。このとき、レジスト液Rは、毛細管現象によって第2の端部E2側に拡散し、テンプレートTとウェハWとの間に塗布される。
【選択図】図6
Description
20 ウェハ保持部
24 ウェハ移動機構
32 レジスト液ノズル
40 テンプレート保持部
42 テンプレート移動機構
50 制御部
60 検査部
C 転写パターン
E1 第1の端部
E2 第2の端部
R レジスト液
T テンプレート
W ウェハ
Claims (14)
- 表面に転写パターンが形成されたテンプレートと基板との間に塗布液を塗布し、当該塗布液に前記転写パターンを転写するインプリント方法であって、
前記テンプレートの表面を基板に対向させ、
かつ前記テンプレートの第1の端部と基板との間の第1の距離が、前記テンプレートと基板との間に前記塗布液の毛細管現象を発生させる距離であって、
前記テンプレートにおいて第1の端部に対向する第2の端部と基板との間の第2の距離が、前記塗布液の毛細管現象を発生させない距離となるように、
前記テンプレートを基板に対して傾斜させて配置する配置工程と、
その後、前記第1の端部の外側から当該第1の端部に塗布液を供給する供給工程と、
その後、前記第2の距離を前記第1の距離に等しくするように、前記第2の端部と基板を相対的に移動させる移動工程と、を有することを特徴とする、インプリント方法。 - 前記移動工程において、前記第2の端部を基板側に移動させることを特徴とする、請求項1に記載のインプリント方法。
- 前記テンプレートは平面視において四角形状を有し、
前記供給工程において、前記第1の端部の一点に前記塗布液を供給することを特徴とする、請求項1又は2に記載のインプリント方法。 - 前記テンプレートは平面視において四角形状を有し、
前記供給工程において、前記第1の端部に沿って前記塗布液を連続して供給することを特徴とする、請求項1又は2に記載のインプリント方法。 - 前記移動工程において、前記供給工程における塗布液の供給を引き続き断続的に行うことを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載のインプリント方法。
- 前記移動工程における前記塗布液の状態を検査し、この検査結果に基づいて、少なくとも前記配置工程における前記テンプレートの配置又は前記移動工程における前記第2の端部と基板の相対移動を制御することを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載のインプリント方法。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のインプリント方法をインプリント装置によって実行させるために、当該インプリント装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項7に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
- 表面に転写パターンが形成されたテンプレートと基板との間に塗布液を塗布し、当該塗布液に前記転写パターンを転写するインプリント装置であって、
前記テンプレートを保持するテンプレート保持部と、
前記テンプレート保持部に保持されたテンプレートと基板を相対的に移動させる移動機構と、
前記塗布液を供給する塗布液供給部と、
前記テンプレートの表面を基板に対向させ、かつ前記テンプレートの第1の端部と基板との間の第1の距離が、前記テンプレートと基板との間に前記塗布液の毛細管現象を発生させる距離であって、前記テンプレートにおいて第1の端部に対向する第2の端部と基板との間の第2の距離が、前記塗布液の毛細管現象を発生させない距離となるように、前記テンプレートを基板に対して傾斜させて配置する配置工程を実行すべく前記移動機構を制御し、その後、前記第1の端部の外側から当該第1の端部に塗布液を供給する供給工程を実行すべく前記塗布液供給部を制御し、その後、前記第2の距離を前記第1の距離に等しくするように、前記第2の端部と基板を相対的に移動させる移動工程を実行すべく前記移動機構を制御する制御部と、を有することを特徴とする、インプリント装置。 - 前記制御部は、前記移動工程において前記第2の端部を基板側に移動させるように前記移動機構を制御することを特徴とする、請求項9に記載のインプリント装置。
- 前記テンプレートは平面視において四角形状を有し、
前記制御部は、前記供給工程において前記第1の端部の一点に前記塗布液を供給するように前記塗布液供給部を制御することを特徴とする、請求項9又は10に記載のインプリント装置。 - 前記テンプレートは平面視において四角形状を有し、
前記制御部は、前記供給工程において前記第1の端部に沿って前記塗布液を連続して供給するように前記塗布液供給部を制御することを特徴とする、請求項9又は10に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記移動工程において、前記供給工程における塗布液の供給を引き続き断続的に行うように前記塗布液供給部を制御することを特徴とする、請求項9〜12のいずれかに記載のインプリント装置。
- 前記移動工程における前記塗布液の状態を検査する検査部をさらに有し、
前記制御部は、前記検査部での検査結果に基づいて、少なくとも前記配置工程における前記テンプレートの配置又は前記移動工程における前記第2の端部と基板の相対移動を調整するように前記移動機構を制御することを特徴とする、請求項9〜13のいずれかに記載のインプリント装置。
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