JP2011054651A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置は、第1導電型の半導体層と、該半導体層の表面に所定の離間間隔を有して設けられた第2導電型の半導体領域と、該半導体層及び該半導体領域の表面上に設けられた金属層とを備え、該金属層は、前記半導体層との界面においてショットキー障壁を成し、前記半導体領域との界面においてオーミック接触を成す半導体装置において、前記第1半導体領域の横幅寸法は、前記半導体領域が隣接する前記ショットキー障壁の影響を受ける距離である。
【選択図】図1
Description
(2)また、本発明は、上記に記載の発明において、前記半導体層は、ワイドバンドギャップ半導体であることを特徴とする。
(3)また、本発明は、上記に記載の発明において、前記半導体領域の横幅寸法は、前記ショットキー障壁の影響により前記半導体層と前記半導体領域との接合面の電位障壁の変化が抑制される距離であることを特徴とする。
図1は、本実施形態におけるMPS(Merged Pin Schottky)ダイオード100の断面構造を示す模式断面図である。図1に示すMPSダイオード100は、半導体層1と、半導体層2と、半導体層2の表面に形成された半導体領域3と、金属層4とを備えている。
半導体層2の半導体層1と接合している反対の面には、横幅寸法D1(<4[μm])のP型不純物を含むSiCの複数の半導体領域3が離間距離D2の離間間隔ごとに形成されている。また、半導体領域3は、MPSダイオード100の厚さ方向に距離dp1の深さを有している。
MPSダイオード100は、例えば、Cu(銅)などの金属プレートを介して、半導体層1と、金属層4とに電圧を印加することにより動作する。
ここで、以下のシミュレーション結果すべてにおいて、半導体層2の厚さdp2は4[μm]である。
図3及び図4に示すように、SiCを用いて構成した本実施形態のMPSダイオード100は、比較例のMPSダイオードに対して、順方向電圧に対する電流密度の特性に顕著な違いが表れている。1つ目は、順方向電圧が3[V]〜5[V]の近傍において、順方向電圧に対する電流密度の増加率が変化する点が高電圧側にシフトすると共に、電流密度の増加率が変化する点において、電流密度が急激に大きくなりステップ状に変化することである。2つ目は、電流密度の増加率の変化点よりも順方向電圧が大きい範囲において、順方向電圧に対する電流密度の増加率が、本実施形態のMPSダイオード100が比較例のダイオードより高いと共に、電流密度の値自体も大幅に大きくなっていることである。また、上記の特徴は、横幅d1が小さくなるほど顕著になる傾向が表れている。
また、複数の半導体領域3の横幅寸法D1(=d1×2)を、複数の半導体領域3と半導体層2との接触面の電位障壁の変化が抑制される距離とした。すなわち、複数の半導体領域3のそれぞれの幅を、半導体層2と金属層4とのショットキー障壁における電位障壁の高さの影響を受けて、半導体層2と複数の半導体領域3との接触面の電位障壁が順方向電圧による変化が抑制される距離としたので、半導体層2と複数の半導体領域とのPN接合により形成されるPNダイオード部分に流れる電流を抑制し、半導体層2と複数の半導体領域3とのPN接合により形成されるPNダイオード部分の順方向電圧降下を変化させることができ、MPSダイオード100の順方向電流の特性を改善することができる。
これにより、本実施形態のMPSダイオード100は、例えば、順方向電圧が5[V]以下において、MPSダイオード100の順方向電圧に対する電流密度の増加率の変化を避けることができ、ほぼ一定の順方向電流の特性を提供することができる。また、MPSダイオード100は、順方向電圧が5[V]以上において、比較例のMPSダイオードに比べ高い電流密度を有するので、順方向サージ耐量を高めることができる。
図6から図13は、図5に示したパラメータそれぞれにおける順方向電圧と電流密度との関係のシミュレーション結果を示すグラフである。
図16から図29は、図15に示したパラメータの組合せにおけるシミュレーション結果を示すグラフである。図16から図29に示されるように、本実施形態のMPSダイオード100の効果が得られるパラメータの範囲の境界付近では、本実施形態のMPSダイオード100の特徴の一つである電流密度の増加量の変化点における急峻な立ち上がりが小さくなっている。これは、半導体層2と金属層4との界面に生じるショットキー障壁の影響を受ける半導体領域3の領域が小さくなり、MPSダイオード100に順方向電圧が印加された際に、半導体領域3の静電ポテンシャルの変化が抑制されにくくなるためである。
点M(1.0,1.9)、点N(1.5,1.6)、点P(2.0,1.1)、点Q(2.5,0.9)、点R(3.0,0.7)、点S(3.5,0.35)、点T(4.0,0.2)である。なお、点M〜Tにおいて、それぞれの比rは、2.5である。
Claims (4)
- 第1導電型の半導体層と、該半導体層の表面に所定の離間間隔を有して設けられた第2導電型の半導体領域と、該半導体層及び該半導体領域の表面上に設けられた金属層とを備え、該金属層は、前記半導体層との界面においてショットキー障壁を成し、前記半導体領域との界面においてオーミック接触を成す半導体装置において、
前記半導体領域の横幅寸法は、前記半導体領域が隣接する前記ショットキー障壁の影響を受ける距離であることを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体層は、ワイドバンドギャップ半導体である
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記半導体領域の横幅寸法は、前記ショットキー障壁の影響により前記半導体層と前記半導体領域との接合面の電位障壁の変化が抑制される距離である
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体装置。 - 前記半導体領域の横幅寸法D1[μm]と前記半導体領域の離間間隔D2[μm]との比r(=D2/D1)、及び前記半導体領域の厚さ方向における深さdp1の組合せ(r,dp1)が、図14において、前記深さdp1の値が0.4[μm]である点Aを始点とする半直線L1と、前記比rの値が2.5である点Bを始点とする半直線L3と、前記点A及び前記点Bとを結ぶ線分L2とにより形成される斜線側の領域S1に含まれ、
前記点Aにおける前記比rの値は、前記半導体領域の横幅寸法D1に応じて、図3に示す、点D(D1,r)=(2.0,0.225)を始点とする半直線L5(D1=2、r≧0.225)、前記点Dと点E(D1,r)=(3.0,0.17)とを結ぶ線分L6、前記点Eと点F(D1,r)=(4.0,0.15)とを結ぶ線分L7、前記点Fと点G(D1,r)=(5.0,0.144)とを結ぶ線分L8、前記点Gと点H(D1,r)=(6.0,0.15)とを結ぶ線分L9、前記点Hと点J(D1,r)=(7.0,0.31)とを結ぶ線分L10、及び前記点Jを始点とする半直線L11(D1=7.0、r≧0.31)により表される値となり、
前記点Bにおける前記深さdp1の値は、前記半導体領域の横幅寸法d1に応じて、図63に示す、点M(D1,dp1)=(2.0,1.9)を始点とする半直線L15(d1≦2、dp1=1.9)、前記点Mと点N(D1,dp1)=(3.0,1.6)とを結ぶ線分L16、前記点Nと点P(D1,dp1)=(4.0,1.1)とを結ぶ線分L17、前記点Pと点Q(D1,dp1)=(5.0,0.9)とを結ぶ線分L18、前記点Qと点R(D1,dp1)=(6.0,0.7)とを結ぶ線分L19、前記点Rと点S(D1,dp1)=(7.0,0.35)とを結ぶ線分L20、前記点Sと点T(D1,dp1)=(8.0,0.2)とを結ぶ線分L21、及び前記点Tを始点とする半直線L22(d1=8、dp1≦0.2)により表される値となる
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03181172A (ja) * | 1989-12-11 | 1991-08-07 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2003158259A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-05-30 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2008282973A (ja) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Denso Corp | ジャンクションバリアショットキーダイオードを備えた炭化珪素半導体装置 |
JP2009140963A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-25 | Panasonic Corp | ショットキーバリアダイオードおよびその製造方法 |
JP2009158519A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Toyota Motor Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2009
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03181172A (ja) * | 1989-12-11 | 1991-08-07 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2003158259A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-05-30 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2008282973A (ja) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Denso Corp | ジャンクションバリアショットキーダイオードを備えた炭化珪素半導体装置 |
JP2009140963A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-25 | Panasonic Corp | ショットキーバリアダイオードおよびその製造方法 |
JP2009158519A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Toyota Motor Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012231019A (ja) * | 2011-04-26 | 2012-11-22 | Hitachi Ltd | 炭化珪素ダイオード |
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