JP2011049264A - 光照射装置及び光照射方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハWの一方の面に貼付された紫外線硬化型の接着剤AD層を有する接着シートSに紫外線照射を行う光照射装置10であって、半導体ウエハWの一方の面側に配置された紫外線ランプ12と、半導体ウエハWの他方の面側に配置されるとともに、半導体ウエハW横を通過した光の漏洩を遮断するカバー材13とを備えている。カバー材13の内面側には入射された光を散乱させる散乱手段Tが配置されており、当該散乱手段Tにより、光を散乱させて半導体ウエハWの他方の面にダメージを与えることを防止する。
【選択図】図1
Description
本発明は、一方の面に接着シートが貼付された半導体ウエハ等の被着体横を通過した紫外線等の光が反射しても、被着体の他方の面側にダメージを与えることのない光照射装置及び光照射方法を提供することにある。
また、凹凸面を有するシート若しくは板材により散乱手段を構成すれば、広く使われるようになった紫外線硬化型の接着シートを硬化させる場合に、難なく対応することができる。
更に、凹凸面を形成可能な接着テープにより散乱手段を構成した場合、発光手段が発する光の漏洩を遮断するカバー材を備えた既存の装置のカバー材内面に、当該接着テープを貼付するだけで対応することができる。
カバー材13を開放した状態で、図示しない搬送手段を介してワークW1をケース材11内の棚板部16及びガラス板17上に配置し、位置規制部材18を介してワークW1を所定位置に位置決めした後に、カバー材13で開口部15を閉塞する。
図示しない給排気ポートを介してケース材11内に窒素ガスを充填した後、紫外線の照射が開始される。
水銀ランプ19が発光した状態で、直動モータMが駆動することにより、スライダ22を介して集光板21が図2中右側から左側に移動することで、ライン光Pが接着シートSの接着剤AD層に対して下面側から走査され、これによって接着シートSの接着剤AD層を硬化反応させる。
この際、ウエハWとリングフレームRFとの間の接着シートS部分を透過した紫外線、つまり、ウエハW横を通過した紫外線は、散乱手段Tの凹凸面によって散乱して反射するが、この散乱された光は反射される前の光に比べて単位面積あたりの照度が極端に小さくなっているので、ウエハWの他方の面(回路面)にダメージを与えることを防止することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
更に、上記実施形態では、接着シートSがウエハWの外周より外側にはみ出す大きさを備えたものを例示したが、ウエハWの外周より外側にはみ出すことのない接着シートSに光を照射する装置であってよい。
11 ケース材
12 発光手段
13 カバー材
15 開口部
AD 接着剤
BS 基材シート
S 接着シート
T 散乱手段
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (5)
- 基材シートの片方の面に光反応型の接着剤層を有するとともに、当該接着剤層を介して被着体の一方の面に貼付された接着シートに光照射を行う光照射装置において、
前記被着体の一方の面側に配置された発光手段と、
前記被着体の他方の面側に配置されるとともに、前記被着体横を通過して入射された光を散乱させる散乱手段とを有することを特徴とする光照射装置。 - 前記散乱手段は、前記被着体の他方の面側に凹凸面を有するシート若しくは板材により構成され、前記凹凸面で前記通過した光を物理的に乱反射させることを特徴とする請求項1記載の光照射装置。
- 前記発光手段が発する光の漏洩を遮断するカバー材を備え、
前記散乱手段は、前記被着体の他方の面側に凹凸面を形成可能な粒子を含む接着テープにより構成され、当該接着テープを前記カバー材内面に貼付したことを特徴とする請求項1又は2記載の光照射装置。 - 基材シートの片方の面に紫外線硬化型の接着剤層を有するとともに、当該接着剤層を介して半導体ウエハの一方の面に貼付された接着シートに紫外線を照射して当該接着剤層を硬化させる光照射装置において、
前記接着シートが貼付された半導体ウエハを収容するとともに、上部に開口部を備えたケース材と、
前記ケース材内で前記半導体ウエハ被着体の一方の面側に配置されるとともに、紫外線を発光可能な発光手段と、
前記半導体ウエハの他方の面側に配置されるとともに、前記半導体ウエハ横を通過した紫外線が前記開口部から漏れることを防止するカバー材とを備え、
前記半導体ウエハの他方の面側に配置されるとともに、前記半導体ウエハ横を通過して入射された紫外線を散乱させる散乱手段を有することを特徴とする光照射装置。 - 基材シートの片方の面に光反応型の接着剤層を有するとともに、当該接着剤層を介して被着体の一方の面に貼付された接着シートに光照射を行う光照射方法において、
前記被着体の一方の面側から光を照射し、
前記被着体横を通過して入射された光を散乱させることで、反射した光によって前記被着体の他方の面側にダメージを与えることを防止することを特徴とする光照射方法。
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WO2023042261A1 (ja) * | 2021-09-14 | 2023-03-23 | ヤマハ発動機株式会社 | エキスパンド装置およびエキスパンド方法 |
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