JP2011048304A - 光学素子モジュールおよびその製造方法、電子素子モジュールおよびその製造方法、電子情報機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上側の第1レンズ406と下側の第2レンズ407が遮光ホルダ402内に収容され、上側の第1レンズ406のスペーサ部406Dと下側の第2レンズ407のスペーサ部407Dの少なくとも各平坦面の間に金属製の遮光板410が介在されており、この金属製の遮光板410は、光学素子の光学面に対応する位置に開口部411aが形成されていると共に、遮光板410の外周縁の一部が切り欠かれた切り欠き部411eを有している。このように、遮光板410が金属製であるのでより薄く構成することができるので、レンズ相互の間隔のばらつきをより抑制して光学特性を良好にすると共に、遮光板410の外周縁の一部が切り欠かれた切り欠き部411eを有しているので切断面積が少なくなって、一括切断時に、より良好に切断する。
【選択図】図2
Description
図1は、本実施形態1の電子素子モジュール400の概略外観図であって、(a)はその斜視図、(b)はその上面図である。
図9(b)および図9(d)では、第2レンズウエハ417B上に遮光板ウエハ411Bを重ね合わせた場合に、例えば十字孔411cの中心部と円形の接着材409の位置が一致している。切断案内孔の十字孔411cは、その幅方向中心線であるダイシングラインDLで切断されて、角部に沿ったL字状の切り欠き部411eとなる。
図10(e)では、図25(d)の場合に比べて、遮光板410Bに隙間(切り欠き部411e)がある分だけ若干遮光性が落ちるものの、切断面積が減るので切断性は良くなる。隙間(切り欠き部411e)を通して、レンズと接着材409だけで接着している部分があるので、接着材409は剥離し難くなる。
図12は、本発明の実施形態2として、本発明の実施形態1のセンサモジュール10を含む固体撮像装置を撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。
401 撮像素子チップ(電子素子チップ)
402 遮光ホルダ
402B、406B 傾斜面
403 撮像素子
404 樹脂接着層
405 透明支持基板
406 第1レンズ
406A 平坦面
406C、406D、407D スペーサ部
406E、407E 底面部(底部)
407 第2レンズ
408 レンズモジュール
409 接着材
409A 通気孔
410、410A〜410C、410E 遮光板
411a レンズ開口部(貫通孔)
411b 長孔(短冊状孔)
411c 十字孔
411d L字孔
411e 切り欠き部
411、411A、411B 遮光板ウエハ
412 撮像素子チップモジュール
416 第1レンズウエハ
417 第2レンズウエハ
418 レンズウエハモジュール
420、421 スペーサ部
A 光学面
B 絞り開口部
G 当接部
H 接着部
Claims (21)
- 複数の光学素子が遮光ホルダ内に収容され、上側の光学素子のスペーサ部と下側の光学素子のスペーサ部の少なくとも各平坦面の間に金属製の遮光板が介在されており、該遮光板は、該光学素子の光学面に対応する位置に開口部が形成されていると共に、該遮光板の外周縁の一部が切り欠かれた切り欠き部を有している光学素子モジュール。
- 前記切り欠き部は、平面視4角形の角部を除く4辺に形成されているかまたは、4つの角部に形成されている請求項1に記載の光学素子モジュール。
- 前記4つの角部の切り欠き部は、1/4円形状または、該角部に沿ったL字状のうちのいずれかである請求項2に記載の光学素子モジュール。
- 前記遮光板は、金属製である請求項1に記載の光学素子モジュール。
- 前記遮光板の厚さは最大厚さ100μmとする請求項4に記載の光学素子モジュール。
- 前記遮光ホルダの絞り開口部に対向する前記光学素子の光学面の外周側に平坦部から環状の傾斜面を介してスペーサ部が設けられ、該遮光ホルダの絞り開口部裏側内面には、該光学素子の環状の傾斜面に対向するように環状の傾斜面を介して平坦な底面が設けられ、該光学素子および該遮光ホルダの各環状の傾斜面が互いに案内可能とされている請求項1に記載の光学素子モジュール。
- 前記光学素子の環状の傾斜面および前記遮光ホルダの環状の傾斜面は、前記平坦面に対して30度〜80度の角度で傾斜している請求項6に記載の光学素子モジュール。
- 前記遮光ホルダの平面視4角形の内面と前記一または複数の光学素子の平面視4角形の外側面との隙間を30〜100μm空けている請求項6に記載の光学素子モジュール。
- 前記光学素子の環状の傾斜面と前記遮光ホルダの環状の傾斜面との隙間は最大20μmである請求項6または8に記載の光学素子モジュール。
- 上側の光学素子裏側の光学面の外周側のスペーサ部と、下側の光学素子表側の光学面の外周側のスペーサ部との各平坦面の更に外周側にテーパ部を介して設けられた底部によって囲まれた空間部にのみ接着材が配置されて、該上側の光学素子と該下側の光学素子とが接着されている請求項1に記載の光学素子モジュール。
- 前記テーパ部を介した底部による空間部分にのみ前記接着材が配置され、少なくとも前記上下のテーパ部による空間部分には該接着材が配置されておらず、接着時に、前記上側の光学素子と前記下側の光学素子によって該接着材が押圧されて、前記スペーサ部まで広がらない十分なスペースを、少なくともテーパ部による空間部分に有している請求項10に記載の光学素子モジュール。
- 前記接着材は、紫外線(UV)硬化樹脂または、紫外線(UV)硬化および熱硬化樹脂である請求項10または11に記載の光学素子モジュール。
- 前記光学面、その外周側の傾斜面および前記スペーサ部は透明樹脂材料により一括成型されている請求項1〜3のいずれかに記載の光学素子モジュール。
- 前記光学素子はレンズである請求項1〜3のいずれかに記載の光学素子モジュール。
- 前記光学素子は、出射光を直進させて出射させると共に、入射光を曲げて所定方向に入射させる光学機能素子である請求項1〜3のいずれかに記載の光学素子モジュール。
- 請求項1〜15のいずれかに記載の光学素子モジュールを製造する光学素子モジュールの製造方法であって、前記遮光ホルダの開放側に光学素子モジュールを最も上側の光学素子側から挿入した後の自重により、最も上側の光学素子の傾斜面と該遮光ホルダの絞り開口の内側の傾斜面とが互いに案内されて該遮光ホルダの絞り開口部と該光学素子の光学面とを位置決めする組み立て工程を有する光学素子モジュールの製造方法。
- 前記組み立て工程に先立って、
複数の光学面が2次元状に配列された上側のレンズウエハと、複数の光学面が2次元状に配列された下側のレンズウエハとを、その間に遮光板ウエハを挟み込んで上下の光学面の光軸と該遮光板ウエハの開口部が一致するように接着材で貼り合わて光学素子ウエハモジュールを作製する貼り合わせ工程と、
該接着材にUV光を照射して樹脂硬化させるUV光照射工程と、
該光学素子ウエハモジュールをダイシングラインに沿って一括切断して光学素子モジュールに個片化する切断工程とを有する請求項16に記載の光学素子モジュールの製造方法。 - 請求項1〜15のいずれかに記載の光学素子モジュールにおける遮光ホルダ内に、
前記光学素子の光学面に対向する電子素子上を覆うように透明支持基板を接着固定した撮像素子チップモジュールを、該電子素子と該光学面とが位置合わせされて固定されている電子素子モジュール。 - 請求項16または17に記載の光学素子モジュールの製造方法を用いた光学素子モジュール組み立て工程と、
前記光学素子の光学面に対向する電子素子上を覆うように透明支持基板を接着固定した電子素子チップモジュールを、該電子素子と該光学面とを位置合わせして該遮光ホルダ内に固定する電子素子チップモジュール組み込み工程とを有する電子素子モジュールの製造方法。 - 請求項14に記載の光学素子モジュールが設けられた電子素子モジュールをセンサモジュールとして撮像部に用いた電子情報機器。
- 請求項15に記載の光学素子モジュールが設けられた電子素子モジュールを情報記録再生部に用いた電子情報機器。
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