CN104704413B - 光学部件搬送装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的一个实施方式的光学部件搬送装置(90)包括：设置于对透镜部(50)的顶面进行吸附的透镜单元吸引头(14)，从透镜部(50)的顶面的上方，向在该顶面设置的光入射用的开口孔(3a)照射光的小型LED照明(13)；和控制单元，其基于通过小型LED照明(13)的光而将开口孔(3a)投影到透镜部(50)的背面侧而得到的投影图像，控制透镜单元吸引头(14)，以进行透镜部(50)的对位。

Description

光学部件搬送装置
技术领域
本发明涉及用于进行便携电话等的电子设备中装载的摄像机组件用透镜的定位的光学部件搬送装置，尤其涉及能够使具有摄像透镜的透镜部相对于摄像传感器部更正确地进行定位的光学部件搬送装置。
背景技术
摄像机组件逐渐装载于便携电话、智能手机等各种电子设备中，存在如果为以现有的透镜驱动装置中没有的保持部件来保持透镜的类型，则通过透镜驱动装置来发挥自动聚焦功能和手震校正的摄像机组件，这已经在市场上流通。透镜驱动装置即致动器存在步进电动机、压电元件、VCM(Voice Coil Motor：音圈电机)等多种类型，已经在市场上流通。来自市场的小型化的要求强烈，但构造复杂化，透镜相对于摄像元件的定位精度也要求更高的水平。
一般来讲，摄像机组件如下制造而成：一边将向致动器单元预先组装透镜单元而得的透镜部，与向基板组装传感器芯片、配线丝、玻璃盖、传感器罩等而得的传感器部进行对位，一边利用粘接树脂进行贴合。
关于该对位提出有多种方法。例如已知有以下方法：如图23和图24所示，一边用吸引头114对透镜部进行真空吸引，一边从背面侧用环型照明117进行照明，利用图像识别用摄像机单元116进行透镜筒103的边缘103e和保持件102的边缘102e的图像识别，与同样地进行了图像识别的摄像传感器芯片的有效像素区域进行对位，一边向预先涂敷有粘接树脂的传感器部用装置进行装载的方法。
另外，专利文献1中也公开上述的对位的方法。专利文献1公开了用于对未图示的电路基板安装图25所示的电子部件203的电子部件安装装置。电子部件安装装置220包括：与头部单元形成为一体的支柱221a和221b；安装于支柱221a的前端部，且对于由吸附喷头212b吸附的电子部件203的与吸附面相反一侧的拍摄面，从斜下方进行拍摄的CCD摄像机222；和安装于支柱221b的前端部，对由吸附喷头212b吸附的电子部件203的下表面照明照明光的照明部件223。此时，照明部件223从相对于CCD摄像机222以吸附头212a的轴为中心的线对称的位置，从斜下方照射电子部件203。附图标记224是从照明部件223照射的光的路径。CCD摄像机222接收由电子部件203的下表面反射的反射光。CCD摄像机222所取得的图像被图像处理，通过抽出图像内的边缘点而生成边缘图像，根据所生成的边缘图像把握电子部件203的外边缘部，来确认位置偏差。
另一方面，在专利文献2中公开了通过部件彼此的抵接嵌合来进行倾斜校正的技术。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本国公开专利公报“日本特开2012-33734号公报(2012年2月16日公开)”
专利文献2：日本国公开专利公报“日本特开2010-134409号公报(2010年6月17日公开)”
发明内容
发明要解决的技术问题
在现有技术中，由于照明装置的限制，从背面进行照明，因此仅能够从背面进行图像识别，由于产品的小型化树脂成形部件的薄壁化，存在图像识别困难而误识别导致的位置精度降低、不良的产生的问题。
在摄像机组件中，为了在确保摄像机性能的同时满足小型化的要求，存在透镜筒壁厚设计为200μm以下的情况。因此，与壁厚300μm以上的成形品相比，相对于透镜筒底面的边缘等平坦部的角R的比例变大，所以，边缘图像变得不明确。另外，也容易受到将支承透镜部的保持件与透镜筒粘接的树脂附着在透镜筒底面的影响，因此，当如图23和图24所示那样对透镜筒底面部分进行图像识别时，中心位置偏差从实际的中心位置偏移100μm左右，存在无法获得足够的精度而产生不良品的问题。
即，伴随摄像机组件的小型化，透镜单元也不断小型化，其结果，透镜筒和保持件也不断小型化、薄壁化，由此，表面和边缘的状态成为不稳定的状态，以及将透镜筒固定于保持件的固定剂在透镜筒溢出至保持件的表面和边缘的状态变多，因此，当对透镜筒底面部分进行图像识别时，存在误识别增加、难以进行正确的安装的情况。本申请发明人进行研究时发现，通过改变照明入射角度能够实现稍许改善，但是为了可靠地实现正确的对位还需要进一步改良。
因此，本发明是鉴于上述的问题点而完成的，其目的在于提供一种能够将为了进行小型化而自由度高的设计和/或形状的透镜部正确地定位并安装于传感器部的光学部件搬送装置。
用于解决问题的技术方案
为了解决上述的技术问题，本发明的光学部件搬送装置是用于将组装有透镜的光学部件搬送到具有光电转换部的传感器部的光入射侧的规定位置并进行对位的光学部件搬送装置，其特征在于：上述光学部件搬送装置包括保持机构，该保持机构至少具有以下的(i)和(ii)中的一方：(i)吸附头，其对上述光学部件的作为光入射侧的外表面的顶面进行吸附而保持该光学部件，并且使该光学部件的位置和姿势变化；和(ii)夹持或吸引装置，其与上述光学部件中的与上述顶面邻接的侧面抵接而保持该光学部件，并且使该光学部件的位置和姿势变化，
上述光学部件搬送装置包括控制单元，在由上述保持机构保持上述光学部件的状态下，上述控制单元，基于在设置有从上述光学部件的该顶面的上方，向设置于该顶面的光入射用的开口孔照射光的发光元件的状态下，通过上述发光元件的光而将上述开口孔投影到上述光学部件中的作为与上述顶面相反的一侧的背面侧而得到的投影图像，控制上述保持机构以使得上述光学部件装载于上述传感器部的上述规定位置。
发明效果
根据本发明，一边对透镜单元的顶面进行吸引一边从顶面进行照明，由此，能够进行透镜开口孔的边缘的图像识别，能够以正确的光轴位置进行图像识别。由此，能够摆脱使摄像机组件小型化而带来的限制事项，即使从透镜部背面看不见透镜筒筒部也没问题，即使在透镜部背面边缘涂敷树脂也没问题的区域变大，即使在透镜部内存在倾斜，也能够在向传感器部装载时进行校正。当能够进行校正时，能够缓和部件的性能管理值。当能够缓和时，能够实现成本降低和应用于多种的产品中。
附图说明
图1是具有由本发明的一个方式的光学搬送装置搬送并对位的透镜部和传感器部的摄像机组件的立体图。
图2是表示按图1所示的剖面线A-A′将图1的摄像机组件截断后的状态的向视截面图。
图3表示图1的摄像机组件所具备的透镜部(带透镜单元的致动器)的立体图。
图4是图1的摄像机组件所具备的透镜部(带透镜单元的致动器)的侧面(背面)图。
图5是图1的摄像机组件所具备的传感器部的立体图。
图6是图1的摄像机组件所具备的传感器部的截面图。
图7是表示本发明的一个方式的光学搬送装置所具备的带LED照明的吸引头、图1的摄像机组件所具备的透镜部(带透镜单元的致动器)与该光学搬送装置所具备的图像识别用摄像机单元的位置关系的侧视图。
图8是表示本发明的一个方式的光学搬送装置所具备的带LED照明的吸引头、图1的摄像机组件所具备的透镜部(带透镜单元的致动器)和该光学搬送装置所具备的图像识别用摄像机单元的位置关系的截面图。
图9是表示本发明的一个方式的光学搬送装置所具备的带LED照明的吸引头、图1的摄像机组件所具备的透镜部(带透镜单元的致动器)和该光学搬送装置所具备的激光位移计的位置关系的截面图。
图10是由本发明的一个方式的光学搬送装置搬送并对位的透镜部预装载于传感器部的状态的摄像机组件的立体图。
图11是表示本发明的一个方式的光学搬送装置所具备的带LED照明的吸引头、图1的摄像机组件所具备的透镜部(带透镜单元的致动器)和传感器部、以及该光学搬送装置所具备的图表(图，chart)的位置关系的立体图。
图12是表示本发明的一个方式的光学搬送装置所具备的带LED照明的吸引头、图1的摄像机组件所具备的透镜部(带透镜单元的致动器)和传感器部、以及该光学搬送装置所具备的图表的位置关系的截面图。
图13是本发明的实施例中进行确认的分辨率或者对比度性能变化特、MTF散焦特性(倾斜时)的说明图(图表)。
图14是在本发明的实施例中进行确认的分辨率或者对比度性能变化特性、MTF散焦特性(倾斜少时)的说明图(图表)。
图15是表示本发明的一个方式的光学搬送装置所具备的带LED照明的吸引头、图1的摄像机组件所具备的透镜部(带透镜单元的致动器)和传感器部、以及该光学搬送装置所具备的图表和夹持或吸引装置的位置关系的立体图。
图16是表示本发明的一个方式的光学搬送装置所具备的带LED照明的吸引头、图1的摄像机组件所具备的透镜部(带透镜单元的致动器)和传感器部、以及该光学搬送装置所具备的图表和夹持或吸引装置的位置关系的截面图。
图17是表示本发明的一个方式的光学搬送装置所具备的带开口孔的LED照明内置吸引头、图1的摄像机组件所具备的透镜部(带透镜单元的致动器)和MTF测量器的位置关系的立体图。
图18是表示本发明的一个方式的光学搬送装置所具备的带开口孔的LED照明内置吸引头、图1的摄像机组件所具备的透镜部(带透镜单元的致动器)和MTF测量器的位置关系的截面图。
图19是表示本发明的一个方式的光学搬送装置所具备的带LED照明的吸引头、图1的摄像机组件所具备的透镜部(带透镜单元的致动器)和传感器部、以及该光学搬送装置所具备的MTF测量器和夹持或吸引装置的位置关系的立体图。
图20是表示本发明的一个方式的光学搬送装置所具备的带LED照明的吸引头、图1的摄像机组件所具备的透镜部(带透镜单元的致动器)和传感器部、以及该光学搬送装置所具备的MTF测量器和夹持或吸引装置的位置关系的截面图。
图21是表示本发明的一个方式的光学搬送装置所具备的带LED照明的吸引头、图1的摄像机组件所具备的透镜部(带透镜单元的致动器)和该光学搬送装置所具备的倾斜测量器的位置关系的立体图。
图22是表示本发明的一个方式的光学搬送装置所具备的带LED照明的吸引头、图1的摄像机组件所具备的透镜部(带透镜单元的致动器)和该光学搬送装置所具备的倾斜测量器的位置关系的截面图。
图23是表示现有例的图。
图24是表示现有例的图。
图25是表示现有例的图。
具体实施方式
以下，使用图1～图22对本发明的光学部件搬送装置的一实施方式进行说明。其中，在对本实施方式的光学部件搬送装置进行说明之前，对具有作为由光学部件搬送装置搬送的对象的透镜部的摄像机组件进行说明。
图1是通过将由本实施方式的光学部件搬送装置搬送透镜部并与传感器部对位固定而得到的摄像机组件40的立体图。图2是表示按图1所示的剖面线A-A′将摄像机组件40截断后的状态的向视截面图。
以下，首先对摄像机组件40的结构进行说明，然后，对搬送透镜部使其与传感器部对位的方法进行说明。
(1)摄像机组件的结构
如图1和图2所示，摄像机组件40是将透镜部50(光学部件)和传感器部60在粘接部分使用紫外线固化树脂等周知的接合件粘接固定而成的组件。如图1所示，透镜部50配置在摄像机组件40的顶面侧，传感器部60配置在摄像机组件40的与顶面侧相反的一侧(以下，将其记载为背面侧)。
(透镜部50)
透镜部50构成为以致动器单元4为外壳，在摄像机组件40的顶面形成有设置于致动器单元4的开口部4a，能够向摄像机组件40内部取入光。
对于透镜部50的详细，使用图2进行说明时，构成为在致动器单元4中组装透镜单元1，透镜单元1包括：摄像透镜71；收纳摄像透镜71的透镜筒3；和保持件2，其为用于将摄像透镜71保持于透镜筒3内部的镜头球挡圈。透镜筒3具有筒构造，背面侧开口较大，使得能够将摄像透镜71插入筒内部。另一方面，在透镜筒3的顶面侧形成有直径比摄像透镜71的直径小的开口孔3a，开口孔3a的中心轴和设置在致动器单元4的开口部4a的中心轴一致，从设置在致动器单元4的开口部4a取入的光通过透镜筒3的开口孔3a，从顶面侧入射到摄像透镜71。致动器单元4安装有未图示的致动器，能够使透镜单元1在与摄像透镜71的光轴垂直的方向上移动，并且，也能够沿着光轴平行移动。由此，能够实现自动聚焦和手震校正。
此外，本发明的内容与致动器单元4的具体的构成和具体的动作无直接关系，因此省略关于它们的说明。
另外，同样，透镜部50能够具备其它的结构。即，透镜部50至少具备摄像透镜71即可，对于其它的结构则任意，可以缺少摄像透镜71以外的上述各结构中的至少一者，相反，也能够具备非上述的结构。总之，本发明的特征之一在于包含摄像透镜71的光学系统与包含摄像传感器芯片的摄像系统的对位，所以光学系统和摄像系统的具体的结构组件不限于上述结构。
图3是表示仅将透镜部50分离出的状态的立体图，图4是从背面侧观看图3所示的透镜部50的背面图。如图3所示，致动器单元4的背面侧开口大，当从背面侧观看透镜部50时，以致动器单元4的外边缘4ee为最外位置，致动器单元4的内边缘4e、透镜筒3的外侧边缘3ee、透镜筒3的内侧边缘3e、保持件2的外侧边缘2ee、保持件2的内侧边缘2e和摄像透镜71配置成以上述顺序向透镜部50的光轴中心C去。在此，图4的附图标记12是如后文所述从本实施方式的光学部件搬送装置所具备的LED出射并通过了透镜开口光圈孔的光的外边缘。此外，如本实施方式的摄像机组件40那样所谓的前光圈透镜的情况下，透镜开口光圈孔与透镜筒的开口孔3a相同，但是在中光圈透镜的情况下，透镜开口光圈孔为透镜内部的光圈板的孔。该外边缘12在后文述说。
(传感器部60)
如图1和图2所示，传感器部60利用粘接部分5与透镜部50的致动器单元4的背面侧粘接固定。传感器部60包括安装有后述的摄像传感器芯片的基板10和传感器罩6，传感器罩6的顶面侧隔着粘接剂与透镜部50的致动器单元4的背面侧相对。
在此，图5是从图1的摄像机组件40仅将传感器部60分离出的状态的立体图，图6是表示按图5所示的剖面线A-A′将传感器部60截断后的状态的向视截面图。图6所示的截面与图2所示的传感器部60的截面相同。
如图2、图5和图6所示，传感器部60构成为将摄像传感器芯片8、配线丝11、玻璃盖7和传感器罩6安装在基板10上。如图2和图6所示，摄像传感器芯片8由粘接树脂9粘接固定在基板10表面。另外，摄像传感器芯片8规定有有效像素区域8s，摄像机组件40(图1)对该有效像素区域8s中接收到的光进行光电转换。
换言之，透镜部50需要使光入射到摄像传感器芯片8的有效像素区域8s。因此，在将透镜部50与传感器部60贴合(粘接固定)时，需要将两者正确地对位。本实施方式的光学部件搬送装置，由于具有后述的结构，因此能够将透镜部50与传感器部60正确地对位。以下，对摄像机组件的制造中主要关于透镜部50与传感器部60的对位和两者的粘接固定，一边进行说明，一边使本实施方式的重点变得明确。
(2)摄像机组件的制造
在本实施方式中，在摄像机组件40的制造过程中，在将图3所示的透镜部50与图5所示的传感器部60对位，利用粘接部分5进行固定的摄像机组件组装工序中，使用光学部件搬送装置90。
图7是表示为了将透镜部50与传感器部60(图5)对位而移动(搬送)透镜部的光学部件搬送装置90的结构的立体图，与透镜部50一起图示。图8是表示按图7所示的剖面线A-A′将光学部件搬送装置90截断后的状态的向视截面图。此外，图7和图8中也图示作为搬送对象的透镜部50。
(光学部件搬送装置90的结构)
如图7所示，本实施方式的光学部件搬送装置90包括透镜单元吸引单元80、图像识别用摄像机单元16和控制部17(控制单元)。
透镜单元吸引单元80包括：与构成透镜部50的顶面的透镜单元1的顶面接触，对透镜单元1的顶面进行真空吸引的透镜单元吸引头14；内置于透镜单元吸引头14中的小型LED照明13；和连接透镜单元吸引头14与未图示的吸引装置的透镜单元吸引管15。
透镜单元吸引头14具有与构成透镜单元1的顶面的透镜筒3的顶面接触的接触面，在该接触面形成有多个与透镜单元吸引管15连通的吸引孔14a。使接触面与透镜筒3的顶面接触，使未图示的吸引装置工作，由此，吸引孔14a吸引透镜筒3的顶面，成为透镜单元吸引头14与透镜筒3接合的状态。在该状态的情况下，利用未图示的移动装置使透镜单元吸引头14移动时，使透镜部50和透镜筒3一并移动。由此，能够将透镜部50移动(调节)为所期望的位置和姿势。
另外，在透镜单元吸引头14，在上述接触面与透镜筒3的顶面接触的状态下与透镜筒3的开口孔3a重复的位置设置有贯通孔14b。来自在透镜单元吸引头14的与上述接触面相反的一侧的面即吸引头14的顶面配置的小型LED照明13的光，经贯通孔14b，通过透镜单元吸引头14的上述接触面侧即背面侧。
如上所述，小型LED照明13配置在吸引头14的顶面，经贯通孔14b向透镜单元1的透镜筒3的开口孔3a从顶面侧照射光。由此，光映照出从开口孔3a通过摄像透镜71并通过摄像透镜71的背面侧的光。图8表示在该摄像透镜71的背面侧映照出的光区域的外边缘12。外边缘12是在图4中说明的外边缘12。小型LED照明13能够实现这样的结构即可，结构上无特别限制。在本实施方式中，如图8所示，小型LED照明13的发光部被插入到贯通孔14b。由此，能够不遗漏从该发光部出射的光地使光从开口孔3a入射到摄像透镜71。
此外，在本实施方式中，除透镜单元吸引头14之外，还利用图15、图16、图19和图20所示的夹持或吸引装置23保持并移动透镜部50。夹持或吸引装置23对透镜部50的侧面(致动器单元4的侧面)抵接并从两侧夹持或吸引，从而保持透镜部50。
另外，在本实施方式中，除透镜单元吸引头14之外，还能够具备图11、图12、图17和图18所示的透镜单元吸引头19。详细在后文所述，但是图11、图12、图17和图18所示的透镜单元吸引头19和上述的透镜单元吸引头14的构造上的不同在于贯通孔的大小和小型LED照明的配置。除此之外的构造在上述的透镜单元吸引头14中已经说明，因此省略说明。透镜单元吸引头19在后述的倾斜校正中使用。
此外，在后述的倾斜校正[3]、[4]、[5]和[6]中，不使用透镜单元吸引头14而使用透镜单元吸引头19。因此，在进行该倾斜校正[3]、[4]、[5]和[6]中的至少1种的情况下，需要将在传感器部60预装载透镜部50之前进行的图像识别中使用的透镜单元吸引头14，从透镜单元1拆下，替换为透镜单元吸引头19。或者，也可以完全不使用透镜单元吸引头14，为了在传感器部60预装载透镜部50之前进行的图像识别，而使用透镜单元吸引头19。
图18所示的透镜单元吸引头19具有不妨碍使用摄像透镜71时进行摄像(摄影)的较大直径的贯通孔19a，在构成贯通孔19a的环状的壁面埋设有小型LED照明20。该小型LED照明20起到与上述的小型LED照明13同样的功能。小型LED照明20可以为环状，也可以呈环状地排列多个小型LED件。此外，如图12和图18所示，透镜单元吸引头19在与致动器单元4的顶面接触的区域具有吸引孔。
透镜单元吸引头14、透镜单元吸引头19和夹持或吸引装置23均能够使透镜部50在所有方向上移动(也包括倾斜)。
图像识别用摄像机单元16是用于接收从小型LED照明13出射后经透镜筒3的开口孔3a而投影的投影光，并对基于光电转换而得到的数据的投影图像的边缘进行图像识别的摄像机单元。在此，该边缘来源于透镜单元1的透镜筒3的开口孔3a。
控制部17基于由图像识别用摄像机单元16图像识别出的边缘，对搬送透镜部50的透镜单元吸引头14和夹持或吸引装置23中的至少一方进行控制，使得透镜部50以所期望的位置和姿势装载于传感器部60。
此外，关于后述的倾斜校正，控制部17也控制透镜单元吸引头14和夹持或吸引装置23中的至少一方。
同样，在摄像传感器芯片8的有效像素区域8s中，也一边进行图像识别，一边与有效像素区域8s进行对位，将透镜部50向预先涂敷有粘接部分5的传感器部60的顶面配置和固定。
在图像识别用摄像机单元16和摄像传感器芯片8的有效像素区域8s被图像识别的、由通过了摄像透镜71的小型LED照明13的光形成的光区域的外边缘12，能够确定出摄像透镜71的光轴(即，确定出透镜的中心XY位置)，因此，与对透镜筒3的边缘3e、3ee、保持件2的边缘2e、2ee进行图像识别相比，能够确定出明确而且正确的光轴中心位置。即，由于采用将摄像透镜71放入到透镜筒3中，盖上称为保持件2的盖，将透镜筒3与保持件2粘接固定的构造，因此，存在透镜筒3和保持件2的中心与摄像透镜71的中心并不正确地一致的情况。但是，透镜具有称作开口光圈孔的、对能够摄像的范围︰画角有影响的孔，因此，根据本实施方式，能够确定该孔的中心位置，所以能够最正确地确定光轴。
此外，这些图像识别在如图10所示将透镜部50预装载于传感器部60之前进行。
在此，由小型LED照明13映照出的外边缘12位于透镜单元1的顶面附近，因此，在透镜单元吸引头14发生了倾斜的情况下，存在致动器单元4的与光轴垂直的方向上的位置偏移(X-Y位置偏移)比较大的缺点。透镜单元1的图像识别位置位于透镜单元1的开口孔3a等顶面附近的较高的位置的情况下，利用顶面吸引保持进行处理时，倾斜拍摄(仰拍)容易影响与光轴垂直的方向上的位置偏移(X-Y位置偏移)。因此，在本实施方式中，进行以下7种倾斜校正中的一种或多种，在校正了该缺点之后，将透镜部50与传感器部60粘接固定。
透镜单元吸引头14是否倾斜，能够通过如图8所示从背面侧利用图像识别用摄像机单元16进行摄像来判断。具体来讲，利用图像识别用摄像机单元16进行摄像，如图4所示圆形的致动器单元4的内边缘4e能够看到椭圆化时，能够判断为倾斜。此外，四角形的致动器单元4的外边缘4ee能够看到梯形化时，能够判断为倾斜。此外，能够发现在激光位移计或倾斜测量器的倾斜倾向，或者在分辨率或对比度性能变化特性、MTF散焦特性不成为后述的图14而如图13的方式时，能够判断为倾斜。
在本发明中，可以一边确认倾斜状态，一边在需要倾斜校正时进行校正。或者，可以确认光学部件搬送装置的倾斜稳定性的实际情况，根据需要进行倾斜校正。此外，进行7种倾斜校正之中的哪个(一个或多个)，根据摄像机组件的大小、需要的生产能力、SPEC规定方法来决定。
(7种倾斜校正)
·倾斜校正[1]
如图8所示，从背面侧利用图像识别用摄像机单元16进行摄像，利用在圆形的致动器单元4的内边缘4e倾斜时能够看到椭圆化，在四边形的致动器单元4的外边缘4ee倾斜时能够看到梯形化，来测量倾斜拍摄状态，使透镜部50向抵消倾斜的方向倾斜来进行倾斜校正。在该倾斜校正完成的时刻，透镜部50与传感器部60处于分离状态。倾斜校正后的状态的透镜部50装载于涂敷了树脂的传感器部60，使(对UV固化树脂照射UV等)粘接树脂固化而固定。
在此，作为使透镜部50向抵消倾斜的方向倾斜的方法，能够列举通过使透镜单元吸引头14移动，或者在后述的如图19和图20所示的透镜部50由夹持或吸引装置23保持的情况下，使该夹持或吸引装置23移动，来使透镜部50倾斜的方法。
·倾斜校正[2]
光学部件搬送装置90还具备激光位移计18。而且，如图9所示，利用激光位移计18对致动器单元4的背面中的至少3点进行测距，测量透镜部50的倾斜拍摄状态，使透镜部50向抵消倾斜的方向倾斜来进行倾斜校正。该倾斜校正完成的时刻，透镜部50与传感器部60处于分离状态。倾斜校正后的状态的透镜部50装载于涂敷了树脂的传感器部60，(对UV固化树脂照射UV等)使粘接树脂固化而固定。作为使透镜部50向抵消倾斜的方向倾斜的方法，能够采用与上述相同的方法。
·倾斜校正[3]
光学部件搬送装置90还具备分辨率或对比度确认用的图表(图，chart)22。
此处，在上述的图像识别之后，如图10所示向传感器部60预装载透镜部50。此时，粘接部分5′为粘接树脂未固化或者未涂敷的状态。然后，如图11和图12所示，使传感器部60通电摄像，经过设置在透镜单元吸引头19的中央部的孔，使用配置于透镜单元吸引头19的顶面侧的图表22，对分辨率或对比度确认用图表进行拍摄。此外，此时，内置于透镜单元吸引头19的小型LED照明20不点亮。
接着，使透镜部50和透镜单元吸引头19上下移动，或者，使透镜部50中的可动部(透镜筒)上下移动，以使透镜部50与传感器部60的间隔变化，比较作为由有效像素区域8s生成的图像的中心的图像中心部(中心部位)及其周边部中的4个部位以上的分辨率或对比度性能变化特性。
在此，图13所示的图表是横轴为附图标记27所示的伸缩量或传感器与透镜的距离，纵轴为附图标记26所示的分辨率或对比度性能的图表，附图标记28表示图像中心部的特性，附图标记29表示图像中心部的分辨特性峰位置，附图标记30表示周边部的特性，附图标记31表示周边部的分辨特性峰位置，附图标记32表示周边部的分辨特性的峰位置位移量。在如图13所示分辨率或对比度性能的峰位置位移量32大的情况下，可以说倾斜较大。另一方面，图14表示倾斜少的情况下的分辨率或对比度性能变化特性。在倾斜少的情况下，如图14所示，分辨特性的峰位置位移量在中心部和周边部较小。因此，在倾斜校正[3]中，在分辨率或对比度性能的峰位置位移量32超过规定值(例如30μm)的情况下，移动透镜单元吸引头19，使分辨率或对比度性能的峰位置在中心部和周边部一致，并且使分辨率或对比度性能的峰位置位移量变小，在倾斜校正后的状态下将透镜部50固定于传感器部60。当进行倾斜校正时，周边部的峰位置向由图13中的附图标记33所示的方向位移。
·倾斜校正[4]
如图11或图15所示，在将透镜部50预装载在传感器部60的状态下使传感器部通电拍摄，如图15和图16所示，使用配置在透镜部50的顶面侧的图表22，对分辨率或者对比度确认用图表进行拍摄。此时，使透镜部50和透镜单元吸引头19或者透镜单元夹持件或吸引头23上下移动，或者，使透镜部50中的可动部(透镜筒)上下移动，以使透镜部50与传感器部60的间隔变化，比较作为由有效像素区域8s生成的图像的中心的图像中心部(中心部位)及其周边部中的4个部位以上的分辨率或对比度性能变化特性。而且，在上述的如图13所示分辨率或对比度性能的峰位置位移量32比规定值大的情况下，倾斜大，因此，移动夹持或吸引装置23，使分辨率或对比度性能的峰位置一致，在倾斜校正后的状态下将透镜部50固定于传感器部60。
·倾斜校正[5]
光学部件搬送装置90还包括多个调制传递函数(modulation transferfunction，以下，MTF)测量器21。
而且，为了进行倾斜校正[5]，如图17和图18所示，一边利用透镜单元吸引头19吸引透镜部50，一边使用设置在透镜单元吸引头19的中央部的较大的贯通孔19a，利用配置在透镜单元吸引头19的顶面侧的多个MTF测量器21和配置在透镜部50的背面侧的MTF测量器21，进行透镜部50的MTF散焦特性检查，比较开口孔3a的中心部(中心部位)及其周边部中的4个部位以上的散焦特性(分辨率或对比度性能变化特性)。由配置在透镜部50的背面侧的MTF测量器21映照出的(被背面照射后的)线的边缘，由配置在透镜部50的顶面侧的MTF测量器21的多个摄像机读取。
其结果是成为大致与上述的图13和图14的图表同样的结果，在如图13所示分辨率或对比度性能的峰位置位移量32比规定值大的情况下，以中心峰为中心的相对位置的峰向相反方向位移，因此，移动透镜单元吸引头19，使分辨率或对比度性能的峰位置一致，从而校正倾斜，在校正后的状态下将透镜部50固定于传感器部60。
·倾斜校正[6]
在倾斜校正[6]中，如图19和图20所示，一边利用夹持或吸引装置23保持透镜部50，一边利用配置在透镜部50的顶面侧的多个MTF测量器21和配置在透镜部50的背面侧的MTF测量器21，进行透镜部50的MTF散焦特性检查，比较开口孔3a的中心部(中心部位)及其周边部中的4个部位以上的散焦特性(分辨率或者对比度性能变化特性)。
其结果是是成为大致与上述的图13和图14的图表同样的结果，在如图13所示分辨率或对比度性能的峰位置位移量32比规定值大的情况下，以中心峰为中心的相对位置的峰向相反方向位移，因此，移动夹持或吸引装置23，使分辨率或对比度性能的峰位置一致，在倾斜校正后的状态下将透镜部50固定于传感器部60。
·倾斜校正[7]
光学部件搬送装置90还包括倾斜测量器25。如图21和图22所示，向吸引头14或者LED照明13的上部放置反射镜24，将倾斜测量器的激光射到该反射镜上来对倾斜进行测距，测量透镜部50的倾斜拍摄状态，使透镜部50向抵消倾斜的方向倾斜，在倾斜校正后的状态下将透镜部50与传感器部60固定。作为使透镜部50向抵消倾斜的方向倾斜的方法，能够采用与上述相同的方法。
(总结)
本发明的光学部件搬送装置(光学部件搬送装置90)，其将组装有透镜(摄像透镜71)的光学部件(透镜部50)搬送到具有光电转换部(摄像传感器芯片8、有效像素区域8s)的传感器部(传感器部60)的光入射侧的规定位置并进行对位，其特征在于：
包括保持机构，该保持机构具有以下的(i)和(ii)中的至少一方：(i)吸附头(透镜单元吸引头14、19)，其对上述光学部件(透镜部50)的作为光入射侧的外表面的顶面进行吸附而保持该光学部件(透镜部50)，并且使该光学部件(透镜部50)的位置和姿势变化；和(ii)夹持或吸引装置(夹持或吸引装置23)，其与上述光学部件(透镜部50)中的与上述顶面邻接的侧面抵接而保持该光学部件(透镜部50)，并且使该光学部件(透镜部50)的位置和姿势变化，
上述光学部件搬送装置包括控制单元(控制部17)，在由上述保持机构保持上述光学部件的状态下，上述控制单元，基于在设置有从上述光学部件(透镜部50)的该顶面的上方，向设置于该顶面的光入射用的开口孔(透镜筒3的开口孔3a)照射光的发光元件(小型LED照明13、20)的状态下，通过上述发光元件(小型LED照明13、20)的光而将上述开口孔(透镜筒3的开口孔3a)投影到上述光学部件(透镜部50)的作为与上述顶面相反的一侧的背面侧而得到的投影图像，控制上述保持机构即上述吸附头(透镜单元吸引头14、19)和上述夹持或吸引装置(夹持或吸引装置23)中的至少一方，使得上述光学部件(透镜部50)装载于上述传感器部(传感器部60)的上述规定位置。
根据上述结构，在透镜顶面的吸引头内设置发光元件，通过一边吸引透镜单元的顶面一边从顶面进行照明的方法，能够进行透镜开口孔边缘的图像识别，能够以正确的光轴位置进行图像识别。由此，能够摆脱使摄像机组件小型化而带来的限制事项，即使从透镜部背面看不见透镜筒筒部也没问题，即使在透镜部背面边缘涂敷树脂也没问题的区域变大，即使在透镜部内存在倾斜，也能够在向传感器部装载时进行校正。当能够进行校正时，能够缓和部件的性能管理值。当能够缓和时，能够实现成本降低和应用于多种的产品中。
本发明的光学部件搬送装置的一个方式，除上述结构之外，还优选：
在上述光学部件(透镜部50)设置有将上述透镜(摄像透镜71)收纳于内部的圆筒形状的透镜筒(透镜筒3)，该透镜筒(透镜筒3)从上述光学部件(透镜部50)的作为与上述顶面相反的一侧的背面侧看时，该透镜筒(透镜筒3)的背面(内侧边缘3e、外侧边缘3ee)为圆形，
上述控制单元(控制部17)，基于上述投影图像对上述透镜筒(透镜筒3)的上述背面(内侧边缘3e、外侧边缘3ee)进行图像识别，当检测到该背面由于倾斜拍摄(仰拍)而变形为椭圆时，控制(i)上述吸附头(透镜单元吸引头14、19)和(ii)上述夹持或吸引装置(夹持或吸引装置23)中的至少一方，使上述光学部件(透镜部50)的位置和姿势变化，以校正该倾斜拍摄。
根据上述结构，由吸引头的倾斜、夹持或吸引装置的倾斜引起的与光轴垂直的方向上的位置偏移(X-Y位置偏移)的大小，即使在因该图像识别方法而扩大的情况下，也能够由于校正倾斜拍摄而得以改善。
本发明的光学部件搬送装置的一个方式，除上述结构之外，还优选：
上述光学部件(透镜部50)的上述背面侧具有直角形(方形)的外周边缘(致动器单元的外边缘4ee)，且上述光学部件(透镜部50)具有从该背面侧看时在比该外周边缘(致动器单元的外边缘4ee)更靠中心侧的位置具有圆形的边缘的部件(保持件2、透镜筒3)，
上述控制单元(控制部17)，当基于上述投影图像从上述光学部件(透镜部50)的上述背面侧对上述直角形的外周边缘(致动器单元的外边缘4ee)进行图像识别，而检测到该直角形的外周边缘(致动器单元的外边缘4ee)由于倾斜拍摄而变化为梯形时，或者，从上述光学部件的上述背面侧对上述圆形的边缘(保持件2或透镜筒3的外边缘或者内边缘)进行图像识别，而检测到该圆形由于倾斜拍摄而变化为椭圆形时，控制(i)上述吸附头(透镜单元吸引头14、19)和(ii)上述夹持或吸引装置(夹持或吸引装置23)中的至少一方，使上述光学部件(透镜部50)的位置和姿势变化以校正倾斜。
根据上述结构，由吸引头的倾斜、夹持或吸引装置的倾斜引起的与光轴垂直的方向上的位置偏移(X-Y位置偏移)的大小，即使在因该图像识别方法而扩大的情况下，也能够通过基于图像识别进行的倾斜校正而得以改善。
本发明的光学部件搬送装置的一个方式，除上述结构之外，还优选：
上述光学部件搬送装置(光学部件搬送装置90)在上述光学部件(透镜部50)的背面侧还设置有激光位移计(激光位移计18)，该激光位移计对该光学部件(透镜部50)的位于与光轴垂直的同一平面内的至少3个部位分别照射激光来求取距离，
上述控制单元(控制部17)根据上述激光位移计(激光位移计18)的测量结果对上述光学部件(透镜部50)的倾斜拍摄进行测量，控制(i)上述吸附头(透镜单元吸引头14、19)和(ii)上述夹持或吸引装置(夹持或吸引装置23)中的至少一方，使上述光学部件(透镜部50)的位置和姿势变化以校正该倾斜拍摄。
根据上述结构，由吸引头的倾斜、夹持或吸引装置的倾斜引起的与光轴垂直的方向上的位置偏移(X-Y位置偏移)的大小，即使在因该图像识别方法而扩大的情况下，也能够通过利用激光位移计进行的倾斜测量校正而得以改善。
本发明的光学部件搬送装置的一个方式，除上述结构之外，还优选：
在上述吸附头(透镜单元吸引头14、19)设置有具有与上述开口孔同心的圆的贯通孔(贯通孔14b、19a)，
上述光学部件搬送装置(光学部件搬送装置90)在隔着上述贯通孔(贯通孔14b、19a)与上述开口孔(开口孔3a)相反的一侧还设置有由上述光电转换部(摄像传感器芯片8、有效像素区域8s)确认分辨率或对比度的分辨率或对比度确认用图表(图表(图，chart)22)，
在上述传感器部(传感器部60)的上述光电转换部(摄像传感器芯片8、有效像素区域8s)工作的状态下，上述控制单元(控制部17)控制(i)上述吸附头(透镜单元吸引头14、19)和(ii)上述夹持或吸引装置(夹持或吸引装置23)中的至少一方，以上述光学部件(透镜部50)临时装载于上述传感器部(传感器部60)的状态，使上述光学部件(透镜部50)与上述光电转换部(摄像传感器芯片8、有效像素区域8s)的距离变化，
在上述距离变化的期间，上述分辨率或对比度确认用图表(图表22)，通过上述贯通孔(贯通孔14b、19a)，求取上述光电转换部(摄像传感器芯片8、有效像素区域8s)的中心部位及其周边的至少4个部位的分辨率或对比度，
上述控制单元(控制部17)比较上述中心部位及其周边的彼此的分辨率或对比度的峰位置，在彼此的峰位置的差超过规定值的情况下，控制(i)上述吸附头(透镜单元吸引头14、19)和(ii)上述夹持或吸引装置(夹持或吸引装置23)中的至少一方，使上述光学部件(透镜部50)的位置和姿势变化，从而使该彼此的峰位置一致，以校正倾斜。
根据上述结构，由吸引头的倾斜、夹持或吸引装置的倾斜引起的与光轴垂直的方向上的位置偏移(X-Y位置偏移)的大小，即使在因该图像识别方法而扩大的情况下，也能够通过利用摄像进行的倾斜校正而得以改善。
本发明的光学部件搬送装置的一个方式，除上述结构之外，还优选：
上述光学部件搬送装置(光学部件搬送装置90)还包括对上述光电转换部(摄像传感器芯片8、有效像素区域8s)的分辨率或对比度进行确认的分辨率或对比度确认用图表(图表22)，
在上述传感器部(传感器部60)的上述光电转换部(摄像传感器芯片8、有效像素区域8s)工作的状态下，上述控制单元(控制部17)控制(i)上述吸附头(透镜单元吸引头14、19)和(ii)上述夹持或吸引装置(夹持或吸引装置23)中的至少一方，以上述光学部件(透镜部50)临时装载于上述传感器部(传感器部60)的状态，使上述光学部件(透镜部50)与上述光电转换部(摄像传感器芯片8、有效像素区域8s)的距离变化，
在上述距离变化的期间，上述分辨率或对比度确认用图表(图表22)，求取上述光电转换部(摄像传感器芯片8、有效像素区域8s)的中心部位及其周边的至少4个部位的分辨率或对比度，
上述控制单元(控制部17)比较上述中心部位及其周边的彼此的分辨率或对比度的峰位置，在彼此的峰位置的差超过规定值的情况下，控制(i)上述吸附头(透镜单元吸引头14、19)和(ii)上述夹持或吸引装置(夹持或吸引装置23)中的至少一方，使上述光学部件(透镜部50)的位置和姿势变化，从而使该彼此的峰位置一致，以校正倾斜。
根据上述结构，由吸引头的倾斜、夹持或吸引装置的倾斜引起的与光轴垂直的方向上的位置偏移(X-Y位置偏移)的大小，即使在因该图像识别方法而扩大的情况下，也能够通过倾斜校正而得以改善。
本发明的光学部件搬送装置的一个方式，除上述结构之外，还优选：
在上述吸附头设置有具有与上述开口孔同心的圆的贯通孔，
上述光学部件搬送装置还包括配置在隔着上述贯通孔与上述开口孔相反的一侧和上述光学部件的背面侧的、进行上述光学部件(透镜部50)的MTF散焦特性检查的MTF测量器(MTF测量器21)，
通过上述MTF测量器(MTF测量器21)，测量上述开口孔(开口孔3a)的中心部位及其周边的至少4个部位的散焦特性，
上述控制单元(控制部17)比较上述中心部位及其周边的彼此的散焦特性的峰位置，在彼此的峰位置的差超过规定值的情况下，控制上述吸附头(透镜单元吸引头14、19)，使上述光学部件(透镜部50)的位置和姿势变化，从而使该彼此的峰位置一致，以校正倾斜。
根据上述结构，由吸引头的倾斜、夹持或吸引装置的倾斜引起的与光轴垂直的方向上的位置偏移(X-Y位置偏移)的大小，即使在因该图像识别方法而扩大的情况下，也能够通过基于MTF测量进行的倾斜校正而得以改善。
本发明的光学部件搬送装置的一个方式，除上述结构之外，还优选：
上述光学部件搬送装置还包括配置在上述光学部件(透镜部50)的顶面侧和背面侧的、进行上述光学部件的MTF散焦特性检查的MTF测量器(MTF测量器21)，
通过上述MTF测量器(MTF测量器21)，测量上述开口孔(开口孔3a)的中心部位及其周边的至少4部位的散焦特性，
上述控制单元(控制部17)比较上述中心部位及其周边的彼此的散焦特性的峰位置，在彼此的峰位置的差超过规定值的情况下，控制(i)上述吸附头(透镜单元吸引头14、19)和(ii)上述夹持或吸引装置(夹持或吸引装置23)中的至少一方，使上述光学部件(透镜部50)的位置和姿势变化，从而使该彼此的峰位置一致，以校正倾斜。
根据上述结构，由吸引头的倾斜、夹持或吸引装置的倾斜引起的与光轴垂直的方向上的位置偏移(X-Y位置偏移)的大小，即使在因该图像识别方法而扩大的情况下，也能够通过基于MTF测量进行的倾斜校正而得以改善。
本发明的光学部件搬送装置的一个方式，除上述结构之外，还优选：
还包括倾斜测量器，在上述光学部件搬送装置的顶面侧或上述光学部件的顶面侧设置反射镜(反射镜24)，上述倾斜测量器向上述反射镜照射激光，根据反射光来测量倾斜，上述控制单元根据上述倾斜测量器的测量结果来测量上述光学部件的倾斜拍摄，并控制(i)上述吸附头(透镜单元吸引头14、19)和(ii)上述夹持或吸引装置(夹持或吸引装置23)中的至少一方，使上述光学部件的位置和姿势变化，以校正该倾斜拍摄。
根据上述结构，由吸引头的倾斜、夹持或吸引装置的倾斜引起的与光轴垂直的方向上的位置偏移(X-Y位置偏移)的大小，即使在因该图像识别方法而扩大的情况下，也能够通过利用MTF测量进行的倾斜校正而得以改善。
此外，本发明还包括将光学部件定位于规定位置的定位方法。另外，本发明也可以说成是对该光学部件的位置和姿势进行校正以使得光学部件定位于规定位置的校正装置。
本发明不限于上述各实施方式，能够在技术方案所示的范围内进行各种变更，将在不同的实施方式中各自公开的技术方案适当组合而成的实施方式也包含于本发明的技术的范围内。并且，将各实施方式各自公开的技术方案组合，能够形成新的技术特征。
产业上的可利用性
本发明能够利用于摄像机组件的制造。
附图标记说明
1 透镜单元(光学部件)
2 保持件(圆形的部件)
2e 保持件的内侧边缘
2ee 保持件的外侧边缘
3 透镜筒(光学部件)
3a 透镜筒的开口孔
3e 透镜筒的内侧边缘
3ee 透镜筒的外侧边缘
4 致动器单元
4a 致动器单元的开口部
4e 致动器单元的内边缘
4ee 致动器单元的外边缘(直角形的外周边缘)
5 粘接部分
6 传感器罩
7 玻璃盖
8 摄像传感器芯片(传感器部)
8s 有效像素区域
9 粘接树脂
10 基板
11 配线丝
12 外边缘
13 小型LED照明(发光元件)
14 透镜单元吸引头
14a 吸引孔
14b 贯通孔
15 透镜单元吸引管
16 图像识别用摄像机单元
17 控制部
18 激光位移计
19 透镜单元吸引头
19a 贯通孔
20 小型LED照明(发光元件)
21 MTF测量器
22 图表
23 夹持或吸引装置
24 反射镜
25 倾斜测量器
26 分辨率或对比度或SFR值、MTF调制(modulation)值
27 伸缩量或传感器与透镜的距离
28 中心部的特性
29 中心部的分辨特性峰位置
30 周边部的特性
31 周边部的分辨特性峰位置
32 周边部的分辨特性峰位置位移量
33 倾斜校正时峰位置移位的方向
40 摄像机组件
50 透镜部
60 传感器部
71 摄像透镜
80 透镜单元吸引单元
90 光学部件搬送装置

Claims (6)

1.一种光学部件搬送装置，其将组装有透镜的光学部件搬送到具有光电转换部的传感器部的光入射侧的规定位置并进行对位，该光学部件搬送装置的特征在于：
所述光学部件搬送装置包括保持机构，该保持机构具有以下的(i)和(ii)中的至少一方：
(i)吸附头，其对所述光学部件的作为光入射侧的外表面的顶面进行吸附而保持该光学部件，并且使该光学部件的位置和姿势变化；和
(ii)夹持或吸引装置，其与所述光学部件中的与所述顶面邻接的侧面抵接而保持该光学部件，并且使该光学部件的位置和姿势变化，
所述光学部件搬送装置包括控制单元，在由所述保持机构保持所述光学部件的状态下，所述控制单元，基于在设置有从所述光学部件的该顶面的上方朝向设置于该顶面的光入射用的开口孔照射光的发光元件的状态下，通过所述发光元件的光，将所述开口孔投影到所述光学部件的作为与所述顶面相反的一侧的背面侧而得到的投影图像的外边缘，确定出所述光学部件的光轴的位置，使用该光轴的位置来控制所述保持机构以使得所述光学部件装载于所述传感器部的所述规定位置。
2.如权利要求1所述的光学部件搬送装置，其特征在于：
所述光学部件包括当从所述光学部件的所述背面侧看时具有方形的外周边缘或在比该外周边缘更靠中心侧的位置具有圆形边缘的部件，
所述控制单元，当基于所述投影图像从所述光学部件的所述背面侧对所述方形的外周边缘进行图像识别，而检测到该方形的外周边缘由于倾斜拍摄而变化为梯形时，或者，从所述光学部件的所述背面侧对所述圆形的边缘进行图像识别，而检测到该圆形由于倾斜拍摄而变化为椭圆形时，控制所述保持机构，使所述光学部件的位置和姿势变化以校正倾斜。
3.如权利要求1所述的光学部件搬送装置，其特征在于：
所述光学部件搬送装置在所述光学部件的背面侧还设置有激光位移计，该激光位移计对该光学部件的位于与光轴垂直的同一平面内的至少3个部位分别照射激光来求取距离，所述控制单元根据所述激光位移计的测量结果对所述光学部件的倾斜拍摄进行测量，控制所述保持机构，使所述光学部件的位置和姿势变化以校正该倾斜拍摄。
4.如权利要求1所述的光学部件搬送装置，其特征在于：
所述保持机构包括设置有贯通孔的所述吸附头，该贯通孔具有与所述开口孔同心的圆，
所述光学部件搬送装置在隔着所述贯通孔与所述开口孔相反的一侧还设置有由所述光电转换部确认分辨率或对比度的图表，
在所述传感器部的所述光电转换部工作的状态下，所述控制单元控制所述保持机构，以所述光学部件临时装载于所述传感器部的状态，使所述光学部件与所述光电转换部的距离变化，
在所述距离变化的期间，所述图表，通过所述贯通孔，求取所述光电转换部的中心部位、及其周边的至少4个部位的分辨率或对比度，所述控制单元比较所述中心部位及其周边的彼此的分辨率或对比度的峰位置，在彼此的峰位置的差超过规定值的情况下，控制所述保持机构，使所述光学部件的位置和姿势变化，从而使该彼此的峰位置一致，以校正倾斜。
5.如权利要求1所述的光学部件搬送装置，其特征在于：
所述保持机构包括设置有贯通孔的所述吸附头，该贯通孔具有与所述开口孔同心的圆，
所述光学部件搬送装置还包括配置在隔着所述贯通孔与所述开口孔相反的一侧和所述光学部件的背面侧的、进行所述光学部件的MTF散焦特性检查的MTF测量器，
通过所述MTF测量器，测量所述开口孔的中心部位及其周边的至少4个部位的散焦特性，
所述控制单元比较所述中心部位及其周边的彼此的散焦特性的峰位置，在彼此的峰位置的差超过规定值的情况下，控制所述保持机构，使所述光学部件的位置和姿势变化，从而使该彼此的峰位置一致，以校正倾斜。
6.如权利要求1至5中任一项所述的光学部件搬送装置，其特征在于：
还包括倾斜测量器，在所述光学部件搬送装置的顶面侧或所述光学部件的顶面侧设置反射镜，所述倾斜测量器向所述反射镜照射激光，根据反射光测量倾斜，所述控制单元根据所述倾斜测量器的测量结果来测量所述光学部件的倾斜拍摄，并控制所述保持机构，使所述光学部件的位置和姿势变化，以校正该倾斜拍摄。
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