JP2011035038A - 固体撮像装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】入射光を光電変換する受光部61が形成され、光入射側に配線部41が形成された第1基板11と、配線部41が形成された側の第1基板11に所定間隔を置いて設けられた光透過性を有する第2基板31と、第1基板11に形成された貫通孔13と、貫通孔13内に形成された貫通電極15と、貫通電極15に接続されていて第1基板11表面に形成された表面側電極21と、貫通電極15に接続されていて第1基板11裏面に形成された裏面側電極17と、表面側電極21上に形成されていて表面側電極21と第2基板31との間を埋め込むストッパ電極とを有する。
【選択図】図1
Description
上記貫通孔106を形成するためのエッチングマスクの形成にあたっては、素子チップ101の受光部104、電極パッド105などの表面パターンを基準として、素子チップ101の裏面にマスクパターンを形成する両面アライメント法を用いる。
RIE等によるドライエッチングにより貫通孔を形成するには、数百ミクロンの厚さの半導体基板を貫通する必要があるために、エッチング時間がかかり、スループットが落ちるためにコストが高くなる。
その上、エッチングの制御性と再現性が非常に困難であり、良好な貫通孔を得るための所望の歩留が得られないという問題があった。
一方、図23(1)に示すように、マイクロレンズ73を形成した後にストッパ電極33を形成しようとすると、ニッケルメッキ工程の薬液(還元剤)によりマイクロレンズが変質する。
さらに、図23(2)に示すように、塗布ムラを回避するためにストッパ電極33を薄くすると、レーザードリル加工がストッパ電極33で停止できなくなり、ストッパ電極33を突き向けてしまう。この結果、ストッパ電極33の飛散により、表面側電極21間のショートやガラス基板である第2基板31やマイクロレンズ73への付着による遮光という問題が発生する。
[固体撮像装置の構成の第1例]
本発明の第1実施の形態に係る固体撮像装置の構成の第1例を、図1の概略構成断面図によって説明する。
このカラーフィルター層71は、厚さが300nm〜1000nmに形成されている。
上記カラーフィルター層71上にはマイクロレンズ73が形成されている。このマイクロレンズ73は、例えば感光性有機膜で形成されている。
ストッパ電極33は、例えば、ニッケル−リン(Ni−P)、ニッケルーホウ素(Ni−B)などのニッケルメッキによって形成されているものであり、その厚さは、例えば10μmとなっている。このストッパ電極33は、第1基板11をエネルギービーム加工、例えばレーザードリル加工時して貫通孔13を形成した際に、ストッパとして機能する厚さに形成されていればよい。したがって、10μmの厚さに限定されず、エネルギービーム加工の強度によっては、例えば5μmであってもよい。
なお、貫通孔13内に形成される貫通電極15は、通常、バリアメタル16としてTi/TiNの積層膜を介して形成されている。上記バリアメタル16は、銅のバリア目であればよく、タンタル系材料、例えば、Ta/TaNの積層膜であってもよい。また、貫通電極15は、銅メッキにより埋め込まれているが、銅めっきにより貫通孔13内を充填しないで、内壁のみに銅メッキが形成されていてもよい。
本発明の第1実施の形態に係る固体撮像装置の構成の第2例を、図2の概略構成断面図によって説明する。
このカラーフィルター層71は、厚さが300nm〜1000nmに形成されている。
上記カラーフィルター層71上にはマイクロレンズ73が形成されている。このマイクロレンズ73は、例えば感光性有機膜で形成されている。
ストッパ電極33は、例えば、ニッケル−リン(Ni−P)、ニッケルーホウ素(Ni−B)などのニッケルメッキによって形成されているものであり、その厚さは、例えば10μmとなっている。このストッパ電極33は、第1基板11をエネルギービーム加工、例えばレーザードリル加工時して貫通孔13を形成した際に、ストッパとして機能する厚さに形成されていればよい。したがって、10μmの厚さに限定されず、エネルギービーム加工の強度によっては、例えば5μmであってもよい。
なお、貫通孔13内に形成される貫通電極15は、通常、バリアメタル16としてTi/TiNの積層膜を介して形成されている。上記バリアメタル16は、銅のバリア目であればよく、タンタル系材料、例えば、Ta/TaNの積層膜であってもよい。また、貫通電極15は、銅メッキにより埋め込まれているが、銅めっきにより貫通孔13内を充填しないで、内壁のみに銅メッキが形成されていてもよい。
本発明の第1実施の形態に係る固体撮像装置の構成の第3例を、図3の概略構成断面図によって説明する。
上記カラーフィルター層71は、厚さが300nm〜1000nmに形成されている。
さらに、上記カラーフィルター層71上にはマイクロレンズ73が形成されている。このマイクロレンズ73は、例えば感光性有機膜で形成されている。
ストッパ電極33は、例えば、ニッケル−リン(Ni−P)、ニッケルーホウ素(Ni−B)などのニッケルメッキによって形成されているものであり、その厚さは、例えば10μmとなっている。このストッパ電極33は、第1基板11をエネルギービーム加工、例えばレーザードリル加工時して貫通孔13を形成した際に、ストッパとして機能する厚さに形成されていればよい。したがって、10μmの厚さに限定されず、エネルギービーム加工の強度によっては、例えば5μmであってもよい。
なお、貫通孔13内に形成される貫通電極15は、通常、バリアメタル16としてTi/TiNの積層膜を介して形成されている。上記バリアメタル16は、銅のバリア目であればよく、タンタル系材料、例えば、Ta/TaNの積層膜であってもよい。また、貫通電極15は、銅メッキにより埋め込まれているが、銅めっきにより貫通孔39内を充填しないで、内壁のみに銅メッキが形成されていてもよい。
[固体撮像装置の製造方法の第1例]
本発明の第2実施の形態に係る固体撮像装置の製造方法の第1例を、図4〜図8の製造工程断面図によって説明する。
次いで、熱燐酸を用いたウエットエッチングを行い、窒化シリコン膜を除去して、素子分離領域51を形成する。
次いで、フォトレジストパターンをマスクにしてイオン注入により形成してゲート電極57に対して自己整合的にLDD領域と高濃度拡散層からなるソース/ドレイン領域58,59を形成する。
また、ゲート電極57とソース/ドレイン領域58,59上に、必要に応じて、シリサイド層(図示せず)を形成してもよい。このシリサイド層の形成は、自己整合的にシリサイドを形成する所謂サリサイドプロセスを用いることができる。
このようにして、MOSトランジスタ54が形成される。
例えば、CVD法によって、ゲート電極57を覆う層間絶縁膜42を、例えば酸化シリコン(SiO2)膜で形成し、CMPにより表面の平坦化を行う。
ソース/ドレイン領域58,59とゲート電極57に対するコンタクト電極44を形成する。
コンタクト電極44は、電極形成領域となる開口部内に、チタン(Ti)と窒化チタン(TiN)を積層したバリヤメタル層を介してタングステン層を埋め込み、余剰部分をCMPやエッチバックにより除去して形成される。この結果、開口部内にバリヤメタル層を介してタングステン層からなるコンタクト電極44が形成される。
さらに層間絶縁膜42を積層して、開口部を形成して、バリヤメタル層とメッキによる銅配線層を形成し、CMPによる平坦化工程を経て配線43を形成する。このような層間絶縁膜42の形成、配線43の形成を繰り返し行うことで、複数層の配線43を有する配線部41が形成される。
上記表面側電極21は、例えばアルミニウムで形成される。このとき、図示はしていないが、表面側電極21に接続されるアルミニウム配線も形成されてもよい。
次いで、例えばプラズマCVDによって、オーバーコート膜45を例えばP−SiN膜で形成する。さらに平坦化膜46を形成する。この平坦化膜46は、例えば有機膜で形成される。
次いで、平坦化膜46上にカラーフィルター層71を、例えば塗布、露光、現像等の工程によって形成する。
このカラーフィルター層71の塗布に際しては、表面側電極21の厚さが300nm〜1000nmと薄いので、固体撮像素子の撮像特性に悪影響になる塗布ムラを発生させることなく塗布できる。
さらに、感光性のレンズ加工用フォトレジストパターンを形成する。このとき表面側電極21を再度開口し、熱処理により球面状にフローさせる。そして全面エッチングにより球面状の形状をマイクロレンズとなる感光性有機膜に転写させることで、上記マイクロレンズ73が形成される。
このとき表面側電極21上には開口部47が形成される。
上記第2基板31の上記第1基板11(配線部41側)と対向させる面に、第1基板11と第2基板31との間隔を規定し、エネルギービーム加工により第1基板11に貫通孔を形成する際のストッパとなるストッパ電極33を形成する。
ストッパ電極33は、例えば、ニッケル−リン(Ni−P)、ニッケルーホウ素(Ni−B)などのニッケルメッキによって形成される。
そして、ストッパ電極33は、第1基板11の表面側電極21に対向する第2基板31の位置に形成される。このストッパ電極33の厚さは、例えば10μmとする。このストッパ電極33は、後の工程のエネルギービーム加工、例えばレーザードリル加工時に、十分にストッパとして機能する厚さに形成される。
つまり第2基板31貼り合わせ後にバックグラインド工程を行ってもよい。
このとき第2基板31側に形成したストッパ電極33は第1基板11の表面側電極21に接合する位置に形成されている。この接合では、第1基板11と第2基板31とをストッパ電極33の厚みで規定された間隔に接合される。
上記貫通孔13の形成には、エネルギービーム加工を用いる。例えばレーザードリル加工を用いる。
例えば、炭酸ガスレーザ加工機やYAGレーザ光の第3高調波の波長355nmを用いたレーザ加工機を用いる。また、アブレーション効果を用いることにより、シリコンを溶解させずに直接気化することができる。例えば、深さ100μm、直径30μm程度の貫通孔13であれば、10万個/分の開口を形成することができる。
固体撮像装置の1チップあたりの開口数を100個、300mmウェーハ1枚から取れるチップ数を2000個と仮定すると、約2分でウェーハ1枚の開口加工が完了し、従来の露光とエッチングによる開口形成に比べて短時間、低コストの作業が可能になる。
さらに第1基板11裏面に貫通電極15に接続された裏面側電極17を形成する。
上記工程は、例えば貫通孔13を形成した後、その貫通孔13内に酸化シリコン(SiO2)膜(図示せず)を形成してシリコン基板と電気的に絶縁し、再度、貫通孔13底部の酸化シリコン膜を除去した後に、バリアメタル16としてTi/TiNの積層膜をスパッタリングにより形成する。その後、必要に応じてバリアメタル上層に電極用シード層(無電界銅)を事前に被覆しておく。その後銅メッキを行う。なお、銅メッキは貫通孔13内に充填しないで、内壁のみとしてもよい。
本発明の第2実施の形態に係る固体撮像装置の製造方法の第1例を、図9〜図14の製造工程断面図によって説明する。
次いで、減圧CVDにより、窒化シリコン(Si3N4)膜(図示せず)を例えば80nm〜150nmの厚さに形成する。
次に、上記第1基板11の素子分離領域の形成部に100nm〜400nmの深さの溝を形成し、高密度プラズマCVD法等の成膜技術によって、その溝に酸化シリコンを埋め込む。その後、余剰な酸化シリコンをCMPにより除去して表面を平坦化する。このCMPでは、上記窒化シリコン膜が研磨ストッパとなる。
次いで、熱燐酸を用いたウエットエッチングを行い、窒化シリコン膜を除去して、素子分離領域51を形成する。
次いで、この酸化シリコン膜上にフォトレジストパターン(図示せず)を形成し、それをマスクにして、第1基板11にP型のウェル領域53を形成する。またMOS型トランジスタのしきい値を制御するイオン注入を行う。
次いで、酸化シリコン膜をフッ酸等でウエットエッチングにて除去した後、第1基板11の表面にゲート絶縁膜55を形成する。このゲート絶縁膜55は、例えば、第1基板11表面を1000℃〜1100℃の温度で熱酸化して、5nm〜15nmの厚さの酸化シリコン膜で形成される。もちろん、通常のMOSトランジスタに用いられるゲート絶縁膜材料で形成することができる。
次いで、フォトレジストパターンをマスクにしてイオン注入により形成してゲート電極57に対して自己整合的にLDD領域と高濃度拡散層からなるソース/ドレイン領域58,59を形成する。
また、ゲート電極57とソース/ドレイン領域58,59上に、必要に応じて、シリサイド層(図示せず)を形成してもよい。このシリサイド層の形成は、自己整合的にシリサイドを形成する所謂サリサイドプロセスを用いることができる。
このようにして、MOSトランジスタ54が形成される。
例えば、CVD法によって、ゲート電極57を覆う層間絶縁膜42を、例えば酸化シリコン(SiO2)膜で形成し、CMPにより表面の平坦化を行う。
ソース/ドレイン領域58,59とゲート電極57に対するコンタクト電極44を形成する。
コンタクト電極44は、電極形成領域となる開口部内に、チタン(Ti)と窒化チタン(TiN)を積層したバリヤメタル層を介してタングステン層を埋め込み、余剰部分をCMPやエッチバックにより除去して形成される。この結果、開口部内にバリヤメタル層を介してタングステン層からなるコンタクト電極44が形成される。
さらに層間絶縁膜42を積層して、開口部を形成して、バリヤメタル層とメッキによる銅配線層を形成し、CMPによる平坦化工程を経て配線43を形成する。このような層間絶縁膜42の形成、配線43の形成を繰り返し行うことで、複数層の配線43を有する配線部41が形成される。
上記表面側電極21は、例えばアルミニウムで形成されるこのとき、図示はしていないが、表面側電極21に接続されるアルミニウム配線も形成されてもよい。
次いで、例えばプラズマCVDによって、オーバーコート膜45を例えばP−SiN膜で形成する。さらに平坦化膜46を形成する。この平坦化膜46は、例えば有機膜で形成される。
次いで、平坦化膜46上にカラーフィルター層71を、例えば塗布、露光、現像等の工程によって形成する。
このカラーフィルター層71の塗布に際しては、表面側電極21の厚さが300nm〜1000nmと薄いので、固体撮像素子の撮像特性に悪影響になる塗布ムラを発生させることなく塗布できる。
上記マイクロレンズ73を被覆する光透過性を有する保護膜75を形成する。
この保護膜75には、マイクロレンズ73表面において低反射膜となる材質が選択され、例えば低温CVD法やスパッタリング法で形成した酸化シリコン(SiO2)膜にフッ素を含有させて屈折率を低下させた材料を用いる。上記酸化シリコン膜はスピンオングラスを用いてもよい。
その後、保護膜75表面を、例えばエッチバックやCMPなどを行って、平坦化してもよい。
ストッパ電極33は、例えば、ニッケル−リン(Ni−P)、ニッケルーホウ素(Ni−B)などのニッケルメッキによって、表面側電極21上に形成された開口部47に形成される。
このメッキ工程のとき、有機膜からなるマイクロレンズ73は、無機材料である保護膜75に覆われているので、メッキ工程を経てもマイクロレンズ73が変質することはない。
そして、ストッパ電極33は、第1基板11の表面側電極21に対向する第2基板31の位置に形成される。このストッパ電極33の厚さは、例えば10μmとする。このストッパ電極33は、後の工程のエネルギービーム加工、例えばレーザードリル加工時に、十分にストッパとして機能する厚さに形成される。
またストッパ電極33は、カラーフィルター層71やマイクロレンズ73を形成した後に形成しているので、カラーフィルター層71やマイクロレンズ73の材料を回転塗布で塗布形成する際に、塗布ムラを起こすこともない。
そして、接着層35を介して第1基板11と第2基板31を貼り合わせる。
この接合では、第1基板11と第2基板31とをストッパ電極33の厚みで規定された間隔に接合される。
つまり第2基板31貼り合わせ後にバックグラインド工程を行ってもよい。
上記貫通孔13の形成には、エネルギービーム加工を用いる。例えばレーザードリル加工を用いる。
例えば、炭酸ガスレーザ加工機やYAGレーザ光の第3高調波の波長355nmを用いたレーザ加工機を用いる。また、アブレーション効果を用いることにより、シリコンを溶解させずに直接気化することができる。例えば、深さ100μm、直径30μm程度の貫通孔13であれば、10万個/分の開口を形成することができる。
固体撮像装置の1チップあたりの開口数を100個、300mmウェーハ1枚から取れるチップ数を2000個と仮定すると、約2分でウェーハ1枚の開口加工が完了し、従来の露光とエッチングによる開口形成に比べて短時間、低コストの作業が可能になる。
さらに第1基板11裏面に貫通電極15に接続された裏面側電極17を形成する。
上記工程は、例えば貫通孔13を形成した後、その貫通孔13内に酸化シリコン(SiO2)膜(図示せず)を形成してシリコン基板と電気的に絶縁し、再度、貫通孔13底部の酸化シリコン膜を除去した後に、バリアメタル16としてTi/TiNの積層膜をスパッタリングにより形成する。その後、必要に応じてバリアメタル上層に電極用シード層(無電界銅)を事前に被覆しておく。その後銅メッキを行う。なお、銅メッキは貫通孔13内に充填しないで、内壁のみとしてもよい。
本発明の第2実施の形態に係る固体撮像装置の製造方法の第3例を、図15〜図21の製造工程断面図によって説明する。
例えば、第1基板11中に、20nm〜100nmの厚さのストッパ層18を形成することで、一方側を支持基板15、他方側を第1基板11としてもよい。
この第1基板11は、例えば、厚さ500μm〜1000μm、例えば775μmのN型シリコン基板を用いる。
ストッパ層18は、酸素や水素をイオン注入したいわゆるBOX層や、ホウ素(B)などの不純物を1E13〜1E16/cm2イオン注入した拡散層により形成される。
次いで、第1基板11の表面を酸化して、酸化シリコン(SiO2)膜(図示せず)を例えば10μm〜30nmの厚さに形成する。
次いで、減圧CVDにより、窒化シリコン(Si3N4)膜(図示せず)を例えば80nm〜150nmの厚さに形成する。
次に、上記第1基板11の素子分離領域の形成部に100nm〜400nmの深さの溝を形成し、高密度プラズマCVD法等の成膜技術によって、その溝に酸化シリコンを埋め込む。
その後、余剰な酸化シリコンをCMPにより除去して表面を平坦化する。このCMPでは、上記窒化シリコン膜が研磨ストッパとなる。次いで、熱燐酸を用いたウエットエッチングを行い、窒化シリコン膜を除去して、素子分離領域51を形成する。
次いで、この酸化シリコン膜上にフォトレジストパターン(図示せず)を形成し、それをマスクにして、第1基板11にP型のウェル領域53を形成する。またMOS型トランジスタのしきい値を制御するイオン注入を行う。次いで、酸化シリコン膜をフッ酸等でウエットエッチングにて除去した後、第1基板11の表面にゲート絶縁膜55を形成する。このゲート絶縁膜55は、例えば、第1基板11表面を1000℃〜1100℃の温度で熱酸化して、5nm〜15nmの厚さの酸化シリコン膜で形成される。もちろん、通常のMOSトランジスタに用いられるゲート絶縁膜材料で形成することができる。
次いで、フォトレジストパターンをマスクにしてイオン注入により形成してゲート電極57に対して自己整合的にLDD領域と高濃度拡散層からなるソース/ドレイン領域58,59を形成する。
また、ゲート電極57とソース/ドレイン領域58,59上に、必要に応じて、シリサイド層(図示せず)を形成してもよい。このシリサイド層の形成は、自己整合的にシリサイドを形成する所謂サリサイドプロセスを用いることができる。
このようにして、MOSトランジスタ54が形成される。
例えば、CVD法によって、ゲート電極57を覆う層間絶縁膜42を、例えば酸化シリコン(SiO2)膜で形成し、CMPにより表面の平坦化を行う。
ソース/ドレイン領域58,59とゲート電極57に対するコンタクト電極44を形成する。
コンタクト電極44は、電極形成領域となる開口部内に、チタン(Ti)と窒化チタン(TiN)を積層したバリヤメタル層を介してタングステン層を埋め込み、余剰部分をCMPやエッチバックにより除去して形成される。この結果、開口部内にバリヤメタル層を介してタングステン層からなるコンタクト電極44が形成される。
さらに層間絶縁膜42を積層して、開口部を形成して、バリヤメタル層とメッキによる銅配線層を形成し、CMPによる平坦化工程を経て配線43を形成する。このような層間絶縁膜42の形成、配線43の形成を繰り返し行うことで、複数層の配線43を有する配線部41が形成される。
上記表面側電極21は、例えばアルミニウムで形成されるこのとき、図示はしていないが、表面側電極21に接続されるアルミニウム配線も形成されてもよい。
次いで、表面側電極21上に、エネルギービーム加工により第1基板11に貫通孔を形成する際のストッパとなるストッパ電極33を形成する。
ストッパ電極33は、例えば、ニッケル−リン(Ni−P)、ニッケルーホウ素(Ni−B)などのニッケルメッキによって、表面側電極21上に選択的に形成される。
上記表面側電極21の下層は無機材料である酸化シリコン(SiO2)膜により覆われているので、メッキ工程を経ても変質することはない。
このストッパ電極33の厚さは、例えば10μmとする。このストッパ電極33は、後の工程のエネルギービーム加工、例えばレーザードリル加工時に、十分にストッパとして機能する厚さに形成される。
接着層36は、例えばベンゾシクロブテン(BCB)などを用いる。このベンゾシクロブテンは、150℃〜250℃といった低い温度で架橋反応(硬化)が進行する特性を有している。
平坦化膜38は、酸化シリコン(SiO2)層を低温CVDにより形成して、CMPやエッチバックにより平坦化して形成される。その後、第1基板11側の平坦化膜38と第3基板37を貼り合わせて、200℃〜400℃の熱処理を加えることにより、第3基板37を張り合わせる。この場合、接着層35を使わずに、水素結合などを利用した直接接合により接合される。
このとき20nm〜100nmのストッパ層18で選択的にエッチングを停止させる。
次いで、平坦化膜48上にカラーフィルター層71を、例えば塗布、露光、現像等の工程によって形成する。
このカラーフィルター層71の塗布に際しては、カラーフィルター層71が平坦化膜48上に形成されるので、固体撮像素子の撮像特性に悪影響になる塗布ムラを発生させることなく形成できる。
次いで、開口部47の側壁に絶縁膜(図示せず)を形成する。開口部47の側壁は半導体基板が露出しているため。この絶縁膜を形成する工程が必要になる。しかし、開口部47を素子分離形成工程において電気的に分離した場合には必要ない。
つまり第2基板31貼り合わせ後にバックグラインド工程を行ってもよい。
上記貫通孔39の形成には、エネルギービーム加工を用いる。例えばレーザードリル加工を用いる。
例えば、炭酸ガスレーザ加工機やYAGレーザ光の第3高調波の波長355nmを用いたレーザ加工機を用いる。また、アブレーション効果を用いることにより、シリコンを溶解させずに直接気化することができる。例えば、深さ100μm、直径30μm程度の貫通孔39であれば、10万個/分の開口を形成することができる。
固体撮像装置の1チップあたりの開口数を100個、300mmウェーハ1枚から取れるチップ数を2000個と仮定すると、約2分でウェーハ1枚の開口加工が完了し、従来の露光とエッチングによる開口形成に比べて短時間、低コストの作業が可能になる。
さらに第1基板11裏面に貫通電極15に接続された裏面側電極17を形成する。
上記工程は、例えば貫通孔13を形成した後、その貫通孔13内に酸化シリコン(SiO2)膜(図示せず)を形成してシリコン基板と電気的に絶縁し、再度、貫通孔13底部の酸化シリコン膜を除去した後に、バリアメタル16としてTi/TiNの積層膜をスパッタリングにより形成する。その後、必要に応じてバリアメタル上層に電極用シード層(無電界銅)を事前に被覆しておく。その後銅メッキを行う。なお、銅メッキは貫通孔39内に充填しないで、内壁のみとしてもよい。
Claims (6)
- 入射光を光電変換する受光部が形成され、光入射側に配線部が形成された第1基板と、
前記配線部が形成された側の前記第1基板に所定間隔を置いて設けられた光透過性を有する第2基板と、
前記第1基板に形成された貫通孔と、
前記貫通孔内に形成された貫通電極と、
前記貫通電極に接続されていて前記第1基板表面に形成された表面側電極と、
前記貫通電極に接続されていて前記第1基板裏面に形成された裏面側電極と、
前記表面側電極上に形成されていて前記表面側電極と前記第2基板との間を埋め込むストッパ電極とを有する
固体撮像装置。 - 前記第1基板の配線部上の光入射側にカラーフィルター層とマイクロレンズが形成され、
前記マイクロレンズを被覆する光透過性を有する保護膜が形成されている
請求項1記載の固体撮像装置。 - 入射光を光電変換する受光部が形成され、光入射側とは反対側に配線部が形成された第1基板と、
前記受光部が形成された側の前記第1基板に所定間隔を置いて設けられた光透過性を有する第2基板と、
前記配線部が形成された側の前記第1基板に接続層を介して設けられた第3基板と、
前記第3基板に形成された貫通孔と、
前記貫通孔内に形成された貫通電極と、
前記貫通電極に接続されていて前記接続層内に形成されたストッパ電極と、
前記ストッパ電極上に形成されている表面側電極と、
前記表面側電極上の前記第1基板に設けられた開口部と、
前記貫通電極に接続されていて前記第3基板裏面に形成された裏面側電極とを有する
固体撮像装置。 - 入射光を光電変換する受光部が形成され、光入射側に配線部が形成された第1基板を用意する工程と、
前記第1基板上に表面側電極を形成する工程と、
前記配線部が形成された側の前記第1基板に所定間隔を置いて設けられる光透過性を有する第2基板を用意する工程と、
前記第2基板の前記第1基板と対向させる面に、前記第1基板と前記第2基板との間隔を規定し、エネルギービーム加工により前記第1基板に貫通孔を形成する際のストッパとなるストッパ電極を形成する工程と、
前記第1基板と前記第2基板とを前記ストッパ電極で規定された間隔に接合する工程と、
前記第1基板に前記表面側電極に通じる貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔内に前記表面側電極に接続する貫通電極を形成する工程と、
前記第1基板裏面に前記貫通電極に接続された裏面側電極を形成する工程とを有する
固体撮像装置の製造方法。 - 入射光を光電変換する受光部が形成され、光入射側に配線部が形成された第1基板を用意する工程と、
前記第1基板上に表面側電極を形成する工程と、
前記第1基板の前記配線部上の光入射側にカラーフィルター層、マイクロレンズを形成した後、前記マイクロレンズを被覆する光透過性を有する保護膜を形成する工程と、
前記表面側電極上に開口部を形成する工程と、
前記表面側電極上の前記開口部に、前記第1基板と第2基板との間隔を規定し、エネルギービーム加工により前記第1基板に貫通孔を形成する際のストッパとなるストッパ電極を形成する工程と、
前記第1基板に前記ストッパ電極で規定される間隔をおいて光透過性を有する第2基板を接合する工程と、
前記第1基板に前記表面側電極に通じる貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔内に前記表面側電極に接続する貫通電極を形成する工程と、
前記第1基板裏面に前記貫通電極に接続された裏面側電極を形成する工程とを有する
固体撮像装置の製造方法。 - 支持基板に支持された第1基板に、入射光を光電変換する受光部を形成し、さらに配線部を形成する工程と、
前記配線部上に表面側電極を形成する工程と、
前記表面側電極上に、エネルギービーム加工により前記第1基板に貫通孔を形成する際のストッパとなるストッパ電極を形成する工程と、
前記第1基板の前記ストッパ電極側に接続層を介して第3基板を接合する工程と、
前記支持基板を除去して前記第1基板を露出させる工程と、
前記第1基板に前記表面側電極に通じる開口部を形成する工程と、
前記第1基板に所定の間隔をおいて光透過性を有する第2基板を接合する工程と、
前記第3基板に前記ストッパ電極に通じる貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔内に前記ストッパ電極に接続する貫通電極を形成する工程と、
前記第3基板裏面に前記貫通電極に接続された裏面側電極を形成する工程とを有する
固体撮像装置の製造方法。
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