JP2011033575A - 部材の位置認識装置、位置決め装置、接合装置および部材の接合方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平面を有する部材4を平面に垂直な方向から撮像した画像から部材4の外形線を演算する画像処理部3は、撮像部1が撮像した画像で部材の外形線と交差する複数の認識ラインのそれぞれで、部材4の外から内への方向で輝度が明から暗に変化する暗変化端点候補を検出する暗変化端点候補検出部3C、部材4の外から内への方向で輝度が暗から明に変化する明変化端点候補を検出する明変化端点候補検出部3D、暗変化端点候補と明変化端点候補とから端点を検出する端点検出部3E、複数の認識ラインで検出された端点との誤差の和が最小になるように部材の外形線を決定する外形線決定部3Fを有する。
【選択図】図1
Description
部材上にあけた穴の中心位置を認識する際に、画角のある光学系で撮像すると、穴の側面が撮像されるため、画像上での穴のエッジ認識位置にずれが発生する。これに対して、ターゲットを丸穴と限定することで、座標系を極座標系に変換し円周方向の輝度投影を用いて、エッジ候補範囲を限定する方法がある。この方法の実施例では、輝度投影の最大値よりも10%小さい輝度の位置と、輝度の最小値よりも10%大きい輝度の位置の間にエッジが存在すると限定している。このエッジ候補範囲内で、半径方向各ラインのエッジを微分により検出し、検出エッジから最小二乗法にて穴に対応する円を決める(特許文献1)。
この発明は、印をつけられない微細な部材を、部材の外形に欠けなどがあっても外形線から部材の位置を精度よく認識することを目的とするものである。
以下、本発明の実施の形態について説明する。本発明は、平面を有する部材を平面に垂直な方向から見た外形により部材の位置を認識する位置認識装置と、認識した位置を使用して部材を所定の位置に配置する位置決め装置、および2つの部材の位置をそれぞれ認識してその相対位置が所定の関係になるように配置して接合する部材の接合装置と接合方法に関するものである。主に対象とする部材は、1辺が0.5mm程度から数mm程度の大きさである。誤差が5μ程度以下となるような精度で部材の位置を認識して位置決めする技術に関するものである。部材の平面と側面との角には、欠けや、欠けよりも大きく角がとれた状態であるダレなどが発生している場合がある。部材に欠けやダレがある場合でも、精度よく部材の位置を認識することを目的とする。
撮像部1は部材の外形に応じて、1個以上の必要な数を必要な位置に配置する。
画像処理部3は、ステップS01で、撮像部1が撮像する画像に対して画像処理エリアを任意に設定する。図3では、画像処理エリアを実線の四角で示す。画像処理エリアを設定する目的は、認識対象を部材外形付近のみに限定しノイズの影響を受けないようにすること、および、処理範囲を小さくすることによる処理の高速化である。画像処理エリアは、想定する範囲内で部材4の位置のズレがあっても部材4の外形線が撮像できるような大きさに決定しておく。
ステップS02で、この画像処理エリア内に、部材4の外形線と交差する方向に複数(N個)の認識ラインを設定する。図3の例では、画像処理エリアの内部に引かれた点線が認識ラインである。図3において、部材の外形線がx方向になり、部材の外形線と垂直なy方向に所定の間隔で認識ラインを設定する。また、図における画像の上側に部材が撮像されるため、各認識ラインにおいて画像を処理する方向は、y座標が小さくなる方向(図3では下から上向き)に設定する。認識ラインの数Nは、最小二乗法で外形線が推定できるように十分な数を設定する。外形線が直線の場合には、Nは10程度から20程度の個数になる。
図9において検出された明変化端点候補を結ぶ線は、部材表面と欠け部の境界、および部材表面と部材台6の境界となる。部材表面と部材台6の境界は部材外形であるが、部材表面と欠け部の境界は部材外形ではないため、図9に示された明変化端点候補による端点に関する情報は、正誤情報が混在したものとなる。
このため、図10に示される明から暗に変化する暗変化端点候補を優先して端点に採用する。明から暗に変化する暗変化端点候補が検出されていない箇所の認識ラインでは、図9に示される暗から明に変化する明変化端点候補を採用すれば、部材外形の端点を検出できる。
外形線は直線でなくてもよく、円、楕円、2次曲線などでもよく、何らかのパラメータを含む式で表現でき、誤差が最小になるようにパラメータを決定できる形状であれば、この方法により外形線を決定できる。部材の外形を認識する平面と側面は垂直でなくてもよい。
暗変化端点候補と明変化端点候補は、輝度微分値ではなく輝度で判断するようにしてもよい。例えば、明輝度閾値以上の輝度である場合に部材の平面に対応する明画像とし、暗輝度閾値未満である輝度である場合に部材の欠けまたはダレに対応する暗画像とし、輝度が明輝度閾値未満であり暗画像閾値以上である場合に部材台に対応する中間輝度画像と判断するようにしてもよい。部材の外から内に向かう方向で認識ラインの画像の輝度を調べ、中間輝度画像から明画像に変化する位置が明変化端点候補として検出され、中間輝度画像から暗画像に変化する箇所が暗変化端点候補として検出される。
以上のことは、他の実施の形態でもあてはまる。
この実施の形態2は、部材端でない表面に傷が発生する場合でも外形を正確に判定できるようにした場合である。図14に、部材の角に欠けもダレもなく、かつ部材端でない表面に傷がある箇所での撮像部の光軸に平行な面で部材の断面、この箇所の認識ラインでの輝度および輝度微分値を説明する図を示す。図15は、部材の角に欠けがあり、かつ部材端でない表面に傷がある箇所の場合である。
この実施の形態3は、2個の部材の位置を認識して、精度よく接合する場合についてのものである。図16に、この発明の実施の形態3に係る部材の接合装置の構成を説明する図である。第1の部材41の位置を認識する第1の位置決め装置10、第2の部材42の位置を認識する第2の位置決め装置20、前記第1の位置決め装置10が認識する位置と前記第2の位置決め装置20が認識する位置とを一致させる位置認識補正部30(図示せず)、第2の部材42を第1の部材41に接合する接合部40(図示せず)を有する。なお、認識する位置を一致させるとは、空間上の同じ位置を2つの位置認識装置が所定の誤差以下で同じ位置であると認識することを意味する。
なお、第1の位置決め装置10と第2の位置決め装置20は、位置決めにあたって、他方が邪魔にならない位置に配置しておく。
接合部40は、第2の部材42の下面または第1の部材41の第2の部材42が接合される部分に接着剤を塗布し、第2の部材42を第1の部材41と接合する位置に移動させて接合する。なお、接合の方法は、半田づけなど他の方法でもよい。
ステップS22で、第1の位置決め装置10の第1の部材台61に第1の部材41を載せる。載せられた第1の部材41の外形線は、第1の撮像部11の撮像範囲内にあるものとする。ステップS23で、図8に示す方法により、第1の部材41の位置を認識する。ステップS24で、第2の位置決め装置20の第2の部材保持装置62により第2の部材42を掴み、第2の部材42の外形線が第2の撮像部12の撮像範囲内に入るように第2の部材保持装置62を移動させる。ステップS25で、図8に示す方法により、第2の部材42の位置を認識する。
ステップS26で、第2の部材保持装置62を移動させて、第2の部材42を第1の部材41と接合する位置に移動させる。なお、第1の部材41も移動させてもよい。ステップS27で、接合部40により、第1の部材41と第2の部材42を接合する。
ステップS22ないしステップS25は、上記以外の順番で実施してもよい。例えば、ステップS23とステップS25は同時に実施してもよい。ステップS23を、ステップS25の後に実施してもよい。
第1の部材は、印などをつけて位置決めしたり、突起や穴などの係合部を設け、係合部を所定の位置に係合させることにより位置決めしたりしてもよい。第1の部材の位置を認識する装置と第2の部材の位置を認識する装置では、認識する位置を一致させておく。また、第1の部材の位置が固定されており、その位置を認識する装置が存在しない場合は、第1の部材の位置を決める座標系と第2の部材の位置を認識する装置が使用する座標系とを整合させておく。
11 第1の撮像部
12 第2の撮像部
2 照明部
21 第1の照明部
22 第2の照明部
3 画像処理部
3A 認識ライン設定部、
3B 輝度検出部、
3C 暗変化端点候補検出部、
3D 明変化端点候補検出部、
3E 端点検出部、
3F 外形線決定部
31 第1の画像処理部
32 第2の画像処理部
4 部材
41 第1の部材
42 第2の部材
5 ハーフミラー
51 第1のハーフミラー
52 第2のハーフミラー
6 部材台(部材配置部)
61 第1の部材台(第1の部材配置部)
62 第2の部材保持装置(第2の部材配置部)
7 撮像部の撮像領域
10 第1の位置決め装置
20 第2の位置決め装置
30 位置認識補正部
40 接合部
Claims (18)
- 平面を有する部材を撮像した画像から前記部材の外形線により前記部材の位置を認識し、前記部材を所定の位置に配置する部材の位置決め装置であって、
前記部材の前記平面に垂直な方向から前記部材を撮像する撮像部と、
前記撮像部の光軸と平行な方向から前記部材の前記平面を照明する照明部と、
前記撮像部が撮像した画像から前記部材の外形線を演算する画像処理部と、
前記部材を移動させる部材配置部とを備え、
前記画像処理部は、前記撮像部が撮像した画像において前記部材の外形線と交差する複数の認識ラインを設定する認識ライン設定部、
それぞれの前記認識ラインで画像の輝度を検出する輝度検出部、
それぞれの前記認識ラインで前記部材の外から内への方向で輝度が明から暗に変化する暗変化端点候補を検出する暗変化端点候補検出部、
それぞれの前記認識ラインで前記部材の外から内への方向で輝度が暗から明に変化する明変化端点候補を検出する明変化端点候補検出部、
それぞれの前記認識ラインで、前記暗変化端点候補と前記明変化端点候補とから端点を検出する端点検出部、
複数の前記認識ラインで検出された前記端点との誤差の和が最小になるように前記部材の外形線を決定する外形線決定部を有することを特徴とする部材の位置決め装置。 - 前記暗変化端点候補検出部が、前記認識ラインで前記部材の外から内への方向での位置に対する輝度微分値が負でその絶対値が暗変化検出閾値未満から暗変化検出閾値以上に変化する前記認識ラインでの位置を前記暗変化端点候補として検出し、
前記明変化端点候補検出部が、前記認識ラインで前記部材の外から内への方向での位置に対する輝度微分値が正でその絶対値が明変化検出閾値未満から明変化検出閾値以上に変化する前記認識ラインでの位置を前記明変化端点候補として検出することを特徴とする請求項1に記載の部材の位置決め装置。 - 前記暗変化端点候補検出部が、前記認識ラインで前記部材の外から内への方向で輝度が暗検出閾値以上から暗検出閾値未満に変化する前記認識ラインでの位置を前記暗変化端点候補として検出し、
前記明変化端点候補検出部が、前記認識ラインで前記部材の外から内への方向で輝度が暗検出閾値よりも大きい明検出閾値未満から明検出閾値以上に変化する前記認識ラインでの位置を前記明変化端点候補として検出することを特徴とする請求項1に記載の部材の位置決め装置。 - 前記端点検出部が、検出された前記暗変化端点候補と前記明変化端点候補の中で、前記認識ラインで部材から最も遠い側にあるものを前記端点として検出することを特徴とする請求項1に記載の部材の位置決め装置。
- 前記端点検出部が、前記暗変化端点候補が検出された場合に前記暗変化端点候補を前記端点として検出し、前記暗変化端点候補が検出されず前記明変化端点候補が検出された場合に前記明変化端点候補を前記端点として検出することを特徴とする請求項1に記載の部材の位置決め装置。
- 前記外形線決定部が、複数の前記認識ラインで検出された前記端点と決定する前記外形線との距離の二乗の和を最小にするように前記外形線を決定することを特徴とする請求項1に記載の部材の位置決め装置。
- 平面を有する部材を撮像した画像において前記部材の外形線を認識し、外形線の位置により前記部材の位置を認識する部材の位置認識装置であって、
前記部材の前記平面に垂直な方向から前記部材を撮像する撮像部と、
前記撮像部の光軸と平行な方向から前記部材の前記平面を照明する照明部と、
前記撮像部が撮像した画像から前記部材の外形線を演算する画像処理部とを備え、
前記画像処理部は、前記撮像部が撮像した画像において前記部材の外形線と交差する複数の認識ラインを設定する認識ライン設定部、
それぞれの前記認識ラインで画像の輝度を検出する輝度検出部、
それぞれの前記認識ラインで前記部材の外から内への方向で輝度が明から暗に変化する暗変化端点候補を検出する暗変化端点候補検出部、
それぞれの前記認識ラインで前記部材の外から内への方向で輝度が暗から明に変化する明変化端点候補を検出する明変化端点候補検出部、
それぞれの前記認識ラインで、前記暗変化端点候補と前記明変化端点候補とから端点を検出する端点検出部、
複数の前記認識ラインで検出された前記端点との誤差の和が最小になるように前記部材の外形線を決定する外形線決定部を有することを特徴とする部材の位置認識装置。 - 平面を有する第1の部材を所定の位置に配置する請求項1ないし請求項6の何れかに記載の第1の位置決め装置と、
平面を有する第2の部材を前記第1の部材と接合される位置に配置する請求項1ないし請求項6の何れかに記載の第2の位置決め装置と、
前記第1の位置決め装置が認識する位置と前記第2の位置決め装置が認識する位置とを一致させる位置認識補正部と、
前記第1の部材と前記第2の部材とを接合する接合部とを備えた部材の接合装置。 - 平面を有する第1の部材の位置を認識する請求項7に記載の第1の位置認識装置と、
平面を有し、前記第1の部材に接合される第2の部材の位置を認識する請求項7に記載の第2の位置認識装置と、
前記第1の位置認識装置が認識する位置と前記第2の位置認識装置が認識する位置とを一致させる位置認識補正部と、
前記第2の部材を前記第1の部材と接合される位置に配置する部材配置部と、
前記第1の部材と前記第2の部材とを接合する接合部とを備えた部材の接合装置。 - 所定の位置に配置された第1の部材に第2の部材を接合する部材の接合装置であって、
平面を有する前記第2の部材を前記第1の部材と接合される位置に配置する請求項1ないし請求項6の何れかに記載の位置決め装置と、
前記位置決め装置が使用する座標系と前記第1の部材が配置される位置を決める座標系とを整合させる位置認識補正部と、
前記第1の部材と前記第2の部材とを接合する接合部とを備えた部材の接合装置。 - 所定の位置に配置された第1の部材に第2の部材を接合する部材の接合装置であって、
平面を有する前記第2の部材の位置を認識する請求項7に記載の位置認識装置と、
前記位置認識装置が使用する座標系と前記第1の部材が配置される位置を決める座標系とを整合させる位置認識補正部と、
前記第2の部材を前記第1の部材と接合される位置に配置する部材配置部と、
前記第1の部材と前記第2の部材とを接合する接合部とを備えた部材の接合装置。 - 第1の部材と平面を有する第2の部材を接合する部材の接合方法であって、
第1の部材の位置を決める座標系と第2の部材の位置を認識する第2の位置認識装置が使用する座標系とを整合させる位置認識補正ステップ、
第1の部材の位置を認識する第1の位置認識ステップ、
前記第2の位置認識装置により前記第2の部材の位置を認識する第2の位置認識ステップ、
前記第1の部材と前記第2の部材とを接合する位置に前記第2の部材を移動させる移動ステップ、
前記第1の部材と前記第2の部材とを接合する接合ステップを有し、
前記第2の位置認識ステップは、
位置を認識する部材を撮像する画像において前記部材の外形線と交差する複数の認識ラインを設定する認識ライン設定ステップ、
照明された前記部材を撮像する撮像ステップ、
それぞれの前記認識ラインで撮像された画像の輝度を検出する輝度検出ステップ、
それぞれの前記認識ラインで前記部材の外から内への方向で輝度が明から暗に変化する暗変化端点候補を検出する暗変化端点候補検出ステップ、
それぞれの前記認識ラインで前記部材の外から内への方向で輝度が暗から明に変化する明変化端点候補を検出する明変化端点候補検出ステップ、
それぞれの前記認識ラインで、前記暗変化端点候補と前記明変化端点候補とから前記部材の端点を検出する端点検出ステップ、
複数の前記認識ラインで検出された前記端点との誤差の和が最小になるように前記部材の外形線を決定する外形線決定ステップを有し、
決定した前記外形線により前記部材の位置を認識することを特徴とする部材の接合方法。 - 前記第1の部材が平面を有し、
前記第1の位置認識ステップは、前記認識ライン設定ステップ、前記撮像ステップ、前記輝度検出ステップ、前記暗変化端点候補検出ステップ、前記明変化端点候補検出ステップ、前記端点検出ステップ、前記外形線決定ステップを有し、決定した前記外形線により前記部材の位置を認識することを特徴とする請求項12に記載の部材の接合方法。 - 前記暗変化端点候補検出ステップで、前記認識ラインで前記部材の外から内への方向での位置に対する輝度微分値が負でその絶対値が暗変化検出閾値未満から暗変化検出閾値以上に変化する前記認識ラインでの位置を前記暗変化端点候補として検出し、
前記明変化端点候補検出ステップで、前記認識ラインで前記部材の外から内への方向での位置に対する輝度微分値が正でその絶対値が明変化検出閾値未満から明変化検出閾値以上に変化する前記認識ラインでの位置を前記明変化端点候補として検出することを特徴とする請求項12または請求項13に記載の部材の接合方法。 - 前記暗変化端点候補検出ステップで、前記認識ラインで前記部材の外から内への方向で輝度が暗検出閾値以上から暗検出閾値未満に変化する前記認識ラインでの位置を前記暗変化端点候補として検出し、
前記明変化端点候補検出ステップで、前記認識ラインで前記部材の外から内への方向で輝度が暗検出閾値よりも大きい明検出閾値未満から明検出閾値以上に変化する前記認識ラインでの位置を前記明変化端点候補として検出することを特徴とする請求項12または請求項13に記載の部材の接合方法。 - 前記端点検出ステップで、検出された前記暗変化端点候補と前記明変化端点候補の中で、部材から最も遠い側にあるものを前記端点として検出することを特徴とする請求項12または請求項13に記載の部材の接合方法。
- 前記端点検出ステップで、前記暗変化端点候補が検出された場合に前記暗変化端点候補を前記端点として検出し、前記暗変化端点候補が検出されず前記明変化端点候補が検出された場合に前記明変化端点候補を前記端点として検出することを特徴とする請求項12または請求項13に記載の部材の接合方法。
- 前記外形線決定ステップで、複数の前記認識ラインで検出された前記端点と決定する前記外形線との距離の二乗の和を最小にするように前記外形線を決定することを特徴とする請求項12または請求項13に記載の部材の接合方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013167445A (ja) * | 2012-02-14 | 2013-08-29 | Aisin Seiki Co Ltd | 欠陥抽出装置および欠陥抽出方法 |
JP2015190885A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 三菱電機株式会社 | エッジ検出装置 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5206620B2 (ja) * | 2009-08-05 | 2013-06-12 | 三菱電機株式会社 | 部材の位置認識装置、位置決め装置、接合装置および部材の接合方法 |
US20120298562A1 (en) * | 2011-05-25 | 2012-11-29 | Vandemierden John | Ash processing and metals recovery systems and methods |
US8873813B2 (en) | 2012-09-17 | 2014-10-28 | Z Advanced Computing, Inc. | Application of Z-webs and Z-factors to analytics, search engine, learning, recognition, natural language, and other utilities |
US11074495B2 (en) | 2013-02-28 | 2021-07-27 | Z Advanced Computing, Inc. (Zac) | System and method for extremely efficient image and pattern recognition and artificial intelligence platform |
US11195057B2 (en) | 2014-03-18 | 2021-12-07 | Z Advanced Computing, Inc. | System and method for extremely efficient image and pattern recognition and artificial intelligence platform |
US11914674B2 (en) | 2011-09-24 | 2024-02-27 | Z Advanced Computing, Inc. | System and method for extremely efficient image and pattern recognition and artificial intelligence platform |
US9916538B2 (en) | 2012-09-15 | 2018-03-13 | Z Advanced Computing, Inc. | Method and system for feature detection |
US8905242B2 (en) * | 2012-05-25 | 2014-12-09 | John VanDeMierden | Ash processing and metals recovery systems and methods |
CN106778844B (zh) * | 2016-11-30 | 2020-12-08 | 北京交通大学 | 隧道内裂缝匹配方法和系统 |
CN113545185B (zh) * | 2019-03-14 | 2022-11-25 | 株式会社富士 | 对象体判定方法、对象体判定装置 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01263882A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Nec Corp | 検査装置 |
JPH03221849A (ja) * | 1990-01-26 | 1991-09-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 欠陥検出方法 |
JPH04145314A (ja) * | 1990-10-08 | 1992-05-19 | Nec Corp | プリント基板検査装置 |
JPH05114640A (ja) * | 1991-10-23 | 1993-05-07 | Hitachi Ltd | リード測定方法および装置並びにそれが使用されたリード検査装置 |
JPH05340738A (ja) * | 1992-06-09 | 1993-12-21 | Ezel Inc | Icの傾き検査方法 |
JPH0788791A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-04 | Mitsubishi Electric Corp | ロボット装置およびその周辺装置 |
JPH0868765A (ja) * | 1994-08-29 | 1996-03-12 | Nireco Corp | 画像処理による異物検出方法 |
JPH10221035A (ja) * | 1997-02-04 | 1998-08-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 実装部品検査装置 |
JPH1183435A (ja) * | 1997-09-04 | 1999-03-26 | Fuji Electric Co Ltd | 画像処理装置、及びその計測項目検査方法 |
JP3523480B2 (ja) * | 1998-01-27 | 2004-04-26 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | カメラ位置の補正装置 |
JP2005164579A (ja) * | 2004-10-29 | 2005-06-23 | Alps Electric Co Ltd | 境界線の位置の検出方法およびこの検出方法を用いた磁気ヘッドの位置決め方法および位置決め装置 |
JP2005340315A (ja) * | 2004-05-25 | 2005-12-08 | Nikon Corp | 位置合わせ装置、露光装置、位置合わせ方法及び露光方法、並びにデバイス製造方法及び較正用(工具)レチクル |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4031383A (en) * | 1973-10-19 | 1977-06-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for detecting visibility of image of an object and a device therefor |
US4818873A (en) * | 1987-10-30 | 1989-04-04 | Vickers Instruments (Canada) Inc. | Apparatus for automatically controlling the magnification factor of a scanning electron microscope |
US5619587A (en) * | 1991-05-10 | 1997-04-08 | Aluminum Company Of America | System and method for contactlessly gauging the thickness of a contoured object, such as a vehicle wheel |
DE69329554T2 (de) * | 1992-02-18 | 2001-05-31 | Neopath Inc | Verfahren zur identifizierung von objekten unter verwendung von datenverarbeitungstechniken |
JPH06241759A (ja) | 1993-02-17 | 1994-09-02 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 物体の欠陥抽出判定法 |
JPH0942915A (ja) | 1995-07-31 | 1997-02-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 穴位置検出装置 |
JP3189642B2 (ja) | 1995-09-20 | 2001-07-16 | 松下電器産業株式会社 | リード先端部の位置検出方法 |
JP2000024880A (ja) | 1998-07-07 | 2000-01-25 | Toshiba Mach Co Ltd | 工具画像の外形認識方法、工具径測定方法及び工具チップの飛散防止方法並びにこれらの装置 |
JP2001012920A (ja) | 1999-07-01 | 2001-01-19 | Nippon Steel Corp | 形状検出装置 |
US6987875B1 (en) * | 2001-05-22 | 2006-01-17 | Cognex Technology And Investment Corporation | Probe mark inspection method and apparatus |
JP4122187B2 (ja) | 2002-08-08 | 2008-07-23 | 松下電器産業株式会社 | 照明装置、及びこれを備えた認識装置並びに部品実装装置 |
US7430320B2 (en) * | 2004-11-15 | 2008-09-30 | Drvision Technologies Llc | Region-guided boundary refinement method |
EP1842153B1 (en) * | 2005-01-27 | 2012-08-01 | Tandent Vision Science, Inc. | Differentiation of illumination and reflection boundaries |
DE102006026843A1 (de) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Verfahren zur Bearbeitung eines digitalen Grauwertbildes |
JP4801551B2 (ja) * | 2006-09-27 | 2011-10-26 | 富士通株式会社 | 画像領域検出方法、該プログラム、及び該装置 |
JP5206620B2 (ja) * | 2009-08-05 | 2013-06-12 | 三菱電機株式会社 | 部材の位置認識装置、位置決め装置、接合装置および部材の接合方法 |
-
2009
- 2009-08-05 JP JP2009182477A patent/JP5206620B2/ja active Active
-
2010
- 2010-04-07 US US12/755,598 patent/US8244040B2/en active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01263882A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Nec Corp | 検査装置 |
JPH03221849A (ja) * | 1990-01-26 | 1991-09-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 欠陥検出方法 |
JPH04145314A (ja) * | 1990-10-08 | 1992-05-19 | Nec Corp | プリント基板検査装置 |
JPH05114640A (ja) * | 1991-10-23 | 1993-05-07 | Hitachi Ltd | リード測定方法および装置並びにそれが使用されたリード検査装置 |
JPH05340738A (ja) * | 1992-06-09 | 1993-12-21 | Ezel Inc | Icの傾き検査方法 |
JPH0788791A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-04 | Mitsubishi Electric Corp | ロボット装置およびその周辺装置 |
JPH0868765A (ja) * | 1994-08-29 | 1996-03-12 | Nireco Corp | 画像処理による異物検出方法 |
JPH10221035A (ja) * | 1997-02-04 | 1998-08-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 実装部品検査装置 |
JPH1183435A (ja) * | 1997-09-04 | 1999-03-26 | Fuji Electric Co Ltd | 画像処理装置、及びその計測項目検査方法 |
JP3523480B2 (ja) * | 1998-01-27 | 2004-04-26 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | カメラ位置の補正装置 |
JP2005340315A (ja) * | 2004-05-25 | 2005-12-08 | Nikon Corp | 位置合わせ装置、露光装置、位置合わせ方法及び露光方法、並びにデバイス製造方法及び較正用(工具)レチクル |
JP2005164579A (ja) * | 2004-10-29 | 2005-06-23 | Alps Electric Co Ltd | 境界線の位置の検出方法およびこの検出方法を用いた磁気ヘッドの位置決め方法および位置決め装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013167445A (ja) * | 2012-02-14 | 2013-08-29 | Aisin Seiki Co Ltd | 欠陥抽出装置および欠陥抽出方法 |
JP2015190885A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 三菱電機株式会社 | エッジ検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5206620B2 (ja) | 2013-06-12 |
US20110033116A1 (en) | 2011-02-10 |
US8244040B2 (en) | 2012-08-14 |
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