JP2011032436A - 電子部品封止用のシート状エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 - Google Patents
電子部品封止用のシート状エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011032436A JP2011032436A JP2009182614A JP2009182614A JP2011032436A JP 2011032436 A JP2011032436 A JP 2011032436A JP 2009182614 A JP2009182614 A JP 2009182614A JP 2009182614 A JP2009182614 A JP 2009182614A JP 2011032436 A JP2011032436 A JP 2011032436A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- epoxy resin
- sheet
- resin composition
- component
- electronic component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 title claims abstract description 102
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 title claims abstract description 102
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 69
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 claims abstract description 21
- -1 Phosphazene compound Chemical class 0.000 claims description 22
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 claims description 13
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 12
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 claims description 10
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical group [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 4
- VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L magnesium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Mg+2] VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 4
- 239000000347 magnesium hydroxide Substances 0.000 claims description 4
- 229910001862 magnesium hydroxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- LFMQNMXVVXHZCC-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzothiazol-2-yl n,n-diethylcarbamodithioate Chemical compound C1=CC=C2SC(SC(=S)N(CC)CC)=NC2=C1 LFMQNMXVVXHZCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000001629 suppression Effects 0.000 abstract description 6
- 239000011800 void material Substances 0.000 abstract description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 4
- GKTNLYAAZKKMTQ-UHFFFAOYSA-N n-[bis(dimethylamino)phosphinimyl]-n-methylmethanamine Chemical class CN(C)P(=N)(N(C)C)N(C)C GKTNLYAAZKKMTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 17
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 14
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 9
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 8
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 7
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 7
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 6
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical class C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 6
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 5
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 4
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 4
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 3
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 3
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 150000002903 organophosphorus compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 3
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 3
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- AAAQKTZKLRYKHR-UHFFFAOYSA-N triphenylmethane Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 AAAQKTZKLRYKHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 1755-01-7 Chemical compound C1[C@H]2[C@@H]3CC=C[C@@H]3[C@@H]1C=C2 HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 0.000 description 2
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 125000004036 acetal group Chemical group 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 2
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- FDPIMTJIUBPUKL-UHFFFAOYSA-N pentan-3-one Chemical compound CCC(=O)CC FDPIMTJIUBPUKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 2
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 2
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FVCSARBUZVPSQF-UHFFFAOYSA-N 5-(2,4-dioxooxolan-3-yl)-7-methyl-3a,4,5,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C(C(OC2=O)=O)C2C(C)=CC1C1C(=O)COC1=O FVCSARBUZVPSQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DPLAODOOOLZTCF-UHFFFAOYSA-N CC[O](Oc1ccccc1)(Oc1ccccc1)(Oc1ccccc1)=O Chemical compound CC[O](Oc1ccccc1)(Oc1ccccc1)(Oc1ccccc1)=O DPLAODOOOLZTCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MXRIRQGCELJRSN-UHFFFAOYSA-N O.O.O.[Al] Chemical compound O.O.O.[Al] MXRIRQGCELJRSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- MUCRYNWJQNHDJH-OADIDDRXSA-N Ursonic acid Chemical compound C1CC(=O)C(C)(C)[C@@H]2CC[C@@]3(C)[C@]4(C)CC[C@@]5(C(O)=O)CC[C@@H](C)[C@H](C)[C@H]5C4=CC[C@@H]3[C@]21C MUCRYNWJQNHDJH-OADIDDRXSA-N 0.000 description 1
- UUQQGGWZVKUCBD-UHFFFAOYSA-N [4-(hydroxymethyl)-2-phenyl-1h-imidazol-5-yl]methanol Chemical compound N1C(CO)=C(CO)N=C1C1=CC=CC=C1 UUQQGGWZVKUCBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001642 boronic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L calcium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Ca+2] AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000920 calcium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910001861 calcium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910002026 crystalline silica Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000010528 free radical solution polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 235000014413 iron hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- NCNCGGDMXMBVIA-UHFFFAOYSA-L iron(ii) hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Fe+2] NCNCGGDMXMBVIA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229920003049 isoprene rubber Polymers 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010680 novolac-type phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004382 potting Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000013557 residual solvent Substances 0.000 description 1
- 229920003987 resole Polymers 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 1
- 238000010558 suspension polymerization method Methods 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- USFPINLPPFWTJW-UHFFFAOYSA-N tetraphenylphosphonium Chemical compound C1=CC=CC=C1[P+](C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 USFPINLPPFWTJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- AYEKOFBPNLCAJY-UHFFFAOYSA-O thiamine pyrophosphate Chemical compound CC1=C(CCOP(O)(=O)OP(O)(O)=O)SC=[N+]1CC1=CN=C(C)N=C1N AYEKOFBPNLCAJY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- CVNKFOIOZXAFBO-UHFFFAOYSA-J tin(4+);tetrahydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[Sn+4] CVNKFOIOZXAFBO-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- XZZNDPSIHUTMOC-UHFFFAOYSA-N triphenyl phosphate Chemical compound C=1C=CC=CC=1OP(OC=1C=CC=CC=1)(=O)OC1=CC=CC=C1 XZZNDPSIHUTMOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/191—Disposition
- H01L2924/19101—Disposition of discrete passive components
- H01L2924/19105—Disposition of discrete passive components in a side-by-side arrangement on a common die mounting substrate
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】金属水酸化物およびホスファゼン化合物の合計含有量が、シート状エポキシ樹脂組成物全体の70〜90重量%であるシート状エポキシ樹脂組成物である。そして、上記シート状エポキシ樹脂組成物を用いた電子部品装置である。
【選択図】図1
Description
また、最近では安全性の観点から、電子部品装置および実装基板に難燃性が求められる場合が多くなっている。(特許文献4〜6)
A:エポキシ樹脂
B:フェノール樹脂
C:エラストマー
D:硬化促進剤
E:金属水酸化物
F:式(1)または式(2)で表されるホスファゼン化合物
A:エポキシ樹脂
B:フェノール樹脂
C:エラストマー
D:硬化促進剤
E:金属水酸化物
F:式(1)または式(2)で表されるホスファゼン化合物
〔エポキシ樹脂a〕
変性ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC株式会社、EPICLON EXA−4850−150)
〔エポキシ樹脂b〕
トリフェニルメタン型エポキシ樹脂(日本化薬株式会社、EPPN−501HY)
〔フェノール樹脂〕
ノボラック型フェノール樹脂(荒川化学工業株式会社、P−200)
〔エラストマーa〕
アクリル系共重合体(ブチルアクリレート:アクリロニトリル:グリシジルメタクリレート=85:8:7重量%からなる共重合体。重量平均分子量80万)
上記アクリル系共重合体は、以下のように合成した。ブチルアクリレート、アクリロニトリル、グリシジルメタクリレートを85:8:7の仕込み重量比率にて、2,2’−アゾビスイソブチロニトリルを重合開始剤に用い、メチルエチルケトン中で窒素気流下、70℃で5時間と80℃で1時間のラジカル重合を行うことにより、目的とするアクリル系共重合体を得た。
〔エラストマーb〕
スチレンアクリレート系共重合体(東亜合成株式会社、UG−4040)
〔硬化促進剤〕
2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール(四国化成工業株式会社、2PHZ−PW)
〔金属水酸化物a〕
平均粒径2.7μmの水酸化アルミニウム粉末(昭和電工株式会社、HP−360)
〔金属水酸化物b〕
平均粒径1.2μmの水酸化マグネシウム(タテホ化学工業株式会社、PZ−1)
〔ホスファゼン化合物〕
下記の式(4)で表されるホスファゼン化合物(株式会社伏見製薬所、FP−100)
下記の式(5)で表されるビフェニルリン酸エステル化合物(三光株式会社、HCA)
下記の式(6)で表されるトリフェニルホスフェート(大八化学工業株式会社、TPP)
平均粒径7μmの球状溶融シリカ粉末(電気化学工業株式会社、FB−7SDC)
〔実施例1〜7、比較例1〜4〕
〔シート状エポキシ樹脂組成物の作製〕
表1〜表3に示す割合で各成分を分散混合し、これに各成分の合計量と同量のメチルエチルケトンを加えて、塗工用ワニスを調製した。
〔電子部品装置集合体の作製〕
電子部品として積層セラミックコンデンサ(コンデンサ厚み500μm)を碁盤目状に1万個配列載置した縦150mm、横150mm、厚み300μmのガラス−エポキシ(FR−4)基板を準備し、得られたシート状エポキシ樹脂組成物を基板上の全ての電子部品を覆うように配置した。配置したシート状エポキシ樹脂組成物を、真空下(0.1kPa)、温度80℃、圧力300kPaでプレスすることにより、電子部品および実装基板と接着した。ついで、大気圧下でシート状エポキシ樹脂組成物を熱硬化(150℃、1時間)させて電子部品を封止し、常温まで自然冷却させることにより電子部品装置集合体を得た。最後に、樹脂封止面にダイシングテープを貼り、前記電子部品装置集合体をダイシングすることにより、電子部品装置を得た。
〔難燃性〕
得られたシート状エポキシ樹脂組成物の難燃性を以下のように評価した。
〔表面タック〕
得られたシート状エポキシ樹脂組成物の表面タックの有無を、指触テストにて判定した。
〔内部ボイドの有無〕
得られた電子部品装置中の内部ボイド有無について、高速フーリエ変換型超音波顕微鏡(C−SAM D6000、日本バーンズ株式会社)を用いて確認を行った。50μm以下の微小な内部ボイドが0だったものを○、1〜50個だったものを△、51個以上だったものを×とした。
〔接続信頼性〕
得られた電子部品装置を、半田リフロー時の条件下(260℃で10秒間の加熱を3回反復)にさらした。ついで、封止樹脂層と実装基板や電子部品との剥離の有無を、前記高速フーリエ変換型超音波顕微鏡にて観察し、剥離がなかったものを○、あったものを×とした。
2 実装基板
3 電子部品の接続用電極部
4 封止樹脂層
5 貫通孔
Claims (4)
- E成分が、水酸化アルミニウムまたは水酸化マグネシウムである、請求項1に記載のシート状エポキシ樹脂組成物。
- F成分の含有量が、前記シート状エポキシ樹脂組成物に含まれる有機成分全体の10〜30重量%である、請求項1または2に記載のシート状エポキシ樹脂組成物。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のシート状エポキシ樹脂組成物を用いて電子部品を封止してなる電子部品装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009182614A JP5543738B2 (ja) | 2009-08-05 | 2009-08-05 | 電子部品封止用のシート状エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009182614A JP5543738B2 (ja) | 2009-08-05 | 2009-08-05 | 電子部品封止用のシート状エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011032436A true JP2011032436A (ja) | 2011-02-17 |
JP5543738B2 JP5543738B2 (ja) | 2014-07-09 |
Family
ID=43761827
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009182614A Active JP5543738B2 (ja) | 2009-08-05 | 2009-08-05 | 電子部品封止用のシート状エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5543738B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013007028A (ja) * | 2011-05-20 | 2013-01-10 | Nitto Denko Corp | 封止用シートおよび電子部品装置 |
WO2013073846A1 (ko) * | 2011-11-14 | 2013-05-23 | 주식회사 엘지화학 | 접착 필름 및 이를 이용한 유기전자장치의 봉지 방법 |
JP2016166279A (ja) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | 三菱化学株式会社 | 熱硬化性樹脂組成物およびその成形体 |
JP2017139413A (ja) * | 2016-02-05 | 2017-08-10 | 日立化成株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2017179013A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | 味の素株式会社 | 樹脂組成物 |
KR20200120766A (ko) * | 2018-03-15 | 2020-10-21 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 반도체 디바이스 패키지 제작 프로세스들을 위한 평탄화 |
WO2022097425A1 (ja) * | 2020-11-06 | 2022-05-12 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | 電子デバイスパッケージ及びその製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001316454A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-11-13 | Otsuka Chem Co Ltd | 難燃性エポキシ樹脂組成物及び電子部品 |
JP2002053732A (ja) * | 2000-05-29 | 2002-02-19 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2002060720A (ja) * | 2000-08-17 | 2002-02-26 | Toshiba Chem Corp | 難燃性接着剤組成物、フレキシブル銅張積層板、カバーレイおよび接着剤フィルム |
JP2007153747A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-21 | Fushimi Pharm Co Ltd | ヒドロキシル基含有環状ホスファゼン化合物およびその製造方法 |
JP2009161716A (ja) * | 2007-12-12 | 2009-07-23 | Fushimi Pharm Co Ltd | 難燃性樹脂組成物 |
-
2009
- 2009-08-05 JP JP2009182614A patent/JP5543738B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001316454A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-11-13 | Otsuka Chem Co Ltd | 難燃性エポキシ樹脂組成物及び電子部品 |
JP2002053732A (ja) * | 2000-05-29 | 2002-02-19 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2002060720A (ja) * | 2000-08-17 | 2002-02-26 | Toshiba Chem Corp | 難燃性接着剤組成物、フレキシブル銅張積層板、カバーレイおよび接着剤フィルム |
JP2007153747A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-21 | Fushimi Pharm Co Ltd | ヒドロキシル基含有環状ホスファゼン化合物およびその製造方法 |
JP2009161716A (ja) * | 2007-12-12 | 2009-07-23 | Fushimi Pharm Co Ltd | 難燃性樹脂組成物 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013007028A (ja) * | 2011-05-20 | 2013-01-10 | Nitto Denko Corp | 封止用シートおよび電子部品装置 |
WO2013073846A1 (ko) * | 2011-11-14 | 2013-05-23 | 주식회사 엘지화학 | 접착 필름 및 이를 이용한 유기전자장치의 봉지 방법 |
US9577214B2 (en) | 2011-11-14 | 2017-02-21 | Lg Chem, Ltd. | Adhesive film and method of encapsulating organic electronic device |
JP2016166279A (ja) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | 三菱化学株式会社 | 熱硬化性樹脂組成物およびその成形体 |
JP2017139413A (ja) * | 2016-02-05 | 2017-08-10 | 日立化成株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2017179013A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | 味の素株式会社 | 樹脂組成物 |
KR20200120766A (ko) * | 2018-03-15 | 2020-10-21 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 반도체 디바이스 패키지 제작 프로세스들을 위한 평탄화 |
JP2021517360A (ja) * | 2018-03-15 | 2021-07-15 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 半導体素子パッケージ製造プロセスための平坦化 |
EP3766097A4 (en) * | 2018-03-15 | 2022-04-13 | Applied Materials, Inc. | PLANARIZATION FOR PROCESSES FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE PACKAGES |
KR102521991B1 (ko) * | 2018-03-15 | 2023-04-13 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 반도체 디바이스 패키지 제작 프로세스들을 위한 평탄화 |
JP7258906B2 (ja) | 2018-03-15 | 2023-04-17 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 半導体素子パッケージ製造プロセスための平坦化 |
WO2022097425A1 (ja) * | 2020-11-06 | 2022-05-12 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | 電子デバイスパッケージ及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5543738B2 (ja) | 2014-07-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5133598B2 (ja) | 封止用熱硬化型接着シート | |
JP5543738B2 (ja) | 電子部品封止用のシート状エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 | |
JP4989402B2 (ja) | 中空型デバイス封止用樹脂組成物シートおよびそれを用いて封止した中空型デバイス | |
US20120296010A1 (en) | Encapsulating sheet and electronic device | |
JP5426511B2 (ja) | 封止用エポキシ樹脂組成物シート及びこれを用いて封止した中空型デバイス | |
JP5180162B2 (ja) | 電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物およびそれにより得られた電子部品装置集合体ならびに電子部品装置 | |
WO2014156837A1 (ja) | 中空封止用樹脂シート及び中空パッケージの製造方法 | |
WO2014188825A1 (ja) | 電子部品装置の製造方法、積層シート、及び、電子部品装置 | |
JP6228734B2 (ja) | 電子部品封止用樹脂シート、樹脂封止型半導体装置、及び、樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
JP5227915B2 (ja) | 電子部品装置集合体およびその製造方法 | |
WO2014156833A1 (ja) | 中空封止用樹脂シート及び中空パッケージの製造方法 | |
JP2015010098A (ja) | 熱接着シート及び物品 | |
JP5768023B2 (ja) | 電子部品封止用熱硬化性樹脂シート、樹脂封止型半導体装置、及び樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
WO2014188826A1 (ja) | 電子部品装置の製造方法 | |
JP2008260845A (ja) | 封止用熱硬化型接着シート | |
TW202121615A (zh) | 片狀密封材、密封用片材及半導體裝置 | |
WO2014188824A1 (ja) | 電子部品装置の製造方法 | |
JP2014056985A (ja) | 封止体の製造方法、封止体製造用枠状スペーサ、封止体及び電子機器 | |
JP5735030B2 (ja) | 電子デバイス封止用樹脂シート及び電子デバイスパッケージの製造方法 | |
JPWO2019188255A1 (ja) | 樹脂シートおよびその製造方法 | |
JP2016094575A (ja) | セパレータ付き封止用シート、及び、半導体装置の製造方法 | |
TWI643890B (zh) | Resin sheet for hollow sealing and manufacturing method of hollow package | |
TW202101614A (zh) | 密封用薄片 | |
JP2019083342A (ja) | セパレータ付き封止用シート、及び、半導体装置の製造方法 | |
CN117894759A (zh) | 密封片材及电子装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120719 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120731 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120928 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20120928 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130716 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130904 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140418 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140509 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5543738 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |