JP2011030522A - マイクロ流体デバイス - Google Patents
マイクロ流体デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011030522A JP2011030522A JP2009181303A JP2009181303A JP2011030522A JP 2011030522 A JP2011030522 A JP 2011030522A JP 2009181303 A JP2009181303 A JP 2009181303A JP 2009181303 A JP2009181303 A JP 2009181303A JP 2011030522 A JP2011030522 A JP 2011030522A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- microfluidic device
- support cup
- membrane layer
- input
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】上部硬質基板3と、メンブレン層5と、台座基板6と、開口部を有する凹陥部が形成された少なくとも1個の支持カップ基板とからなり、前記上部硬質基板には流体を出し入れするための少なくとも1個の入出力ポートが該基板を貫通して配設されており、かつ、該基板の下面側には、前記入出力ポートに連通する1本の送液流路用の溝が配設されており、前記メンブレン層は前記入出力ポートの底部及び送液流路用の溝の底部を遮蔽するように前記上部硬質基板の下面側に部分的に接着されているマイクロ流体デバイス。
【選択図】図2
Description
本発明の別の目的は、気泡が発生し難く、熱交換が効率的に実施できる反応チャンバを有し、反応チャンバ配設部品を交換することにより反応チャンバの容積を簡単に増減することができるマイクロ流体デバイスを提供することである。
(1)上部硬質基板と、メンブレン層と、台座基板と、開口部を有する凹陥部が形成された少なくとも1個の支持カップ基板とからなり、
前記上部硬質基板には流体を出し入れするための少なくとも1個の入出力ポートが該基板を貫通して配設されており、かつ、該基板の下面側には、前記入出力ポートに連通する1本の送液流路用の溝が配設されており、
前記メンブレン層は前記入出力ポートの底部及び送液流路用の溝の底部を遮蔽するように前記上部硬質基板の下面側に部分的に接着されており、
前記支持カップ基板は、前記凹陥部の開口部が前記メンブレン層の下面側に密着し、前記送液流路用の溝の端部が前記凹陥部の周縁を越えて半径方向内方に位置し、かつ、前記メンブレン層と前記上部硬質基板との非接着部が前記凹陥部の開口部に対応する位置に存在するように配置されており、
前記台座基板は前記メンブレン層の下面側に、前記支持カップ基板と分離されて配置されていることを特徴とするマイクロ流体デバイス。
(2)前記上部硬質基板には流体を出し入れするための1個の第1の入出力ポートと、流体を出し入れするための1個以上の第2の入出力ポートとが該基板を貫通して配設されており、かつ、該基板の下面側には、前記第1の入出力ポートに連通する送液流路用の1本以上の上流溝と、前記上流溝と同じ本数の、前記各第2の入出力ポートに連通する下流溝が配設されており、前記支持カップ基板は前記上流溝の本数と同じ数の凹陥部を有することを特徴とする請求項1記載のマイクロ流体デバイス。
(3)前記支持カップ基板の凹陥部の周縁を越えて半径方向内方に位置する前記送液流路用の溝の端部のサイズが溝の他の部分のサイズよりも大きいことを特徴とする請求項1記載のマイクロ流体デバイス。
(4)前記支持カップ基板の凹陥部の開口部に対応する位置に存在する前記メンブレン層と前記上部硬質基板との非接着部の面積が前記凹陥部の開口部の面積以上であることを特徴とする請求項1記載のマイクロ流体デバイス。
(5)前記支持カップ基板の凹陥部内壁面は曲面状であり、前記凹陥部の底部には大気に連通する管路が更に配設されていることを特徴とする請求項1記載のマイクロ流体デバイス。
(6)前記支持カップ基板の凹陥部内壁面は曲面状であり、前記支持カップ基板は多孔質材料から形成されており、部材の多孔性により前記凹陥部は大気に連通していることを特徴とする請求項1記載のマイクロ流体デバイス。
(7)前記支持カップ基板は中空円筒状のシリンダと、該シリンダ内に挿入され、上端面が平面状のピストンとからなり、前記ピストンが前記シリンダ内を昇降することにより前記ピストンの上端面と前記シリンダの内壁面とにより凹陥部が画成されることを特徴とする請求項1記載のマイクロ流体デバイス。
(8)前記支持カップ基板には加熱冷却装置及び温度センサが更に配設されていることを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載のマイクロ流体デバイス。
(9)該温度センサは温度制御回路を介して前記加熱冷却装置に接続されていることを特徴とする請求項8記載のマイクロ流体デバイス。
(10)前記支持カップ基板は前記メンブレン層から着脱可能に配置されている請求項1〜9の何れかに記載のマイクロ流体デバイス。
(11)前記送液流路の途中に開閉バルブが更に配設されていることを特徴とする請求項1記載のマイクロ流体デバイス。
(12)前記開閉バルブは、前記送液流路を中断するように設けられた弁座と、該弁座の位置に対応して前記台座基板の上面に設けられた弁駆動用凹部とからなり、前記弁駆動用凹部の位置に対応する前記上部硬質基板と前記メンブレン層との界面には非接着部が存在することを特徴とする請求項11記載のマイクロ流体デバイス。
(13)前記弁座の両側に位置する前記送液流路用の溝の端部のサイズが溝の他の部分のサイズよりも大きいことを特徴とする請求項11記載のマイクロ流体デバイス。
(14)前記台座基板の弁駆動用凹部の開口部に対応する位置に存在する前記メンブレン層と前記上部硬質基板との非接着部の面積が前記弁駆動用凹部の開口部の面積以上であることを特徴とする請求項11記載のマイクロ流体デバイス。
(15)前記弁駆動用凹部の底部には大気に連通する管路が更に配設されていることを特徴とする請求項11記載のマイクロ流体デバイス。
(16)前記管路の端部は加圧・吸引手段に接続されていることを特徴とする請求項15記載のマイクロ流体デバイス。
(17)上部硬質基板と、メンブレン層と、表面上に所定の幅と深さと長さを有する1本以上の溝が配設された台座基板と、開口部を有する凹陥部と該凹陥部に連通する所定の幅と深さを有する1本以上の溝が上端面に形成された支持カップ基板とからなり、
前記上部硬質基板には流体を出し入れするための少なくとも1個の入出力ポートが該基板を貫通して配設されており、
前記メンブレン層は前記上部硬質基板の下面側に部分的に接着されており、前記メンブレン層と前記上部硬質基板との界面には、前記入出力ポートの一端に接続する送液流路形成用の1個以上の第1の非接着部と、該送液流路形成用の非接着部に連続する所定面積を有する第2の非接着部とが存在し、
前記支持カップ基板は、前記凹陥部の開口部が前記メンブレン層の下面側に密着し、前記メンブレン層と前記上部硬質基板との界面の第2の非接着部が前記凹陥部の開口部に対応する位置に存在し、かつ、支持カップ基板上端面の溝が前記送液流路形成用の第1の非接着部の長手方向位置と同じ位置になるように配置されており、
前記台座基板は、前記台座基板上面の溝の端部が前記入出力ポートの外方端に位置し、かつ、当該溝が前記送液流路形成用の第1の非接着部の長手方向位置と同じ位置になるように前記メンブレン層の下面側に、前記支持カップ基板と分離されて配置されていることを特徴とするマイクロ流体デバイス。
(18)前記上部硬質基板には流体を出し入れするための1個の第1の入出力ポートと、流体を出し入れするための1個以上の第2の入出力ポートとが該基板を貫通して配設されており、かつ、前記メンブレン層と前記上部硬質基板との界面には、前記第1の入出力ポートの一端に接続する上流側送液流路形成用の1個以上の第1の非接着部と、前記上流側送液流路形成用の第1の非接着部と同じ個数の、前記各第2の入出力ポートの一端に接続する下流側送液流路形成用の第3の非接着部が更に存在し、前記支持カップ基板は前記上流側送液流路形成用の第1の非接着部の個数と同じ数の凹陥部を有し、かつ、支持カップ基板上端面には前記第1の非接着部及び第3の非接着部の個数と同じ数の溝が形成されていることを特徴とする請求項17記載のマイクロ流体デバイス。
(19)前記第2の非接着部の面積が前記凹陥部の開口部の面積以上であることを特徴とする請求項17記載のマイクロ流体デバイス。
(20)前記支持カップ基板の凹陥部内壁面は曲面状であり、前記凹陥部の底部には大気に連通する管路が更に配設されていることを特徴とする請求項17記載のマイクロ流体デバイス。
(21)前記支持カップ基板の凹陥部内壁面は曲面状であり、前記支持カップ基板は多孔質材料から形成されており、部材の多孔性により前記凹陥部は大気に連通していることを特徴とする請求項17記載のマイクロ流体デバイス。
(22)前記支持カップ基板は中空円筒状のシリンダと、該シリンダ内に挿入され、上端面が平面状のピストンとからなり、前記ピストンが前記シリンダ内を昇降することにより前記ピストンの上端面と前記シリンダの内壁面とにより凹陥部が画成されることを特徴とする請求項17記載のマイクロ流体デバイス。
(23)前記支持カップ基板には加熱冷却装置及び温度センサが更に配設されていることを特徴とする請求項17〜22の何れかに記載のマイクロ流体デバイス。
(24)該温度センサは温度制御回路を介して前記加熱冷却装置に接続されていることを特徴とする請求項23記載のマイクロ流体デバイス。
(25)前記支持カップ基板は前記メンブレン層から着脱可能に配置されている請求項17〜24の何れかに記載のマイクロ流体デバイス。
(26)前記送液流路形成用の非接着部に対応する位置の前記台座基板の箇所に前記台座基板を貫通する貫通孔が穿設されており、該貫通孔内に昇降可能なピンが挿入されており、該ピンは前記送液流路形成用非接着部が膨隆されたときに創出される送液流路を開閉するための開閉装置として機能することを特徴とする請求項17記載のマイクロ流体デバイス。
(27)PCR増幅用デバイスとして使用されることを特徴とする請求項1〜26の何れかに記載のマイクロ流体デバイス。
(1)メンブレン層が伸縮性を有するので、メンブレン層の開閉動作流体、特に液体を追従させることが容易であり、一時的な陰圧が生じ難いため、気泡が入り難いマイクロ流体デバイスを実現できる。流体の加熱・冷却時に体積変化が大きい気泡が反応チャンバ内に入り込むと分析や実験などの作業に多大な支障を来すので、気泡が入り難いというのは顕著な効果である。
(2)熱交換の効率が非常に優れている。これは送液の内圧はメンブレン層の機械的強度に加えて、メンブレン層と支持カップ基板の凹陥部との間の摩擦力で補強されるため、メンブレン層が薄くても破裂し難いためである。また、メンブレン層が支持カップ基板の凹陥部内壁面に密着し、隙間が無いので内壁面全てを熱交換に使用できる。例えば、凹陥部の形状を半球状に構成して半球面でメンブレン層と接する表面積は、同一の直径を持つ平面的な円で接する場合の2倍となり、より広い面積で接触させることができ、高効率で反応チャンバ内部の流体温度をコントロールできる。メンブレン層が薄く、接触面積も広いために、メンブレン層の熱伝導率が低くてもマイクロ流体デバイスを構成することが可能であり、デバイスを構成する素材に依存しないと言う点でコスト的にも有利である。
(3)支持カップ基板を交換することにより、マイクロ流体デバイスの寸法はそのままで、反応チャンバの容積を簡単に変更できる。これは支持カップ基板の凹陥部の大きさでメンブレン層の膨張体積(即ち、反応チャンバの容積)が規定されるためである。目的及び用途に応じて、所望の容積の凹陥部を有する支持カップ基板に変更すれば、量産品であるマイクロ流体デバイスの寸法自体は一定でも、相対的に生産台数が少ない装置側の部品を一部変更することで、反応チャンバの容積を変えられるマイクロ流体デバイスを実現できる。更に、支持カップ基板をシリンダとピストンから構成することにより、支持カップ基板を交換しなくても、反応チャンバの容積を任意に連続的に変化させることができる。
(4)支持カップ基板の凹陥部に形成される反応チャンバで液体を加熱する際、蒸発による反応チャンバ内の液体の濃縮(即ち、液量減少)が問題になる。入出力ポートから送液流路を介して加圧を継続する方法をとれば、蒸発等で液量が減少しても、液体は送液流路から反応チャンバに補充され、その結果、メンブレン層の膨張体積は変動せず、凹陥部とメンブレン層との間に隙間も生じない。このため、熱交換効率は常に高い値を維持できる。また、入出力ポートから加圧しながら加熱することにより液体の沸点が上昇し、液体の沸騰を防止できる。また、蒸発は気液界面で発生するが、本発明の反応チャンバは気泡が入り難いため、蒸発が発生する部位が少なくなる。更に、メンブレン層にシリコーンゴムのような水蒸気透過性が高い素材を用いたとしても、表面積の多くを支持カップが密着して覆うため、水蒸気が反応チャンバ外に抜け難く、蒸発が一層抑制される。そのため、本発明のマイクロ流体デバイスはDNA断片のPCR増幅用装置として極めて好適である。
(5)入出力ポート、送液流路、開閉バルブ及び反応チャンバ用凹陥部を有するので、本発明のマイクロ流体デバイスは流体制御装置としても使用できる。
(1)マイクロ流体デバイスの構成
上部硬質基板3としては厚さ6mm、ヤング率2500MPaのポリメチルメタクリレート(PMMA)樹脂板を使用した。上部硬質基板3に穿設された入出力ポート11の内径は2.5mm、深さは6mm、内容積は29.4μLであった。上部硬質基板3の下面側に配設された送液流路13の幅は0.3mm、深さは0.15mm、長さは41mm、流路容積は1.8μLであった。メンブレン層5としては、厚さ0.1mm、伸び率200%、ヤング率14.2MPaのシリコーンゴムを使用した。メンブレン層5のシリコーンゴム膜は上部硬質基板3の下面側に接着させたが、支持カップ基板の凹陥部15に対応する箇所は接着させなかった。この選択的接着は、PMMAの接着面をシラン処理し、シリコーンゴム膜の非接着部としたい箇所をマスキングし、接着させたい箇所だけ反応性イオンエッチング装置内で酸素プラズマにより表面改質処理し、その後、PMMAの処理面側とシリコーンゴム膜の処理面側を貼り合わせることにより行われた。台座基板6としては上部硬質基板3と同じPMMA樹脂板を使用した。支持カップ基板7としてはアルミ合金ANP79を使用し、その上面には開口部直径3.7mm、深さ1.20mm、R2.0の略球面皿状の凹陥部15が形成されていた。凹陥部15の底部には直径0.8mmの管路17が配設されていた。また、支持カップ基板7には温度測定用のサーミスタ10が挿入されていた。支持カップ基板7の下面側に加熱冷却装置9としてペルチェ素子を装着した。サーミスタ10とペルチェ素子9とを温度制御回路39を介して接続した。入出力ポート11に、送液チューブ22が装着されたアダプター24を挿入した。
(2)送液試験
送液チューブ22から青色インクを入出力ポート11に送入し、ポート11と送液流路13を満たした。送液チューブ22から40kPaの圧力で空気圧を印加し続けると、支持カップ基板7の凹陥部15の箇所に対応する非接着部分16のメンブレン層5が徐々に凹陥部15内に膨らみ出し、最後には凹陥部15全体に及ぶまで膨張し、反応チャンバ21が完全に形成されるのが青色インク液体で確認できた。ペルチェ素子を駆動させ、反応チャンバ21内の青色インクを加熱及び冷却した。その後、加圧を停止すると、凹陥部15内に膨張していたメンブレン層5が収縮し、反応チャンバ21内の青色インクが入出力ポートにまで戻されてくるのが確認できた。この後、凹陥部下部の管路17から空気圧を50kPa印加すると、送液流路13内の全ての青色インクがマイクロ流体デバイス外へ排出された。
(1)マイクロ流体デバイスの構成
上部硬質基板3としては厚さ6mm、ヤング率2500MPaのポリメチルメタクリレート(PMMA)樹脂板を使用した。上部硬質基板3に穿設された入出力ポート11の内径は2.5mm、深さは6mm、内容積は29.4μLであった。上部硬質基板3の下面側に配設された送液流路13の幅は0.3mm、深さは0.15mm、長さは41mm、流路容積は1.8μLであった。送液流路13の途中に幅0.6mm、長さ0.6mmの拡大部を間隔0.4mmで互いに対峙するように設けることにより弁座25を形成し送液流路13を左右に2分した。台座基板6としては上部硬質基板3と同じPMMA樹脂板を使用した。前記弁座25に対応する位置の台座基板6の上面には直径2mm、深さ0.3mm、R1.5mmの略球面皿状の弁駆動用凹部27が形成されていた。メンブレン層5としては、厚さ0.1mm、伸び率200%、ヤング率14.2MPaのシリコーンゴムを使用した。メンブレン層5のシリコーンゴム膜は上部硬質基板3の下面側に接着させたが、支持カップ基板の凹陥部15に対応する箇所及び台座基板3の弁駆動用凹部27に対応する箇所は接着させなかった。この選択的接着は、PMMAの接着面をシラン処理し、シリコーンゴム膜の非接着部としたい箇所をマスキングし、接着させたい箇所だけ反応性イオンエッチング装置内で酸素プラズマにより表面改質処理し、その後、PMMAの処理面側とシリコーンゴム膜の処理面側を貼り合わせることにより行われた。支持カップ基板7としてはアルミ合金ANP79を使用し、その上面には開口部直径3.7mm、深さ1.20mm、R2.0の略球面皿状の凹陥部15が形成されていた。凹陥部15の底部には直径0.8mmの管路17が配設されていた。また、支持カップ基板7には温度測定用のサーミスタ10が挿入されていた。支持カップ基板7の下面側に加熱冷却装置9としてペルチェ素子を装着した。サーミスタ10とペルチェ素子9とを温度制御回路39を介して接続した。入出力ポート11に、送液チューブ22が装着されたアダプター24を挿入した。
(2)送液手順
PCR溶液12μLを入出力ポート11に分注した。次に、弁駆動用凹部27と連通する管路29に100kPaの圧力の空気圧を印加し、弁駆動用凹部27上のメンブレン層5を弁座25に押し付けた。支持カップ基板7の凹陥部15と連通する管路17は大気開放とした。この状態で入出力ポート11から50kPaの圧力の空気圧を印加したが、PCR溶液は開閉バルブ23を通過することはなく、開閉バルブ23で送液を遮断できることを確認した。この状態で弁駆動用凹部27と連通する管路29を大気開放したところ、メンブレン層5が弁駆動用凹部27内に押し込まれて開閉バルブ23が開き、PCR溶液は送液流路13から支持カップ基板7の凹陥部15上部のメンブレン層5に至り、このメンブレン層5を徐々に膨張させながら凹陥部15全体に及ぶ反応チャンバ21が形成された。入出力ポート11から50kPaの圧力の空気圧を印加し続けながら、温度制御回路39に予めプログラムされた加熱サイクルに従ってPCR溶液を加熱し、PCR増幅を行った。PCR溶液は2X PrimeSTAR(登録商標)Max25μL、Template(プラスミドDNA pUC18,10μg/mL)2μL、Primer-F(10μM)1μL、Primer-R(10μM)1μLの混合液に滅菌蒸留水を追加混合し、50μLとしたものから12μLを採取して使用した。加熱サイクルは初期熱変性102℃30秒の後、熱変性102℃15秒、アニーリング53℃15秒、伸長72℃15秒の3ステップを30サイクル行った後、30℃30秒でマイクロ流体デバイス1を冷却した。マイクロ流体デバイス1を冷却後、入出力ポート11を大気開放し、支持カップ基板7の管路17から凹陥部15底部に向かって50kPaの圧力の空気圧を印加し、反応チャンバ21内のPCR産物を入出力ポート11に押し戻し、マイクロピペットで回収し、下記の電気泳動試験のために保存した。PCR溶液の分注から回収までの時間は30分52秒であった。回収した液量は全体で10μLであった。送液流路13内部や入出力ポート11に残った液量が1〜2μLあると考えられるため、蒸発による液量は無視できるレベルと考えられる。なお、反応チャンバ21内の体積は約6μLであるため、回収した液体には加熱サイクルを経ていないPCR溶液も含まれているものと思われる。
(3)電気泳動試験
回収したPCR産物から9μLをSV1100(日立電子エンジニアリング株式会社製)で電気泳動し、装置付属のソフトウェアでPCR産物の鎖長と濃度を測定した。PCR増幅産物の鎖長はプライマーの設計と一致し、PCR産物の増幅量も17.6ng/μLと高い濃度が得られた。これにより、本発明のマイクロ流体デバイスでDNA検体を申し分なくPCR増幅できることが裏付けられた。
(1)マイクロ流体デバイスの構成
上部硬質基板3としては厚さ6mm、ヤング率2500MPaのポリメチルメタクリレート(PMMA)樹脂板を使用した。上部硬質基板3に穿設された入出力ポート11の内径は2.5mm、深さは6mm、内容積は29.4μLであった。上部硬質基板3の下面側に配設された送液流路13の幅は0.3mm、深さは0.15mm、長さは41mm、流路容積は1.8μLであった。送液流路13の途中に幅0.6mm、長さ0.6mmの拡大部を間隔0.4mmで互いに対峙するように設けることにより弁座25を形成し送液流路13を左右に2分した。台座基板6としては上部硬質基板3と同じPMMA樹脂板を使用した。前記弁座25に対応する位置の台座基板6の上面には直径2mm、深さ0.3mm、R1.5mmの略球面皿状の凹部27が形成されていた。メンブレン層5としては、厚さ0.1mm、伸び率200%、ヤング率14.2MPaのシリコーンゴムを使用した。メンブレン層5のシリコーンゴム膜は上部硬質基板3の下面側に接着させたが、支持カップ基板の凹陥部15に対応する箇所及び台座基板3の凹部27に対応する箇所は接着させなかった。この選択的接着は、PMMAの接着面をシラン処理し、シリコーンゴム膜の非接着部としたい箇所をマスキングし、接着させたい箇所だけ反応性イオンエッチング装置内で酸素プラズマにより表面改質処理し、その後、PMMAの処理面側とシリコーンゴム膜の処理面側を貼り合わせることにより行われた。支持カップ基板7としてはアルミ合金ANP79を使用し、その上面には開口部直径3.7mm、深さ1.20mm、R2.0の略球面皿状の凹陥部15が形成されていた。凹陥部15の底部には直径0.8mmの管路17が配設されていた。また、支持カップ基板7には温度測定用のサーミスタ10が挿入されていた。支持カップ基板7の下面側に加熱冷却装置9としてペルチェ素子を装着した。サーミスタ10とペルチェ素子9とを温度制御回路39を介して接続した。入出力ポート11に、送液チューブ22が装着されたアダプター24を挿入した。
(2)送液手順
PCR溶液12μLを入出力ポート11に分注した。入出力ポート11から50kPaの圧力の空気圧を印加すると、メンブレン層5が凹部27内に押し込まれて開閉バルブ23が開き、PCR溶液は送液流路13から支持カップ基板7の凹陥部15上部のメンブレン層5に至り、このメンブレン層5を徐々に膨張させながら凹陥部15全体に及ぶ反応チャンバ21が形成された。入出力ポート11から50kPaの圧力の空気圧を印加し続けながら、温度制御回路39に予めプログラムされた加熱サイクルに従ってPCR溶液を加熱し、PCR増幅を行った。PCR溶液は2X PrimeSTAR(登録商標)Max25μL、Template(ヒトDNA K562,452μg/mL)2μL、Primer-F(10μM)1μL、Primer-R(10μM)1μLの混合液に滅菌蒸留水を追加混合し、50μLとしたものから12μLを採取して使用した。加熱サイクルは初期熱変性102℃120秒の後、熱変性102℃10秒、アニーリング51℃20秒、伸長72℃10秒の3ステップを40サイクル行った後、72℃で300秒維持し、その後30℃30秒でマイクロ流体デバイス1を冷却した。マイクロ流体デバイス1を冷却後、入出力ポート11を大気開放し、支持カップ基板7の管路17から凹陥部15底部に向かって50kPaの圧力の空気圧を印加し、反応チャンバ21内のPCR産物を入出力ポート11に押し戻し、マイクロピペットで回収、下記の電気泳動試験のために保存した。PCR溶液の分注から回収までの時間は54分18秒であった。回収した液量は全体で10μLであった。送液流路13内部や入出力ポート11に残った液量が1〜2μLあると考えられるため、蒸発による液量は無視できるレベルと考えられる。なお、反応チャンバ21内の体積は約6μLであるため、回収した液体には加熱サイクルを経ていないPCR溶液も含まれているものと思われる。
(3)電気泳動試験
前記(2)で回収した液体の全量をSV1100(日立電子エンジニアリング株式会社製)で電気泳動し、装置付属のソフトウェアでPCR産物の鎖長と濃度を測定した。PCR増幅産物の鎖長はプライマーの設計と一致し、PCR産物の濃度も3.88ng/μLと、電気泳動で鎖長を確認するには十分な量であった。これにより、本発明のマイクロ流体デバイスでDNA検体を申し分なくPCR増幅できることが裏付けられた。
3 上部硬質基板
5 メンブレン層
6 台座基板
7、7’ 支持カップ基板
8 隙間
9 加熱冷却装置
10 温度センサ
11、11a、11b 入出力ポート
13 送液流路
15、15’ 凹陥部
16、16a、16b、16’ 非接着部
17 管路
18 メンブレン層用逃げ溝
19 液体
21 反応チャンバ
22 送液チューブ
23 開閉バルブ
24 アダプター
25 弁座
27 弁駆動用凹部
29 弁駆動用管路
31 連通空間
33 メンブレン層用逃げ溝
35 開閉バルブ用昇降ピン
39 温度制御回路
40 入力ポート
42 出力ポート
44 断熱用隙間
46 シリンダ
48 ピストン
100 従来技術のマイクロ流体デバイス
102 上部基板
104 マイクロチャネル
105 入力ポート
106 出力ポート
108 下部基板
Claims (27)
- 上部硬質基板と、メンブレン層と、台座基板と、開口部を有する凹陥部が形成された少なくとも1個の支持カップ基板とからなり、
前記上部硬質基板には流体を出し入れするための少なくとも1個の入出力ポートが該基板を貫通して配設されており、かつ、該基板の下面側には、前記入出力ポートに連通する1本の送液流路用の溝が配設されており、
前記メンブレン層は前記入出力ポートの底部及び送液流路用の溝の底部を遮蔽するように前記上部硬質基板の下面側に部分的に接着されており、
前記支持カップ基板は、前記凹陥部の開口部が前記メンブレン層の下面側に密着し、前記送液流路用の溝の端部が前記凹陥部の周縁を越えて半径方向内方に位置し、かつ、前記メンブレン層と前記上部硬質基板との非接着部が前記凹陥部の開口部に対応する位置に存在するように配置されており、
前記台座基板は前記メンブレン層の下面側に、前記支持カップ基板と分離されて配置されていることを特徴とするマイクロ流体デバイス。 - 前記上部硬質基板には流体を出し入れするための1個の第1の入出力ポートと、流体を出し入れするための1個以上の第2の入出力ポートとが該基板を貫通して配設されており、かつ、該基板の下面側には、前記第1の入出力ポートに連通する送液流路用の1本以上の上流溝と、前記上流溝と同じ本数の、前記各第2の入出力ポートに連通する下流溝が配設されており、前記支持カップ基板は前記上流溝の本数と同じ数の凹陥部を有することを特徴とする請求項1記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記支持カップ基板の凹陥部の周縁を越えて半径方向内方に位置する前記送液流路用の溝の端部のサイズが溝の他の部分のサイズよりも大きいことを特徴とする請求項1記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記支持カップ基板の凹陥部の開口部に対応する位置に存在する前記メンブレン層と前記上部硬質基板との非接着部の面積が前記凹陥部の開口部の面積以上であることを特徴とする請求項1記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記支持カップ基板の凹陥部内壁面は曲面状であり、前記凹陥部の底部には大気に連通する管路が更に配設されていることを特徴とする請求項1記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記支持カップ基板の凹陥部内壁面は曲面状であり、前記支持カップ基板は多孔質材料から形成されており、部材の多孔性により前記凹陥部は大気に連通していることを特徴とする請求項1記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記支持カップ基板は中空円筒状のシリンダと、該シリンダ内に挿入され、上端面が平面状のピストンとからなり、前記ピストンが前記シリンダ内を昇降することにより前記ピストンの上端面と前記シリンダの内壁面とにより凹陥部が画成されることを特徴とする請求項1記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記支持カップ基板には加熱冷却装置及び温度センサが更に配設されていることを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載のマイクロ流体デバイス。
- 該温度センサは温度制御回路を介して前記加熱冷却装置に接続されていることを特徴とする請求項8記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記支持カップ基板は前記メンブレン層から着脱可能に配置されている請求項1〜9の何れかに記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記送液流路の途中に開閉バルブが更に配設されていることを特徴とする請求項1記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記開閉バルブは、前記送液流路を中断するように設けられた弁座と、該弁座の位置に対応して前記台座基板の上面に設けられた弁駆動用凹部とからなり、前記弁駆動用凹部の位置に対応する前記上部硬質基板と前記メンブレン層との界面には非接着部が存在することを特徴とする請求項11記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記弁座の両側に位置する前記送液流路用の溝の端部のサイズが溝の他の部分のサイズよりも大きいことを特徴とする請求項11記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記台座基板の弁駆動用凹部の開口部に対応する位置に存在する前記メンブレン層と前記上部硬質基板との非接着部の面積が前記弁駆動用凹部の開口部の面積以上であることを特徴とする請求項11記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記弁駆動用凹部の底部には大気に連通する管路が更に配設されていることを特徴とする請求項11記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記管路の端部は加圧・吸引手段に接続されていることを特徴とする請求項15記載のマイクロ流体デバイス。
- 上部硬質基板と、メンブレン層と、表面上に所定の幅と深さと長さを有する1本以上の溝が配設された台座基板と、開口部を有する凹陥部と該凹陥部に連通する所定の幅と深さを有する1本以上の溝が上端面に形成された支持カップ基板とからなり、
前記上部硬質基板には流体を出し入れするための少なくとも1個の入出力ポートが該基板を貫通して配設されており、
前記メンブレン層は前記上部硬質基板の下面側に部分的に接着されており、前記メンブレン層と前記上部硬質基板との界面には、前記入出力ポートの一端に接続する送液流路形成用の1個以上の第1の非接着部と、該送液流路形成用の非接着部に連続する所定面積を有する第2の非接着部とが存在し、
前記支持カップ基板は、前記凹陥部の開口部が前記メンブレン層の下面側に密着し、前記メンブレン層と前記上部硬質基板との界面の第2の非接着部が前記凹陥部の開口部に対応する位置に存在し、かつ、支持カップ基板上端面の溝が前記送液流路形成用の第1の非接着部の長手方向位置と同じ位置になるように配置されており、
前記台座基板は、前記台座基板上面の溝の端部が前記入出力ポートの外方端に位置し、かつ、当該溝が前記送液流路形成用の第1の非接着部の長手方向位置と同じ位置になるように前記メンブレン層の下面側に、前記支持カップ基板と分離されて配置されていることを特徴とするマイクロ流体デバイス。 - 前記上部硬質基板には流体を出し入れするための1個の第1の入出力ポートと、流体を出し入れするための1個以上の第2の入出力ポートとが該基板を貫通して配設されており、かつ、前記メンブレン層と前記上部硬質基板との界面には、前記第1の入出力ポートの一端に接続する上流側送液流路形成用の1個以上の第1の非接着部と、前記上流側送液流路形成用の第1の非接着部と同じ個数の、前記各第2の入出力ポートの一端に接続する下流側送液流路形成用の第3の非接着部が更に存在し、前記支持カップ基板は前記上流側送液流路形成用の第1の非接着部の個数と同じ数の凹陥部を有し、かつ、支持カップ基板上端面には前記第1の非接着部及び第3の非接着部の個数と同じ数の溝が形成されていることを特徴とする請求項17記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記第2の非接着部の面積が前記凹陥部の開口部の面積以上であることを特徴とする請求項17記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記支持カップ基板の凹陥部内壁面は曲面状であり、前記凹陥部の底部には大気に連通する管路が更に配設されていることを特徴とする請求項17記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記支持カップ基板の凹陥部内壁面は曲面状であり、前記支持カップ基板は多孔質材料から形成されており、部材の多孔性により前記凹陥部は大気に連通していることを特徴とする請求項17記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記支持カップ基板は中空円筒状のシリンダと、該シリンダ内に挿入され、上端面が平面状のピストンとからなり、前記ピストンが前記シリンダ内を昇降することにより前記ピストンの上端面と前記シリンダの内壁面とにより凹陥部が画成されることを特徴とする請求項17記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記支持カップ基板には加熱冷却装置及び温度センサが更に配設されていることを特徴とする請求項17〜22の何れかに記載のマイクロ流体デバイス。
- 該温度センサは温度制御回路を介して前記加熱冷却装置に接続されていることを特徴とする請求項23記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記支持カップ基板は前記メンブレン層から着脱可能に配置されている請求項17〜24の何れかに記載のマイクロ流体デバイス。
- 前記送液流路形成用の非接着部に対応する位置の前記台座基板の箇所に前記台座基板を貫通する貫通孔が穿設されており、該貫通孔内に昇降可能なピンが挿入されており、該ピンは前記送液流路形成用非接着部が膨隆されたときに創出される送液流路を開閉するための開閉装置として機能することを特徴とする請求項17記載のマイクロ流体デバイス。
- PCR増幅用デバイスとして使用されることを特徴とする請求項1〜26の何れかに記載のマイクロ流体デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009181303A JP2011030522A (ja) | 2009-08-04 | 2009-08-04 | マイクロ流体デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009181303A JP2011030522A (ja) | 2009-08-04 | 2009-08-04 | マイクロ流体デバイス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011030522A true JP2011030522A (ja) | 2011-02-17 |
Family
ID=43760221
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009181303A Pending JP2011030522A (ja) | 2009-08-04 | 2009-08-04 | マイクロ流体デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011030522A (ja) |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012013677A (ja) * | 2010-05-31 | 2012-01-19 | Yokogawa Electric Corp | 化学処理用カートリッジシステム |
WO2013077576A1 (ko) * | 2011-11-21 | 2013-05-30 | (주)실리콘화일 | 마이크로 플루이딕 반도체 센서 |
WO2014017219A1 (ja) * | 2012-07-23 | 2014-01-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 生化学用カートリッジ及び生化学処理装置 |
JP2014510918A (ja) * | 2011-03-24 | 2014-05-01 | ベーリンガー インゲルハイム マイクロパーツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | キャビティ相互間にフルイディック結合部を作る器具及び方法 |
WO2014119497A1 (ja) * | 2013-01-31 | 2014-08-07 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 生化学用カートリッジ、生化学用カートリッジ及びカートリッジホルダのセット |
JP2014163713A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 生化学用カートリッジおよび生化学用送液システム |
JP2014180250A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 生化学カートリッジ用温調機構、温調ブロック及び生化学処理装置 |
JP2014226623A (ja) * | 2013-05-24 | 2014-12-08 | 株式会社島津製作所 | マイクロチップ反応装置 |
JP2015021825A (ja) * | 2013-07-18 | 2015-02-02 | 株式会社エンプラス | 流体取扱装置および流体取扱方法 |
JP2015062360A (ja) * | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 積水化学工業株式会社 | 試料の加熱方法、並びに、マイクロチップ |
JP2015522168A (ja) * | 2012-07-09 | 2015-08-03 | バイオカーティス エヌ ヴイ | 使い捨て可能な診断カートリッジ用ヒータ |
WO2015119290A1 (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-13 | 株式会社エンプラス | 液体取扱装置 |
JP2015529815A (ja) * | 2013-01-09 | 2015-10-08 | テカン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフトTECAN Trading AG | マイクロ流体システムのための使い捨てカートリッジ |
WO2017119382A1 (ja) * | 2016-01-05 | 2017-07-13 | 日本板硝子株式会社 | 反応処理装置、反応処理容器および反応処理方法 |
CN110191760A (zh) * | 2019-04-16 | 2019-08-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 微通道器件及其制造方法、微流控系统 |
CN110637233A (zh) * | 2017-06-26 | 2019-12-31 | 株式会社日立高新技术 | 样品处理装置 |
WO2020179053A1 (ja) * | 2019-03-07 | 2020-09-10 | 株式会社日立ハイテク | 温度制御装置用送液カートリッジ |
WO2021100519A1 (ja) * | 2019-11-19 | 2021-05-27 | 株式会社エンプラス | 流体取扱装置 |
WO2021100189A1 (ja) * | 2019-11-22 | 2021-05-27 | 株式会社日立ハイテク | Pcr容器、pcr容器支持装置、サーマルサイクラーおよび遺伝子検査装置 |
JP2021092423A (ja) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | 富士フイルム株式会社 | 検査用容器 |
WO2024053190A1 (ja) * | 2022-09-05 | 2024-03-14 | 富士フイルム株式会社 | 検査容器及び核酸検査方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3418727B2 (ja) * | 2000-04-27 | 2003-06-23 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | マイクロバルブ装置及びその製作方法 |
JP2004033919A (ja) * | 2002-07-03 | 2004-02-05 | Inst Of Physical & Chemical Res | マイクロ流体制御機構およびマイクロチップ |
JP2007278789A (ja) * | 2006-04-05 | 2007-10-25 | Aida Eng Ltd | マイクロ流体チップ |
JP2007309868A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Aida Eng Ltd | マイクロ流路チップ及びその製造方法 |
JP2008513022A (ja) * | 2004-09-15 | 2008-05-01 | マイクロチップ バイオテクノロジーズ, インコーポレイテッド | マイクロ流体デバイス |
JP2008148677A (ja) * | 2006-12-16 | 2008-07-03 | Fumito Arai | マイクロ磁気ツールの製造方法及びマイクロ磁気ツールデバイスの製造方法 |
WO2008087405A1 (en) * | 2007-01-16 | 2008-07-24 | Lab 901 Limited | Microfluidic device |
WO2009054493A1 (ja) * | 2007-10-26 | 2009-04-30 | Toppan Printing Co., Ltd. | 反応チップおよびその製造方法 |
JP2009139138A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Toppan Printing Co Ltd | 反応容器 |
JP2009524407A (ja) * | 2005-10-18 | 2009-07-02 | ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ ミシガン | マイクロ流体細胞培養デバイス |
-
2009
- 2009-08-04 JP JP2009181303A patent/JP2011030522A/ja active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3418727B2 (ja) * | 2000-04-27 | 2003-06-23 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | マイクロバルブ装置及びその製作方法 |
JP2004033919A (ja) * | 2002-07-03 | 2004-02-05 | Inst Of Physical & Chemical Res | マイクロ流体制御機構およびマイクロチップ |
JP2008513022A (ja) * | 2004-09-15 | 2008-05-01 | マイクロチップ バイオテクノロジーズ, インコーポレイテッド | マイクロ流体デバイス |
JP2009524407A (ja) * | 2005-10-18 | 2009-07-02 | ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ ミシガン | マイクロ流体細胞培養デバイス |
JP2007278789A (ja) * | 2006-04-05 | 2007-10-25 | Aida Eng Ltd | マイクロ流体チップ |
JP2007309868A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Aida Eng Ltd | マイクロ流路チップ及びその製造方法 |
JP2008148677A (ja) * | 2006-12-16 | 2008-07-03 | Fumito Arai | マイクロ磁気ツールの製造方法及びマイクロ磁気ツールデバイスの製造方法 |
WO2008087405A1 (en) * | 2007-01-16 | 2008-07-24 | Lab 901 Limited | Microfluidic device |
WO2009054493A1 (ja) * | 2007-10-26 | 2009-04-30 | Toppan Printing Co., Ltd. | 反応チップおよびその製造方法 |
JP2009139138A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Toppan Printing Co Ltd | 反応容器 |
Cited By (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012013677A (ja) * | 2010-05-31 | 2012-01-19 | Yokogawa Electric Corp | 化学処理用カートリッジシステム |
JP2014510918A (ja) * | 2011-03-24 | 2014-05-01 | ベーリンガー インゲルハイム マイクロパーツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | キャビティ相互間にフルイディック結合部を作る器具及び方法 |
WO2013077576A1 (ko) * | 2011-11-21 | 2013-05-30 | (주)실리콘화일 | 마이크로 플루이딕 반도체 센서 |
KR101287953B1 (ko) * | 2011-11-21 | 2013-07-18 | (주)실리콘화일 | 마이크로 플루이딕 반도체 센서 |
JP2015522168A (ja) * | 2012-07-09 | 2015-08-03 | バイオカーティス エヌ ヴイ | 使い捨て可能な診断カートリッジ用ヒータ |
DE112013003342B4 (de) | 2012-07-23 | 2024-04-18 | Hitachi High-Tech Corporation | Patrone zur biochemischen Verwendung und biochemische Verarbeitungsvorrichtung |
GB2519690A (en) * | 2012-07-23 | 2015-04-29 | Hitachi High Tech Corp | Cartridge for biochemical use and biochemical processing device |
GB2519690B (en) * | 2012-07-23 | 2019-09-11 | Hitachi High Tech Corp | Cartridge for biochemical use and biochemical processing device |
US9415391B2 (en) | 2012-07-23 | 2016-08-16 | Hitachi High-Technologies Corporation | Cartridge for biochemical use and biochemical processing device |
JP2014018180A (ja) * | 2012-07-23 | 2014-02-03 | Hitachi High-Technologies Corp | 生化学用カートリッジ及び生化学処理装置 |
CN104487562A (zh) * | 2012-07-23 | 2015-04-01 | 株式会社日立高新技术 | 生化用盒以及生化处理装置 |
WO2014017219A1 (ja) * | 2012-07-23 | 2014-01-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 生化学用カートリッジ及び生化学処理装置 |
JP2015529815A (ja) * | 2013-01-09 | 2015-10-08 | テカン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフトTECAN Trading AG | マイクロ流体システムのための使い捨てカートリッジ |
CN104969076A (zh) * | 2013-01-31 | 2015-10-07 | 株式会社日立高新技术 | 生物化学用滤芯、生物化学用滤芯和滤芯座的组 |
JPWO2014119497A1 (ja) * | 2013-01-31 | 2017-01-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 生化学用カートリッジ、生化学用カートリッジ及びカートリッジホルダのセット |
WO2014119497A1 (ja) * | 2013-01-31 | 2014-08-07 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 生化学用カートリッジ、生化学用カートリッジ及びカートリッジホルダのセット |
US10246675B2 (en) | 2013-01-31 | 2019-04-02 | Hitachi High-Technologies Corporation | Biochemical cartridge, and biochemical cartridge and cartridge holder set |
JP2014163713A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 生化学用カートリッジおよび生化学用送液システム |
JP2014180250A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 生化学カートリッジ用温調機構、温調ブロック及び生化学処理装置 |
JP2014226623A (ja) * | 2013-05-24 | 2014-12-08 | 株式会社島津製作所 | マイクロチップ反応装置 |
JP2015021825A (ja) * | 2013-07-18 | 2015-02-02 | 株式会社エンプラス | 流体取扱装置および流体取扱方法 |
JP2015062360A (ja) * | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 積水化学工業株式会社 | 試料の加熱方法、並びに、マイクロチップ |
WO2015119290A1 (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-13 | 株式会社エンプラス | 液体取扱装置 |
US10029255B2 (en) | 2014-02-10 | 2018-07-24 | Enplas Corporation | Liquid handling device |
US11351552B2 (en) | 2016-01-05 | 2022-06-07 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | Reaction processor, reaction processing vessel, and reaction processing method |
WO2017119382A1 (ja) * | 2016-01-05 | 2017-07-13 | 日本板硝子株式会社 | 反応処理装置、反応処理容器および反応処理方法 |
CN110637233A (zh) * | 2017-06-26 | 2019-12-31 | 株式会社日立高新技术 | 样品处理装置 |
WO2020179053A1 (ja) * | 2019-03-07 | 2020-09-10 | 株式会社日立ハイテク | 温度制御装置用送液カートリッジ |
CN110191760A (zh) * | 2019-04-16 | 2019-08-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 微通道器件及其制造方法、微流控系统 |
WO2021100519A1 (ja) * | 2019-11-19 | 2021-05-27 | 株式会社エンプラス | 流体取扱装置 |
WO2021100189A1 (ja) * | 2019-11-22 | 2021-05-27 | 株式会社日立ハイテク | Pcr容器、pcr容器支持装置、サーマルサイクラーおよび遺伝子検査装置 |
JP2021092423A (ja) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | 富士フイルム株式会社 | 検査用容器 |
JP7278933B2 (ja) | 2019-12-09 | 2023-05-22 | 富士フイルム株式会社 | 検査用容器 |
WO2024053190A1 (ja) * | 2022-09-05 | 2024-03-14 | 富士フイルム株式会社 | 検査容器及び核酸検査方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2011030522A (ja) | マイクロ流体デバイス | |
US7892493B2 (en) | Fluid sample transport device with reduced dead volume for processing, controlling and/or detecting a fluid sample | |
EP2122218B1 (en) | Micro fluidic device | |
JP4766046B2 (ja) | マイクロ総合分析システム、検査用チップ、及び検査方法 | |
US20090185955A1 (en) | Microfluidic device for molecular diagnostic applications | |
US9709179B2 (en) | Device for controlling fluid flows in lab-on-a-chip systems | |
CN107620804B (zh) | 流体控制装置 | |
EP1882950A1 (en) | Testing chip for analyzing target substance contained in analyte, and microscopic comprehensive analytical system | |
US11130129B2 (en) | Check valves for microfluidic systems and methods thereof | |
JP4372616B2 (ja) | マイクロバルブ、マイクロポンプ及びこれらを内蔵するマイクロチップ | |
CN107619785B (zh) | 流体整合模块 | |
US20100166609A1 (en) | Microchannel chip | |
EP2847465A1 (en) | Microfluidic pump | |
JP3918040B2 (ja) | マイクロチップ及びpdms基板と対面基板との貼り合わせ方法 | |
US20070004032A1 (en) | Chip device for a thermally cycled reaction | |
CN111944672A (zh) | 用于分子检测的芯片结构及检测方法 | |
JP2006029485A (ja) | マイクロバルブ及び該バルブを有するマイクロ流体デバイス | |
JP2007248218A (ja) | マイクロチップ | |
Xie et al. | Optimization of a microfluidic cartridge for Lab-on-a-chip (LOC) application and bio-testing for DNA/RNA extraction | |
CN115418312A (zh) | 一种pcr反应装置 | |
CN115449474A (zh) | 一种生化反应与驱动装置 | |
Tan et al. | A reliable method for bonding polydimethylsiloxane | |
JP2013101081A (ja) | マイクロチップ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20110330 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120412 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121204 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130402 |