JP3918040B2 - マイクロチップ及びpdms基板と対面基板との貼り合わせ方法 - Google Patents
マイクロチップ及びpdms基板と対面基板との貼り合わせ方法Info
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Description
(1)製造コストを下げる場合。
恒久接着するには、前処理として、PDMS基板に対して適切な表面改質処理を必ず施さなければならない。表面改質処理は、例えば、反応性イオンエッチング(RIE)装置による酸素プラズマ処理を行うことからなる。従って、このような処理を行うことによりマイクロチップの製造コストが増大する。よって、この処理を省略できれば、製造コストを大幅に軽減することができる。
(2)恒久接着などの接着が不可能か又は非常に困難な対面基板を使用する場合。
例えば、ポリメチルメタクリレート(PMMA)は透明性の高い普及品の樹脂であり、ポリカーボネート(PC)は耐熱性に優れ、DNAの増幅方法一つであるPCRなどで化学反応に高い温度が必要な場合に有効であり、また、シクロオレフィンポリマー(COP)は各種の試薬に対し高い耐薬品性を有する。しかし、これらの樹脂製対面基板とPDMS基板とは恒久接着を行うことができない。
また、ポリエチレン(PE)やポリスチレン(PS)は恒久接着が可能ではあるが、その接着方法は非常に困難である。例えば、これら合成樹脂製対面基板はガラスなどに比べると一般的に恒久接着のための表面改質処理に対する耐性が低く、しかも、恒久接着が良好に行われる処理強度が小さいうえに、許容範囲が極めて狭い。例えば、反応性イオンエッチング(RIE)装置による酸素プラズマ処理を例にとると、ガラスに対しては処理強度としてRF出力150W、照射時間15秒を超えると恒久接着が行われ難くなるが、ポリスチレン樹脂に対しては僅かに25W、10秒を超えると恒久接着が困難になることが実験的に確認された。また、微弱なRF出力で、極短時間のプラズマを安定的に発生させることは難しく、処理強度のバラツキが起こり易いために、合成樹脂製基板とPDMS基板とが再現性良く恒久接着し難い一因であるとも考えられる。
(3)マイクロチップ使用後に分別処理を行う場合。
マイクロチップ使用後に、プラスチックのPDMS基板と無機物であるシリコンやガラス基板とを分別して廃棄処分などをする場合、これらを相互に容易に剥離させることができることが好ましい。恒久接着していると相互に剥離させることが極めて困難であり、分別処理の障害となる。
(4)マイクロチップ使用後に基板を洗浄して再使用する場合。
剥離することにより基板内の微細構造部分の洗浄が行い易くなるばかりか、十分な洗浄効果が得られる。洗浄後の基板は他の基板と貼り合わせて再使用する。特に高価な基板を洗浄して再利用することによりコスト低減が図られる。例えば、ガラス基板に電極や電熱ヒータ、温度センサなどの配線パターンを形成したり、シリコン基板にMESM技術によりマイクロバルブやマイクロポンプなどを形成する場合、このらの製作は非常なコストが掛かり、1回限りの使用で廃棄するのは極めて不経済となるので、洗浄して再使用することが望ましい。ガラスやシリコンなどからなる対面基板はPDMS基板との恒久接着が比較的行い易いが、洗浄して再使用する場合には、恒久接着していないことが好ましい。
本発明の別の目的は、使用する基板の種類に拘わらず、PDMS基板とこれら基板とを貼り合わせる方法を提供することである。
マイクロチップ1の使用中は、チューブ13を閉じるか、真空ポンプを常に動作させておくか、シリンジを吸引の状態で固定するなどの手段により、負圧用管路7内を常に一定の負圧に保持する。以上により、負圧用管路7の周辺はPDMSの有する自己吸着性とゴム弾性により、PDMS基板3と対面基板5とが密着し、負圧用管路7は封止され、負圧用管路7の面積とその圧力の積に応じた吸着力が発生する。
マイクロチップ1の使用終了後は、負圧用管路7内を大気圧に戻すことにより、負圧用管路7による真空吸着力は解除され、PDMS基板3と対面基板5とを容易に引き剥がすことができる。
反応容器27及びバルブ29などの近傍に、主負圧用管路7から分岐延長されたそれぞれの負圧用管路39及び41を設けるのも同じ理由によるものである。
本発明によれば、PDMS基板と一対になって使用される対面基板の種類が極めて広範囲に拡大されるので、その実用性及び経済性が飛躍的に向上される。その結果、本発明のマイクロチップは、医学、獣医学、歯科学、薬学、生命科学、食品、農業、水産など様々な分野で好適に有効利用することができる。特に、本発明のマイクロチップは、蛍光抗体法、in situ Hibridization等に最適なマイクロチップとして、免疫疾患検査、細胞培養、ウィルス固定、病理検査、細胞診、生検組織診、血液検査、細菌検査、タンパク質分析、DNA分析、RNA分析などの広範な領域で安価に使用できる。
3 PDMS基板
5 対面基板
7 負圧用管路
9 吸引口
11 フィッティング
13 チューブ
15 密閉吸引口
17 注射器
19 針
21 拡大円形管路
23 微細流路
25 入出力ポート
27 反応容器
29 流体制御素子(ポンプ又はバルブ)
31 配線パターン(電極)
33 電源接続端子
37,39,41,43,51 分岐延長負圧用管路
45 チューブ
47 圧電素子
49 接続ポート
Claims (8)
- 少なくとも1枚のポリジメチルシロキサン(PDMS)基板と、該PDMS基板と貼り合わされる対面基板とからなるマイクロチップにおいて、
前記PDMS基板の貼り合わせ面側の外周縁寄り部分に、当該PDMS基板を前記対面基板に真空吸着させるための、連続した環状の負圧用管路が設けられており、
前記対面基板はガラス、シリコン、合成樹脂及び金属からなる群から選択される材料から形成されていることを特徴とするマイクロチップ。 - 前記負圧用管路の一部に大気に開放された吸引口が更に配設されていることを特徴とする請求項1に記載のマイクロチップ。
- 前記負圧用管路の一部に密閉吸引口が更に配設されていることを特徴とする請求項1に記載のマイクロチップ。
- 前記負圧用管路の一部に他の管路部分に比較してサイズが拡大された管路部分が少なくとも1ヶ所以上更に配設されていることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のマイクロチップ。
- PDMS基板及び/又は対面基板の各貼り合わせ面側に配設された構造要素の近傍に、前記負圧用管路から分岐延長された負圧用管路が更に配設されていることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のマイクロチップ。
- 前記構造要素は、微細流路、入出力ポート、反応容器、圧電素子、流体制御素子、配線パターン又は電極であることを特徴とする請求項5に記載のマイクロチップ。
- PDMS基板と対面基板との貼り合わせ方法において、
(a)前記PDMS基板の貼り合わせ面側の外周縁寄り部分に、連続した環状の負圧用管路を設けるステップと、
(b)前記PDMS基板を、ガラス、シリコン、合成樹脂及び金属からなる群から選択される材料から形成された対面基板に貼り合わせるステップと、
(c)前記PDMS基板の負圧用管路内の空気を排気吸引することによりPDMS基板を前記対面基板に真空吸着させるステップとからなることを特徴とするPDMS基板と対面基板との貼り合わせ方法。 - 前記真空吸着の負圧は−10KPa〜−90KPaの範囲内であることを特徴とする請求項7に記載の貼り合わせ方法。
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