JP2011017875A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011017875A5 JP2011017875A5 JP2009162259A JP2009162259A JP2011017875A5 JP 2011017875 A5 JP2011017875 A5 JP 2011017875A5 JP 2009162259 A JP2009162259 A JP 2009162259A JP 2009162259 A JP2009162259 A JP 2009162259A JP 2011017875 A5 JP2011017875 A5 JP 2011017875A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- objective lens
- light source
- mounting table
- optical axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 11
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 9
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims 7
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009162259A JP5415850B2 (ja) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | 観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009162259A JP5415850B2 (ja) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | 観察装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011017875A JP2011017875A (ja) | 2011-01-27 |
| JP2011017875A5 true JP2011017875A5 (enExample) | 2012-07-05 |
| JP5415850B2 JP5415850B2 (ja) | 2014-02-12 |
Family
ID=43595715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009162259A Expired - Fee Related JP5415850B2 (ja) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | 観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5415850B2 (enExample) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013161073A (ja) * | 2012-02-09 | 2013-08-19 | Topcon Corp | 波長選択光学素子及びこの波長選択光学素子を用いた顕微鏡及びこの波長選択光学素子を用いたデジタルカメラ |
| JP6095359B2 (ja) * | 2012-12-25 | 2017-03-15 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡 |
| CN105807413B (zh) * | 2016-05-18 | 2018-11-02 | 麦克奥迪实业集团有限公司 | 一种基于光调制技术的落射金相显微镜 |
| JP6897712B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2021-07-07 | カシオ計算機株式会社 | 照明装置、及び撮像装置 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3012681B2 (ja) * | 1990-10-24 | 2000-02-28 | オリンパス光学工業株式会社 | 倍率可変型光学装置 |
| JP2987218B2 (ja) * | 1991-02-05 | 1999-12-06 | オリンパス光学工業株式会社 | 倍率可変型光学装置 |
| JP2787678B2 (ja) * | 1992-04-24 | 1998-08-20 | 聡 河田 | 偏光顕微鏡 |
| JPH06229910A (ja) * | 1992-12-29 | 1994-08-19 | New Oji Paper Co Ltd | レターデーション測定方法 |
| JP3980722B2 (ja) * | 1997-04-03 | 2007-09-26 | 株式会社モリテックス | Ccdマイクロスコープ |
| JP3956942B2 (ja) * | 1998-09-18 | 2007-08-08 | 株式会社日立製作所 | 欠陥検査方法及びその装置 |
| JP2001154103A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Mitsutoyo Corp | 光学器械の照明装置 |
| JP2002267932A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-18 | Olympus Optical Co Ltd | 微分干渉顕微鏡 |
| JP2007163553A (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 顕微鏡、顕微鏡のための対物レンズユニット及び対物レンズ用アダプタ |
| JP4667313B2 (ja) * | 2006-07-10 | 2011-04-13 | 株式会社モリテックス | 偏光照明付観察装置 |
| KR101376632B1 (ko) * | 2006-11-22 | 2014-03-19 | 가부시키가이샤 니콘 | 화상 측정기 |
| JP2008233608A (ja) * | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Olympus Corp | 顕微鏡装置 |
-
2009
- 2009-07-08 JP JP2009162259A patent/JP5415850B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI456255B (zh) | 反向聚焦顯微成像結構及方法 | |
| JP2013518261A5 (ja) | ホログラフィックマスク検査システム、ホログラフィックマスク検査方法、及びリソグラフィシステム | |
| JP2013506152A5 (enExample) | ||
| RU2013105474A (ru) | Устройство формирования оптических томографических изображений и способ формирования изображений для указанного устройства | |
| JP2015184203A5 (enExample) | ||
| JP2012502316A5 (enExample) | ||
| JP2010169496A5 (enExample) | ||
| JP2014026195A5 (enExample) | ||
| JP2009163069A5 (enExample) | ||
| JP2015161527A5 (enExample) | ||
| JP2011017875A5 (enExample) | ||
| KR101393514B1 (ko) | 고감도 실시간 공초점 형광 현미경 | |
| CN103837513A (zh) | 一种基于差分的光片照明显微方法和装置 | |
| JP2006112974A5 (enExample) | ||
| JP2009109788A5 (enExample) | ||
| JP2006105780A5 (enExample) | ||
| JP5415850B2 (ja) | 観察装置 | |
| JP2014062817A (ja) | パターン検出装置、パターン検出方法 | |
| JP2009198205A (ja) | 干渉計 | |
| JP2005309415A5 (enExample) | ||
| JP2013213802A5 (enExample) | ||
| WO2009048003A1 (ja) | 表面検査装置 | |
| JP2009116054A5 (enExample) | ||
| TWI279580B (en) | Co-focal microscopic imaging system with adjustable light source pattern | |
| JP2010164834A (ja) | 顕微鏡装置、蛍光キューブ |