JP2011017875A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2011017875A5
JP2011017875A5 JP2009162259A JP2009162259A JP2011017875A5 JP 2011017875 A5 JP2011017875 A5 JP 2011017875A5 JP 2009162259 A JP2009162259 A JP 2009162259A JP 2009162259 A JP2009162259 A JP 2009162259A JP 2011017875 A5 JP2011017875 A5 JP 2011017875A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
objective lens
light source
mounting table
optical axis
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009162259A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5415850B2 (ja
JP2011017875A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2009162259A priority Critical patent/JP5415850B2/ja
Priority claimed from JP2009162259A external-priority patent/JP5415850B2/ja
Publication of JP2011017875A publication Critical patent/JP2011017875A/ja
Publication of JP2011017875A5 publication Critical patent/JP2011017875A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5415850B2 publication Critical patent/JP5415850B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2009162259A 2009-07-08 2009-07-08 観察装置 Expired - Fee Related JP5415850B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009162259A JP5415850B2 (ja) 2009-07-08 2009-07-08 観察装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009162259A JP5415850B2 (ja) 2009-07-08 2009-07-08 観察装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2011017875A JP2011017875A (ja) 2011-01-27
JP2011017875A5 true JP2011017875A5 (enExample) 2012-07-05
JP5415850B2 JP5415850B2 (ja) 2014-02-12

Family

ID=43595715

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009162259A Expired - Fee Related JP5415850B2 (ja) 2009-07-08 2009-07-08 観察装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5415850B2 (enExample)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013161073A (ja) * 2012-02-09 2013-08-19 Topcon Corp 波長選択光学素子及びこの波長選択光学素子を用いた顕微鏡及びこの波長選択光学素子を用いたデジタルカメラ
JP6095359B2 (ja) * 2012-12-25 2017-03-15 オリンパス株式会社 顕微鏡
CN105807413B (zh) * 2016-05-18 2018-11-02 麦克奥迪实业集团有限公司 一种基于光调制技术的落射金相显微镜
JP6897712B2 (ja) * 2019-03-29 2021-07-07 カシオ計算機株式会社 照明装置、及び撮像装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3012681B2 (ja) * 1990-10-24 2000-02-28 オリンパス光学工業株式会社 倍率可変型光学装置
JP2987218B2 (ja) * 1991-02-05 1999-12-06 オリンパス光学工業株式会社 倍率可変型光学装置
JP2787678B2 (ja) * 1992-04-24 1998-08-20 聡 河田 偏光顕微鏡
JPH06229910A (ja) * 1992-12-29 1994-08-19 New Oji Paper Co Ltd レターデーション測定方法
JP3980722B2 (ja) * 1997-04-03 2007-09-26 株式会社モリテックス Ccdマイクロスコープ
JP3956942B2 (ja) * 1998-09-18 2007-08-08 株式会社日立製作所 欠陥検査方法及びその装置
JP2001154103A (ja) * 1999-11-30 2001-06-08 Mitsutoyo Corp 光学器械の照明装置
JP2002267932A (ja) * 2001-03-12 2002-09-18 Olympus Optical Co Ltd 微分干渉顕微鏡
JP2007163553A (ja) * 2005-12-09 2007-06-28 Tokyo Seimitsu Co Ltd 顕微鏡、顕微鏡のための対物レンズユニット及び対物レンズ用アダプタ
JP4667313B2 (ja) * 2006-07-10 2011-04-13 株式会社モリテックス 偏光照明付観察装置
KR101376632B1 (ko) * 2006-11-22 2014-03-19 가부시키가이샤 니콘 화상 측정기
JP2008233608A (ja) * 2007-03-22 2008-10-02 Olympus Corp 顕微鏡装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI456255B (zh) 反向聚焦顯微成像結構及方法
JP2013518261A5 (ja) ホログラフィックマスク検査システム、ホログラフィックマスク検査方法、及びリソグラフィシステム
JP2013506152A5 (enExample)
RU2013105474A (ru) Устройство формирования оптических томографических изображений и способ формирования изображений для указанного устройства
JP2015184203A5 (enExample)
JP2012502316A5 (enExample)
JP2010169496A5 (enExample)
JP2014026195A5 (enExample)
JP2009163069A5 (enExample)
JP2015161527A5 (enExample)
JP2011017875A5 (enExample)
KR101393514B1 (ko) 고감도 실시간 공초점 형광 현미경
CN103837513A (zh) 一种基于差分的光片照明显微方法和装置
JP2006112974A5 (enExample)
JP2009109788A5 (enExample)
JP2006105780A5 (enExample)
JP5415850B2 (ja) 観察装置
JP2014062817A (ja) パターン検出装置、パターン検出方法
JP2009198205A (ja) 干渉計
JP2005309415A5 (enExample)
JP2013213802A5 (enExample)
WO2009048003A1 (ja) 表面検査装置
JP2009116054A5 (enExample)
TWI279580B (en) Co-focal microscopic imaging system with adjustable light source pattern
JP2010164834A (ja) 顕微鏡装置、蛍光キューブ