JP2011017694A - X線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線検査装置100においては、X線照射装置200およびラインセンサ300により商品600の状態を検出し、制御部350により当該レベル1,〜,レベル5の検出レベルに基づいて商品600の状態を判断し、出力部355により当該判断結果を出力する。また、制御部350の判断基準となる第1閾値771a,771bをレベル1の検出レベルにおいて設けた。
【選択図】図8
Description
本発明の目的は、判断基準を複数有し、生産ラインに問題のない異物か否かを複数の判断基準に基づいて異物判断を行うことができるX線検査装置を提供することである。
本発明に係るX線検査装置は、搬送される物品の状態をX線で検査するX線検査装置であって、X線で物品の状態を検出するX線検出手段と、X線検出手段による検出レベルに基づき物品の状態を判断する判断手段と、判断手段による判断結果を出力する出力手段と、を含み、判断手段の判断基準となる閾値を同一の判断手段に対して複数設けるものである。
判断手段は、物品の不良を判断する不良判断手段であり、判断手段を複数備えてもよい。
複数の閾値の一方は、他方の閾値に対して割合で決定されてもよい。
複数の閾値の一方は、他方の閾値とは独立して決定されてもよい。
判断手段は、判断手段は、第一閾値と第二閾値を用いて物品の状態の判断結果を異ならせてもよい。
(一実施の形態)
図1は、本発明に係るX線検査装置100の一例を示す模式的外観図であり、図2は、本発明に係るX線検査装置100の内部構造の一例を示す模式図である。
図7に示すように、各種閾値表示部770は、“レベル1”の閾値を示すレベルバー771、“レベル2”の閾値を示すレベルバー772、“レベル3”の閾値を示すレベルバー773、“レベル4”の閾値を示すレベルバー774、“レベル5”の閾値を示すレベルバー775、感度値を入力する感度値ボックス776、マージン値を入力するマージンボックス777、設定を絶対値基準にする絶対値ボタン778、設定を倍数基準にする倍数ボタン779、設定を他の基準にするその他ボタン780、設定の完了を確定する設定完了ボタン781および感度値ボックス776およびマージンボックス777に値を入力する数字入力ボタン782を備える。
ここで、具体的に、第1閾値771aは商品600に混入された異物610を検出するための値であり、第2閾値771bは生産ラインにおける部品等が商品600に混入または生産ラインにおける部品のみが別途ベルトコンベア801上で検出された場合の値である。
図12は、図7の他の設定例の概要を説明するための説明図である。
また、感度値ボックス776およびマージンボックス777に値を入力する数字入力ボタン782の代わりに、アップダウンボタンを設けて第1閾値771a,第2閾値771b,第3閾値771cを微調整できるようにしてもよい。
本実施の形態においては、X線S1がX線に相当し、商品600が搬送される物品に相当し、X線検査装置100がX線検査装置に相当し、ラインセンサ300がX線検出手段に相当し、レベル1,〜,レベル5が検出レベルに相当し、制御部350が判断手段に相当し、出力部355が出力手段に相当し、第1閾値771a,第2閾値771bが判断手段の判断基準となる閾値に相当し、レベル1に対する制御部350が、同一の判断手段に相当し、レベル2,〜,5の個々に対する制御部350が、同一の判断手段に相当し、制御部350が不良判断手段に相当し、制御部350により生産ラインを停止させる場合と、振り分け装置370に指示を与える場合とが、異なる判断結果に相当する。
300 ラインセンサ
350 制御部
370 振り分け装置
700 タッチパネル
771a 第1閾値
771b 第2閾値
800 ベルトコンベア
Claims (5)
- 搬送される物品の状態をX線で検査するX線検査装置であって、
前記X線で物品の状態を検出するX線検出手段と、
前記X線検出手段による検出レベルに基づき前記物品の状態を判断する判断手段と、
前記判断手段による判断結果を出力する出力手段と、を含み、
前記判断手段の判断基準となる閾値を同一の前記判断手段に対して複数設けたことを特徴とするX線検査装置。 - 前記判断手段は、前記物品の不良を判断する不良判断手段を有し、前記判断手段を複数備えたことを特徴とする請求項1記載のX線検査装置。
- 前記複数の閾値の一方は、他方の閾値に対して割合で決定されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線検査装置。
- 前記複数の閾値の一方は、他方の閾値とは独立して決定されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線検査装置。
- 前記判断手段は、第一閾値と第二閾値を用いて前記物品の状態の判断結果を異ならせることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のX線検査装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016536616A (ja) * | 2014-09-02 | 2016-11-24 | ヌクテック カンパニー リミテッド | X線製品品質オンライン検出装置 |
JP2016536617A (ja) * | 2014-09-02 | 2016-11-24 | ヌクテック カンパニー リミテッド | X線製品品質自動検出装置 |
JPWO2017017745A1 (ja) * | 2015-07-27 | 2018-03-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥判定方法、及びx線検査装置 |
JPWO2017130477A1 (ja) * | 2016-01-29 | 2018-11-22 | 富士フイルム株式会社 | 欠陥検査装置、方法およびプログラム |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5156546B2 (ja) * | 2008-08-28 | 2013-03-06 | 株式会社イシダ | X線検査装置 |
JP6225002B2 (ja) * | 2013-11-27 | 2017-11-01 | 株式会社イシダ | 検査装置 |
WO2016152485A1 (ja) * | 2015-03-20 | 2016-09-29 | 株式会社イシダ | 検査装置 |
JP6333871B2 (ja) * | 2016-02-25 | 2018-05-30 | ファナック株式会社 | 入力画像から検出した対象物を表示する画像処理装置 |
PL234550B1 (pl) | 2016-06-03 | 2020-03-31 | Int Tobacco Machinery Poland Spolka Z Ograniczona Odpowiedzialnoscia | Urządzenie do identyfikacji parametrów fizycznych artykułów prętopodobnych przemysłu tytoniowego |
JP6861990B2 (ja) * | 2017-03-14 | 2021-04-21 | 株式会社イシダ | X線検査装置 |
JP6717784B2 (ja) * | 2017-06-30 | 2020-07-08 | アンリツインフィビス株式会社 | 物品検査装置およびその校正方法 |
US11175245B1 (en) * | 2020-06-15 | 2021-11-16 | American Science And Engineering, Inc. | Scatter X-ray imaging with adaptive scanning beam intensity |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02126143A (ja) * | 1988-11-04 | 1990-05-15 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 透過写真の等級判定方法及びその装置 |
JPH11330181A (ja) * | 1998-05-15 | 1999-11-30 | Nec Corp | 配線不良検出回路、配線不良検出用半導体ウェハ及びこれらを用いた配線不良検出方法 |
JP2002098653A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-05 | Ishida Co Ltd | X線検査装置 |
JP2002365368A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-18 | Anritsu Corp | X線検出器及び該検出器を用いたx線異物検出装置 |
JP2006308315A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X線異物検出装置 |
WO2009041393A1 (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-02 | Ishida Co., Ltd. | 検査装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3958078A (en) * | 1974-08-30 | 1976-05-18 | Ithaco, Inc. | X-ray inspection method and apparatus |
US4926452A (en) | 1987-10-30 | 1990-05-15 | Four Pi Systems Corporation | Automated laminography system for inspection of electronics |
US5615244A (en) * | 1995-05-25 | 1997-03-25 | Morton International, Inc. | Real time radiographic inspection system |
AU3401099A (en) | 1998-04-17 | 1999-11-08 | Cae Electronics Ltd. | Method and apparatus for identification of probable defects in a workpiece |
JP4211092B2 (ja) * | 1998-08-27 | 2009-01-21 | 株式会社Ihi | 放射線透過検査における溶接欠陥自動検出法 |
JP2000321220A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-24 | Shimadzu Corp | X線異物検出方法 |
JP3618701B2 (ja) | 2001-08-29 | 2005-02-09 | アンリツ産機システム株式会社 | X線異物検出装置 |
US7366282B2 (en) * | 2003-09-15 | 2008-04-29 | Rapiscan Security Products, Inc. | Methods and systems for rapid detection of concealed objects using fluorescence |
JP2006267067A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Nippon Petroleum Refining Co Ltd | 異物検出装置及び検出方法、並びに異物除去装置及び除去方法 |
JP5131730B2 (ja) * | 2007-03-12 | 2013-01-30 | 株式会社イシダ | X線検査装置および生産システム |
JP2009137207A (ja) | 2007-12-07 | 2009-06-25 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | タイヤの加硫装置、及びそれを用いた空気入りタイヤの製造方法 |
-
2010
- 2010-06-01 US US12/791,478 patent/US8369481B2/en active Active
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02126143A (ja) * | 1988-11-04 | 1990-05-15 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 透過写真の等級判定方法及びその装置 |
JPH11330181A (ja) * | 1998-05-15 | 1999-11-30 | Nec Corp | 配線不良検出回路、配線不良検出用半導体ウェハ及びこれらを用いた配線不良検出方法 |
JP2002098653A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-05 | Ishida Co Ltd | X線検査装置 |
JP2002365368A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-18 | Anritsu Corp | X線検出器及び該検出器を用いたx線異物検出装置 |
JP2006308315A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X線異物検出装置 |
WO2009041393A1 (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-02 | Ishida Co., Ltd. | 検査装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016536616A (ja) * | 2014-09-02 | 2016-11-24 | ヌクテック カンパニー リミテッド | X線製品品質オンライン検出装置 |
JP2016536617A (ja) * | 2014-09-02 | 2016-11-24 | ヌクテック カンパニー リミテッド | X線製品品質自動検出装置 |
US10078056B2 (en) | 2014-09-02 | 2018-09-18 | Nuctech Company Limited | X-ray product quality online inspection device |
US10969346B2 (en) | 2014-09-02 | 2021-04-06 | Nuctech Company Limited | X-ray product quality automatic inspection device |
JPWO2017017745A1 (ja) * | 2015-07-27 | 2018-03-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥判定方法、及びx線検査装置 |
JPWO2017130477A1 (ja) * | 2016-01-29 | 2018-11-22 | 富士フイルム株式会社 | 欠陥検査装置、方法およびプログラム |
US10571404B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-02-25 | Fujifilm Corporation | Defect inspection apparatus, method, and program |
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