JPWO2017130477A1 - 欠陥検査装置、方法およびプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る欠陥検査装置を示すブロック図である。
次に、被検査体OBJの画像を撮影するための撮影システム100について説明する。図4は、撮影システムの例を示すブロック図である。
次に、本実施形態に係る被検査体の画像の表示制御の例について説明する。
図9は、本発明の一実施形態に係る欠陥検査方法における表示制御を示すフローチャートである。
12 制御部
14 操作部
16 入出力インターフェース(I/F)
18 表示部
20 バッファメモリ
22 画像処理部
24 記録部
220 欠陥候補検出部
222 測定部
S10〜S22 表示制御の各工程
て行われる。非破壊検査においては、検査対象の配管等に光線または放射線を照射することにより得られた配管等の画像を読影者が読影することにより欠陥をチェックする。検査により検出される欠陥の種類は、シミ、ヒビ、ゴミ、欠け等多彩な形状、サイズがあり、また、欠陥の数もかなりの数になるため、これを漏れなくチェックすることはかなりの時間がかかる。よって、画像の読影および欠陥のチェックの精度および効率の向上が求められる。
[0006]
しかしながら、特許文献1には、欠陥検出画像からの欠陥の検出の精度改善および容易化については開示されておらず、欠陥の検出精度が、読影者の経験や能力に左右される可能性があるという問題があった。また、特許文献2には、原子力プラントの目視検査のためのGUIが開示されているが、このGUIは、画質の改善を目的としたものであって、欠陥の検出の精度改善および容易化のためのものではなかった。
[0007]
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、検査対象の工業製品(以下、被検査体という。)の画像を用いて欠陥の有無の検査を行う場合に、読影者が、欠陥を精度よく、効率的に検出できるようにする欠陥検査装置、方法およびプログラムを提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
[0008]
上記課題を解決するために、本発明の第1の態様に係る欠陥検査装置は、被検査体に照射する放射線の照射開始時間、照射継続時間、照射角度、および照射強度のうちの少なくとも1つの指示を入力する指示入力手段と、指示入力手段の指示にしたがって放射線を照射することにより得られた被検査体を透過した透過光に基づいて作成された受光画像を取得する画像取得手段と、受光画像から被検査体における欠陥候補の位置および特徴を算出する画像処理手段と、受光画像を表示し、かつ、受光画像上に画像処理手段による欠陥候補の算出結果を表示する表示手段と、表示手段に表示すべき欠陥候補の特徴の範囲を変更する操作を受け付け、操作にしたがって、画像処理手段によって算出された欠陥候補のうち、特徴の範囲に属するもののみを、表示手段に表示された受光画像上に表示させる操作手段とを備える。
[0009]
第1の態様によれば、操作手段により、表示手段に表示すべき欠陥候補の特徴の範囲の指定を変更可能にすることができるので、欠陥の検出精度およ
効率的に行うことができる。
[0018]
本発明の第6の態様に係る欠陥検査装置は、第1から第5の態様のいずれかにおいて、操作手段が、欠陥候補の特徴として、被検査体の肉厚および欠陥候補のサイズのうち少なくとも一方を連続的または段階的に変更するための操作を受け付けるようにしたものである。
[0019]
本発明の第7の態様に係る欠陥検査方法は、被検査体に照射する放射線の照射開始時間、照射継続時間、照射角度、および照射強度のうちの少なくとも1つの指示を入力する指示入力工程と、入力した指示にしたがって放射線を照射することにより得られた被検査体を透過した透過光に基づいて作成された受光画像を取得する画像取得工程と、受光画像から被検査体における欠陥候補の位置および特徴を算出する画像処理工程と、受光画像を表示し、かつ、受光画像上に画像処理工程における欠陥候補の算出結果を欠陥検査装置の表示手段に表示する表示工程と、表示手段に表示すべき欠陥候補の特徴の範囲を変更する操作を、欠陥検査装置の操作手段により受け付け、操作にしたがって、画像処理工程において算出された欠陥候補のうち、特徴の範囲に属するもののみを、表示手段に表示された受光画像上に表示させる表示制御工程とを備える。
[0020]
本発明の第8の態様に係る欠陥検査プログラムは、被検査体に照射する放射線の照射開始時間、照射継続時間、照射角度、および照射強度のうちの少なくとも1つの指示を入力する指示入力機能と、入力した指示にしたがって放射線を照射することにより得られた被検査体を透過した透過光に基づいて作成された受光画像を取得する画像取得機能と、受光画像から被検査体における欠陥候補の位置および特徴を算出する画像処理機能と、受光画像を表示し、かつ、受光画像上に画像処理機能による欠陥候補の算出結果を欠陥検査装置の表示手段に表示する表示機能と、表示手段に表示すべき欠陥候補の特徴の範囲を変更する操作を、欠陥検査装置の操作手段により受け付け、操作にしたがって、画像処理機能よって算出された欠陥候補のうち、特徴の範囲に属するもののみを、表示手段に表示された受光画像上に表示させる表示制御機能とをコンピュータに実現させる。
発明の効果
[0021]
本発明によれば、表示手段に表示すべき欠陥候補の特徴の範囲の指定を変更可能にすることにより、欠陥の検出精度および検出効率を改善することが
Claims (8)
- 被検査体に光線または放射線を照射することにより得られた前記被検査体からの反射光または透過光に基づいて作成された受光画像を取得する画像取得手段と、
前記受光画像から前記被検査体における欠陥候補の位置および特徴を算出する画像処理手段と、
前記受光画像を表示し、かつ、前記受光画像上に前記画像処理手段による前記欠陥候補の算出結果を表示する表示手段と、
前記表示手段に表示すべき欠陥候補の特徴の範囲を変更する操作を受け付け、前記操作にしたがって、前記画像処理手段によって算出された前記欠陥候補のうち、前記特徴の範囲に属するもののみを、前記表示手段に表示された前記受光画像上に表示させる操作手段と、
を備える欠陥検査装置。 - 前記表示手段は、前記画像処理手段による前記欠陥候補の位置および特徴の算出結果を識別するためのマークを前記受光画像上に表示する、請求項1記載の欠陥検査装置。
- 前記被検査体ごとに予め指定された検査領域の指定を受け付ける受け付け手段を更に備え、
前記表示手段は、前記指定された検査領域の指定の内容を識別するためのマークを前記受光画像上に表示する、請求項1または2記載の欠陥検査装置。 - 前記操作手段は、前記欠陥候補の特徴ごとに前記特徴の指定の結果を表示するためのスライダーバーを前記表示手段に表示させ、前記スライダーバー上におけるスライダーの移動の操作を受け付けることにより、前記特徴の範囲の指定を連続的または段階的に変更する、請求項1から3のいずれか1項記載の欠陥検査装置。
- 前記表示手段は、前記欠陥候補の特徴ごとの検出度数を示す度数分布を前記スライダーバーに対応させて表示する、請求項4記載の欠陥検査装置。
- 前記操作手段は、前記欠陥候補の特徴として、前記被検査体の肉厚および前記欠陥候補のサイズのうち少なくとも一方を連続的または段階的に変更するための操作を受け付ける、請求項1から5のいずれか1項記載の欠陥検査装置。
- 被検査体に光線または放射線を照射することにより得られた前記被検査体からの反射光または透過光に基づいて作成された受光画像を取得する画像取得工程と、
前記受光画像から前記被検査体における欠陥候補の位置および特徴を算出する画像処理工程と、
前記受光画像を表示し、かつ、前記受光画像上に前記画像処理工程における前記欠陥候補の算出結果を欠陥検査装置の表示手段に表示する表示工程と、
前記表示手段に表示すべき欠陥候補の特徴の範囲を変更する操作を、前記欠陥検査装置の操作手段により受け付け、前記操作にしたがって、前記画像処理工程において算出された前記欠陥候補のうち、前記特徴の範囲に属するもののみを、前記表示手段に表示された前記受光画像上に表示させる表示制御工程と、
を備える欠陥検査方法。 - 被検査体に光線または放射線を照射することにより得られた前記被検査体からの反射光または透過光に基づいて作成された受光画像を取得する画像取得機能と、
前記受光画像から前記被検査体における欠陥候補の位置および特徴を算出する画像処理機能と、
前記受光画像を表示し、かつ、前記受光画像上に前記画像処理機能による前記欠陥候補の算出結果を欠陥検査装置の表示手段に表示する表示機能と、
前記表示手段に表示すべき欠陥候補の特徴の範囲を変更する操作を、前記欠陥検査装置の操作手段により受け付け、前記操作にしたがって、前記画像処理機能によって算出された前記欠陥候補のうち、前記特徴の範囲に属するもののみを、前記表示手段に表示された前記受光画像上に表示させる表示制御機能と、
をコンピュータに実現させる欠陥検査プログラム。
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