JPWO2020003917A1 - 欠陥表示装置及び方法 - Google Patents

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Abstract

鋳造品等の工業製品(被検体)の放射線透過画像において、工業製品の重症度の判定を支援するための表示を、放射線透過画像の読影を妨げることなく行うことが可能な欠陥表示装置及び方法を提供する。欠陥表示装置は、被検体に放射線を透過させて撮像した放射線透過画像を取得する画像取得部と、放射線透過画像から検出された被検体の欠陥を示す欠陥情報を取得する欠陥情報取得部と、放射線透過画像を画面に表示させる表示部と、ユーザからの指示入力を受け付ける入力部と、欠陥情報に基づいて、被検体の欠陥のうち複数の欠陥の分布に対応する輪郭線を生成して画面に表示させ、入力部により受け付けた輪郭線の生成条件に応じて輪郭線の表示を変化させる表示制御部とを備える。

Description

本発明は欠陥表示装置及び方法に係り、特に鋳造品等の工業製品の欠陥の検査を支援するための欠陥表示装置及び方法に関する。
鋳造品等の工業製品の欠陥を検査する方法としては、その工業製品に対する光線又は放射線の照射を伴う非破壊検査がある。非破壊検査においては、検査対象の工業製品に光線又は放射線を照射することにより得られた工業製品の画像に対して、読影者が読影を行うことにより欠陥の検査を行う。
特許文献1には、X線CT(Computed Tomography)スキャナを用いて鋳造品のCT断層画像を撮影し、CT断層画像群から、鋳造品の表面をポリゴン(多角形面要素)で表したポリゴンサーフェイスモデルを作成する検査支援装置が開示されている。特許文献1に記載の検査支援装置では、外表面のポリゴンが半透明に設定され、内部欠陥に対応するポリゴンが、外表面のポリゴンの色に対して区別しやすい色に設定される。特許文献1に記載の検査支援装置によれば、鋳造品内部にある鋳巣等の欠陥が半透明の鋳造品形状表示を透かして明確に視認できるように表示される。
特開2004−034414号公報
特許文献1に記載の検査支援装置のように、検査対象の工業製品の放射線透過画像(X線透過画像)において、内部欠陥と判定されたポリゴンに色を付けて表示すると、内部欠陥の単位面積当たりの数が多く、内部欠陥の密度が高い場合に、内部欠陥及びその周囲の部分が見づらくなる。このため、内部欠陥と判定されたポリゴンに色を付すだけでは、画像の読影に支障が生じるという問題があった。
また、工業製品は種類によって形状が異なっており、工業製品の部位又は欠陥の種類によって許容される欠陥の密度は異なっている。このため、工業製品の画像において欠陥の密度が高い領域があっても、直ちにその工業製品が使用に堪えないと判定されて不合格となるわけではない。
特許文献1では、内部欠陥に対応し、色が付けられたポリゴンを含む画像に基づいて、読影者が検査対象の工業製品の重症度の判定を行うようになっており、検査対象の工業製品の重症度の判断は個別の読影者に委ねられていた。このため、読影者による重症度の判断がばらつく可能性があった。例えば、画像から検出された欠陥の密度が高い部分があると、読影者は直ちにその工業製品を重症と判断する可能性があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、鋳造品等の工業製品の放射線透過画像において、工業製品(被検体)の重症度の判定を支援するための表示を、放射線透過画像の読影を妨げることなく行うことが可能な欠陥表示装置及び方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の第1の態様に係る欠陥表示装置は、被検体に放射線を透過させて撮像した放射線透過画像を取得する画像取得部と、放射線透過画像から検出された被検体の欠陥を示す欠陥情報を取得する欠陥情報取得部と、放射線透過画像を画面に表示させる表示部と、ユーザからの指示入力を受け付ける入力部と、欠陥情報に基づいて、被検体の欠陥のうち複数の欠陥の分布に対応する輪郭線を生成して画面に表示させ、入力部により受け付けた輪郭線の生成条件に応じて輪郭線の表示を変化させる表示制御部とを備える。
第1の態様によれば、欠陥及びその周囲の部分の視認性を低下させることなく、欠陥の分布に応じた輪郭線を表示することが可能になる。さらに、第1の態様によれば、輪郭線の生成条件を変更することにより、輪郭線の表示態様を変化させることができるので、欠陥の発生状況又は被検体の重症度の判断に有益な情報を得ることが可能になる。
本発明の第2の態様に係る欠陥表示装置は、第1の態様において、入力部が、輪郭線の生成条件として、複数の欠陥の間隔を示す数値の入力を受け付け、表示制御部は、複数の欠陥のうち、間隔が数値より小さい欠陥の分布の形状に対応する輪郭線を画面に表示させるようにしたものである。
第2の態様によれば、欠陥の間隔を示す数値の入力に応じて、輪郭線の表示を変化させることにより、欠陥の発生状況又は被検体の重症度の判断に有益な情報を得ることが可能になる。
本発明の第3の態様に係る欠陥表示装置は、第1の態様において、入力部が、輪郭線の生成条件として、複数の欠陥の間隔を示す複数の数値の入力を受け付け、表示制御部は、複数の欠陥のうち、間隔が複数の数値より小さい欠陥の分布の形状にそれぞれ対応する複数の輪郭線を画面に表示させるようにしたものである。
第3の態様によれば、欠陥の間隔を示す数値の入力に応じて、複数の輪郭線の表示を変化させることにより、欠陥の発生状況又は被検体の重症度の判断に有益な情報を得ることが可能になる。
本発明の第4の態様に係る欠陥表示装置は、第3の態様において、表示制御部が、複数の輪郭線を画面に識別可能に表示させるようにしたものである。
本発明の第5の態様に係る欠陥表示装置は、第4の態様において、表示制御部が、複数の数値の入力を受け付けるための複数のスライダーを含むスライダーバーを画面に表示させ、複数の輪郭線と複数のスライダーとの対応関係を画面に識別可能に表示させるようにしたものである。
本発明の第6の態様に係る欠陥表示装置は、第5の態様において、表示制御部が、輪郭線及び複数のスライダーの色、太さ及び線の種類のうちの少なくとも1つにより複数の輪郭線及び複数のスライダーを画面に識別可能に表示させるようにしたものである。
第4から第6の態様によれば、輪郭線が複数ある場合であっても、輪郭線と欠陥の密度との関係を視覚的に確認しやすくなる。
本発明の第7の態様に係る欠陥表示装置は、第1から第6の態様のいずれかにおいて、入力部が、輪郭線の生成条件として、欠陥の大きさを示す数値の入力を受け付け、表示制御部は、複数の欠陥のうち、入力部を介して入力された大きさに対応する欠陥の分布の形状に対応する輪郭線を画面に表示させるようにしたものである。
第7の態様によれば、例えば、サイズが大きい欠陥の密集している領域に輪郭線を表示させることが可能になる。これにより、欠陥の発生状況又は被検体の重症度の判断に有益な情報を得ることが可能になる。
本発明の第8の態様に係る欠陥表示装置は、第1から第7の態様のいずれかにおいて、入力部が、輪郭線の生成条件として、被検体の肉厚を示す数値の入力を受け付け、表示制御部は、複数の欠陥のうち、入力部を介して入力された肉厚に対応する被検体の部位に位置する欠陥を選択して、選択した欠陥に対して輪郭線を生成するようにしたものである。
第8の態様によれば、例えば、肉厚が薄い部位で欠陥の密度が高い部位に輪郭線を表示させ、欠陥の密度が高くても肉厚が厚く被検体の品質への影響が比較的低い部位には輪郭線を表示させないようにすることが可能になる。これにより、欠陥の発生状況又は被検体の重症度の判断に有益な情報を得ることが可能になる。
本発明の第9の態様に係る欠陥表示装置は、第1から第8の態様のいずれかにおいて、入力部が、輪郭線の生成条件として、欠陥の特徴量ごとの検出度数を示す情報を表示部に表示させ、特徴量の指定を受け付け、表示制御部は、複数の欠陥のうち、指定の特徴量に対応する欠陥を選択して、選択した欠陥に対して輪郭線を生成するようにしたものである。
本発明の第10の態様に係る欠陥表示装置は、第9の態様において、入力部が、欠陥の個数、密度、間隔、欠陥の大きさ、及び欠陥が検出された位置における被検体の肉厚のうちの少なくとも1つの特徴量について、欠陥の検出度数を示す情報を表示部に表示させるようにしたものである。
第9及び第10の態様によれば、特徴量と検出度数の関係に応じて、例えば、肉厚が薄い場所に欠陥が多数検出されている等、欠陥の発生状況又は重症度の判断に有益な情報を得ることが可能になる。
第1から第10の態様のいずれかにおいて、検査対象の欠陥および複数の欠陥の形状をあわ状としてもよい。
本発明の第11の態様に係る欠陥表示方法は、被検体に放射線を透過させて撮像した放射線透過画像を取得する工程と、放射線透過画像から検出された被検体の欠陥を示す欠陥情報を取得する工程と、放射線透過画像を画面に表示させる工程と、欠陥情報に基づいて、被検体の欠陥のうち複数の欠陥の分布に対応する輪郭線を生成して画面に表示させ、入力部を介してユーザから受け付けた輪郭線の生成条件に応じて輪郭線の表示を変化させる工程とを備える。
本発明によれば、欠陥及びその周囲の部分の視認性を低下させることなく、欠陥の分布に応じた輪郭線を表示することが可能になる。さらに、本発明によれば、輪郭線の生成条件を変更することにより、輪郭線の表示態様を変化させることができるので、欠陥の発生状況又は被検体の重症度の判断に有益な情報を得ることが可能になる。
図1は、本発明の一実施形態に係る欠陥検査装置を示すブロック図である。 図2は、欠陥情報の例を示すデータブロック図である。 図3は、撮像システムの例を示すブロック図である。 図4は、欠陥の第1の表示例を示す図である。 図5は、欠陥の第2の表示例を示す図である。 図6は、本発明の一実施形態に係る欠陥表示方法を示すフローチャートである。
以下、添付図面に従って本発明に係る欠陥表示装置及び方法の実施の形態について説明する。
[欠陥検査装置]
図1は、本発明の一実施形態に係る欠陥検査装置を示すブロック図である。
本実施形態に係る欠陥検査装置10は、鋳造品等の工業製品の放射線透過画像を用いて、ユーザ(読影者)が工業製品の非破壊検査を行うための装置である。以下、検査対象の工業製品を被検体OBJという。
図1に示すように、本実施形態に係る欠陥検査装置10は、制御部12、入力部14、表示部16、記憶部18及び通信インターフェース(通信I/F:interface)20を備える。欠陥検査装置10は、例えば、パーソナルコンピュータ又はワークステーションであってもよい。
制御部12は、欠陥検査装置10の各部の動作を制御するCPU(Central Processing Unit)を含んでいる。制御部12は、バスを介して、欠陥検査装置10の各部との間で制御信号及びデータの送受信が可能となっている。制御部12は、入力部14を介してユーザからの指示入力を受け付け、バスを介してこの指示入力に応じた制御信号を欠陥検査装置10の各部に送信して各部の動作を制御する。
制御部12は、各種演算のための制御プログラム等を含むデータを格納するEEPROM(Electronically Erasable and Programmable Read Only Memory)、各種演算のための作業領域として使用されるRAM(Random Access Memory)、及び表示部16に出力される画像データを一時記憶するため領域として使用されるVRAM(Video Random Access Memory)を含んでいる。
入力部14は、ユーザからの指示入力を受け付ける入力装置であり、文字入力等のためのキーボード、表示部16に表示されるポインタ及びアイコン等のGUI(Graphical User Interface)を操作するためのポインティングデバイス(例えば、マウス、トラックボール等)を含んでいる。なお、入力部14としては、キーボード及びポインティングデバイスに代えて、又は、キーボード及びポインティングデバイスに加えて、表示部16の表面にタッチパネルを設けてもよい。
表示部16は、画像を表示するための装置である。表示部16としては、例えば、液晶モニタを用いることができる。
記憶部18は、撮像システム100から取得した被検体OBJの放射線透過画像(例えば、X線透過画像)を含む各種のデータを格納する。記憶部18としては、例えば、HDD(Hard Disk Drive)等の磁気ディスクを含む装置、eMMC(embedded Multi Media Card)、SSD(Solid State Drive)等のフラッシュメモリを含む装置等を用いることができる。
通信I/F20は、ネットワークを介して外部装置との間で通信を行うための手段である。欠陥検査装置10と外部装置との間のデータの送受信方法としては、有線通信又は無線通信(例えば、LAN(Local Area Network)、WAN(Wide Area Network)、インターネット接続等)を用いることができる。
欠陥検査装置10は、通信I/F20を介して、撮像システム100から放射線透過画像の入力を受け付けることが可能となっている。なお、放射線透過画像を欠陥検査装置10に入力する方法は、ネットワークを介した通信に限定されるものではない。例えば、USB(Universal Serial Bus)ケーブル、Bluetooth(登録商標)、赤外線通信等を用いてもよいし、欠陥検査装置10に着脱及び読取可能な記録媒体(例えば、メモリカード)に放射線透過画像を格納し、この記録媒体を介して放射線透過画像の入力を受け付けるようにしてもよい。
次に、欠陥検査装置における欠陥の検出及び表示機能について説明する。図1に示すように、制御部12は、画像取得部12A、欠陥検出部12C、欠陥情報取得部12B、欠陥選択部12D及び表示制御部12Eを備える。
まず、欠陥の検出を行う場合、画像取得部12Aは、被検体OBJの放射線透過画像(例えば、X線透過画像)を撮像システム100等から取得する。
欠陥検出部12Cは、被検体OBJの放射線透過画像を解析して、被検体OBJの設計データ(例えば、CAD(Computer-Aided Design)データ)と放射線透過画像とを照合し、被検体OBJに含まれる欠陥を検出する。
鋳造品等の工業製品に発生する欠陥は、その形状及び発生原因によって分類することができる。鋳造品等の工業製品に発生する欠陥の種類としては、例えば、シミ、ヒビ、欠け、異物及び異種金属の混入に起因する欠陥、鋳造時の鋳型への空気の混入に起因するあわ状欠陥(気泡状欠陥)等がある。
欠陥検出部12Cは、画像解析により検出された欠陥のサイズ、形状、及び被検体OBJの放射線の透過率及び散乱に起因する周囲の画素との間の輝度差等に基づいて欠陥の種類を特定する。そして、欠陥検出部12Cは、欠陥を特定するための識別子を付与して、欠陥の種類に関する情報と関連づけて欠陥情報DAT1を生成する。欠陥検出部12Cは、この欠陥情報DAT1を欠陥ごとに生成し、放射線透過画像と関連づけて記憶部18に格納する。
なお、この欠陥情報DAT1は、例えば、放射線透過画像の画像ファイルの付属情報又はヘッダ情報として格納されるようにしてもよいし、放射線透過画像の画像ファイルとは別のファイルとして記憶部18に格納されるようにしてもよい。
図2は、欠陥情報DAT1の例を示すデータブロック図である。図2に示すように、欠陥情報DAT1は、欠陥の識別子、欠陥の種類、サイズ及び欠陥の位置における被検体OBJの肉厚に関する情報を含んでいる。
欠陥の識別子としては、各欠陥に固有の符号又は番号を付与してもよいし、例えば、放射線透過画像における欠陥の位置(例えば、重心位置)を示す2次元座標(座標(X,Y)、図4及び図5参照。)を識別子として用いてもよい。
欠陥の種類は、例えば、あわ状欠陥、粒状欠陥、シミ状欠陥又はヒビ状欠陥等の欠陥の種類を示す情報である。
欠陥のサイズは、例えば、欠陥の最大寸法、最小寸法又は面積を示す情報である。欠陥のサイズとしては、放射線透過画像における座標軸(X,Y)方向の寸法を用いてもよいし、最大寸法及び最小寸法の平均値、又は座標軸方向の寸法の平均値を用いてもよい。
なお、欠陥が被検体OBJに与え得る影響の評価のためには、欠陥のサイズに関する情報には、欠陥の最大寸法に関する情報を含めることが好ましい。
欠陥の位置における被検体OBJの肉厚に関する情報としては、被検体OBJに対する放射線の透過方向(以下、Z方向とする。図4及び図5参照。)の厚さではなく、欠陥の位置における被検体OBJの設計データ上の肉厚を示す情報を用いる。
なお、欠陥が被検体OBJに与え得る影響の評価のためには、欠陥の位置における被検体OBJの肉厚に関する情報には、肉厚の最小値に関する情報を含めることが好ましい。
次に、欠陥の表示を行う場合、画像取得部12Aは、被検体OBJの放射線透過画像を記憶部18から取得し、欠陥情報取得部12Bは、被検体OBJの放射線透過画像に関連づけられた欠陥情報DAT1を取得する。
欠陥選択部12Dは、入力部14からの指示入力に基づいて欠陥の選択を行う。欠陥選択部12Dは、例えば、欠陥の種類、サイズ又は肉厚、並びに周囲にある欠陥の密度等の選択基準の入力を受け付ける。そして、欠陥選択部12Dは、欠陥情報DAT1に基づいて、この選択基準に適合する欠陥を選択する(図4及び図5参照)。
表示制御部12Eは、放射線透過画像を表示部16に表示させる際に、放射線透過画像のデータ変換、サイズ及び輝度の調整等の画像処理を行って、表示用の放射線透過画像を生成する。表示制御部12Eは、欠陥選択部12Dによって選択された欠陥の分布に対応する輪郭線を生成して、表示部16において放射線透過画像に重畳表示させる。
[撮像システム]
次に、被検体OBJの画像を撮像するための撮像システム100について、図3を参照して説明する。図3は、撮像システム100の例を示すブロック図である。
撮像システム100は、撮像室R1内において、検査対象の工業製品を撮像するためのものである。
図3に示すように、撮像制御部102、撮像操作部104、画像記憶部106、表示部108、通信インターフェース(通信I/F)110、AD/DA(analog to digital / digital to analog)変換部112、ステージ114、ステージ駆動部116、カメラ118及び放射線源120を備えている。なお、撮像制御部102、撮像操作部104、画像記憶部106、表示部108、通信I/F110及びAD/DA変換部112は、パーソナルコンピュータ又はワークステーションに含まれていてもよい。
撮像制御部102は、撮像システム100の各部の動作を制御するCPUを含んでおり、バスを介して撮像システム100の各部と接続されている。撮像制御部102は、撮像操作部104を介してユーザ(撮像者)からの指示入力を受け付け、この指示入力に応じた制御信号を撮像システム100の各部に送信して各部の動作を制御する。
撮像操作部104は、ユーザからの指示入力を受け付ける入力装置であり、文字入力のためのキーボード、表示部108に表示されるポインタ、アイコン等を操作するためのポインティングデバイス(例えば、マウス、トラックボール等)を含んでいる。ユーザは、撮像操作部104を介して、被検体OBJに関する情報の入力、カメラ118に対する撮像実行の指示の入力(例えば、露出時間、焦点距離、絞り等の撮像条件、撮像角度、撮像箇所等の設定を含む)、放射線源120に対する放射線の照射の指示の入力(例えば、照射開始時間、照射継続時間、照射角度、照射強度等の設定を含む)、取得した画像データを画像記憶部106に格納する指示の入力を行うことができる。
画像記憶部106は、カメラ118によって撮像された被検体OBJの画像を格納する。画像記憶部106としては、例えば、HDD等の磁気ディスクを含む装置、eMMC、SSD等のフラッシュメモリを含む装置等を用いることができる。画像記憶部106には、被検体OBJを特定するための情報が画像データと関連付けられて格納される。
表示部108は、画像を表示するための装置である。表示部108としては、例えば、液晶モニタを用いることができる。
通信I/F110は、ネットワーク等を介して外部装置との間で通信を行うための手段である。撮像システム100において撮像された被検体OBJの画像は、通信I/F110を介して、欠陥検査装置10に転送することが可能である。
AD/DA変換部112は、撮像制御部102から出力されるデジタルの制御信号をアナログの信号に変換して、撮像室R1内の各部、例えば、ステージ駆動部116、放射線源120に伝達する。
AD/DA変換部112は、撮像室R1内の各部から出力されるアナログの信号(例えば、ステージ駆動部116によって検出されたステージ114の位置を示す信号)をデジタルの信号に変換して、撮像制御部102に伝達する。撮像制御部102は、ステージ114の位置を示す信号に基づいて、例えば、ステージ114の移動可能範囲を表示部108に表示させることが可能になる。
カメラ118及び放射線源120は、撮像室R1の内部に配置されている。放射線源120は、例えば、X線源であり、撮像室R1と外部との間の隔壁及び出入口には、X線防護材料(例えば、鉛、コンクリート等)によりX線防護が施されている。ここで、放射線源120は、X線源に限定されるものではなく、例えば、放射線源120をガンマ線源として、ガンマ線透過画像を撮像するようにしてもよい。
放射線源120は、撮像制御部102からの指示に従って、撮像室R1内のステージ114に載置された被検体OBJに放射線を照射する。
カメラ118は、撮像制御部102からの撮像実行の指示にしたがって、放射線源120から被検体OBJに照射されて被検体OBJを透過した放射線を受光して被検体OBJを撮像する。
被検体OBJは、ステージ114に載置されている。ステージ駆動部116は、ステージ114を移動させるためのアクチュエータ又はモータ等を含んでおり、ステージ114を移動させることが可能となっている。また、カメラ118及び放射線源120は、撮像室R1内において移動可能に取り付けられている。ユーザは、撮像制御部102を介して、被検体OBJ、カメラ118及び放射線源120の相対位置、距離及び角度を制御可能となっており、被検体OBJの任意の箇所を任意の方向から撮像可能となっている。
放射線源120は、カメラ118による撮像の実行の終了に同期して、被検体OBJに対する放射線の照射を終了する。
図3に示す例では、カメラ118は、撮像室R1の内部に配置されているが、外部に配置されていてもよい。
また、図3に示す例では、カメラ118及び放射線源120がそれぞれ1台ずつ設けられているが、カメラ及び放射線源の台数はこれに限定されるものではない。
なお、図3に示す例では、被検体OBJを撮像室R1内のステージ114に載置した状態で撮像を行っているが、本発明はこれに限定されるものではない。被検体OBJが撮像室R1内に搬送することが困難なものである場合には、ユーザが携行可能なX線発生装置とX線撮像装置とを備えるポータブル型のX線非破壊検査装置を用いて、被検体OBJのX線透過画像を撮像することも可能である。
[欠陥の表示例]
次に、欠陥検査装置10における欠陥の表示の例について、図4及び図5を参照して説明する。
図4に示す例では、放射線透過画像IMG1と、放射線透過画像IMG1の表示を制御するためのGUIが表示部16の画面に表示されている。図4では、放射線透過画像IMG1の欠陥が符号D1で示されている。
図4に示すGUIは、欠陥選択部12Dが欠陥の選択基準、すなわち、輪郭線L1の生成条件の入力を受け付けるための操作部材である。
チェックボックスCB1は、欠陥の種類の指定を受け付ける操作部材である。図4に示す例では、欠陥の種類として、あわ状欠陥、粒状欠陥、シミ状欠陥及びヒビ状欠陥が選択可能となっている。図4に示す例では、欠陥の種類としてあわ状欠陥のみが選択されているが、複数の種類を指定することが可能となっている。
スライダーバーSB1は、欠陥D1の間の距離(間隔)を指定するための操作部材である。スライダーバーSB1では、入力部14のポインティングデバイスを用いてスライダーSL1を移動させることが可能となっており、スライダーSL1の位置により間隔が指定される。なお、欠陥D1の間隔は、直接的な数値で指定できるようにしてもよい。
欠陥選択部12Dは、放射線透過画像IMG1において、欠陥D1の間のXY平面上の間隔がスライダーバーSB1によって指定された間隔以下となるものを選択する。ここで、欠陥D1の間の間隔としては、例えば、欠陥の重心間の間隔を用いてもよいし、欠陥の外縁部の間の間隔を用いてもよい。図4に示す例では、スライダーSL1が100マイクロメートルの位置にあるので、間隔が100マイクロメートル以下の欠陥D1が選択される。
表示制御部12Eは、欠陥選択部12Dによって選択された欠陥D1の放射線透過画像IMG1における分布に応じて欠陥D1を取り囲む輪郭線L1を生成し、放射線透過画像IMG1に重畳表示させる。図4に示す例では、間隔が100マイクロメートル以下の欠陥D1を取り囲む輪郭線L1により示される。そして、ユーザは、スライダーSL1を移動させることにより、輪郭線L1の表示を変化させることができる。これにより、欠陥D1及びその周囲の部分の視認性を低下させることなく、欠陥D1の密度が高い領域を示すことが可能になる。
スライダーバーSB2は、肉厚の指定を受け付ける操作部材である。スライダーバーSB2では、入力部14のポインティングデバイスを用いてスライダーを移動させることが可能となっており、スライダーの位置により肉厚が指定される。スライダーが「全」の位置にある場合には、肉厚に関わらず、すべての欠陥D1が選択対象となる。なお、肉厚は、数値で指定できるようにしてもよい。
ヒストグラムH2は、被検体OBJの肉厚ごとの欠陥の検出度数の分布を示している。ユーザは、このヒストグラムH2により、例えば、肉厚が薄い場所に欠陥D1が多数検出されている等、欠陥D1の発生状況又は重症度の判断に有益な情報を得ることが可能になる。
欠陥選択部12Dは、スライダーバーSB2によって肉厚の指定を受け付けると、欠陥情報DAT1に基づいて、間隔がスライダーバーSB1によって指定された間隔以下であり、かつ、スライダーバーSB2によって指定された肉厚以下の肉厚に対応する部位に位置する欠陥D1を選択する。
表示制御部12Eは、欠陥選択部12Dによって選択された欠陥D1の放射線透過画像IMG1における分布に応じて欠陥D1を取り囲む輪郭線L1を生成し、放射線透過画像IMG1に重畳表示させる。図4に示す例では、間隔が100マイクロメートル以下であり、かつ、スライダーバーSB2によって指定された肉厚以下の位置にある欠陥D1を取り囲む輪郭線L1が表示される。これにより、例えば、肉厚が薄い部位にある欠陥D1の密度が高い部位に輪郭線L1を表示させ、欠陥D1の密度が高くても肉厚が厚く被検体OBJの品質への影響が比較的低い部位には輪郭線L1を表示させないようにすることが可能になる。
スライダーバーSB3は、欠陥のサイズ(大きさ)の指定を受け付ける操作部材である。スライダーバーSB3では、入力部14のポインティングデバイスを用いてスライダーを移動させることが可能となっており、スライダーの位置により欠陥D1のサイズが指定される。スライダーが「全」の位置にある場合には、サイズに関わらず、すべての欠陥D1が選択対象となる。なお、欠陥のサイズは、数値で指定できるようにしてもよい。
ヒストグラムH3は、欠陥D1のサイズごとの検出度数の分布を示している。ユーザは、このヒストグラムH3により、例えば、サイズの大きい欠陥D1が多数検出されている等、欠陥D1の発生状況又は重症度の判断に有益な情報を得ることが可能になる。
欠陥選択部12Dは、スライダーバーSB3によって欠陥D1のサイズの指定を受け付けると、欠陥情報DAT1に基づいて、間隔がスライダーバーSB1によって指定された間隔以下であり、かつ、スライダーバーSB3によって指定されたサイズ以上の欠陥D1を選択する。
表示制御部12Eは、欠陥選択部12Dによって選択された欠陥D1の放射線透過画像IMG1における分布に応じて欠陥D1を取り囲む輪郭線L1を生成し、放射線透過画像IMG1に重畳表示させる。図4に示す例では、間隔が100マイクロメートル以下であり、かつ、スライダーバーSB3によって指定されたサイズ以上の欠陥D1を取り囲む輪郭線L1が表示される。これにより、例えば、サイズが大きい欠陥D1の密度が高い領域に輪郭線L1を表示させることが可能になる。
図5に示す例では、間隔の指定のためのスライダーバーSB1に2つのスライダーSL1及びSL2が設けられている。なお、スライダーは、3つ以上設けてもよい。
表示制御部12Eは、2つのスライダーSL1及びSL2にそれぞれ対応する輪郭線L1及びL2を、放射線透過画像IMG2に重畳表示させる。図5に示す例では、間隔が100マイクロメートル以下の欠陥D1を取り囲む輪郭線L1と、間隔が50マイクロメートル以下の欠陥D1を取り囲む欠陥D1を取り囲む輪郭線L2が、放射線透過画像IMG2に重畳表示される。
スライダーSL1及びSL2と輪郭線L1及びL2とは、例えば、それぞれ色若しくは線の太さ又は種類を同じにすることで識別可能に表示されるようにしてもよい。図5に示す例では、スライダーSL1及び輪郭線L1を破線で、スライダーSL2及び輪郭線L2を実線で示している。
図5に示す例によれば、被検体OBJの欠陥D1の密度に応じて複数の輪郭線を表示させることができるので、ユーザは、複数の輪郭線の位置、数及び分布に基づいて、欠陥D1の発生状況又は重症度の判断に有益な情報を得ることが可能になる。
なお、図4及び図5に示す例では、欠陥D1に関する特徴量(欠陥D1の間隔及びサイズ並びに欠陥D1が存在する部位の肉厚)を個別に指定するGUIを設けたが、これらの特徴量は、例えば、欠陥D1の間隔の指定に連動して設定されるようにしてもよい。また、欠陥D1の間隔に応じて、指定可能な肉厚及びサイズの値の範囲が制限されるようにしてもよい。また、被検体OBJの種類に応じて、欠陥D1に関する特徴量の指定が自動的に行われるようにしてもよい。
また、図4及び図5に示す例では、輪郭線の生成条件として、欠陥の種類、間隔、サイズ、欠陥が検出された位置における被検体OBJの肉厚を指定できるようにしたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、欠陥の個数、密度(例えば、単位面積当たりの個数、又は単位面積当たりの欠陥の占有面積)、欠陥の形状(例えば、円形、楕円形、棒状)等の欠陥D1に関するほかの特徴量を指定できるようにしてもよい。
また、本実施形態によれば、複数の方向から被検体OBJに放射線を透過して得られた複数の放射線透過画像において、欠陥D1の分布を読影することができるので、欠陥D1の立体的な分布を踏まえた欠陥の検査を行うことが可能になる。
[欠陥表示方法]
次に、本実施形態に係る欠陥表示方法について、図6を参照して説明する。図6は、本発明の一実施形態に係る欠陥表示方法を示すフローチャートである。
まず、画像取得部12Aは、被検体OBJの放射線透過画像を記憶部18から取得する(ステップS10)。そして、欠陥情報取得部12Bは、ステップS10において取得した放射線透過画像と関連づけられた欠陥情報DAT1を記憶部18から取得する(ステップS12)。
表示制御部12Eは、ステップS10において取得した放射線透過画像に対して、データ変換等の画像処理を施して表示用の放射線透過画像を生成し、表示部16に表示させる(ステップS14)。
次に、欠陥選択部12Dは、欠陥D1の選択のためのGUI(図4及び図5参照)を表示部16に表示させて、欠陥D1の選択に関する指示入力を受け付ける(ステップS16)。
次に、欠陥選択部12Dは、欠陥D1の選択に関する指示入力により指定された欠陥D1の選択基準にしたがって欠陥D1の選択を行う。そして、表示制御部12Eは、欠陥選択部12Dが選択した欠陥D1の分布の形状に対応する輪郭線を生成して、表示部16の放射線透過画像に重畳して表示させる(ステップS18)。
そして、入力部14から終了指示の入力があるまで(ステップS20のYes)、ステップS16及びS18が繰り返される。これにより、ユーザは、欠陥D1の選択基準、すなわち、輪郭線の生成条件を変更しすることにより輪郭線の表示態様を変化させながら、欠陥D1の画像の読影を行うことができる。
なお、本実施形態では、被検体OBJの放射線透過画像を解析して欠陥の検出を行う機能(欠陥検出部12C)を有する欠陥検査装置10について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。本実施形態に係る欠陥表示装置及び方法は、被検体OBJの放射線透過画像と欠陥情報DAT1を取得して本実施形態に示した処理が可能な表示装置であれば、欠陥検出部12Cを有しない表示装置にも適用することが可能である(図6参照)。
また、本実施形態に係る欠陥表示装置及び方法は、例えば、撮像システム100の表示部108における表示制御に適用することも可能であるし、ポータブル型のX線非破壊検査装置に設けられた表示部における表示制御に適用することも可能である。
また、本発明の各実施形態の適用範囲は、被検体OBJを撮像して得られた画像を用いた欠陥検査に限定されるものではない。本実施形態は、例えば、自動車等の塗装の欠陥の検査、及び半導体製造プロセスにおいて行われるSEM(Scanning Electron Microscope)画像を用いた自動欠陥分類(ADC:Automatic Defect Classification)に適用することも可能である。
本発明は、コンピュータに上記の処理を実現させるプログラム、又は、このようなプログラムを格納した非一時的な記録媒体又はプログラムプロダクトとして実現することも可能である。このようなプログラムをコンピュータに適用することにより、コンピュータの演算手段、記録手段等に、本実施形態に係る欠陥表示方法の各ステップ(工程)に対応する機能を実現させることが可能になる。
各実施形態において、例えば、各種の処理を実行する処理部(processing unit)のハードウェア的な構造は、次に示すような各種のプロセッサ(processor)として実現することが可能である。各種のプロセッサには、ソフトウェア(プログラム)を実行して各種の処理部として機能する汎用的なプロセッサであるCPU(Central Processing Unit)、FPGA(Field Programmable Gate Array)などの製造後に回路構成を変更可能なプロセッサであるプログラマブルロジックデバイス(Programmable Logic Device:PLD)、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)などの特定の処理を実行させるために専用に設計された回路構成を有するプロセッサである専用電気回路などが含まれる。
1つの処理部は、これら各種のプロセッサのうちの1つで構成されていてもよいし、同種または異種の2つ以上のプロセッサ(例えば、複数のFPGA、あるいはCPUとFPGAの組み合わせ)で構成されてもよい。また、複数の処理部を1つのプロセッサで構成してもよい。複数の処理部を1つのプロセッサで構成する例としては、第1に、クライアントやサーバなどのコンピュータに代表されるように、1つ以上のCPUとソフトウェアの組合せで1つのプロセッサを構成し、このプロセッサが複数の処理部として機能する形態がある。第2に、システムオンチップ(System On Chip:SoC)などに代表されるように、複数の処理部を含むシステム全体の機能を1つのIC(Integrated Circuit)チップで実現するプロセッサを使用する形態がある。このように、各種の処理部は、ハードウェア的な構造として、上記各種のプロセッサを1つ以上用いて構成される。
さらに、これらの各種のプロセッサのハードウェア的な構造は、より具体的には、半導体素子などの回路素子を組み合わせた電気回路(circuitry)である。
10 欠陥検査装置
12 制御部
14 入力部
16 表示部
18 記憶部
20 通信インターフェース(通信I/F)
12A 画像取得部
12B 欠陥情報取得部
12C 欠陥検出部
12D 欠陥選択部
12E 表示制御部
DAT1 欠陥情報
100 撮像システム
102 撮像制御部
104 撮像操作部
106 画像記憶部
108 表示部
110 通信インターフェース(通信I/F)
112 AD/DA変換部
114 ステージ
116 ステージ駆動部
118 カメラ
120 放射線源
OBJ 被検体
IMG1、IMG2 放射線透過画像
D1 欠陥
L1、L2 輪郭線
CB1 チェックボックス
SB1、SB2、SB3 スライダーバー
SL1、SL2 スライダー
H2、H3 ヒストグラム
S10〜S20 欠陥表示方法の各工程
本発明の第6の態様に係る欠陥表示装置は、第5の態様において、表示制御部が、輪郭線及び複数のスライダーの色、線の太さ及び種類のうちの少なくとも1つにより複数の輪郭線及び複数のスライダーを画面に識別可能に表示させるようにしたものである。
表示制御部12Eは、欠陥選択部12Dによって選択された欠陥D1の放射線透過画像IMG1における分布に応じて欠陥D1を取り囲む輪郭線L1を生成し、放射線透過画像IMG1に重畳表示させる。図4に示す例では、間隔が100マイクロメートル以下の欠陥D1を取り囲む輪郭線L1示される。そして、ユーザは、スライダーSL1を移動させることにより、輪郭線L1の表示を変化させることができる。これにより、欠陥D1及びその周囲の部分の視認性を低下させることなく、欠陥D1の密度が高い領域を示すことが可能になる。
ヒストグラムH2は、被検体OBJの肉厚ごとの欠陥の検出度数の分布を示している。ユーザは、このヒストグラムH2により、例えば、肉厚が薄い場所に欠陥D1が多数検出されている等、欠陥D1の発生状況又は被検体OBJの重症度の判断に有益な情報を得ることが可能になる。
スライダーバーSB3は、欠陥のサイズ(大きさ)の指定を受け付ける操作部材である。スライダーバーSB3では、入力部14のポインティングデバイスを用いてスライダーを移動させることが可能となっており、スライダーの位置により欠陥D1のサイズが指定される。スライダーが「全」の位置にある場合には、サイズに関わらず、すべての欠陥D1が選択対象となる。なお、欠陥D1のサイズは、数値で指定できるようにしてもよい。
ヒストグラムH3は、欠陥D1のサイズごとの検出度数の分布を示している。ユーザは、このヒストグラムH3により、例えば、サイズの大きい欠陥D1が多数検出されている等、欠陥D1の発生状況又は被検体のOBJの重症度の判断に有益な情報を得ることが可能になる。
表示制御部12Eは、2つのスライダーSL1及びSL2にそれぞれ対応する輪郭線L1及びL2を、放射線透過画像IMG2に重畳表示させる。図5に示す例では、間隔が100マイクロメートル以下の欠陥D1を取り囲む輪郭線L1と、間隔が50マイクロメートル以下の欠陥D1を取り囲む輪郭線L2が、放射線透過画像IMG2に重畳表示される。
図5に示す例によれば、被検体OBJの欠陥D1の密度に応じて複数の輪郭線を表示させることができるので、ユーザは、複数の輪郭線の位置、数及び分布に基づいて、欠陥D1の発生状況又は被検体のOBJの重症度の判断に有益な情報を得ることが可能になる。
そして、入力部14から終了指示の入力があるまで(ステップS20のYes)、ステップS16及びS18が繰り返される。これにより、ユーザは、欠陥D1の選択基準、すなわち、輪郭線の生成条件を変更することにより輪郭線の表示態様を変化させながら、欠陥D1の画像の読影を行うことができる。
なお、本実施形態では、被検体OBJの放射線透過画像を解析して欠陥の検出を行う機能(欠陥検出部12C)を有する欠陥検査装置10について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。本実施形態に係る欠陥表示装置及び方法は、被検体OBJの放射線透過画像と欠陥情報DAT1を取得して本実施形態に示した処理が可能な表示装置であれば、欠陥検出部12Cを有しない表示装置にも適用することが可能である

Claims (12)

  1. 被検体に放射線を透過させて撮像した放射線透過画像を取得する画像取得部と、
    前記放射線透過画像から検出された前記被検体の欠陥を示す欠陥情報を取得する欠陥情報取得部と、
    前記放射線透過画像を画面に表示させる表示部と、
    ユーザからの指示入力を受け付ける入力部と、
    前記欠陥情報に基づいて、前記被検体の欠陥のうち複数の欠陥の分布に対応する輪郭線を生成して前記画面に表示させ、前記入力部により受け付けた前記輪郭線の生成条件に応じて前記輪郭線の表示を変化させる表示制御部と、
    を備える欠陥表示装置。
  2. 前記入力部は、前記輪郭線の生成条件として、前記複数の欠陥の間隔を示す数値の入力を受け付け、
    前記表示制御部は、前記複数の欠陥のうち、前記間隔が前記数値より小さい欠陥の分布の形状に対応する輪郭線を前記画面に表示させる、請求項1記載の欠陥表示装置。
  3. 前記入力部は、前記輪郭線の生成条件として、前記複数の欠陥の間隔を示す複数の数値の入力を受け付け、
    前記表示制御部は、前記複数の欠陥のうち、前記間隔が前記複数の数値より小さい欠陥の分布の形状にそれぞれ対応する複数の輪郭線を前記画面に表示させる、請求項1記載の欠陥表示装置。
  4. 前記表示制御部は、前記複数の輪郭線を前記画面に識別可能に表示させる、請求項3記載の欠陥表示装置。
  5. 前記表示制御部は、前記複数の数値の入力を受け付けるための複数のスライダーを含むスライダーバーを前記画面に表示させ、前記複数の輪郭線と前記複数のスライダーとの対応関係を前記画面に識別可能に表示させる、請求項4記載の欠陥表示装置。
  6. 前記表示制御部は、前記輪郭線及び前記複数のスライダーの色、太さ及び線の種類のうちの少なくとも1つにより前記複数の輪郭線及び前記複数のスライダーを前記画面に識別可能に表示させる、請求項5記載の欠陥表示装置。
  7. 前記入力部は、前記輪郭線の生成条件として、前記欠陥の大きさを示す数値の入力を受け付け、
    前記表示制御部は、前記複数の欠陥のうち、前記入力部を介して入力された前記大きさに対応する欠陥の分布の形状に対応する輪郭線を前記画面に表示させる、請求項1から6のいずれか1項記載の欠陥表示装置。
  8. 前記入力部は、前記輪郭線の生成条件として、前記被検体の肉厚を示す数値の入力を受け付け、
    前記表示制御部は、前記複数の欠陥のうち、前記入力部を介して入力された前記肉厚に対応する前記被検体の部位に位置する欠陥を選択して、選択した欠陥に対して前記輪郭線を生成する、請求項1から7のいずれか1項記載の欠陥表示装置。
  9. 前記入力部は、前記輪郭線の生成条件として、前記欠陥の特徴量ごとの検出度数を示す情報を前記表示部に表示させ、前記特徴量の指定を受け付け、
    前記表示制御部は、前記複数の欠陥のうち、前記指定の特徴量に対応する前記欠陥を選択して、選択した欠陥に対して前記輪郭線を生成する、請求項1から8のいずれか1項記載の欠陥表示装置。
  10. 前記入力部は、前記欠陥の個数、密度、間隔、前記欠陥の大きさ、及び前記欠陥が検出された位置における前記被検体の肉厚のうちの少なくとも1つの特徴量について、前記欠陥の検出度数を示す情報を前記表示部に表示させる、請求項9記載の欠陥表示装置。
  11. 前記欠陥および前記複数の欠陥の形状は、あわ状である、請求項1から10のいずれか1項記載の欠陥表示装置。
  12. 被検体に放射線を透過させて撮像した放射線透過画像を取得する工程と、
    前記放射線透過画像から検出された前記被検体の欠陥を示す欠陥情報を取得する工程と、
    前記放射線透過画像を画面に表示させる工程と、
    前記欠陥情報に基づいて、前記被検体の欠陥のうち複数の欠陥の分布に対応する輪郭線を生成して前記画面に表示させ、入力部を介してユーザから受け付けた前記輪郭線の生成条件に応じて前記輪郭線の表示を変化させる工程と、
    を備える欠陥表示方法。
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