JP2006163608A - 分類装置及び分類方法 - Google Patents
分類装置及び分類方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006163608A JP2006163608A JP2004351585A JP2004351585A JP2006163608A JP 2006163608 A JP2006163608 A JP 2006163608A JP 2004351585 A JP2004351585 A JP 2004351585A JP 2004351585 A JP2004351585 A JP 2004351585A JP 2006163608 A JP2006163608 A JP 2006163608A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- extraction
- classification
- teacher data
- area
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Image Analysis (AREA)
Abstract
【解決手段】検査画像より欠陥領域を抽出する欠陥領域抽出手段101と、前記領域が抽出されるべき正解カテゴリを入力する操作手段104と、正解カテゴリが入力された領域に対し、新たな抽出パラメータを設定する抽出パラメータ設定手段108と、前記抽出パラメータを基に領域を再抽出する欠陥領域抽出手段101と、再抽出結果を基に前記領域に対して抽出程度が異なる複数の教師データを作成する教師データ作成手段105と、前記教師データを基に分類を行う分類手段107と、を備える。
【選択図】 図1
Description
Claims (7)
- 画像より領域を抽出する領域抽出手段と、
前記領域が抽出されるべき正解カテゴリを入力する操作手段と、
正解カテゴリが入力された領域に対し、新たな抽出パラメータを設定する抽出パラメータ設定手段と、
前記抽出パラメータを基に領域を再抽出する領域再抽出手段と、
再抽出結果を基に前記領域に対して抽出程度が異なる複数の教師データを作成する教師データ作成手段と、
前記教師データを基に分類を行う分類手段と、
を備えることを特徴とする分類装置。 - 前記教師データ作成手段は、正解カテゴリ入力時の抽出領域と再抽出時の抽出領域の大きさ、形状のうち少なくとも一つの変化量を基に、再抽出領域の結果を用いた教師データを作成するか否かを判断することを特徴とする請求項1に記載の分類装置。
- 前記教師データ作成手段は、異なる2つの再抽出領域の大きさ、形状のうち少なくとも一つの変化量を基に、再抽出領域の結果を用いた教師データを作成するか否かを判断することを特徴とする請求項1記載の分類装置。
- 前記抽出パラメータは、異なる2つの抽出結果における抽出領域の大きさ、形状のうち少なくとも一つの変化量を基に決定されることを特徴とする請求項1記載の分類装置。
- 前記抽出された領域の抽出形状が識別可能となるように表示する表示手段を更に備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の分類装置。
- 前記分類装置は、特徴量空間内における分類対象領域のデータ近傍に位置する複数の教師データを基に分類を行うことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の分類装置。
- 前記分類装置は、特徴量空間内における同一カテゴリの教師データ分布を代表するデータと分類対象領域のデータとの距離を基に分類を行うことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の分類装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004351585A JP4266920B2 (ja) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | 分類装置及び分類方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004351585A JP4266920B2 (ja) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | 分類装置及び分類方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008222226A Division JP2009032273A (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | 分類装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006163608A true JP2006163608A (ja) | 2006-06-22 |
JP4266920B2 JP4266920B2 (ja) | 2009-05-27 |
Family
ID=36665581
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004351585A Expired - Fee Related JP4266920B2 (ja) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | 分類装置及び分類方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4266920B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009032273A (ja) * | 2008-08-29 | 2009-02-12 | Olympus Corp | 分類装置 |
WO2017130477A1 (ja) * | 2016-01-29 | 2017-08-03 | 富士フイルム株式会社 | 欠陥検査装置、方法およびプログラム |
JPWO2016147652A1 (ja) * | 2015-03-19 | 2018-02-01 | 日本電気株式会社 | オブジェクト検出装置、オブジェクト検出方法およびプログラム |
CN108875193A (zh) * | 2018-06-12 | 2018-11-23 | 温州大学 | 评估SiC同质异构结IMPATT二极管性能的方法 |
JP2019087078A (ja) * | 2017-11-08 | 2019-06-06 | オムロン株式会社 | データ生成装置、データ生成方法及びデータ生成プログラム |
WO2020003917A1 (ja) * | 2018-06-29 | 2020-01-02 | 富士フイルム株式会社 | 欠陥表示装置及び方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5926937B2 (ja) | 2011-11-30 | 2016-05-25 | オリンパス株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法、及び画像処理プログラム |
JP5980555B2 (ja) | 2012-04-23 | 2016-08-31 | オリンパス株式会社 | 画像処理装置、画像処理装置の作動方法、及び画像処理プログラム |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04297973A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-21 | Seiko Epson Corp | 参照ベクトルの分類方法 |
JPH0765127A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-10 | Hitachi Eng Co Ltd | 文字変形方法及び文字認識装置 |
JPH11344450A (ja) * | 1998-06-03 | 1999-12-14 | Hitachi Ltd | 教示用データ作成方法並びに欠陥分類方法およびその装置 |
JP2000020644A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Toshiba Corp | 文字変形方法及び文字認識用辞書作成装置 |
JP2000099727A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Hitachi Ltd | 外観画像分類装置およびその方法 |
JP2003030672A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-01-31 | Canon Inc | 帳票認識装置、方法、プログラムおよび記憶媒体 |
JP2003187187A (ja) * | 2001-12-20 | 2003-07-04 | Omron Corp | モデル登録方法およびこの方法を用いたパターン認識装置 |
JP2003317082A (ja) * | 2002-04-25 | 2003-11-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 分類支援装置、分類装置およびプログラム |
JP2006048370A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Kagawa Univ | パターン認識方法、それに用いられる教示データ生成方法およびパターン認識装置 |
-
2004
- 2004-12-03 JP JP2004351585A patent/JP4266920B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04297973A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-21 | Seiko Epson Corp | 参照ベクトルの分類方法 |
JPH0765127A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-10 | Hitachi Eng Co Ltd | 文字変形方法及び文字認識装置 |
JPH11344450A (ja) * | 1998-06-03 | 1999-12-14 | Hitachi Ltd | 教示用データ作成方法並びに欠陥分類方法およびその装置 |
JP2000020644A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Toshiba Corp | 文字変形方法及び文字認識用辞書作成装置 |
JP2000099727A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Hitachi Ltd | 外観画像分類装置およびその方法 |
JP2003030672A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-01-31 | Canon Inc | 帳票認識装置、方法、プログラムおよび記憶媒体 |
JP2003187187A (ja) * | 2001-12-20 | 2003-07-04 | Omron Corp | モデル登録方法およびこの方法を用いたパターン認識装置 |
JP2003317082A (ja) * | 2002-04-25 | 2003-11-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 分類支援装置、分類装置およびプログラム |
JP2006048370A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Kagawa Univ | パターン認識方法、それに用いられる教示データ生成方法およびパターン認識装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
村田 真樹: "用例べースによるテンス・アスペタトモグリティの日英翻訳", 人工知能学会論文誌, vol. 16巻1号C (2001年), CSNG200300007003, 2001, JP, ISSN: 0000878074 * |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009032273A (ja) * | 2008-08-29 | 2009-02-12 | Olympus Corp | 分類装置 |
JPWO2016147652A1 (ja) * | 2015-03-19 | 2018-02-01 | 日本電気株式会社 | オブジェクト検出装置、オブジェクト検出方法およびプログラム |
JP7491435B2 (ja) | 2015-03-19 | 2024-05-28 | 日本電気株式会社 | オブジェクト検出装置、オブジェクト検出方法およびプログラム |
US11914851B2 (en) | 2015-03-19 | 2024-02-27 | Nec Corporation | Object detection device, object detection method, and recording medium |
US11373061B2 (en) | 2015-03-19 | 2022-06-28 | Nec Corporation | Object detection device, object detection method, and recording medium |
WO2017130477A1 (ja) * | 2016-01-29 | 2017-08-03 | 富士フイルム株式会社 | 欠陥検査装置、方法およびプログラム |
US10571404B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-02-25 | Fujifilm Corporation | Defect inspection apparatus, method, and program |
US11176650B2 (en) | 2017-11-08 | 2021-11-16 | Omron Corporation | Data generation apparatus, data generation method, and data generation program |
JP2019087078A (ja) * | 2017-11-08 | 2019-06-06 | オムロン株式会社 | データ生成装置、データ生成方法及びデータ生成プログラム |
CN108875193A (zh) * | 2018-06-12 | 2018-11-23 | 温州大学 | 评估SiC同质异构结IMPATT二极管性能的方法 |
JPWO2020003917A1 (ja) * | 2018-06-29 | 2021-06-24 | 富士フイルム株式会社 | 欠陥表示装置及び方法 |
CN112204385A (zh) * | 2018-06-29 | 2021-01-08 | 富士胶片株式会社 | 缺陷显示装置及方法 |
WO2020003917A1 (ja) * | 2018-06-29 | 2020-01-02 | 富士フイルム株式会社 | 欠陥表示装置及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4266920B2 (ja) | 2009-05-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3834041B2 (ja) | 学習型分類装置及び学習型分類方法 | |
KR102218364B1 (ko) | 패턴 검사 시스템 | |
US20190228522A1 (en) | Image Evaluation Method and Image Evaluation Device | |
JP4176041B2 (ja) | 分類装置及び分類方法 | |
US7113628B1 (en) | Defect image classifying method and apparatus and a semiconductor device manufacturing process based on the method and apparatus | |
KR101361374B1 (ko) | 결함 관찰 방법 및 결함 관찰 장치 | |
US8041443B2 (en) | Surface defect data display and management system and a method of displaying and managing a surface defect data | |
US20130010100A1 (en) | Image generating method and device using scanning charged particle microscope, sample observation method, and observing device | |
US8577125B2 (en) | Method and apparatus for image generation | |
JP2011119471A (ja) | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 | |
JP2009522561A (ja) | 周期構造の光学検査方法及びシステム | |
JP2011137901A (ja) | パターン計測条件設定装置 | |
JP4050273B2 (ja) | 分類装置及び分類方法 | |
JP2011076296A (ja) | 合成画像形成方法及び画像形成装置 | |
JP7427744B2 (ja) | 画像処理プログラム、画像処理装置、画像処理方法および欠陥検出システム | |
JP5364528B2 (ja) | パターンマッチング方法、パターンマッチングプログラム、電子計算機、電子デバイス検査装置 | |
JP4266920B2 (ja) | 分類装置及び分類方法 | |
WO2022083123A1 (zh) | 证件定位方法 | |
JP4564768B2 (ja) | パターン検査方法及びその装置 | |
CN114972173A (zh) | 缺陷检测方法和缺陷检测装置及系统 | |
JP2009032273A (ja) | 分類装置 | |
JP2006012069A (ja) | 分類装置及び分類方法 | |
JP5010627B2 (ja) | 文字認識装置及び文字認識方法 | |
KR101959619B1 (ko) | 반도체 결함 시각화 방법 및 시스템 | |
WO2023112302A1 (ja) | 教師データ作成支援装置、教師データ作成支援方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070717 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070731 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071001 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080401 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080602 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080701 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080829 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20080908 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081028 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090127 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090217 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4266920 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120227 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120227 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130227 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140227 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |