JP5364528B2 - パターンマッチング方法、パターンマッチングプログラム、電子計算機、電子デバイス検査装置 - Google Patents
パターンマッチング方法、パターンマッチングプログラム、電子計算機、電子デバイス検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5364528B2 JP5364528B2 JP2009231428A JP2009231428A JP5364528B2 JP 5364528 B2 JP5364528 B2 JP 5364528B2 JP 2009231428 A JP2009231428 A JP 2009231428A JP 2009231428 A JP2009231428 A JP 2009231428A JP 5364528 B2 JP5364528 B2 JP 5364528B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- template
- pattern matching
- pattern
- matching score
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
- G06T7/001—Industrial image inspection using an image reference approach
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30148—Semiconductor; IC; Wafer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係るパターンマッチング方法の手順を説明するフローチャートである。
図1のフローチャートに示す手順は、光学顕微鏡などの撮影装置で電子デバイスを撮影し、その撮影画像を用いて検査ポイントを検査するために用いるパターンマッチングの手法を示す。この手順は、上記撮影画像を受け取って同手順を実行する電子計算機などで実行することができる。以下の実施の形態でも同様である。
この電子計算機は、演算装置、撮影画像入力部、画像表示部、操作入力部を備える。
画像表示部は、パターンマッチングの結果等を画面表示するためのディスプレイ等の装置で構成される。
以下、図1の各ステップについて説明する。
上記電子計算機の演算装置(以下、単に演算装置と呼ぶ)は、電子デバイスの検査対象部分を撮影して得た上記撮影画像を、撮影画像入力部を介して取得する。この撮影画像は、後述の図2で改めて説明するように、スクライブラインが交差しているクロスポイントを含むものである。
演算装置は、後述の図3で説明する評価ウィンドウ301を設定するとともに、その評価ウィンドウ301内の1部分を、テンプレートとして設定する。このテンプレートは、当該評価ウィンドウ301内に点対称パターンが存在するか否かを判定する際に用いられる。詳細は図3で改めて説明する。
演算装置は、後述の図4〜図5で改めて説明するように、ステップS102で設定したテンプレートを回転させてテンプレート回転画像を生成する。
演算装置は、後述の図5で改めて説明するように、各テンプレート回転画像と、テンプレートを回転した後の位置に相当する評価ウィンドウ301内の各部分画像との間で、パターンマッチングを行う。また、そのマッチング結果を所定の演算式などで評価したマッチングスコアを算出し、各テンプレート回転画像についてのマッチングスコアを用いて、当該評価ウィンドウ301全体の総合マッチングスコアを算出する。
演算装置は、後述の図3および図5で改めて説明するように、撮影画像内で評価ウィンドウを移動させながら撮影画像を走査し、当該撮影画像の全領域の上記マッチングスコアを算出する。
演算装置は、評価ウィンドウ301を用いて当該撮影画像の全領域を走査したか否かを判定する。全領域の走査を完了していればステップS107へ進み、完了していなければステップS102へ戻って同様の処理を繰り返す。
演算装置は、後述の図6で改めて説明するように、ステップS102〜S105で算出したマッチングスコアに基づき、当該撮影画像内に点対称パターンが存在するか否かを判定する。
次に、各ステップの詳細について、図2〜図6を用いて説明する。
本実施の形態1において、演算装置は、評価ウィンドウ301内の一部の領域を、当該評価ウィンドウ301内に点対称パターンが存在するか否かを判定するために用いるテンプレート画像として設定する。
以上のように、本実施の形態1によれば、演算装置は、評価ウィンドウ301を移動させながら、検査対象の電子デバイスを撮影して得た撮影画像を走査し、当該撮影画像内に点対称パターンが存在するか否かを判定する。
本発明の実施の形態2では、パターンマッチングのマッチングスコアに好ましくない影響を与える要素を除外して、パターンマッチングの効果を高める手法を説明する。なお、本実施の形態2で説明する手法は、実施の形態1で説明した手法と併用してもよいし、単独で実行してもよい。
なお、本実施の形態2では、以下の(条件1)〜(条件3)を前提とする。
(条件2)そのパターンが直線で構成されていること。
(条件3)非点対称パターン(スクライブライン以外のパターン)が上記のような点対称パターンとは異なる状態にあること。
演算装置は、電子デバイスの検査対象部分を撮影して得た上記撮影画像を、撮影画像入力部を介して取得する。この撮影画像は、実施の形態1と同様に、クロスポイントを含むものである。
演算装置は、後述の図8で改めて説明するように、撮影画像を水平方向に走査して、走査線上の画素の輝度分散値を、走査線毎に算出する。
演算装置は、後述の図8で改めて説明するように、ステップS702で算出した輝度分散値が後述の輝度分散閾値以上である場合は、スクライブラインではない部分を走査していると判定する。次に、演算装置は、スクライブラインではない部分をマスクして、水平ラインマスク画像を生成する。
演算装置は、後述の図8で改めて説明するように、撮影画像を垂直方向に走査して、走査線上の画素の輝度分散値を、走査線毎に算出する。
演算装置は、後述の図8で改めて説明するように、ステップS704で算出した輝度分散値が後述の輝度分散閾値以上である場合は、スクライブラインではない部分を走査していると判定する。次に、演算装置は、スクライブラインではない部分をマスクして、垂直ラインマスク画像を生成する。
演算装置は、ステップS702〜S705で生成した水平ラインマスク画像と垂直ラインマスク画像を参照し、両者のいずれかにおいてスクライブラインとみなされた走査線の画像のみを抽出する。
演算装置は、ステップS706で生成したマスク画像を、メモリ等の記憶装置に保存する。
演算装置は、ステップS707で保存したマスク画像を用いて、検査ポイントを探索するためのパターンマッチングを実行する。このときのパターンマッチング手法は、実施の形態1で説明したものでもよいし、その他のパターンマッチング手法を用いてもよい。例えば、従来の一般的なパターンマッチング手法を用いることができる。
次に、ステップS703とS705の詳細について、図8〜図9を用いて説明する。
以上のように、本実施の形態2によれば、演算装置は、撮影画像を水平方向と垂直方向に走査して走査線上の画素の輝度分散値を求め、その輝度分散値が所定の輝度分散閾値以上であるときは、その走査線はスクライブラインではない部分を走査していると判定することができる。
本発明の実施の形態3では、パターンマッチングを行うための基準画像を、検査者等が自ら選択することのできるパターンマッチング方法を説明する。また、パターンマッチングを行う際の条件を、選択された基準画像に合わせて最適化することについても併せて説明する。
演算装置は、電子デバイスの検査対象部分を撮影した上記撮影画像を、撮影画像入力部を介して取得する。この撮影画像は、実施の形態1と同様に、クロスポイントを含むものである。演算装置は、取得した撮影画像を、画像表示部に画面表示させる。
検査者等のオペレータは、コンピューターの操作入力部を操作して、仮の評価ウィンドウ領域(指定領域)を指定する。演算装置は、その領域指定を受け取り、同領域の座標を取得する。本ステップは、従来のパターンマッチング手法における、マッチングテンプレートを指定するステップに相当する。
演算装置は、ステップS1002で指定された仮評価ウィンドウ内に点対称パターンが存在するか否かを探索する。具体的には、例えば以下のような探索手順が考えられる。
演算装置は、仮評価ウィンドウ内で、実施の形態1で説明したように、左上部分をテンプレート画像としてテンプレート回転画像を生成し、パターンマッチングを行う。
演算装置は、上記(探索手順1)を、仮評価ウィンドウのサイズやテンプレート画像のサイズなどの条件を変更しながら、いくつかの異なる条件の下で実行する。
演算装置は、上記探索手順1〜2の結果、マッチングスコアが所定のマッチングスコア閾値以上となる部分を発見した場合は、仮評価ウィンドウ内に点対称パターンが存在するものと判定する。
ステップS1003で点対称が見つかった場合はステップS1005へ進み、見つからなかった場合はステップS1007へ進む。
演算装置は、ステップS1003で仮評価ウィンドウ内に点対称パターンを発見した場合は、そのときの仮評価ウィンドウのサイズ等の条件を、以後のステップでパターンマッチングを行う際に用いるパラメーターとして抽出する。
演算装置は、ステップS1005で抽出したパラメーターを用いて、実施の形態1〜2で説明したいずれかのパターンマッチング方法を実行する。
演算装置は、ステップS1002で検査者が指定した仮評価ウィンドウを用いて、従来のパターンマッチング方法など、一般的な手法によるパターンマッチングを行う。この場合には、演算装置は、仮評価ウィンドウ内の画像と合致する部分を撮影画像内から探索することになる。
次に、パターンマッチング手法の違いによる結果報告の差異について説明する。
また、本実施の形態3では、ユーザーが撮影画像内で指定した画像領域(仮評価ウィンドウ)内に点対称パターンが存在するか否かを判定する際に、仮評価ウィンドウのサイズ等のパラメーターを変更しながら、複数回探索を行う。
本発明の実施の形態4では、評価ウィンドウ内に点対称パターンが存在するか否かを判定する際の処理を簡易化する手法を説明する。
例えば実施の形態1〜2では、演算装置は、評価ウィンドウ301の総合マッチングスコアを算出する際に、本実施の形態4の手法を用いることができる。
本発明の実施の形態5では、実施の形態2で説明した輝度分散閾値を計算によって求める手法を説明する。
仮に、図13に示す画像の画素サイズを512画素×512画素と仮定する。
以上の実施の形態1〜5において、他の実施の形態で説明した手法をパターンマッチング手法と組み合わせてもよい。
図14は、実施の形態1〜6で説明したパターンマッチング方法を用いて電子デバイスを検査する電子デバイス検査装置1000の構成図である。
顕微鏡1100は、検査対象の電子デバイスを撮影し、その撮影画像を電子計算機1200に出力する。
撮影画像入力部1201は、実施の形態1〜6の「撮影画像入力部」に相当する。
操作入力部1203は、実施の形態1〜6の「操作入力部」に相当する。
以上、本実施の形態7に係る電子デバイス検査装置1000について説明した。
Claims (17)
- 電子デバイスを撮影して取得した撮影画像から一部の画像領域を抽出するステップと、
前記画像領域の中心位置を基準に当該画像領域を分割して2以上の分割画像を取得するステップと、
前記分割画像のうち1つをテンプレート画像として設定するステップと、
前記中心位置を基準に前記テンプレート画像を回転させて2以上のテンプレート回転画像を取得するテンプレート回転ステップと、
前記テンプレート回転画像と、前記画像領域のうち前記テンプレート回転画像の回転後の位置に対応する部分の画像との間でパターンマッチングを行い、そのマッチングスコアを算出するマッチングスコア算出ステップと、
全ての前記テンプレート回転画像についての前記マッチングスコアを用いて前記画像領域内の総合マッチングスコアを算出する総合マッチングスコア算出ステップと、
前記撮影画像の複数の箇所について、前記画像領域の抽出、前記分割画像の取得、前記テンプレート画像の設定、前記テンプレート画像の回転、および前記マッチングスコアの算出を行い、前記複数の箇所それぞれについて、前記総合マッチングスコアを取得するステップと、
前記撮影画像の複数の箇所についての前記総合マッチングスコアを用いて前記撮影画像内で点対称パターンが存在する部分を判定するステップと、
を含むことを特徴とするパターンマッチング方法。 - 前記テンプレート回転ステップでは、
前記テンプレート画像をそれぞれ90度、180度、および270度回転させて3つの前記テンプレート回転画像を取得し、
前記マッチングスコア算出ステップでは、
各前記テンプレート回転画像と、前記画像領域のうち前記テンプレート回転画像を90度、180度、および270度回転させた後のそれぞれの位置に対応する部分の画像との間でパターンマッチングを行う
ことを特徴とする請求項1記載のパターンマッチング方法。 - 前記総合マッチングスコア算出ステップでは、
前記画像領域内の前記マッチングスコアの統計値を前記総合マッチングとして用いる
ことを特徴とする請求項1記載のパターンマッチング方法。 - 電子デバイスを撮影して取得した撮影画像を走査してその走査線上の画素の輝度分散値を算出するステップと、
前記輝度分散値が所定の輝度分散閾値以上である場合は前記走査線上の画素を均一に置き換えるステップと、
を有し、
前記走査線上の輝度値を均一な値に置き換えたあとの前記撮影画像を用いて前記パターンマッチングを行う
ことを特徴とする請求項1記載のパターンマッチング方法。 - 前記電子デバイスの設計データを用いて前記走査線上における画素の輝度分散値の予測値を算出するステップと、
その算出結果を前記輝度分散閾値として設定するステップと、
を含むことを特徴とする請求項4記載のパターンマッチング方法。 - 電子デバイスを撮影して取得した撮影画像のうち一部の指定領域を指定する領域指定ステップと、
前記指定領域内に点対称パターンが存在するか否かをパターンマッチングによって判定する判定ステップと、
前記点対称パターンの有無に応じてパターンマッチング方法を決定するパターンマッチング方法決定ステップと、
を有し、
前記パターンマッチング方法決定ステップで決定したパターンマッチング方法を用いて前記撮影画像のパターンマッチングを行う
ことを特徴とする請求項1記載のパターンマッチング方法。 - 前記判定ステップでは、
前記指定領域のサイズまたは前記分割画像のサイズを変更しながらパターンマッチングによる前記判定を複数回行い、
パターンマッチングの結果として得られた最も高いマッチングスコアが所定のマッチングスコア閾値以上である場合は、
前記指定領域内に点対称パターンが存在するものと判定する
ことを特徴とする請求項6記載のパターンマッチング方法。 - 前記判定ステップにおいて指定領域内に点対称パターンが存在するものと判定した場合は、
そのときの前記指定領域のサイズを用いて前記撮影画像から一部の画像領域を抽出するステップと、
前記画像領域の中心位置を基準に当該画像領域を分割して2以上の分割画像を取得するステップと、
前記分割画像のうち1つをテンプレート画像として設定するステップと、
前記中心位置を基準に前記テンプレート画像を回転させて2以上のテンプレート回転画像を取得するテンプレート回転ステップと、
前記テンプレート回転画像と、前記画像領域のうち前記テンプレート回転画像の回転後の位置に対応する部分の画像との間でパターンマッチングを行い、そのマッチングスコアを算出するマッチングスコア算出ステップと、
全ての前記テンプレート回転画像についての前記マッチングスコアを用いて前記画像領域内の総合マッチングスコアを算出する総合マッチングスコア算出ステップと、
前記撮影画像の複数の部分について前記総合マッチングスコアを取得するステップと、
前記撮影画像の複数の箇所についての前記総合マッチングスコアを用いて前記撮影画像内で点対称パターンが存在する部分を判定するステップと、
を含むことを特徴とする請求項6記載のパターンマッチング方法。 - 電子デバイスを撮影して取得した撮影画像のうち一部の指定領域を指定する領域指定ステップと、
前記画像領域を用いて前記画像領域に対応する部分に点対称パターンが存在するか否かを判定する判定ステップと、
を有し、
前記判定ステップで前記画像領域に対応する部分に点対称パターンが存在するものと判定した場合に、2種類以上のパターンマッチング手法を用いて、前記撮影画像のパターンマッチングを行う
ことを特徴とする請求項1記載のパターンマッチング方法。 - 前記画像領域内に点対称パターンが存在する場合、その画像領域の左上頂点の座標を探索結果として提示するステップを含む
ことを特徴とする請求項6記載のパターンマッチング方法。 - 前記領域指定ステップにおいて、前記指定領域の指定を受け取る際に、
前記撮影画像の一部の領域の指定に代えて前記電子デバイスの設計データの該当領域の指定を受け取る
ことを特徴とする請求項6または9に記載のパターンマッチング方法。 - 前記画像領域のうち点対称パターンが存在すると想定される部分評価領域についてのみパターンマッチングを行う
ことを特徴とする請求項1、4、6、または9に記載のパターンマッチング方法。 - 前記判定ステップでは、
前記画像領域のうち点対称パターンが存在すると想定される部分評価領域についてのみパターンマッチングを行うとともに、
前記部分領域のサイズを変更しながらパターンマッチングによる前記判定を複数回行い、
パターンマッチングの結果として得られた最も高いマッチングスコアが所定のマッチングスコア閾値以上である場合は、
前記画像領域に対応する部分に点対称パターンが存在するものと判定する
ことを特徴とする請求項6記載のパターンマッチング方法。 - 電子デバイスを撮影して取得した撮影画像から一部の画像領域を抽出するステップと、
前記画像領域の中心位置を基準に当該画像領域を分割して2以上の分割画像を取得するステップと、
前記分割画像のうち1つをテンプレート画像として設定するステップと、
前記中心位置を基準に前記テンプレート画像を回転させて2以上のテンプレート回転画像を取得するテンプレート回転ステップと、
前記テンプレート回転画像と、前記画像領域のうち前記テンプレート回転画像の回転後の位置に対応する部分の画像との間でパターンマッチングを行い、そのマッチングスコアを算出するマッチングスコア算出ステップと、
全ての前記テンプレート回転画像についての前記マッチングスコアを用いて前記画像領域内の総合マッチングスコアを算出する総合マッチングスコア算出ステップと、
前記撮影画像の複数の箇所について、前記画像領域の抽出、前記分割画像の取得、前記テンプレート画像の設定、前記テンプレート画像の回転、および前記マッチングスコアの算出を行い、前記複数の箇所それぞれについて、前記総合マッチングスコアを取得するステップと、
前記撮影画像の複数の箇所についての前記総合マッチングスコアを用いて前記撮影画像内で点対称パターンが存在する部分を判定するステップと、
を含むパターンマッチング方法をコンピューターに実行させることを特徴とするパターンマッチングプログラム。 - 電子デバイスを撮影して取得した撮影画像から一部の画像領域を抽出するステップと、
前記画像領域の中心位置を基準に当該画像領域を分割して2以上の分割画像を取得するステップと、
前記分割画像のうち1つをテンプレート画像として設定するステップと、
前記中心位置を基準に前記テンプレート画像を回転させて2以上のテンプレート回転画像を取得するテンプレート回転ステップと、
前記テンプレート回転画像と、前記画像領域のうち前記テンプレート回転画像の回転後の位置に対応する部分の画像との間でパターンマッチングを行い、そのマッチングスコアを算出するマッチングスコア算出ステップと、
全ての前記テンプレート回転画像についての前記マッチングスコアを用いて前記画像領域内の総合マッチングスコアを算出する総合マッチングスコア算出ステップと、
前記撮影画像の複数の箇所について、前記画像領域の抽出、前記分割画像の取得、前記テンプレート画像の設定、前記テンプレート画像の回転、および前記マッチングスコアの算出を行い、前記複数の箇所それぞれについて、前記総合マッチングスコアを取得するステップと、
前記撮影画像の複数の箇所についての前記総合マッチングスコアを用いて前記撮影画像内で点対称パターンが存在する部分を判定するステップと、
を含むパターンマッチング方法をコンピューターに実行させるパターンマッチングプログラムを実行する演算装置と、
前記撮影画像を受け取る撮影画像入力部と、
を備えたことを特徴とする電子計算機。 - 前記パターンマッチング方法を実行する際の条件を指定する操作入力を受け取る操作入力部と、
前記パターンマッチング方法の実行結果を画面表示する表示部と、
を備えたことを特徴とする請求項15記載の電子計算機。 - 請求項15記載の電子計算機と、
前記電子デバイスの画像を撮影する撮影装置と、
を備えたことを特徴とする電子デバイス検査装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009231428A JP5364528B2 (ja) | 2009-10-05 | 2009-10-05 | パターンマッチング方法、パターンマッチングプログラム、電子計算機、電子デバイス検査装置 |
KR1020127008724A KR101359280B1 (ko) | 2009-10-05 | 2010-10-04 | 패턴 매칭 방법, 패턴 매칭 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독가능한 기록 매체, 전자 계산기, 전자 디바이스 검사 장치 |
PCT/JP2010/067364 WO2011043293A1 (ja) | 2009-10-05 | 2010-10-04 | パターンマッチング方法、パターンマッチングプログラム、電子計算機、電子デバイス検査装置 |
CN2010800445467A CN102576462A (zh) | 2009-10-05 | 2010-10-04 | 图案匹配方法、图案匹配程序、电子计算机、电子设备检查装置 |
US13/499,983 US20120182415A1 (en) | 2009-10-05 | 2010-10-04 | Pattern Matching Method, Pattern Matching Program, Electronic Computer, and Electronic Device Testing Apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009231428A JP5364528B2 (ja) | 2009-10-05 | 2009-10-05 | パターンマッチング方法、パターンマッチングプログラム、電子計算機、電子デバイス検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011081485A JP2011081485A (ja) | 2011-04-21 |
JP5364528B2 true JP5364528B2 (ja) | 2013-12-11 |
Family
ID=43856748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009231428A Expired - Fee Related JP5364528B2 (ja) | 2009-10-05 | 2009-10-05 | パターンマッチング方法、パターンマッチングプログラム、電子計算機、電子デバイス検査装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120182415A1 (ja) |
JP (1) | JP5364528B2 (ja) |
KR (1) | KR101359280B1 (ja) |
CN (1) | CN102576462A (ja) |
WO (1) | WO2011043293A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7110525B1 (en) | 2001-06-25 | 2006-09-19 | Toby Heller | Agent training sensitive call routing system |
KR102225617B1 (ko) | 2014-11-03 | 2021-03-12 | 한화테크윈 주식회사 | 영상 정합 알고리즘을 설정하는 방법 |
CN107153809B (zh) * | 2016-03-04 | 2020-10-09 | 无锡天脉聚源传媒科技有限公司 | 一种确认电视台图标的方法及装置 |
CN106855520B (zh) * | 2017-02-10 | 2020-05-29 | 南京航空航天大学 | 一种基于机器视觉的工件缺陷检测方法 |
KR102185934B1 (ko) * | 2020-06-07 | 2020-12-02 | 주식회사 플로이드 | 회전 대칭성 판단이 가능한 영상 분석 장치 및 방법 |
DE102020214249A1 (de) | 2020-11-12 | 2022-05-12 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Verfahren zum Bereitstellen von Navigationsdaten zum Steuern eines Roboters, Verfahren zum Steuern eines Roboters, Verfahren zum Herstellen zumindest eines vordefinierten punktsymmetrischen Bereichs und Vorrichtung |
KR20230118152A (ko) | 2021-02-26 | 2023-08-10 | 주식회사 히타치하이테크 | 위치 특정 방법, 위치 특정 프로그램 및 검사 장치 |
CN113094540B (zh) * | 2021-04-16 | 2022-08-30 | 浙江理工大学 | 一种基于手绘的准规则斑图花型图案检索方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4163794B2 (ja) * | 1998-06-19 | 2008-10-08 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子線装置における合わせマークの検出方法 |
US6537221B2 (en) | 2000-12-07 | 2003-03-25 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Strain rate analysis in ultrasonic diagnostic images |
JP4582309B2 (ja) * | 2005-01-06 | 2010-11-17 | 株式会社ニコン | パターンマッチング装置 |
US8024343B2 (en) | 2006-04-07 | 2011-09-20 | Eastman Kodak Company | Identifying unique objects in multiple image collections |
JP2008146132A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | System Product Co Ltd | 画像検出装置、プログラム及び画像検出方法 |
-
2009
- 2009-10-05 JP JP2009231428A patent/JP5364528B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-10-04 WO PCT/JP2010/067364 patent/WO2011043293A1/ja active Application Filing
- 2010-10-04 KR KR1020127008724A patent/KR101359280B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2010-10-04 US US13/499,983 patent/US20120182415A1/en not_active Abandoned
- 2010-10-04 CN CN2010800445467A patent/CN102576462A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011043293A1 (ja) | 2011-04-14 |
CN102576462A (zh) | 2012-07-11 |
JP2011081485A (ja) | 2011-04-21 |
KR20120062873A (ko) | 2012-06-14 |
KR101359280B1 (ko) | 2014-02-05 |
US20120182415A1 (en) | 2012-07-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5364528B2 (ja) | パターンマッチング方法、パターンマッチングプログラム、電子計算機、電子デバイス検査装置 | |
JP5537282B2 (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
JP5081590B2 (ja) | 欠陥観察分類方法及びその装置 | |
JP5444092B2 (ja) | 検査方法およびその装置 | |
JP5651428B2 (ja) | パターン測定方法,パターン測定装置及びそれを用いたプログラム | |
US10074167B2 (en) | Reducing registration and design vicinity induced noise for intra-die inspection | |
JP2016058465A (ja) | 欠陥定量化方法、欠陥定量化装置、および欠陥評価値表示装置 | |
WO2013153891A1 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2007047930A (ja) | 画像処理装置及び検査装置 | |
JP5202110B2 (ja) | パターン形状評価方法,パターン形状評価装置,パターン形状評価データ生成装置およびそれを用いた半導体形状評価システム | |
JP2010283004A (ja) | 欠陥画像処理装置、欠陥画像処理方法、半導体欠陥分類装置および半導体欠陥分類方法 | |
JP2010520622A (ja) | ウェーハ上に形成されたアレイ領域のための検査領域のエッジを正確に識別する方法、及び、ウェーハ上に形成されたアレイ領域に検知された欠陥をビニングする方法 | |
JP2019050376A (ja) | 試験方策を生成する方法およびそのシステム | |
KR20130108413A (ko) | 하전 입자선 장치 | |
JP2008047664A (ja) | パターン検査装置及び半導体検査システム | |
WO2017071406A1 (zh) | 金针类元件的引脚检测方法和系统 | |
JP5094033B2 (ja) | パターンマッチング方法、及びパターンマッチングを行うためのコンピュータープログラム | |
JP5647999B2 (ja) | パターンマッチング装置、検査システム、及びコンピュータプログラム | |
WO2010013564A1 (ja) | 欠陥レビュー装置、欠陥レビュー方法及び欠陥レビュー実行プログラム | |
JP2011227748A (ja) | 画像処理装置、画像処理方法、画像処理プログラム、及び欠陥検出装置 | |
JP2011007728A (ja) | 欠陥検出方法、欠陥検出装置、および欠陥検出プログラム | |
JP2013167448A (ja) | 半導体計測装置及びコンピュータープログラム | |
JP2011023638A (ja) | 検査領域設定方法 | |
JP2011008482A (ja) | 欠陥検出方法、欠陥検出装置、および欠陥検出プログラム | |
JP7062563B2 (ja) | 輪郭抽出方法、輪郭抽出装置、及びプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130514 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130716 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130813 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130909 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |