JP2002181736A - 異物検査装置 - Google Patents

異物検査装置

Info

Publication number
JP2002181736A
JP2002181736A JP2000382344A JP2000382344A JP2002181736A JP 2002181736 A JP2002181736 A JP 2002181736A JP 2000382344 A JP2000382344 A JP 2000382344A JP 2000382344 A JP2000382344 A JP 2000382344A JP 2002181736 A JP2002181736 A JP 2002181736A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
level
inspection
sensitivity
foreign matter
display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000382344A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3700577B2 (ja
Inventor
Takashi Ono
隆 大野
Ryoichi Sawada
良一 澤田
Kiyoto Kobayashi
清人 小林
Kiyoo Uemura
清雄 植村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP2000382344A priority Critical patent/JP3700577B2/ja
Publication of JP2002181736A publication Critical patent/JP2002181736A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3700577B2 publication Critical patent/JP3700577B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置のコスト低減が図れるとともに、容易に
調整作業を行うことができる異物検査装置の提供。 【解決手段】 同一の操作パネル9上に、各検査レベル
における異物判定基準である感度や面積が設定できるス
イッチ91a,91b,92a,92bと、検査結果を
定量的に表示するレベルゲージ表示領域94とを設け
た。そのため、レベル表示94a,94bを確認しなが
ら感度や面積の設定を行うことができ、調整作業がやり
やすくなる。また、調整状況はレベル表示94a,94
bにより定量的に表示されるので、調整状況の把握がし
やすい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、X線検査装置等の
異物検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、食品等に混入した異物を検査する
X線異物検査装置では、包装材に納められた検査体にX
線を照射して透過X線をX線ラインセンサ等で検出す
る。X線ラインセンサからのデジタルデータは画像処理
装置に入力され、画像処理装置により異物検出のための
画像処理が行われる。その後、画像データから異物候補
を抽出し、画素の連結情報等を用いて異物と判定する。
そして、異物が検出された検査体はラインから排除され
る。
【0003】実際の製品を検査する場合には、予め異物
混入のない良品を流して検査を行い、そのときの検査装
置の検出レベルが最適となるように判定基準(しきい
値)の調整が行われる。この判定基準の調整は、検査装
置の操作パネルに設けられた操作スイッチを操作するこ
とにより行われ、表示モニタに表示された検出画像の状
態を確認しながら判定基準の調整が行われていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た調整作業では、操作パネルと表示モニタとを交互に見
て、判定基準の調整と検出画像の状態の確認とを行わな
ければならず、調整作業に手間がかかるという欠点があ
った。また、調整作業のための表示モニタが必要なため
コストアップの要因にもなっていた。
【0005】本発明の目的は、装置のコスト低減が図れ
るとともに、容易に調整作業を行うことができる異物検
査装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】発明の実施の形態を示す
図1および図2に対応付けて説明する。 (1)請求項1の発明は、検査対象物1を撮像装置3,
4により撮像して得られた画像データを複数のアルゴリ
ズムで画像処理し、画像処理データに基づいて検査対象
物1に混入している異物を検出する異物検査装置に適用
され、異物検出判定基準に基づいて前記画像処理データ
を分析して判定する判定手段5,61と、異物検出判定
基準を設定する設定手段91a,91b,92a,92
bと、設定手段91a,91b,92a,92bにより
設定された異物検出判定基準に基づく判定手段5,61
の判定結果を表示する表示手段94とを備えて上述の目
的を達成する。 (2)請求項2の発明は、請求項1に記載の異物検査装
置において、表示手段94は、バーグラフ表示により判
定結果を定量的に表示するものである。
【0007】なお、上記課題を解決するための手段の項
では、本発明を分かり易くするために発明の実施の形態
の図を用いたが、これにより本発明が発明の実施の形態
に限定されるものではない。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、図1〜図10を参照して本
発明の実施の形態を説明する。 −第1の実施の形態− 図1は本発明による異物検査装置の第1の実施の形態を
示す図であり、装置の概略構成を示す図である。1は検
査対象物(以下では検査体と呼ぶ)であり、例えば、包
装食品や瓶詰め製品等である。検査体1は、ベルトコン
ベア2により40(m/min)程度の速度で図の左側か
ら右側へと搬送される。搬送中の検査体1にはX線照射
装置3によりX線が照射され、検査体1を透過したX線
はX線ラインセンサ4により検出される。
【0009】X線ラインセンサ4から出力されたデジタ
ルデータは画像処理装置5に入力され、後述するような
様々な画像処理が行われる。画像処理結果は制御装置6
に入力され、異物判定部61により検査体1に異物が混
入しているか否かが判定される。検査体1に異物が混入
していると判定されると、制御装置6は振分装置7を制
御してその検査体1をベルトコンベア2から排除する。
【0010】8は操作部であり、検査体1に関する各種
パラメータやベルトコンベア2の速度の設定や、異物検
査の際の画像処理方法の設定等の操作が行われる。図2
および図3は操作部8の詳細を説明する図であり、操作
部8に設けられたタッチパネル式の操作パネル9を示す
図である。図2は、ベルトコンベア2上に異物を含まな
い良品サンプルを流して、異物検査の判定基準(後述す
る感度や面積)を設定する際の設定画面を示したもので
ある。この設定画面では、スイッチ90a〜90eを操
作することにより、検査体1についてのパラメータ設定
や検査レベルの設定等に関する設定画面を表示させるこ
とができる。本実施の形態では、画像処理する際のフィ
ルタの種類に応じてレベル1,レベル2,レベル3と検
査レベルを分類している。また、図3は、実際の検査体
1を流して検査を行っている最中の画面表示を示したも
のである。
【0011】例えば、レベル1では、画像データを図4
(a)の実線のように階調値で表して、感度L1以下の
階調値を有する画素を異物として検出する。ここで、感
度の項に示されている数値117はL1の値を表してお
り、図2のタッチスイッチ91aを操作することにより
この数値を減少させることができ、タッチスイッチ91
bを操作することにより数値を増加させることができ
る。また、面積の項の数値2は、感度L1以下の画素の
連結数を表しており、感度L1以下の画素が2以上連結
している場合には異物として検出される。スイッチ92
aを操作すると面積の項の数値が減少し、スイッチ92
bを操作すると増加する。
【0012】レベル2は、例えば、微分フィルタを用い
て画像処理を行う検査レベルであり、処理後の階調の変
化がエッジの鋭さを表している。ここでは、階調変化が
数値108で表す感度以下の画素が異物の画素として検
出される。また、レベル3は、例えば、論理フィルタを
用いて画像処理を行う検査レベルである。この論理フィ
ルタの結果が数値60で表す感度以上である画素を異物
の画素として検出する。なお、感度および面積について
はレベル1と同様である。
【0013】スイッチ93は、異物検査の際にレベル1
〜3の各検査レベルをそれぞれ使用するか否かを設定す
るタッチスイッチである。レベル1およびレベル3は各
検査レベルを使用するように設定されており、スイッチ
93の表示領域に「する」という表示がされている。一
方、レベル2については検査レベルを使用しないように
設定されていて、表示は「しない」となっている。スイ
ッチ93を操作する度に、「する」と「しない」との間
の切換が行われる。
【0014】各検査レベルに関してスイッチ93により
「する」と設定されると、各検査レベルで異物として検
出された画素数に応じたレベル表示94a,94bがレ
ベルゲージ表示領域94に表示される。図2では、レベ
ル1およびレベル3が「する」でレベル2が「しない」
に設定されているので、レベルゲージ表示領域94には
レベル1およびレベル3のみのレベル表示(バー表示)
94a,94bが表示されている。レベル表示94a,
94bは10段階で表示され、レベル1の表示94aは
10、レベル3の表示94bは4となっている。
【0015】一方、検査体1をコンベア2で搬送して異
物検査を行う場合には、図3に示すような表示が操作パ
ネル9に表示される。このとき、操作パネル9には「運
転中」という表示が大きく表示される。また、表示領域
96には、検査された検査体の累積数を示す「総検査
数」、異物が検出されなかった検査体1の数を示す「O
K数」、異物が検出された検査体1の数を示す「NG
数」がそれぞれ表示される。なお、運転中におけるレベ
ルゲージ表示領域94のレベル表示に関しては、各検査
体1の検査状況として表示を行っても良いし、また、レ
ベル表示を行わないようにしても良い。
【0016】次に、各検査レベル1〜3の感度の設定方
法について説明する。図5は、感度設定手順を示す図で
ある。ステップS1では、コンベア2上に異物混入の無
い良品サンプルを流す。ステップS2では、X線ライン
センサ4の出力データおよび各検査レベル1〜3の設定
に基づいて画像処理を行う。このときの設定は初期設定
となっている。ステップS3では、ステップS2の画像
処理結果に基づいて図2に示すようなレベル表示94
a,94bを行う。
【0017】オペレータは、レベルゲージ領域94に表
示されたレベル表示94a,94bから感度が適切か否
かを判断し、適正でない場合にはステップS5へ進んで
感度を変更する。ステップS5で感度変更が行われる
と、ステップS2に戻って変更後の感度に基づいて画像
処理が行われる。画像処理後、ステップS3においてレ
ベル表示がなされる。オペレータは、表示されたレベル
表示94a,94bから変更後の感度が適切か否かを判
断する。以後、レベル表示94a,94bが適切となる
までステップS2〜ステップS5までの処理が繰り返し
行なわれ、適切となったならば感度設定作業を終了す
る。
【0018】このときの設定方法を、図4(a)に示し
たレベル1の画像プロファイルを例に説明する。いま、
良品サンプルについて図4(a)の実線で示すようなプ
ロファイルが得られたとする。感度の設定がL1であっ
た場合、A1で示す部分画素の階調値は感度L1以下と
なっている。
【0019】そのため、感度L1のままで検査を行う
と、異物を含んでいない検査体1までが異物を含むと判
定されるおそれがある。そこで、感度をL1より小さな
L2に変更する。図4(a)の破線は異物がある場合の
プロファイルを示しており、A2の部分は感度L2より
低いので異物として判定される。すなわち、このような
感度L2に設定すれば、異物でないA1は検出されず、
A2で示される異物のみが検出されることになる。
【0020】図4の(b),(c)は良品サンプルを検
査した際のレベル表示を示したものであり、(b)は感
度L1の場合を、(c)は感度L2の場合をそれぞれ示
す。感度L1の場合には図4(a)に示すようにA1の
部分が検出されるので、A1の部分の画素数に応じたバ
ー表示が定量的に表示される。例えば、図4(a),
(b)のバー表示では、10個の表示要素から成るが、
画素数に比例した数だけ表示要素を点灯する。一方、感
度L2の場合には、異物として検出されずバー表示もさ
れない。すなわち、レベル表示が図4(c)のようにな
るように感度を調整すれば良い。なお、ここでは図4
(c)のように全ての表示要素が消灯した場合に調整O
Kとしているが、例えば、1つの表示要素が点灯した場
合を調整OKとなるような表示設定にしても良い。
【0021】スイッチ91a,91bにより感度を変更
すると、変更後のレベル表示がレベルゲージ表示領域9
4に表示される。なお、説明は省略するが、レベル2お
よびレベル3に関しても、上述したレベル1の場合と同
様に感度調整が行われる。また、面積についても同様で
ある。
【0022】以上のようにして、各検査レベル1〜3に
関して感度の調整が終了したならば、検査体1をベルト
コンベア2に流して異物検査を開始する。図2では、3
つの検査レベル1〜3が表示され、検査レベル1および
検査レベル3を使用して異物検査をする場合を示してい
る。図1の異物判定部61で異物混入の判定を行う際に
は、検査レベル1および検査レベル3の両者の検出結果
に基づいて、検査体1に異物が混入しているか否かを総
合的に判定する。このように、異物検査装置では異物が
的確に検出できるように、検査体1の形態に応じた検査
レベルの組み合わせで検査が行われる。検査レベルの種
類に関しても、様々な検査体に対応できるように、上述
した3種類に限らず種々のものが予め用意されている。
【0023】なお、検査体1の検査中にも図3のレベル
ゲージ表示領域94にレベル表示が行われるように設定
した場合には、検査体1がX線ラインセンサ4により検
出される度に、図2のようなバー表示が表示される。そ
のため、オペレータがこの表示を確認することによっ
て、検査体1が良品か不良品かだけでなく、不良品に近
い良品なのか、不良品の度合いが軽いのか重いのか等
を、リアルタイムに判別することができる。
【0024】図2に示した例では、レベル表示の形態を
バー表示としたが、他に様々な形態が可能であり、図6
にその具体例を示す。図6の(a),(b)に示した表
示例も10段階で表示するタイプであり、(a)では段
階1,2を「○」、段階3〜5を「△」、段階6〜10
を「×」で表示するようにした。一方、図6(b)の例
では、段階によりバー表示の色を変えるようにした。す
なわち、段階1,2のバーは緑色で表示し、段階3〜4
のバーは黄色で表示し、段階6〜10は赤色で表示す
る。
【0025】例えば、感度調整の際には、レベル表示が
「○」または緑色となるように調整する。また、検査体
1の検査が行われる運転中の場合には、レベル表示が
「○」や緑色であったならば検査体1が良品であること
が、「×」や赤色であったならば異物が混入しているこ
とが認識される。このように、段階に応じて表示形態が
変化するようにすれば、感度の調整状態の確認や検査体
1の良・不良の把握が容易になる。
【0026】上述した第1の実施の形態では、操作パネ
ル9に検査結果を定量的に表示するためのレベルゲージ
表示領域94を設けたので、このレベルゲージ表示領域
94のレベル表示94a,94bを確認しつつ感度の設
定をすることができる。前述したように、従来は、画像
表示用モニタと操作パネルとを交互に見ながら判定基準
の調整を行うという煩わしさがあった。しかし、本実施
の形態では、スイッチ91a,91b,92a,92b
とレベルゲージ表示領域94とを同一の操作パネル9に
設けたので、そのような煩わしさを解消することができ
る。さらに、判定基準の調整状況を定量的に把握できる
ので、調整状況の確認が容易となり短時間に調整作業を
行うことができる。さらに、従来のような画像確認をす
るためのモニタが不要となるため、装置のコストダウン
を図ることができる。
【0027】−第2の実施の形態− 図7は本発明による異物検査装置の第2の実施の形態を
示す図であり、装置の概略構成を示す図である。なお、
図1と同一部分には同一の符号を付し、以下では異なる
部分を中心に説明する。本実施の形態では、感度を自動
的に調整する自動調整部62を制御装置6に設けた。そ
して、上述した第1の実施の形態と同様にマニュアルで
感度の設定ができるとともに、自動調整もできるように
した。
【0028】図8は操作パネル9の設定画面を示したも
のであり、スイッチ98を操作することにより感度の自
動調整が行われる。このときの処理手順は、図9に示し
たフローチャートのようになる。なお、第2の実施の形
態では図6(a)に示す表示形態を用いることとし、図
10(a)のように「○」表示が2つ表示された状態
(段階2)を調整OKとする。
【0029】図9のステップS11では、図5のステッ
プS1と同様に異物混入の無い良品サンプルをベルトコ
ンベア2上に流す。ステップS12では、感度を図4
(a)のL1のように上げて上限値Lmaxに設定する。
上限値Lmaxとしては、図10(b)のように段階10
まで表示されるような感度レベルが用いられる。ステッ
プS13では上限値Lmaxに基づいて画像処理が行わ
れ、レベルゲージ表示領域94にレベル表示が表示され
る。上限値Lmaxは上述したように設定されているの
で、レベル表示は図10(b)のように表示される。
【0030】ステップS14では、レベル表示が段階2
より大きいか否かを判定し、段階2より大きいと判定さ
れるとステップS15へ進む。ステップS15では感度
を所定値ΔLだけ下げ、ステップS13へ戻って画像処
理を行う。その後、ステップS14でNOと判定される
までステップS12〜ステップS15の処理を繰り返し
行い、レベル表示が図10(a)のように段階2となる
とステップS14でNOと判定され、一連の調整処理を
終了する。このような感度調整は、各検査レベル1〜3
についてそれぞれ行われる。このように、本実施の形態
では、自動調整部62を設けて感度調整を自動的に行う
ことにより、異物検査装置の初期設定作業を省略するこ
とが可能となる。
【0031】なお、図9に示す調整手順では、感度をい
ったん上限値Lmaxとした後に、徐々に感度を下げて図
10(a)のような状態となるようにしたが、感度をい
ったん下限値Lminに下げて図10(c)のような表示
とさせた後に、感度を徐々に上げて図10(a)の状態
にするようにしても良い。
【0032】なお、本実施の形態では自動調整部62に
より感度調整が自動的に行われるが、操作パネル9のス
イッチ91a,91bを手動操作することによっても調
整を行うことができる。手動調整の場合には、自動調整
と異なる任意の感度レベルに設定することができるとい
う利点がある。
【0033】上述した実施の形態ではX線を用いた異物
検査装置を例に説明したが、CCDカメラ等を用いて検
査体1の表面に付着した異物を検査する様な装置にも適
用することができる。例えば、図1のX線照射装置3,
X線ラインセンサ4に代えてCCDカメラを設置して、
CCDカメラからの画像情報を画像処理装置5に取り込
めば良い。その他の構成については図1の装置と同様で
ある。CCDカメラでは、撮像された画像データはカラ
ーの情報であるため、白黒のように濃淡(階調値)だけ
でなく、色情報を利用して異物検査を行うことができ
る。例えば、白い粉末状試料中の異物は白以外である場
合が多いので、色情報によっても異物を検出できる。
【0034】以上説明した実施の形態と特許請求の範囲
の要素との対応において、X線照射装置3およびX線ラ
インセンサ4は画像装置を、画像処理装置5および異物
判定部61は判定手段を、スイッチ91a,91b,9
2a,92bは設定手段を、レベルゲージ表示領域94
は表示手段をそれぞれ構成する。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
判定結果が表示手段に表示されるので、従来のようにモ
ニタに表示された画像から異物検出判定基準の調整状態
を判定する場合に比べ、判定結果から容易に調整状態を
認識することができる。特に、請求項2のようにバーグ
ラフ表示を行うことにより、異物検出判定基準の調整状
態を定量的に把握することができる。また、表示手段に
表示される判定結果だけ判定基準の調整状態が分かるの
で、従来設けられていた画像表示用モニタを省略するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による異物検査装置の第1の実施の形態
を示す図であり、装置の概略構成を示す図である。
【図2】操作パネル9の感度設定画面を示す図である。
【図3】実際の検査体1を流して検査を行っている最中
の画面表示を示す図である。
【図4】感度設定方法を説明する図であり、(a)は画
像プロファイルと感度L1,L2との関係を示す図で、
(b)は感度L1の場合のレベル表示を、(c)は感度
L2の場合のレベル表示をそれぞれ示す。
【図5】感度設定手順を示す図である。
【図6】レベル表示形態の他の例を示す図であり、
(a)は第1の例を、(b)は第2の例を示す。
【図7】本発明による異物検査装置の第2の実施の形態
を示す図であり、装置の概略構成を示す図である。
【図8】第2の実施の形態における操作パネル9を示す
図である。
【図9】第2の実施の形態における感度設定手順を示す
図である。
【図10】感度調整の際のレベル表示を説明する図であ
り、(a)は調整OKの場合の表示を、(b),(c)
は調整初期段階の表示を示す。
【符号の説明】
1 検査体 3 X線照射装置 4 X線ラインセンサ 5 画像処理装置 6 制御装置 7 排出装置 8 操作部 9 操作パネル 61 異物判定部 62 自動調整部 94 レベルゲージ表示領域
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 清人 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地 株式会社島津製作所内 (72)発明者 植村 清雄 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地 株式会社島津製作所内 Fターム(参考) 2G001 AA01 BA11 CA01 DA08 GA01 HA01 HA13 JA09 JA13 JA20 KA03 LA01 PA06 PA11

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検査対象物を撮像装置により撮像して得
    られた画像データを複数のアルゴリズムで画像処理し、
    画像処理データに基づいて検査対象物に混入している異
    物を検出する異物検査装置において、 異物検出判定基準に基づいて前記画像処理データを分析
    して判定する判定手段と、 前記異物検出判定基準を設定する設定手段と、 前記設定手段により設定された異物検出判定基準に基づ
    く前記判定手段の判定結果を表示する表示手段とを備え
    たことを特徴とする異物検査装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の異物検査装置におい
    て、 前記表示手段は、バーグラフ表示により前記判定結果を
    定量的に表示することを特徴とする異物検査装置。
JP2000382344A 2000-12-15 2000-12-15 異物検査装置 Expired - Fee Related JP3700577B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000382344A JP3700577B2 (ja) 2000-12-15 2000-12-15 異物検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000382344A JP3700577B2 (ja) 2000-12-15 2000-12-15 異物検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002181736A true JP2002181736A (ja) 2002-06-26
JP3700577B2 JP3700577B2 (ja) 2005-09-28

Family

ID=18850185

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000382344A Expired - Fee Related JP3700577B2 (ja) 2000-12-15 2000-12-15 異物検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3700577B2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006250536A (ja) * 2005-03-08 2006-09-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd パターン認識装置およびパターン認識方法
JP2007024835A (ja) * 2005-07-21 2007-02-01 Anritsu Sanki System Co Ltd X線異物検出方法及びx線異物検出装置
JP2007286014A (ja) * 2006-04-20 2007-11-01 Anritsu Sanki System Co Ltd 物品検査装置
JP2011209177A (ja) * 2010-03-30 2011-10-20 Anritsu Sanki System Co Ltd X線検査装置およびその動作方法
JPWO2017130477A1 (ja) * 2016-01-29 2018-11-22 富士フイルム株式会社 欠陥検査装置、方法およびプログラム
CN109073613A (zh) * 2016-03-31 2018-12-21 株式会社岛津制作所 峰检测方法以及数据处理装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0783851A (ja) * 1993-06-29 1995-03-31 Lion Eng Kk 不良品検出処理方法
JPH0915172A (ja) * 1995-04-24 1997-01-17 Yokohama Rubber Co Ltd:The タイヤ検査方法及びその装置
JPH11317431A (ja) * 1998-12-07 1999-11-16 Hitachi Ltd 検査データ解析システム
JP2000097866A (ja) * 1998-09-28 2000-04-07 Kubota Corp 不良物検出装置及びそれを用いた分離装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0783851A (ja) * 1993-06-29 1995-03-31 Lion Eng Kk 不良品検出処理方法
JPH0915172A (ja) * 1995-04-24 1997-01-17 Yokohama Rubber Co Ltd:The タイヤ検査方法及びその装置
JP2000097866A (ja) * 1998-09-28 2000-04-07 Kubota Corp 不良物検出装置及びそれを用いた分離装置
JPH11317431A (ja) * 1998-12-07 1999-11-16 Hitachi Ltd 検査データ解析システム

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006250536A (ja) * 2005-03-08 2006-09-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd パターン認識装置およびパターン認識方法
JP4635651B2 (ja) * 2005-03-08 2011-02-23 パナソニック株式会社 パターン認識装置およびパターン認識方法
JP2007024835A (ja) * 2005-07-21 2007-02-01 Anritsu Sanki System Co Ltd X線異物検出方法及びx線異物検出装置
JP4574478B2 (ja) * 2005-07-21 2010-11-04 アンリツ産機システム株式会社 X線異物検出方法及びx線異物検出装置
JP2007286014A (ja) * 2006-04-20 2007-11-01 Anritsu Sanki System Co Ltd 物品検査装置
JP2011209177A (ja) * 2010-03-30 2011-10-20 Anritsu Sanki System Co Ltd X線検査装置およびその動作方法
JPWO2017130477A1 (ja) * 2016-01-29 2018-11-22 富士フイルム株式会社 欠陥検査装置、方法およびプログラム
US10571404B2 (en) 2016-01-29 2020-02-25 Fujifilm Corporation Defect inspection apparatus, method, and program
CN109073613A (zh) * 2016-03-31 2018-12-21 株式会社岛津制作所 峰检测方法以及数据处理装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP3700577B2 (ja) 2005-09-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100775695B1 (ko) X선 검사 장치 및 x선 검사 장치의 화상 처리 순서의생성 방법
JP4519789B2 (ja) X線検査装置
JP6022860B2 (ja) 物品検査装置及び物品検査方法
KR101194001B1 (ko) X선 검사 장치
EP2045596A1 (en) X-ray inspecting device, and x-ray inspecting program
JP6754155B1 (ja) 教師データ生成装置、検査装置およびコンピュータプログラム
JP4849805B2 (ja) 検査装置及びptp包装機
JP3700577B2 (ja) 異物検査装置
JP3860154B2 (ja) X線検査装置
JP5243008B2 (ja) X線異物検出装置
JP3756751B2 (ja) X線異物検出装置
WO2021193733A1 (ja) 教師データ生成装置、検査装置及びプログラム
JP2002168805A (ja) X線異物検出装置
JP6480171B2 (ja) X線検査装置
JP4460139B2 (ja) X線異物検出装置
JP4231337B2 (ja) X線検査装置
JP2005092826A (ja) 品質レベル判定表示装置および方法
JP2009080030A (ja) X線検査装置
JP4156645B2 (ja) X線異物検出装置
JP6861990B2 (ja) X線検査装置
JPH08327497A (ja) カラー液晶表示パネルの検査方法
JP2007198850A (ja) むら検査方法及びむら検査装置
JP2003035684A (ja) 異物検査装置
JP6306352B2 (ja) X線検査装置
JP2001083474A (ja) 液晶表示パネルの検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040601

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040810

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20041006

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20041130

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050125

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050329

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050526

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050621

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050704

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080722

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090722

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100722

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100722

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110722

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110722

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120722

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120722

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130722

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees