JP3700577B2 - 異物検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、X線検査装置等の異物検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、食品等に混入した異物を検査するX線異物検査装置では、包装材に納められた検査体にX線を照射して透過X線をX線ラインセンサ等で検出する。X線ラインセンサからのデジタルデータは画像処理装置に入力され、画像処理装置により異物検出のための画像処理が行われる。その後、画像データから異物候補を抽出し、画素の連結情報等を用いて異物と判定する。そして、異物が検出された検査体はラインから排除される。
【0003】
実際の製品を検査する場合には、予め異物混入のない良品を流して検査を行い、そのときの検査装置の検出レベルが最適となるように判定基準(しきい値)の調整が行われる。この判定基準の調整は、検査装置の操作パネルに設けられた操作スイッチを操作することにより行われ、表示モニタに表示された検出画像の状態を確認しながら判定基準の調整が行われていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した調整作業では、操作パネルと表示モニタとを交互に見て、判定基準の調整と検出画像の状態の確認とを行わなければならず、調整作業に手間がかかるという欠点があった。また、調整作業のための表示モニタが必要なためコストアップの要因にもなっていた。
【0005】
本発明の目的は、装置のコスト低減が図れるとともに、容易に調整作業を行うことができる異物検査装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
発明の実施の形態を示す図1および図2に対応付けて説明する。
(1)請求項1の発明は、検査対象物1を撮像装置3,4により撮像して得られた画像データを複数のアルゴリズムで画像処理し、画像処理データに基づいて検査対象物1に混入している異物を検出する異物検査装置に適用され、異物検出判定基準に基づいて画像処理データを分析して異物混入の有無を判定する判定手段5,61と、異物検出判定基準を設定するための設定操作手段91a,91b,92a,92bと、設定操作手段91a,91b,92a,92bにより設定された異物検出判定基準に基づく判定手段5,61の判定結果を表示する表示手段94とを備え、表示手段94は判定結果を表示するタッチパネルであり、設定操作手段91a,91b,92a,92bはタッチパネル上に表示されたスイッチであり、設定操作手段91a,91b,92a,92bは複数のアルゴリズム毎に異物検出判定基準を設定し、判定手段5,61は、複数のアルゴリズムを用いて画像処理データを各々分析して、各異物検出判定基準毎に異物混入の有無を判定し、表示手段94は、タッチパネル上に各異物検出判定基準毎の判定結果をそれぞれバーグラフ表示により定量的に表示することを特徴とする。
(2)請求項2の発明は、請求項1に記載の異物検査装置において、検査対象物として良品を用いたときの判定手段5,61の判定結果に基づいて、複数の異物検出判定基準をそれぞれ自動的に設定する自動調整部62を備えたものである。
【0007】
なお、上記課題を解決するための手段の項では、本発明を分かり易くするために発明の実施の形態の図を用いたが、これにより本発明が発明の実施の形態に限定されるものではない。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図10を参照して本発明の実施の形態を説明する。
−第1の実施の形態−
図1は本発明による異物検査装置の第1の実施の形態を示す図であり、装置の概略構成を示す図である。1は検査対象物(以下では検査体と呼ぶ)であり、例えば、包装食品や瓶詰め製品等である。検査体1は、ベルトコンベア2により40(m/min)程度の速度で図の左側から右側へと搬送される。搬送中の検査体1にはX線照射装置3によりX線が照射され、検査体1を透過したX線はX線ラインセンサ4により検出される。
【0009】
X線ラインセンサ4から出力されたデジタルデータは画像処理装置5に入力され、後述するような様々な画像処理が行われる。画像処理結果は制御装置6に入力され、異物判定部61により検査体1に異物が混入しているか否かが判定される。検査体1に異物が混入していると判定されると、制御装置6は振分装置7を制御してその検査体1をベルトコンベア2から排除する。
【0010】
8は操作部であり、検査体1に関する各種パラメータやベルトコンベア2の速度の設定や、異物検査の際の画像処理方法の設定等の操作が行われる。図2および図3は操作部8の詳細を説明する図であり、操作部8に設けられたタッチパネル式の操作パネル9を示す図である。図2は、ベルトコンベア2上に異物を含まない良品サンプルを流して、異物検査の判定基準(後述する感度や面積)を設定する際の設定画面を示したものである。この設定画面では、スイッチ90a〜90eを操作することにより、検査体1についてのパラメータ設定や検査レベルの設定等に関する設定画面を表示させることができる。本実施の形態では、画像処理する際のフィルタの種類に応じてレベル1,レベル2,レベル3と検査レベルを分類している。また、図3は、実際の検査体1を流して検査を行っている最中の画面表示を示したものである。
【0011】
例えば、レベル1では、画像データを図4(a)の実線のように階調値で表して、感度L1以下の階調値を有する画素を異物として検出する。ここで、感度の項に示されている数値117はL1の値を表しており、図2のタッチスイッチ91aを操作することによりこの数値を減少させることができ、タッチスイッチ91bを操作することにより数値を増加させることができる。また、面積の項の数値2は、感度L1以下の画素の連結数を表しており、感度L1以下の画素が2以上連結している場合には異物として検出される。スイッチ92aを操作すると面積の項の数値が減少し、スイッチ92bを操作すると増加する。
【0012】
レベル2は、例えば、微分フィルタを用いて画像処理を行う検査レベルであり、処理後の階調の変化がエッジの鋭さを表している。ここでは、階調変化が数値108で表す感度以下の画素が異物の画素として検出される。また、レベル3は、例えば、論理フィルタを用いて画像処理を行う検査レベルである。この論理フィルタの結果が数値60で表す感度以上である画素を異物の画素として検出する。なお、感度および面積についてはレベル1と同様である。
【0013】
スイッチ93は、異物検査の際にレベル1〜3の各検査レベルをそれぞれ使用するか否かを設定するタッチスイッチである。レベル1およびレベル3は各検査レベルを使用するように設定されており、スイッチ93の表示領域に「する」という表示がされている。一方、レベル2については検査レベルを使用しないように設定されていて、表示は「しない」となっている。スイッチ93を操作する度に、「する」と「しない」との間の切換が行われる。
【0014】
各検査レベルに関してスイッチ93により「する」と設定されると、各検査レベルで異物として検出された画素数に応じたレベル表示94a,94bがレベルゲージ表示領域94に表示される。図2では、レベル1およびレベル3が「する」でレベル2が「しない」に設定されているので、レベルゲージ表示領域94にはレベル1およびレベル3のみのレベル表示(バー表示)94a,94bが表示されている。レベル表示94a,94bは10段階で表示され、レベル1の表示94aは10、レベル3の表示94bは4となっている。
【0015】
一方、検査体1をコンベア2で搬送して異物検査を行う場合には、図3に示すような表示が操作パネル9に表示される。このとき、操作パネル9には「運転中」という表示が大きく表示される。また、表示領域96には、検査された検査体の累積数を示す「総検査数」、異物が検出されなかった検査体1の数を示す「OK数」、異物が検出された検査体1の数を示す「NG数」がそれぞれ表示される。なお、運転中におけるレベルゲージ表示領域94のレベル表示に関しては、各検査体1の検査状況として表示を行っても良いし、また、レベル表示を行わないようにしても良い。
【0016】
次に、各検査レベル1〜3の感度の設定方法について説明する。図5は、感度設定手順を示す図である。ステップS1では、コンベア2上に異物混入の無い良品サンプルを流す。ステップS2では、X線ラインセンサ4の出力データおよび各検査レベル1〜3の設定に基づいて画像処理を行う。このときの設定は初期設定となっている。ステップS3では、ステップS2の画像処理結果に基づいて図2に示すようなレベル表示94a,94bを行う。
【0017】
オペレータは、レベルゲージ領域94に表示されたレベル表示94a,94bから感度が適切か否かを判断し、適正でない場合にはステップS5へ進んで感度を変更する。ステップS5で感度変更が行われると、ステップS2に戻って変更後の感度に基づいて画像処理が行われる。画像処理後、ステップS3においてレベル表示がなされる。オペレータは、表示されたレベル表示94a,94bから変更後の感度が適切か否かを判断する。以後、レベル表示94a,94bが適切となるまでステップS2〜ステップS5までの処理が繰り返し行なわれ、適切となったならば感度設定作業を終了する。
【0018】
このときの設定方法を、図4(a)に示したレベル1の画像プロファイルを例に説明する。いま、良品サンプルについて図4(a)の実線で示すようなプロファイルが得られたとする。感度の設定がL1であった場合、A1で示す部分画素の階調値は感度L1以下となっている。
【0019】
そのため、感度L1のままで検査を行うと、異物を含んでいない検査体1までが異物を含むと判定されるおそれがある。そこで、感度をL1より小さなL2に変更する。図4(a)の破線は異物がある場合のプロファイルを示しており、A2の部分は感度L2より低いので異物として判定される。すなわち、このような感度L2に設定すれば、異物でないA1は検出されず、A2で示される異物のみが検出されることになる。
【0020】
図4の(b),(c)は良品サンプルを検査した際のレベル表示を示したものであり、(b)は感度L1の場合を、(c)は感度L2の場合をそれぞれ示す。
感度L1の場合には図4(a)に示すようにA1の部分が検出されるので、A1の部分の画素数に応じたバー表示が定量的に表示される。例えば、図4(a),(b)のバー表示では、10個の表示要素から成るが、画素数に比例した数だけ表示要素を点灯する。一方、感度L2の場合には、異物として検出されずバー表示もされない。すなわち、レベル表示が図4(c)のようになるように感度を調整すれば良い。なお、ここでは図4(c)のように全ての表示要素が消灯した場合に調整OKとしているが、例えば、1つの表示要素が点灯した場合を調整OKとなるような表示設定にしても良い。
【0021】
スイッチ91a,91bにより感度を変更すると、変更後のレベル表示がレベルゲージ表示領域94に表示される。なお、説明は省略するが、レベル2およびレベル3に関しても、上述したレベル1の場合と同様に感度調整が行われる。また、面積についても同様である。
【0022】
以上のようにして、各検査レベル1〜3に関して感度の調整が終了したならば、検査体1をベルトコンベア2に流して異物検査を開始する。図2では、3つの検査レベル1〜3が表示され、検査レベル1および検査レベル3を使用して異物検査をする場合を示している。図1の異物判定部61で異物混入の判定を行う際には、検査レベル1および検査レベル3の両者の検出結果に基づいて、検査体1に異物が混入しているか否かを総合的に判定する。このように、異物検査装置では異物が的確に検出できるように、検査体1の形態に応じた検査レベルの組み合わせで検査が行われる。検査レベルの種類に関しても、様々な検査体に対応できるように、上述した3種類に限らず種々のものが予め用意されている。
【0023】
なお、検査体1の検査中にも図3のレベルゲージ表示領域94にレベル表示が行われるように設定した場合には、検査体1がX線ラインセンサ4により検出される度に、図2のようなバー表示が表示される。そのため、オペレータがこの表示を確認することによって、検査体1が良品か不良品かだけでなく、不良品に近い良品なのか、不良品の度合いが軽いのか重いのか等を、リアルタイムに判別することができる。
【0024】
図2に示した例では、レベル表示の形態をバー表示としたが、他に様々な形態が可能であり、図6にその具体例を示す。図6の(a),(b)に示した表示例も10段階で表示するタイプであり、(a)では段階1,2を「○」、段階3〜5を「△」、段階6〜10を「×」で表示するようにした。一方、図6(b)の例では、段階によりバー表示の色を変えるようにした。すなわち、段階1,2のバーは緑色で表示し、段階3〜4のバーは黄色で表示し、段階6〜10は赤色で表示する。
【0025】
例えば、感度調整の際には、レベル表示が「○」または緑色となるように調整する。また、検査体1の検査が行われる運転中の場合には、レベル表示が「○」や緑色であったならば検査体1が良品であることが、「×」や赤色であったならば異物が混入していることが認識される。このように、段階に応じて表示形態が変化するようにすれば、感度の調整状態の確認や検査体1の良・不良の把握が容易になる。
【0026】
上述した第1の実施の形態では、操作パネル9に検査結果を定量的に表示するためのレベルゲージ表示領域94を設けたので、このレベルゲージ表示領域94のレベル表示94a,94bを確認しつつ感度の設定をすることができる。前述したように、従来は、画像表示用モニタと操作パネルとを交互に見ながら判定基準の調整を行うという煩わしさがあった。しかし、本実施の形態では、スイッチ91a,91b,92a,92bとレベルゲージ表示領域94とを同一の操作パネル9に設けたので、そのような煩わしさを解消することができる。さらに、判定基準の調整状況を定量的に把握できるので、調整状況の確認が容易となり短時間に調整作業を行うことができる。さらに、従来のような画像確認をするためのモニタが不要となるため、装置のコストダウンを図ることができる。
【0027】
−第2の実施の形態−
図7は本発明による異物検査装置の第2の実施の形態を示す図であり、装置の概略構成を示す図である。なお、図1と同一部分には同一の符号を付し、以下では異なる部分を中心に説明する。本実施の形態では、感度を自動的に調整する自動調整部62を制御装置6に設けた。そして、上述した第1の実施の形態と同様にマニュアルで感度の設定ができるとともに、自動調整もできるようにした。
【0028】
図8は操作パネル9の設定画面を示したものであり、スイッチ98を操作することにより感度の自動調整が行われる。このときの処理手順は、図9に示したフローチャートのようになる。なお、第2の実施の形態では図6(a)に示す表示形態を用いることとし、図10(a)のように「○」表示が2つ表示された状態(段階2)を調整OKとする。
【0029】
図9のステップS11では、図5のステップS1と同様に異物混入の無い良品サンプルをベルトコンベア2上に流す。ステップS12では、感度を図4(a)のL1のように上げて上限値Lmaxに設定する。上限値Lmaxとしては、図10(b)のように段階10まで表示されるような感度レベルが用いられる。ステップS13では上限値Lmaxに基づいて画像処理が行われ、レベルゲージ表示領域94にレベル表示が表示される。上限値Lmaxは上述したように設定されているので、レベル表示は図10(b)のように表示される。
【0030】
ステップS14では、レベル表示が段階2より大きいか否かを判定し、段階2より大きいと判定されるとステップS15へ進む。ステップS15では感度を所定値ΔLだけ下げ、ステップS13へ戻って画像処理を行う。その後、ステップS14でNOと判定されるまでステップS12〜ステップS15の処理を繰り返し行い、レベル表示が図10(a)のように段階2となるとステップS14でNOと判定され、一連の調整処理を終了する。このような感度調整は、各検査レベル1〜3についてそれぞれ行われる。このように、本実施の形態では、自動調整部62を設けて感度調整を自動的に行うことにより、異物検査装置の初期設定作業を省略することが可能となる。
【0031】
なお、図9に示す調整手順では、感度をいったん上限値Lmaxとした後に、徐々に感度を下げて図10(a)のような状態となるようにしたが、感度をいったん下限値Lminに下げて図10(c)のような表示とさせた後に、感度を徐々に上げて図10(a)の状態にするようにしても良い。
【0032】
なお、本実施の形態では自動調整部62により感度調整が自動的に行われるが、操作パネル9のスイッチ91a,91bを手動操作することによっても調整を行うことができる。手動調整の場合には、自動調整と異なる任意の感度レベルに設定することができるという利点がある。
【0033】
上述した実施の形態ではX線を用いた異物検査装置を例に説明したが、CCDカメラ等を用いて検査体1の表面に付着した異物を検査する様な装置にも適用することができる。例えば、図1のX線照射装置3,X線ラインセンサ4に代えてCCDカメラを設置して、CCDカメラからの画像情報を画像処理装置5に取り込めば良い。その他の構成については図1の装置と同様である。CCDカメラでは、撮像された画像データはカラーの情報であるため、白黒のように濃淡(階調値)だけでなく、色情報を利用して異物検査を行うことができる。例えば、白い粉末状試料中の異物は白以外である場合が多いので、色情報によっても異物を検出できる。
【0034】
以上説明した実施の形態と特許請求の範囲の要素との対応において、X線照射装置3およびX線ラインセンサ4は画像装置を、画像処理装置5および異物判定部61は判定手段を、スイッチ91a,91b,92a,92bは設定手段を、レベルゲージ表示領域94は表示手段をそれぞれ構成する。
【0035】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、判定結果が表示手段に表示されるので、従来のようにモニタに表示された画像から異物検出判定基準の調整状態を判定する場合に比べ、判定結果から容易に調整状態を認識することができる。特に、バーグラフ表示を行うことにより、異物検出判定基準の調整状態を定量的に把握することができる。また、表示手段に表示される判定結果だけで判定基準の調整状態が分かるので、従来設けられていた画像表示用モニタを省略することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による異物検査装置の第1の実施の形態を示す図であり、装置の概略構成を示す図である。
【図2】操作パネル9の感度設定画面を示す図である。
【図3】実際の検査体1を流して検査を行っている最中の画面表示を示す図である。
【図4】感度設定方法を説明する図であり、(a)は画像プロファイルと感度L1,L2との関係を示す図で、(b)は感度L1の場合のレベル表示を、(c)は感度L2の場合のレベル表示をそれぞれ示す。
【図5】感度設定手順を示す図である。
【図6】レベル表示形態の他の例を示す図であり、(a)は第1の例を、(b)は第2の例を示す。
【図7】本発明による異物検査装置の第2の実施の形態を示す図であり、装置の概略構成を示す図である。
【図8】第2の実施の形態における操作パネル9を示す図である。
【図9】第2の実施の形態における感度設定手順を示す図である。
【図10】感度調整の際のレベル表示を説明する図であり、(a)は調整OKの場合の表示を、(b),(c)は調整初期段階の表示を示す。
【符号の説明】
1 検査体
3 X線照射装置
4 X線ラインセンサ
5 画像処理装置
6 制御装置
7 排出装置
8 操作部
9 操作パネル
61 異物判定部
62 自動調整部
94 レベルゲージ表示領域
Claims (2)
- 検査対象物を撮像装置により撮像して得られた画像データを複数のアルゴリズムで画像処理し、画像処理データに基づいて検査対象物に混入している異物を検出する異物検査装置において、
異物検出判定基準に基づいて前記画像処理データを分析して異物混入の有無を判定する判定手段と、
前記異物検出判定基準を設定するための設定操作手段と、
前記設定操作手段により設定された異物検出判定基準に基づく前記判定手段の判定結果を表示する表示手段とを備え、
前記表示手段は前記判定結果を表示するタッチパネルであり、前記設定操作手段は前記タッチパネル上に表示されたスイッチであり、
前記設定操作手段は前記複数のアルゴリズム毎に前記異物検出判定基準を設定し、
前記判定手段は、前記複数のアルゴリズムを用いて前記画像処理データを各々分析して、前記各異物検出判定基準毎に異物混入の有無を判定し、
前記表示手段は、前記タッチパネル上に前記各異物検出判定基準毎の前記判定結果をそれぞれバーグラフ表示により定量的に表示することを特徴とする異物検査装置。 - 請求項1に記載の異物検査装置において、
前記検査対象物として良品を用いたときの前記判定手段の判定結果に基づいて、前記複数の異物検出判定基準をそれぞれ自動的に設定する自動調整部を備えたことを特徴とする異物検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000382344A JP3700577B2 (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 異物検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000382344A JP3700577B2 (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 異物検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002181736A JP2002181736A (ja) | 2002-06-26 |
JP3700577B2 true JP3700577B2 (ja) | 2005-09-28 |
Family
ID=18850185
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000382344A Expired - Fee Related JP3700577B2 (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 異物検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3700577B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4635651B2 (ja) * | 2005-03-08 | 2011-02-23 | パナソニック株式会社 | パターン認識装置およびパターン認識方法 |
JP4574478B2 (ja) * | 2005-07-21 | 2010-11-04 | アンリツ産機システム株式会社 | X線異物検出方法及びx線異物検出装置 |
JP4855128B2 (ja) * | 2006-04-20 | 2012-01-18 | アンリツ産機システム株式会社 | 物品検査装置 |
JP5466560B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2014-04-09 | アンリツ産機システム株式会社 | X線検査装置およびその動作方法 |
JP6930926B2 (ja) * | 2016-01-29 | 2021-09-01 | 富士フイルム株式会社 | 欠陥検査装置、方法およびプログラム |
CN109073613B (zh) * | 2016-03-31 | 2021-04-27 | 株式会社岛津制作所 | 峰检测方法以及数据处理装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0783851A (ja) * | 1993-06-29 | 1995-03-31 | Lion Eng Kk | 不良品検出処理方法 |
JPH0915172A (ja) * | 1995-04-24 | 1997-01-17 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | タイヤ検査方法及びその装置 |
JP2000097866A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-07 | Kubota Corp | 不良物検出装置及びそれを用いた分離装置 |
JP3284988B2 (ja) * | 1998-12-07 | 2002-05-27 | 株式会社日立製作所 | 検査データ解析システム |
-
2000
- 2000-12-15 JP JP2000382344A patent/JP3700577B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002181736A (ja) | 2002-06-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040601 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040810 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041006 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041130 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050125 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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