JP2011014678A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体モジュールの反りを抑制して、熱抵抗を低減した半導体モジュールを提供する。
【解決手段】電極101として機能する第1の金属体の周縁に第2の金属体103が枠状に形成され、この第2の金属体103の周縁に樹脂102が枠状に形成され、第2の金属体103は、少なくともその一部が樹脂102に接触し、電極101は第2の金属体103を介して樹脂102に接合され、電極101、第2の金属体103ならびに樹脂102が一体成型されて構成され、電極101上には、はんだなどの接合部材を介してシリコンなどを主成分とする半導体素子が載置接合され、第2の金属体103は、その剛性が第1の金属体の電極101よりも小さく、ヤング率が電極101よりも小さい金属体で構成されていることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】電極101として機能する第1の金属体の周縁に第2の金属体103が枠状に形成され、この第2の金属体103の周縁に樹脂102が枠状に形成され、第2の金属体103は、少なくともその一部が樹脂102に接触し、電極101は第2の金属体103を介して樹脂102に接合され、電極101、第2の金属体103ならびに樹脂102が一体成型されて構成され、電極101上には、はんだなどの接合部材を介してシリコンなどを主成分とする半導体素子が載置接合され、第2の金属体103は、その剛性が第1の金属体の電極101よりも小さく、ヤング率が電極101よりも小さい金属体で構成されていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、冷却体と接合される半導体装置に関する。
従来、電極と放熱機能を兼ね備える金属体上にはんだなどの接合部材を介して半導体素子を実装した半導体モジュールでは、金属体上に半導体素子を実装する際に、はんだが固相点(約220℃程度)から常温(約25℃程度)まで温度が下がるため、半導体素子の主成分となるシリコンと電極体として機能する金属体に用いられる銅などとの線膨張係数の差により半導体素子の直下において、半導体素子側が凸となるような反りが生じていた。
また、ポリフェニレンサルファイド樹脂(PPS)などの樹脂部材によって金属体を成型する場合、樹脂の線膨張係数が銅などの金属体の線膨張係数よりも大きいために、成型時の温度から常温へと温度が低下する際に、金属体の周囲に位置する樹脂が金属体を締め付けるように変形することによって、半導体素子が実装されている側と反対の面側が凸となるように金属体に反りが発生していた。
このように、反りが生じた状態の金属体に冷却体を接合しようとすると、金属体と冷却体との間に隙間が生じ金属体と冷却体との密着性が悪くなるおそれがあった。両者の密着性が悪くなると、半導体モジュールと冷却体との間の熱抵抗が大きくなり、放熱性が悪化して半導体素子が十分に冷却できなくなり、耐熱上の故障を招くおそれがあった。
そこで、例えば以下に示す公知の文献(特許文献1参照)には、電極と放熱を兼ねる金属体上にはんだなどの接合部材を用いて半導体素子を実装した半導体モジュールと冷却器とが、ネジ止めにより締結されて接合される技術が記載されている。この技術では、半導体モジュールと冷却器とがネジ止めにより締結されているので、半導体モジュールと冷却器との密着性が良くなり、半導体モジュールと冷却器との間の熱抵抗の悪化を抑制することが可能となる。
上述したように、半導体モジュールの片側にだけ冷却器を接合して半導体素子を冷却する片面冷却型の半導体モジュールに対して、近年では、冷却性能を向上させる観点から半導体モジュールの両面側に冷却体を設けて半導体素子を冷却する両面冷却型の半導体モジュールが開発されている。
このような両面冷却型の半導体モジュールでは、半導体素子の双方の主面にはんだ等の接合部材を介して金属体が接合され、この金属体のそれぞれに冷却体が接合される構造を採用している。このような構造では、双方の冷却体により半導体モジュールが挟み込まれているので、上述したような半導体モジュールに生じた反りは、双方の冷却体が半導体モジュールを挟み込む圧力となる挟圧によってのみ緩和される。
しかし、このような挟圧だけでは、半導体モジュールに生じた反りを十分に緩和することが困難となっていた。このため、半導体モジュールと冷却体との密着性が悪くなり、半導体モジュールと冷却体との間の熱抵抗が大きくなり、放熱性が悪化するおそれがあった。
そこで、本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、半導体モジュールの反りを抑制して、熱抵抗を低減した半導体装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は、半導体素子の一方の主面が接合される第1の金属体の周縁に設けられた樹脂と第1の金属体とに接する第2の金属体が設けられ、前記第2の金属体の剛性は前記第1の金属体よりも小さいことを特徴とする。
本発明によれば、樹脂が収縮する影響を第2の金属体が吸収することによって半導体モジュールの反りが抑制されるため、熱抵抗を低減することが可能となる。
以下、図面を用いて本発明を実施するための実施例を説明する。
図1は本発明の実施例1に係る半導体装置の構成を示す図であり、同図(a)は正面図、同図(b)は同図(a)のA−A線に沿った断面図、同図(c)は同図(a)のB−B線に沿った断面図である。
図1において、半導体モジュールは、電極101として機能する第1の金属体の周縁に第2の金属体103が枠状に形成され、この第2の金属体103の周縁に樹脂102が枠状に形成され、電極101、第2の金属体103ならびに樹脂102が一体成型されて構成されている。第2の金属体103は、少なくともその一部が樹脂102に接触し、電極101は第2の金属体103を介して樹脂102に接合されている。すなわち、電極101は樹脂102に接触しておらず、半導体モジュールが冷却体(図示せず)に接合される前の樹脂102は、第2の金属体103にのみ接触している。
電極101上には、はんだなどの接合部材を介してシリコンなどを主成分とする半導体素子(図示せず)が載置接合されて実装される。
電極101は銅などの金属体で構成され、半導体素子の電流経路として機能するとともに半導体素子を冷却するための放熱機能を兼ね備えるものである。
樹脂102は、例えばポリフェニレンサルファイド樹脂(PPS)などで構成され、半導体モジュールのケース(パッケージ)としての機能や絶縁の機能を有している。
第2の金属体103は、その剛性が第1の金属体の電極101よりも小さく、ヤング率が電極101よりも小さい金属体で構成され、例えばアルミニウムなどで構成されている。
このような半導体モジュールは、電極101となる例えば矩形状の銅に第2の金属体となる矩形状の例えばアルミニウム材を熱間圧延により接合させた後、周縁の4辺を押圧してつぶし、表面のアルミニウムだけを研磨等により削り除去して表面に銅を露出させて周縁にのみアルミニウムを残して枠状に形成し、その後樹脂102と一体成型することで製造することができる。あるいは、枠状のアルミニウムに銅の電極101を嵌め込んだ後、これを樹脂により一体成形するようにしてもよい。
次に、本発明と、本発明が採用した特徴的な技術思想を採用していない従来の構成とを対比させて、本発明の効果を説明する。
図2は本発明で採用した特徴的な技術思想を採用していない従来の半導体モジュールの構成を示す図であり、同図(a)は正面図、同図(b)は同図(a)のA−A線に沿った断面図、同図(c)は同図(a)のB−B線に沿った断面図である。
図2において、半導体モジュールは、電極201(図1の電極101と同等の機能を有する)周縁に樹脂202(図1の樹脂102と同等の機能を有する)が枠状に形成され、電極201と樹脂202とが一体成型されて構成されている。電極201上には、はんだなどの接合部材を介してシリコンなどを主成分とする半導体素子(図示せず)が載置されて実装される。電極201は銅などの金属体で構成され、半導体素子の電流経路として機能するとともに半導体素子を冷却するための放熱機能を兼ねるものである。樹脂202は、例えばPPSなどで構成され、半導体モジュールのケース(パッケージ)としての機能や絶縁の機能を有している。
図3は電極301(図1の電極101と同等の機能を有する)を樹脂302(図1の樹脂102と同等の機能を有する)とを一体成型した場合に、半導体モジュールに生じる反りの様子を表した図である。
図3において、電極301を樹脂302によって一体成型するときは、樹脂302が溶融している温度で成型するため、成型時の温度は非常に高い。PPSに限っていえば、成型時の温度は約300℃程度であり、成形後はこの温度から常温(約25℃程度)まで温度が低下する。この温度降下の過程において、PPSなどの樹脂302の線膨張係数は、電極301に用いられる銅などの金属体の線膨張係数よりも大きいため、樹脂302が電極301の冷却面(図3では符号303で示す側)と反対側(図3では符号304側)により多く設けられることとあいまって、半導体モジュールは半導体素子の実装面(図3では符号304側)と反対側の面(冷却面)が凸となるような反りが生じる。
図4は図3に示すような反りが生じた半導体モジュールの片面側を冷却体に接合する片面冷却構造における接合前後の様子を示す断面図であり、同図(a)は接合前、同図(b)は接合後の様子を示す図である。
図4において、同図(a)に示すように、片面冷却型の半導体モジュールは、銅などの電極403(図1の電極101と同等の機能を有する)上にはんだなどの接合部材402を介して半導体素子401が実装され、電極403の周縁部がPPSなどの樹脂404(図1の樹脂102と同等の機能を有する)によって一体成型されている。このような半導体モジュールに対しては、先の図3に示すような反りが生じるものの、半導体モジュールを冷却器406にネジ止めにより締結して組み付ける場合には、図4(b)に示すように、ネジ405などによって冷却器406に締結することで半導体モジュールに生じた反りを吸収緩和することが可能であった。
図5は半導体モジュールの両面に冷却器が接合された両面冷却型の半導体モジュールの構成を示す図である。図5において、はんだなどの接合部材501を介して半導体素子502の両主面に銅などの電極503(図1の電極101と同等の機能を有する)が接合され、一方の電極503がPPSなどの樹脂504によって一体成型され、双方の電極503に冷却器505,506が接合されている。
このような構成においては、半導体モジュールは、半導体モジュールに実装される半導体素子502の両主面側から冷却器505,506によって挟み込まれた状態で使用されるために、構造上図4に示すようなネジ止めで両者を締結することは困難であった。また、半導体モジュールは冷却器505,506で挟み込まれるだけなので、ネジ止めにより締結する場合に比べて半導体モジュールに生じた反りを十分に解消することは困難であった。
これに対して、上述したようにこの実施例1では、ヤング率が電極101を構成する第1の金属体よりも小さい第2の金属体103が電極101と樹脂102との間に介在している構成を採用しているので、第1ならびに第2の金属体103と樹脂102とを一体成形した後の温度降下時に、半導体モジュールを構成する各部材が収縮した際に、第1の金属体の電極101に比べて第2の金属体103の方が塑性変形して縮む。この縮みにより線膨張係数の差で樹脂102が電極101以上に収縮する影響を吸収緩和することが可能となる。これにより、成形後に半導体モジュールに生じる反りを従来に比べて抑制することができる。反りが抑制されることで、図1に示すような片面冷却構造、もしくは第1の金属体の電極101と同等の第3の金属体を半導体素子の他方の主面に接合した両面冷却構造で半導体モジュールを冷却体に接合する際に、半導体モジュールと冷却体との密着性が向上し、半導体モジュールと冷却体との間の熱抵抗を低減することが可能となる。熱抵抗が低減されることで、半導体モジュールの放熱性が高められ、耐熱上の故障を防止することができる。
また、ネジ止めによる締結で半導体モジューを冷却体に接合する従来の構成に比べて半導体モジュールを小型化することが可能となる。
このような、半導体モジュールは、高温環境下で使用されるために冷却器が必要となる半導体装置、例えば電動車両で直流を交流に変換する電力変換装置として用いられるインバータを構成するIGBT等の半導体素子に好適である。
なお、図1に示す構成では、電極101は樹脂102に接触していないが、図1(b)に対応する図6の断面図に示すように、電極101が樹脂102に接触する構成、すなわち電極101と第2の金属体103の双方が樹脂102に接触した構成であっても、上述したと同様の効果を得ることができる。このような構成を採用した場合には、第2の金属体103は冷却体と接する接合面(図6では下面)を有することが望ましい。
また、図1に示す構成では、電極101の周縁の4辺すべてに第2の金属体103が形成されているが、電極101の長手方向の対向する2辺にのみ第2の金属体103を形成するようにしても、上述したと同様の効果を得ることができる。
101,201,301,403,503…電極
102,202,302,404,504…樹脂
103…第2の金属体
401,502…半導体素子
402,501…接合部材
405…ネジ
406…冷却器
502…半導体素子
505,506…冷却器
102,202,302,404,504…樹脂
103…第2の金属体
401,502…半導体素子
402,501…接合部材
405…ネジ
406…冷却器
502…半導体素子
505,506…冷却器
Claims (4)
- 半導体素子の一方の主面が接合される第1の金属体の周縁に樹脂が設けられ、前記第1の金属体と前記樹脂との間に、前記第1の金属体と前記樹脂とに接する第2の金属体が設けられ、前記第2の金属体の剛性は前記第1の金属体よりも小さい
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体素子の他方の主面に接合された第3の金属体を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1の金属体は、前記樹脂に接する
ことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記第2の金属体のヤング率は、前記第1の金属体のヤング率よりも小さい
ことを特徴とする請求項1,2及び3のいずれか1項に記載の半導体装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009156736A JP2011014678A (ja) | 2009-07-01 | 2009-07-01 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP (1) | JP2011014678A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020068340A (ja) * | 2018-10-26 | 2020-04-30 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
US10727163B2 (en) | 2016-07-26 | 2020-07-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device |
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2009
- 2009-07-01 JP JP2009156736A patent/JP2011014678A/ja active Pending
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US10727163B2 (en) | 2016-07-26 | 2020-07-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device |
JP2020068340A (ja) * | 2018-10-26 | 2020-04-30 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
JP7124637B2 (ja) | 2018-10-26 | 2022-08-24 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
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