JP2011010204A - 水晶片の製造方法及びこの方法により製造した水晶振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水晶片の周波数を水晶片を構成する水晶板の厚みを2段階にパーシャル・ウェットエッチングで調整して行う際、第1段階で多数の水晶片の厚みをまとめてパーシャル・ウェットエッチングして粗調整し、次いで、少数の水晶片毎に厚みをパーシャル・ウェットエッチングして微調整するか、あるいは第1段階で微調整で同時に調整を行う水晶片間の厚みのバラツキをパーシャル・ウェットエッチングして粗調整して揃え、次いで、多数の同等の厚みをもつグループに属する水晶片をまとめてパーシャル・ウェットエッチングして微調整する。
【選択図】図3
Description
2 水晶ウェハの表面
2a 段差部(凹陥部:逆メサ部)
2b 突起部(仕切部)
3 水晶ウェハの裏面
3a 段差部(凹陥部:逆メサ部)
3b 突起部(仕切部)
10 仕切板
11 貫通孔
15 ディスペンサ
15a ノズル
16 エッチング液
Claims (6)
- 複数の水晶片を水晶ウェハレベルで製造する方法において、該水晶片の周波数を前記水晶片を構成する水晶板の厚みを2段階にパーシャル・ウェットエッチングで調整して行う際、第1段階で多数の前記水晶片の厚みをまとめてパーシャル・ウェットエッチングして粗調整し、次いで、少数の前記水晶片毎にその厚みをパーシャル・ウェットエッチングして微調整することを特徴とする水晶片の製造方法。
- 複数の水晶片を水晶ウェハレベルで製造する方法において、該水晶片の周波数を前記水晶片を構成する水晶板の厚みをパーシャル・ウェットエッチングで2段階に調整して行う際、第1段階で微調整で同時に調整を行う前記水晶片間の厚みのバラツキをパーシャル・ウェットエッチングして粗調整して揃えて同等の厚みにし、次いで、多数の同等の厚みをもつグループに属する前記水晶片をまとめてパーシャル・ウェットエッチングして微調整することを特徴とする水晶片の製造方法。
- 前記水晶ウェハの表面及び裏面に前記水晶片を形成する所定個数の仕切部に囲まれた段差部をパーシャル・ウェットエッチングして形成したことを特徴とする請求項1または2に記載の水晶片の製造方法。
- 前記水晶ウェハの前記裏面にパーシャル・ウェットエッチングして形成した前記段差部の面積が、前記表面に形成した前記段差部の面積より大であることを特徴とする請求項3に記載の水晶片の製造方法。
- 請求項1から4に記載の製造方法により製造した水晶片を用いた水晶振動子。
- 請求項5に記載の水晶振動子を用いた水晶発振器。
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