JP2011009344A - 不揮発性可変抵抗素子のフォーミング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 不揮発性可変抵抗素子を50℃以上200℃以下の所定の温度に加熱した状態で、不揮発性可変抵抗素子に記憶される情報の書き換えに用いる書き換え電圧パルスの何れかと同一のパルス幅、同一の電圧振幅を持つフォーミング電圧パルスを不揮発性可変抵抗素子の電極間に印加する。
【選択図】 図8
Description
先ず、本発明者らが実験によって発見したフォーミング現象の新たな知見について説明する。
上記の不揮発性可変抵抗素子のフォーミング方法を実施可能な不揮発性半導体記憶装置の例を図12に示す。図12は、夫々、本発明の一実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置4の回路構成図であり、夫々、メモリセルアレイ21、制御回路22、電圧発生回路23、ワード線デコーダ24、ビット線デコーダ25を備えている。
4: 不揮発性半導体記憶装置
10: 基板
11: 絶縁膜層
12: 第1電極
13: 可変抵抗体層
14: 第2電極
15: 電源回路
16: 負荷抵抗
21: メモリセルアレイ
22: 制御回路
23: 電圧発生回路
24: ワード線デコーダ
25: ビット線デコーダ
Claims (3)
- 第1電極と第2電極の間に可変抵抗体を備え、遷移前と遷移後の抵抗状態に基づき設定される所定の書き換え電圧パルスを前記第1電極と前記第2電極の間に印加することにより前記第1電極と前記第2電極の間の前記抵抗状態が二以上の異なる状態間で遷移し、当該遷移後の一の前記抵抗状態を情報の記憶に用いる不揮発性可変抵抗素子のフォーミング方法であって、
前記不揮発性可変抵抗素子を50℃以上200℃以下の所定の温度に加熱した状態で、前記所定の書き換え電圧パルスの何れかと同一のパルス幅を持つフォーミング電圧パルスを前記不揮発性可変抵抗素子の前記第1電極と前記第2電極の間に印加する、加熱フォーミング工程を含むことを特徴とする不揮発性可変抵抗素子のフォーミング方法。 - 前記加熱フォーミング工程において、前記所定の書き換え電圧パルスの何れかと同一のパルス幅及び電圧振幅を持つ前記フォーミング電圧パルスを前記不揮発性可変抵抗素子の前記第1電極と前記第2電極の間に印加することを特徴とする請求項1に記載の不揮発性可変抵抗素子のフォーミング方法。
- 請求項1又は2に記載のフォーミング方法を用いてフォーミング処理がなされた前記不揮発性可変抵抗素子を用いてメモリセルが構成され、前記メモリセルを行及び列方向に夫々複数マトリクス状に配置したメモリセルアレイを有することを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
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