JP2011003686A - 発光装置およびその駆動方法、並びに、プロジェクター - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る発光装置100は、複数の利得領域のうちの少なくとも第1利得領域162および第2利得領域164は、利得領域群160を構成し、利得領域群160は、複数配列され、複数の利得領域群160の各々において、第1利得領域162および第2利得領域164は、平面的にみて、第1側面105から第2側面107に向かう第1方向(+X方向)と直交する第2方向(+Y方向)に、第1利得領域162、第2利得領域164の順で配列され、複数の第1利得領域162の上方に設けられた第2電極114は、第1共通電極180によって互いに電気的に接続され、複数の第2利得領域164の上方に設けられた第2電極114は、第2共通電極182によって互いに電気的に接続されている。
【選択図】図1
Description
第1クラッド層と、
前記第1クラッド層の上方に形成された活性層と、
前記活性層の上方に形成された第2クラッド層と、
前記第1クラッド層に電気的に接続された第1電極と、
前記第2クラッド層に電気的に接続された第2電極と、
を含み、
前記活性層のうちの少なくとも一部は、複数の利得領域を構成し、
前記第2電極は、前記複数の利得領域の各々に対応して、複数設けられ、
前記複数の利得領域の各々は、平面的にみて、前記活性層の第1側面から、前記第1側面と対向する前記活性層の第2側面に向かって、前記第1側面の垂線に対して傾いて設けられ、
前記複数の利得領域のうちの少なくとも第1利得領域および第2利得領域は、利得領域群を構成し、
前記利得領域群は、複数配列され、
複数の前記利得領域群の各々において、前記第1利得領域および前記第2利得領域は、平面的にみて、前記第1側面から前記第2側面に向かう第1方向と直交する第2方向に、前記第1利得領域、前記第2利得領域の順で配列され、
複数の前記第1利得領域の上方に設けられた前記第2電極は、第1共通電極によって互いに電気的に接続され、
複数の前記第2利得領域の上方に設けられた前記第2電極は、第2共通電極によって互いに電気的に接続されている。
複数の前記利得領域群の各々は、さらに第3利得領域を有し、
複数の前記利得領域群の各々において、前記第1利得領域、前記第2利得領域および前記第3利得領域は、平面的にみて、前記第2方向に、前記第1利得領域、前記第2利得領域、前記第3利得領域の順で配列され、
複数の前記第3利得領域の上方に位置する前記第2電極は、第3共通電極によって互いに電気的に接続されていることができる。
前記複数の利得領域の各々では、前記第1側面側から平面的にみて、前記第1側面側の端面と、前記第2側面側の端面とは、重なっていないことができる。
前記複数の利得領域の各々において、前記第1側面側の端面は、前記第2側面側の端面に比べて前記第2方向側に位置し、
前記第1側面側から平面的にみて、前記第1利得領域の前記第1側面側の端面と、前記第1利得領域と隣り合う前記第2利得領域の前記第2側面側の端面とは、重なっていることができる。
前記第2電極は、前記第2電極とオーミックコンタクトするコンタクト層と接し、
前記複数の利得領域の各々の平面形状は、前記第2電極と前記コンタクト層との接触面の平面形状と同じであることができる。
前記第1共通電極および前記第2共通電極は、導電層からなり、
前記第1共通電極および前記第2共通電極は、平面的にみて、前記第2方向に延在していることができる。
本発明に係る発光装置を準備する工程と、
前記第1共通電極に電圧を供給し、複数の前記第1利得領域の各々の端面から光を出射する工程と、
前記第1共通電極への電圧の供給を遮断して、前記第2共通電極に電圧を供給し、複数の前記第2利得領域の各々の端面から光を出射する工程と、
を含む。
本発明に係る発光装置と、
前記発光装置から出射された光を画像情報に応じて変調する光変調装置と、
前記光変調素子によって形成された画像を投射する投射装置と、
を含む。
まず、本実施形態に係る発光装置100について、図面を参照しながら説明する。図1は、発光装置100を模式的に示す平面図である。図2は、発光装置100を模式的に示す図1のII−II線断面図である。なお、図1では、便宜上、絶縁部116の図示を省略している。また、ここでは、発光装置100がInGaAlP系(赤色)の半導体発光装置である場合について説明する。
次に、本実施形態に係る発光装置100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図6〜図9は、発光装置100の製造工程を模式的に示す断面図である。
次に、本実施形態の変形例に係る発光装置200,300について、図面を参照しながら説明する。以下、本実施形態の変形例に係る発光装置200,300において、本実施形態に係る発光装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、本実施形態に係るプロジェクター400について説明する。図12は、プロジェクター400を模式的に示す図である。なお、図12では、便宜上、プロジェクター400を構成する筐体は省略している。プロジェクター400は、本発明に係る発光装置を有する。以下では、本発明に係る発光装置として、発光装置100を用いた例について説明する。
105 第1側面、106 活性層、107 第2側面、108 第2クラッド層、
110 コンタクト層、112 第1電極、114 第2電極、116 絶縁部、
116a 絶縁部の第1部分、116b 絶縁部の第2部分、160 利得領域群、
162 第1利得領域、164 第2利得領域、170 第1端面、172 第2端面、
174 第3端面、176 第4端面、180 第1共通電極、182 第2共通電極、
200 発光装置、266 第3利得領域、284 第3共通電極、300 発光装置、
311 柱状部、400 プロジェクター、402 均一化光学系、
402a ホログラム、402b フィールドレンズ、404 液晶ライトバルブ、
406 クロスダイクロイックプリズム、408 投写レンズ、410 スクリーン
Claims (8)
- 第1クラッド層と、
前記第1クラッド層の上方に形成された活性層と、
前記活性層の上方に形成された第2クラッド層と、
前記第1クラッド層に電気的に接続された第1電極と、
前記第2クラッド層に電気的に接続された第2電極と、
を含み、
前記活性層のうちの少なくとも一部は、複数の利得領域を構成し、
前記第2電極は、前記複数の利得領域の各々に対応して、複数設けられ、
前記複数の利得領域の各々は、平面的にみて、前記活性層の第1側面から、前記第1側面と対向する前記活性層の第2側面に向かって、前記第1側面の垂線に対して傾いて設けられ、
前記複数の利得領域のうちの少なくとも第1利得領域および第2利得領域は、利得領域群を構成し、
前記利得領域群は、複数配列され、
複数の前記利得領域群の各々において、前記第1利得領域および前記第2利得領域は、平面的にみて、前記第1側面から前記第2側面に向かう第1方向と直交する第2方向に、前記第1利得領域、前記第2利得領域の順で配列され、
複数の前記第1利得領域の上方に設けられた前記第2電極は、第1共通電極によって互いに電気的に接続され、
複数の前記第2利得領域の上方に設けられた前記第2電極は、第2共通電極によって互いに電気的に接続されている、発光装置。 - 請求項1において、
複数の前記利得領域群の各々は、さらに第3利得領域を有し、
複数の前記利得領域群の各々において、前記第1利得領域、前記第2利得領域および前記第3利得領域は、平面的にみて、前記第2方向に、前記第1利得領域、前記第2利得領域、前記第3利得領域の順で配列され、
複数の前記第3利得領域の上方に位置する前記第2電極は、第3共通電極によって互いに電気的に接続されている、発光装置。 - 請求項1または2において、
前記複数の利得領域の各々では、前記第1側面側から平面的にみて、前記第1側面側の端面と、前記第2側面側の端面とは、重なっていない、発光装置。 - 請求項3において、
前記複数の利得領域の各々において、前記第1側面側の端面は、前記第2側面側の端面に比べて前記第2方向側に位置し、
前記第1側面側から平面的にみて、前記第1利得領域の前記第1側面側の端面と、前記第1利得領域と隣り合う前記第2利得領域の前記第2側面側の端面とは、重なっている、発光装置。 - 請求項1ないし4のいずれかにおいて、
前記第2電極は、前記第2電極とオーミックコンタクトするコンタクト層と接し、
前記複数の利得領域の各々の平面形状は、前記第2電極と前記コンタクト層との接触面の平面形状と同じである、発光装置。 - 請求項1ないし5のいずれかにおいて、
前記第1共通電極および前記第2共通電極は、導電層からなり、
前記第1共通電極および前記第2共通電極は、平面的にみて、前記第2方向に延在している、発光装置。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の発光装置を準備する工程と、
前記第1共通電極に電圧を供給し、複数の前記第1利得領域の各々の端面から光を出射する工程と、
前記第1共通電極への電圧の供給を遮断して、前記第2共通電極に電圧を供給し、複数の前記第2利得領域の各々の端面から光を出射する工程と、
を含む、発光装置の駆動方法。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の発光装置と、
前記発光装置から出射された光を画像情報に応じて変調する光変調装置と、
前記光変調素子によって形成された画像を投射する投射装置と、
を含む、プロジェクター。
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