JP2009238845A - 発光モジュール及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】スペックルノイズを低減でき、かつ高出力である新規な発光装置を有する発光モジュールを提供する。
【解決手段】本発明に係る発光モジュール1000は,導電部材154と、導電部材を介して積み重ねられた複数の発光装置100とを含み、複数の発光装置の各々は、活性層と、一対のクラッド層と、一対の電極120,122とを有し、活性層のうちの少なくとも一部は利得領域を構成し、利得領域は平面的に見て、活性層の第1側面107から第1側面に平行な第2側面109まで、第1側面の垂線に対して傾いた方向に向かって設けられ、導電部材は、導電部材を挟む一方の発光装置の導電部材側の電極、及び、他方の発光装置の導電部材側の電極に電気的に接続されており、平面的に見て導電部材の外縁のうちの少なくとも一部は,複数の発光装置の外側に位置している。
【選択図】図1
【解決手段】本発明に係る発光モジュール1000は,導電部材154と、導電部材を介して積み重ねられた複数の発光装置100とを含み、複数の発光装置の各々は、活性層と、一対のクラッド層と、一対の電極120,122とを有し、活性層のうちの少なくとも一部は利得領域を構成し、利得領域は平面的に見て、活性層の第1側面107から第1側面に平行な第2側面109まで、第1側面の垂線に対して傾いた方向に向かって設けられ、導電部材は、導電部材を挟む一方の発光装置の導電部材側の電極、及び、他方の発光装置の導電部材側の電極に電気的に接続されており、平面的に見て導電部材の外縁のうちの少なくとも一部は,複数の発光装置の外側に位置している。
【選択図】図1
Description
本発明は、発光モジュール及びその製造方法に関する。
近年、プロジェクタやディスプレイなどの表示装置の光源用の発光装置として、高輝度で色再現性に優れたレーザ装置が期待されている。しかしながら、スクリーン面での乱反射光が相互に干渉して発生するスペックルノイズが問題となることがある。この問題に対しては、例えば下記特許文献1では、スクリーンを揺動させてスペックルパターンを変化させることでスペックルノイズを低減させる方法が提案されている。
特開平11−64789号公報
しかしながら、上記特許文献1に開示された方法では、スクリーンが限定されてしまう、スクリーンを動かすためのモーター等の部材が必要になってしまう、モーター等から雑音が発生してしまう、などの新たな問題が発生する場合がある。
また、スペックルノイズを低減させるために、光源用の発光装置として、一般的なLED(Light Emitting Diode)を用いることも考えられる。しかしながら、LEDでは、十分な光出力を得られないことがある。
本発明の目的の1つは、スペックルノイズを低減でき、かつ高出力である新規な発光装置を有する発光モジュール及びその製造方法を提供することにある。
本発明に係る発光モジュールは、
導電部材と、
前記導電部材を介して積み重ねられた複数の発光装置と、
を含み、
前記複数の発光装置の各々は、
活性層と、
前記活性層を上方および下方から挟む一対のクラッド層と、
前記一対のクラッド層を上方および下方から挟む一対の電極と、
を有し、
前記活性層のうちの少なくとも一部は、利得領域を構成し、
前記利得領域は、平面的に見て、前記活性層の第1側面から該第1側面に平行な第2側面まで、前記第1側面の垂線に対して傾いた方向に向かって設けられ、
前記導電部材は、該導電部材を挟む一方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極、および、他方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極に電気的に接続されており、
平面的に見て、前記導電部材の外縁のうちの少なくとも一部は、前記複数の発光装置の外側に位置している。
導電部材と、
前記導電部材を介して積み重ねられた複数の発光装置と、
を含み、
前記複数の発光装置の各々は、
活性層と、
前記活性層を上方および下方から挟む一対のクラッド層と、
前記一対のクラッド層を上方および下方から挟む一対の電極と、
を有し、
前記活性層のうちの少なくとも一部は、利得領域を構成し、
前記利得領域は、平面的に見て、前記活性層の第1側面から該第1側面に平行な第2側面まで、前記第1側面の垂線に対して傾いた方向に向かって設けられ、
前記導電部材は、該導電部材を挟む一方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極、および、他方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極に電気的に接続されており、
平面的に見て、前記導電部材の外縁のうちの少なくとも一部は、前記複数の発光装置の外側に位置している。
本発明に係る発光モジュールの有する発光装置では、後述するように、前記利得領域に生じる光のレーザ発振を抑制または防止することができる。従って、スペックルノイズを低減させることができる。さらに、本発明に係る発光装置では、前記利得領域に生じる光は、該利得領域内において利得を受けながら進行して、外部に出射されることができる。従って、従来の一般的なLEDよりも高い出力を得ることができる。以上のように、本発明によれば、スペックルノイズを低減でき、かつ高出力である新規な発光装置を有する発光モジュールを提供することができる。
なお、本発明に係る記載では、「上方」という文言を、例えば、「特定の部材(以下「A部材」という)の「上方」に形成された他の特定の部材(以下「B部材」という)」などと用いている。本発明に係る記載では、この例のような場合に、A部材上に直接B部材が形成されているような場合と、A部材上に他のものを介してB部材が形成されているような場合とが含まれるものとして、「上方」という文言を用いている。
また、本発明に係る記載では、「下方」という文言を、例えば、「特定の部材(以下「C部材」という)は、他の特定の部材(以下「D部材」という)の「下方」に設けられ」などと用いている。本発明に係る記載では、この例のような場合に、D部材の下に直接C部材が設けられているような場合と、D部材の下に他のものを介してC部材が設けられているような場合とが含まれるものとして、「下方」という文言を用いている。
また、本発明に係る記載では、「電気的に接続」という文言を、例えば、「特定の部材(以下「C部材」という)が、他の特定の部材(以下「D部材」という)に電気的に接続されている」などと用いている。本発明に係る記載では、この例のような場合に、C部材とD部材とが、直接接して電気的に接続されているような場合と、C部材とD部材とが、他の部材を介して電気的に接続されているような場合とが含まれるものとして、「電気的に接続」という文言を用いている。
本発明に係る発光モジュールにおいて、
前記導電部材を挟む一方の前記発光装置は、他方の前記発光装置を裏返したものと同じものであることができる。
前記導電部材を挟む一方の前記発光装置は、他方の前記発光装置を裏返したものと同じものであることができる。
本発明に係る発光モジュールにおいて、
前記利得領域では、前記第1側面側から平面的に見て、前記第1側面側の端面と、前記第2側面側の端面とは、重なっていないことができる。
前記利得領域では、前記第1側面側から平面的に見て、前記第1側面側の端面と、前記第2側面側の端面とは、重なっていないことができる。
本発明に係る発光モジュールにおいて、
レーザ光ではない光を発することができる。
レーザ光ではない光を発することができる。
本発明に係る発光モジュールにおいて、
前記複数の発光装置の各々の第2側面は、同じ側に向けられていることができる。
前記複数の発光装置の各々の第2側面は、同じ側に向けられていることができる。
本発明に係る発光モジュールにおいて、
前記導電部材の下面は、該導電部材を挟む一方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極の上面と貼り合わされており、
前記導電部材の上面は、該導電部材を挟む他方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極の下面と貼り合わされていることができる。
前記導電部材の下面は、該導電部材を挟む一方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極の上面と貼り合わされており、
前記導電部材の上面は、該導電部材を挟む他方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極の下面と貼り合わされていることができる。
本発明に係る発光モジュールにおいて、
前記導電部材は、該導電部材に貼り合わされている前記電極のうち、一体的に形成された該電極の前記上面および前記下面のうちの少なくとも一方の全面と貼り合わされていることができる。
前記導電部材は、該導電部材に貼り合わされている前記電極のうち、一体的に形成された該電極の前記上面および前記下面のうちの少なくとも一方の全面と貼り合わされていることができる。
本発明に係る発光モジュールにおいて、
前記導電部材は、複数設けられており、
前記複数の発光装置は、複数の前記導電部材の各々を介して積み重ねられていることができる。
前記導電部材は、複数設けられており、
前記複数の発光装置は、複数の前記導電部材の各々を介して積み重ねられていることができる。
本発明に係る発光モジュールにおいて、
前記利得領域は、複数設けられており、
複数の前記利得領域に生じる光の波長帯において、前記第1側面の反射率は、前記第2側面の反射率よりも高く、
前記複数の利得領域は、少なくとも1つの前記利得領域の対を成し、
前記利得領域の対の一方の第1利得領域は、一の方向に向かって設けられ、
前記利得領域の対の他方の第2利得領域は、前記一の方向とは異なる他の方向に向かって設けられ、
前記第1利得領域の前記第1側面側の端面のうちの少なくとも一部と、前記第2利得領域の前記第1側面側の端面のうちの少なくとも一部とは、重なっていることができる。
前記利得領域は、複数設けられており、
複数の前記利得領域に生じる光の波長帯において、前記第1側面の反射率は、前記第2側面の反射率よりも高く、
前記複数の利得領域は、少なくとも1つの前記利得領域の対を成し、
前記利得領域の対の一方の第1利得領域は、一の方向に向かって設けられ、
前記利得領域の対の他方の第2利得領域は、前記一の方向とは異なる他の方向に向かって設けられ、
前記第1利得領域の前記第1側面側の端面のうちの少なくとも一部と、前記第2利得領域の前記第1側面側の端面のうちの少なくとも一部とは、重なっていることができる。
本発明に係る発光モジュールにおいて、
前記一対の電極の各々は、オーミックコンタクトする層と接しており、
前記一対の電極のうちの少なくとも一方と、前記オーミックコンタクトする層との接触面は、前記利得領域と同じ平面形状を有することができる。
前記一対の電極の各々は、オーミックコンタクトする層と接しており、
前記一対の電極のうちの少なくとも一方と、前記オーミックコンタクトする層との接触面は、前記利得領域と同じ平面形状を有することができる。
本発明に係る発光モジュールの製造方法は、
複数の発光装置を形成する工程と、
前記複数の発光装置の各々を順次裏返しになるように、導電部材を介して積み重ねていく工程と、
を含み、
前記複数の発光装置を形成する工程は、
基板の上方に第1クラッド層を形成する工程と、
前記第1クラッド層の上方に活性層を形成する工程と、
前記活性層の上方に第2クラッド層を形成する工程と、
前記第1クラッド層および前記第2クラッド層を上方および下方から挟む一対の電極を形成する工程と、
を有し、
前記活性層のうちの少なくとも一部は、利得領域を構成するように形成され、
前記利得領域は、平面的に見て、前記活性層の第1側面から該第1側面に平行な第2側面まで、前記第1側面の垂線に対して傾いた方向に向かって形成され、
前記導電部材は、該導電部材を挟む一方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極、および、他方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極に電気的に接続されるように形成され、
平面的に見て、前記導電部材の外縁のうちの少なくとも一部は、前記複数の発光装置の外側に位置するように形成される。
複数の発光装置を形成する工程と、
前記複数の発光装置の各々を順次裏返しになるように、導電部材を介して積み重ねていく工程と、
を含み、
前記複数の発光装置を形成する工程は、
基板の上方に第1クラッド層を形成する工程と、
前記第1クラッド層の上方に活性層を形成する工程と、
前記活性層の上方に第2クラッド層を形成する工程と、
前記第1クラッド層および前記第2クラッド層を上方および下方から挟む一対の電極を形成する工程と、
を有し、
前記活性層のうちの少なくとも一部は、利得領域を構成するように形成され、
前記利得領域は、平面的に見て、前記活性層の第1側面から該第1側面に平行な第2側面まで、前記第1側面の垂線に対して傾いた方向に向かって形成され、
前記導電部材は、該導電部材を挟む一方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極、および、他方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極に電気的に接続されるように形成され、
平面的に見て、前記導電部材の外縁のうちの少なくとも一部は、前記複数の発光装置の外側に位置するように形成される。
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。
1. まず、本実施形態に係る発光モジュール1000について説明する。
図1は、発光モジュール1000を概略的に示す分解斜視図であり、図2は、発光モジュール1000を概略的に示す平面図であり、図3は、図2のIII−III線断面図である。
発光モジュール1000は、導電部材154と、複数(図示の例では2つ)の発光装置100と、を含む。ここでは、発光装置100がInGaAlP系(赤色)の半導体発光装置である場合について説明する。
2つの発光装置100は、図1〜図3に示すように、導電部材154を介して積み重ねられている。即ち、導電部材154は、下側の発光装置100と上側の発光装置100により挟まれている。導電部材154の下面は、例えば、下側の発光装置100の導電部材154側の電極(第2電極)122の上面と貼り合わされている。また、導電部材154の上面は、例えば、上側の発光装置100の導電部材154側の電極(第2電極)122の下面と貼り合わされている。導電部材154は、下側の発光装置100の第2電極122及び上側の発光装置100の第2電極122に電気的に接続されている。導電部材154は、例えば板状の部材である。導電部材154としては、例えば、アルミニウム板、金板、白金板、チタン板や、これらを積層したものなどを用いることができる。
図2のように平面的に見て、導電部材154の外縁の一部は、発光装置100の外側であって、第1側面107側に位置している。図示の例では、導電部材154の外縁の残りの部分は、発光装置100の外縁の一部と同じ位置である。導電部材154は、例えば、図2に示すように、発光装置100と完全に重なる領域と、第1側面107側に突出した領域とからなることができる。なお、例えば、導電部材154の外縁のすべてを発光装置100の外側に位置させることもできる。また、導電部材154は、例えば、平面的に見て、発光装置100の周囲全体に突出した領域を有することもできる。
上側の発光装置100は、図示の例では、下側の発光装置100を裏返したものと同じものである。従って、以下では、便宜上、下側の発光装置100のみについて説明するが、上側の発光装置100は、下側の発光装置100を裏返したものと異なったものであっても良い。なお、図示の例では、上側の発光装置100は、下側の発光装置100を、第2側面109が同じ側に向くようにして、裏返したものと同じものである。
発光装置100は、図1〜図3に示すように、第1クラッド層106と、活性層108と、第2クラッド層110と、第1電極120と、第2電極122と、を含む。発光装置100は、さらに、例えば、基板102と、バッファ層104と、コンタクト層112と、を含むことができる。図示の例では、第1電極120と第2電極122との間の部材、即ち、基板102からコンタクト層112までの部材は、一体的な多層部材152を構成している。
基板102としては、例えば、第1導電型(例えばn型)のGaAs基板などを用いることができる。
バッファ層104は、例えば図3に示すように、基板102上に形成されていることができる。バッファ層104は、例えば、その上方に形成される層の結晶性を向上させることができる。バッファ層104としては、例えば、基板102よりも結晶性の良好な(例えば欠陥密度の低い)第1導電型(n型)のGaAs層、InGaP層などを用いることができる。
第1クラッド層106は、バッファ層104上に形成されている。第1クラッド層106は、例えば、第1導電型の半導体からなる。第1クラッド層106としては、例えばn型AlGaP層などを用いることができる。
活性層108は、第1クラッド層106上に形成されている。活性層108は、例えば、InGaPウェル層とInGaAlPバリア層とから構成される量子井戸構造を3つ重ねた多重量子井戸(MQW)構造を有する。
活性層108の形状は、例えば直方体(立方体である場合を含む)などである。活性層108は、図1に示すように、第1側面107及び第2側面109を有する。第1側面107と第2側面109とは、平行である。
活性層108の一部は、図3に示すように、利得領域180を構成する。例えば図示の例では、活性層108は、3つの利得領域180を有している。3つの利得領域180は、図3に示すように、例えば等間隔に配列されていることができる。
利得領域180には、光を生じさせることができ、この光は、利得領域180内で利得を受けることができる。3つの利得領域180の各々は、平面的に見て(図2参照)、第1側面107から第2側面109まで、第1側面107の垂線に対して傾いた方向に向かって設けられている。これにより、利得領域180に生じる光のレーザ発振を抑制または防止することができる。なお、利得領域180が所定の方向に向かって設けられている場合とは、当該所定の方向が、平面的に見て、利得領域180の第1側面107側の第1端面170の中心と、第2側面109側の第2端面172の中心とを結ぶ方向に一致する場合をいう。
図4は、図1〜図3の例における活性層108を第1側面107側から平面的に見た図である。図4に示すように、3つの利得領域180の各々では、第1側面107側の第1端面170と、第2側面109側の第2端面172とは、重なっていない。これにより、利得領域180に生じる光を、第1側面107側の第1端面170と、第2側面109側の第2端面172との間で、直接的に多重反射させないことができる。その結果、直接的な共振器を構成させないことができるため、利得領域180に生じる光のレーザ発振をより確実に抑制または防止することができる。従って、発光モジュール1000は、レーザ光ではない光を発することができる。なお、この場合には、図4に示すように、第1端面170と、第2端面172とのずれ幅xが正の値であれば良い。
また、図示の例では、平面的に見て(図2参照)、3つの利得領域180の各々の第1端面170の幅は、第2端面172の幅と同じであるが、異なっていても良い。3つの利得領域180の各々の平面形状は、例えば図2に示すような平行四辺形などである。
第2クラッド層110は、活性層108上に形成されている。第2クラッド層110は、例えば第2導電型(例えばp型)の半導体からなる。第2クラッド層110としては、例えばp型AlGaP層などを用いることができる。
例えば、p型の第2クラッド層110、不純物がドーピングされていない活性層108、及びn型の第1クラッド層106により、pinダイオードが構成される。第1クラッド層106及び第2クラッド層110の各々は、活性層108よりも禁制帯幅が大きく、屈折率が小さい層である。活性層108は、光を増幅する機能を有する。第1クラッド層106及び第2クラッド層110は、活性層108を挟んで、注入キャリア(電子および正孔)並びに光を閉じ込める機能を有する。
発光装置100では、第1電極120と第2電極122との間に、pinダイオードの順バイアス電圧を印加すると、活性層108の利得領域180において電子と正孔との再結合が起こる。この再結合により発光が生じる。この生じた光を起点として、連鎖的に誘導放出が起こり、利得領域180内を光が進行し、その間に光強度が増幅され、第2端面172から出射光L1として出射されることができる。なお、図示の例では、第1端面170から出射される光(図示せず)もある。
コンタクト層112は、例えば図3に示すように、第2クラッド層110上に形成されていることができる。コンタクト層112としては、第2電極122とオーミックコンタクトする層を用いることができる。コンタクト層112は、例えば第2導電型の半導体からなる。コンタクト層112としては、例えばp型GaAs層などを用いることができる。
第1電極120は、例えば図3に示すように、基板102の下の全面に形成されている。第1電極120は、該第1電極120とオーミックコンタクトする層(図示の例では基板102)と接していることができる。第1電極120は、基板102及びバッファ層104を介して、第1クラッド層106と電気的に接続されている。第1電極120は、発光装置100を駆動するための一方の電極である。第1電極120としては、例えば、基板102側からCr層、AuGe層、Ni層、Au層の順序で積層したものなどを用いることができる。なお、第1クラッド層106とバッファ層104との間に、第2コンタクト層(図示せず)を設け、ドライエッチングなどにより該第2コンタクト層を露出させ、第1電極120を第2コンタクト層上に設けることもできる。これにより、片面電極構造を得ることができる。この形態は、基板102が絶縁性である場合に特に有効である。絶縁性の基板102としては、例えば、半絶縁性GaAs基板などが挙げられる。第2コンタクト層としては、例えばn型GaAs層などを用いることができる。また、図示しないが、例えば、エピタキシャルリフトオフ(ELO)法、レーザリフトオフ法などを用いて、基板102とその上に設けられた部材とを切り離すことができる。即ち、発光装置100は、基板102を有しないこともできる。この場合には、例えばバッファ層104の直接下に第1電極120を形成することができる。この形態も、基板102が絶縁性である場合に特に有効である。
第2電極122は、コンタクト層112上に形成されている。第2電極122は、コンタクト層112を介して、第2クラッド層110と電気的に接続されている。第2電極122は、発光装置100を駆動するための他方の電極である。第2電極122としては、例えば、コンタクト層112側からCr層、AuZn層、Au層の順序で積層したものなどを用いることができる。第2電極122の下面は、図2に示すように、利得領域180と同様の平面形状を有している。図示の例では、第2電極122とコンタクト層112との接触面の平面形状によって、電極120,122間の電流経路が決定され、その結果、利得領域180の平面形状が決定されることができる。なお、図示しないが、例えば、第1電極120と基板102との接触面が、利得領域180と同じ平面形状を有していても良い。また、図示しないが、例えば、コンタクト層112上に開口部を有する絶縁層を形成し、該開口部を埋め込むようにして、第2電極122を形成することもできる。この場合には、例えば、第2電極122とコンタクト層112との接触面は、利得領域180と同じ平面形状を有し、第2電極122の上面は、絶縁層(開口部含む)上の全面に設けられていることができる。
本実施形態に係る発光モジュール1000は、例えば、プロジェクタ、ディスプレイ、照明装置、計測装置などの光源に適用されることができる。
2. 次に、本実施形態に係る発光モジュール1000の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
図5及び図6は、発光モジュール1000の製造工程を概略的に示す断面図であり、図3に示す断面図に対応している。図7は、発光モジュール1000の製造工程を概略的に示す平面図である。
(1)まず、例えば、図5に示すように、基板102上に、バッファ層104、第1クラッド層106、活性層108、第2クラッド層110、及びコンタクト層112を、この順でエピタキシャル成長させる。エピタキシャル成長させる方法としては、例えば、MOCVD(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)法、MBE(Molecular Beam Epitaxy)法などを用いることができる。以上の工程により、図5に示すように、多層部材152が得られる。
(2)次に、例えば、図6に示すように、コンタクト層112上に第2電極122を形成する。第2電極122は、例えば、真空蒸着法により全面に導電層を形成した後、該導電層をフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いてパターニングすることにより形成される。また、第2電極122は、例えば、真空蒸着法およびリフトオフ法の組み合わせ等により、所望の形状に形成されることもできる。
次に、例えば、図6に示すように、基板102の下面下に第1電極120を形成する。第1電極120の製法は、例えば、上述した第2電極122の製法の例示と同じである。なお、第1電極120及び第2電極122の形成順序は、特に限定されない。
(3)以上の工程により、図7に示すように、本実施形態の発光装置100が複数作り込まれた発光装置ウェハ1100が得られる。次に、発光装置ウェハ1100をダイシングして、チップ化することができる。
(4)次に、例えば、図1及び図3に示すように、チップ化された発光装置100の2つを順次裏返しになるように、導電部材154を介して積み重ねていく。導電部材154と発光装置100との貼り合わせには、例えば公知の導電性接着剤などを用いることができる。
(5)以上の工程により、図1〜図3に示すように、本実施形態の発光モジュール1000が得られる。
3. 本実施形態に係る発光モジュール1000の有する発光装置100では、上述したように、利得領域180に生じる光のレーザ発振を抑制または防止することができる。従って、スペックルノイズを低減させることができる。さらに、本実施形態の発光装置100では、利得領域180に生じる光は、利得領域180内において利得を受けながら進行して、外部に出射されることができる。従って、従来の一般的なLEDよりも高い出力を得ることができる。以上のように、本実施形態によれば、スペックルノイズを低減でき、かつ高出力である新規な発光装置100を有する発光モジュール1000を提供することができる。
また、本実施形態の発光モジュール1000では、図1及び図3に示すように、2つの発光装置100が、縦方向(上下方向)に積み重ねられている。このため、本実施形態の発光モジュール1000によれば、同じ面積(平面的に見た面積)で高出力化が可能である。従って、発光モジュール1000を小型化することができる。
また、本実施形態の発光モジュール1000では、図2に示すように、下側の発光装置100の出射光L1と、上側の発光装置100の出射光L2とを交差させることができる。このため、例えば、出射光L1,L2を重ね合わせるような場合に比べ、光の照射面(例えばスクリーン面等)における発光モジュール1000全体としての光の大面積化かつ光強度の均一化を図ることができる。
また、本実施形態の発光モジュール1000では、2つの発光装置100の間に導電部材154が設けられている。この導電部材154は、ヒートシンクとして機能することができる。従って、本実施形態によれば、放熱性に優れた発光モジュール1000を提供することができる。
また、本実施形態の発光モジュール1000では、図2のように平面的に見て、導電部材154の外縁の一部は、発光装置100の外側に位置している。これにより、外部の配線(図示せず)などと、導電部材154とを、例えばボンディングワイヤ等の接続部材(図示せず)により、接続することができる。また、本実施形態の発光モジュール1000では、導電部材154は、2つの発光装置100の各々の第2電極122に接続されて、平面的に見た発光装置100の外側に引き出されることができる。このため、導電部材154は、第2電極122の各々に対する共通の引き出し電極として機能することができる。
また、本実施形態の発光モジュール1000の製造方法では、図7に示すように、発光装置ウェハ1100におけるチップパターンは、1種類で対応できる。このため、1種類のマスクパターンで発光モジュール1000を製造することができる。
4. 次に、本実施形態に係る発光モジュールの変形例について説明する。なお、上述した図1〜図3に示す発光モジュール1000の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
(1)まず、第1の変形例について説明する。
図8Aは、本変形例に係る発光モジュール2000の上側を概略的に示す分解斜視図の部分図であり、図8Bは、本変形例に係る発光モジュール2000の下側を概略的に示す分解斜視図の部分図である。
発光モジュール1000の例では、図1〜図3に示すように、1つの導電部材154を介して2つの発光装置100が積み重ねられている場合について説明した。これに対し、本変形例では、2つ以上の導電部材154,156の各々を介して、複数の発光装置100が積み重ねられていることができる。例えば、図8A及び図8Bに示す例では、3つの導電部材の各々を介して、4つの発光装置100が積み重ねられている。3つの導電部材のうちの中央の導電部材156は、例えば、他の導電部材154に比べ、平面的に見た発光装置100の外側に、より長く引き出されていることができる。このように、長さを異ならせて引き出すことにより、外部の配線(図示せず)などと、複数の導電部材154,156の各々とを、接続しやすくすることができる。中央の導電部材156は、例えば接地されていることができる。
図示の例では、中央の導電部材156の上面は、上側の発光装置100の第1電極120の下面の全面と貼り合わされている。また、中央の導電部材156の下面は、下側の発光装置100の第1電極120の上面の全面と貼り合わされている。このように、一体的に形成されている(即ちパターニングされていない)第1電極120の導電部材156側の表面の全部と、導電部材156の第1電極120側の表面とを貼り合わせることにより、貼り合わせ強度を向上させることができる。なお、このことは、第2電極122を一体的に形成するような場合についても同様である。
(2)次に、第2の変形例について説明する。
図9は、本変形例に係る発光モジュール3000を概略的に示す分解斜視図である。
本変形例では、発光装置200の第2電極122は、第1領域181及び第2領域182からなり、これらが対を成して第2電極122を構成している。第1領域181及び第2領域182の各々は、平面的に見て、第1側面107から第2側面109まで、第1側面107の垂線に対して傾いた方向に向かって設けられている。第1領域181と第2領域182とは、異なる方向に向かって設けられている。図示の例では、第1領域181は、第1側面107の垂線に対して一方の側に傾いた方向に向かって設けられている。また、第2領域182は、第1側面107の垂線に対して他方の側(上記一方の側の反対側)に傾いた方向に向かって設けられている。第1領域181の第1側面107側の端面のうちの少なくとも一部と、第2領域182の第1側面107側の端面のうちの少なくとも一部とは、重なっている。平面的に見ると、この重なり合っている面(以下「重なり面」という)の垂直二等分線に対して、例えば、第1領域181の形状と、第2領域182の形状とは、線対称であることができる。第1領域181及び第2領域182の各々の平面形状は、例えば図9に示すような平行四辺形などである。
図示の例では、第2電極122と多層部材152との接触面の平面形状によって、活性層の利得領域(図示せず)の平面形状が決定されることができる。即ち、活性層の利得領域は、第2電極122と多層部材152との接触面と同様の平面形状を有することができる。以下では、第2電極122の第1領域181の鉛直方向に位置する活性層の利得領域を第1利得領域、第2電極122の第2領域182の鉛直方向に位置する活性層の利得領域を第2利得領域という。
本変形例では、活性層の利得領域に生じる光の波長帯において、第1側面107の反射率は、第2側面109の反射率よりも高い。例えば、図9に示すように、第1側面107を反射部130によって覆うことにより、高い反射率を得ることができる。反射部130としては、例えば、第1側面107側からAl2O3層、TiO2層の順序で積層した誘電体多層膜ミラーなどを用いることができる。また、例えば、第2側面109を反射防止部(図示せず)によって覆うことにより、低い反射率を得ることができる。反射防止部としては、例えばAl2O3単層などを用いることができる。反射部130及び反射防止部は、例えばスパッタ法などにより形成される。
本変形例に係る発光モジュール3000の有する発光装置200では、第1利得領域に生じる光の一部は、重なり面において反射されて、第2利得領域内においても利得を受けながら進行し、最終的に出射されることができる。また、第2利得領域に生じる光の一部に関しても同様である。従って、本変形例の発光装置200によれば、例えば、重なり面において積極的に反射させないような場合に比べ、光強度の増幅距離が長くなるため、高い光出力を得ることができる。
また、本変形例の発光モジュール3000では、例えば図9に示すように、上側の発光装置200と、下側の発光装置200とを、ずらして導電部材154に貼り合わせることができる。図示の例では、下側の発光装置200の第2電極122が配列されている方向に、上側の発光装置200をずらして貼り合わされている。平面的に見たずらし量としては、例えば、上側の発光装置200の一方の第2電極122が、下側の発光装置200の一方の第2電極122に完全に重なる前までとすることが好ましい。これにより、光の照射面における発光モジュール3000全体としての光の大面積化かつ光強度の均一化を図ることができる。
(3)次に、第3の変形例について説明する。
図10は、本変形例に係る発光モジュールの有する発光装置600を概略的に示す断面図である。なお、図10に示す断面図は、発光モジュール1000の例における図3に示す断面図に対応している。
本変形例では、例えば、少なくともコンタクト層112のうちの第2電極122との接触面側の部分(コンタクト層112の上部)をパターニングし、柱状部610を形成することができる。図示の例では、柱状部610は、コンタクト層112、第2クラッド層110、活性層108、及び第1クラッド層106から構成されている。例えば、柱状部610の側面のうち、第1側面107側および第2側面109側以外の側面は、絶縁部602により覆われている。絶縁部602は、図10に示すように、柱状部610の側方に設けられている。絶縁部602は、例えば、柱状部610の第2電極122側とは反対側に接する層(図示の例ではバッファ層104)の上に形成されている。絶縁部602は、第1側面107と第2側面109との間において、柱状部610の側面に接している。電極120,122間の電流は、絶縁部602を避けて、該絶縁部602に挟まれた柱状部610を流れることができる。つまり、柱状部610の平面形状によって、電極120,122間の電流経路が決定され、その結果、利得領域180の平面形状が決定されることができる。
絶縁部602は、例えば、活性層108の屈折率よりも低い屈折率を有することができる。これにより、活性層108内に効率良く光を閉じ込めることができる。本実施形態に係る発光装置600では、利得領域180において発生した光は、屈折率差によって形成された、利得領域180の軸方向(上述した所定の方向)に伝搬する伝搬モードに結合する。そのため、利得領域180の軸方向と異なる方向へ伝搬するような光はほとんど存在しない。例えば、利得領域180において対向する第1端面170と第2端面172とが、第1側面107側から平面的に見て重なっている場合に、その重なり部分において第1端面170と第2端面172とを垂直に結ぶ方向は、利得領域180の軸方向とは異なる。そのため、この第1端面170と第2端面172とを垂直に結ぶ方向へ伝搬するような光はほとんど存在しない。従って、利得領域180を第1側面107の垂線に対して傾いた方向に向かって設け、光の多重反射を抑制または防止することにより、レーザ光ではない光を発する発光装置600を得ることができる。絶縁部602としては、例えば、CVD法などにより成膜されたSiN層などを用いることができる。また、絶縁部602は、例えばプロトン注入などにより形成されることもできる。なお、図示しないが、柱状部610及び絶縁部602は、基板102側に形成されることもできる。
(4)次に、第4の変形例について説明する。
発光モジュール1000の例では、利得領域180の平面形状は、図2に示すように、直線状である場合について説明したが、本変形例では、図示しないが、例えば、利得領域180の平面形状は、曲線状や、直線状と曲線状の組み合わせなどであることができる。
(5)次に、第5の変形例について説明する。
発光モジュール1000の例では、InGaAlP系の場合について説明したが、本変形例では、発光利得領域が形成可能なあらゆる材料系を用いることができる。半導体材料であれば、例えば、AlGaN系、InGaN系、GaAs系、InGaAs系、GaInNAs系、ZnCdSe系などの半導体材料を用いることができる。また、本変形例では、例えば有機材料などを用いることもできる。
(6)なお、上述した変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各変形例を適宜組み合わせることも可能である。
5. 上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できよう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。
100 発光装置、102 基板、104 バッファ層、106 第1クラッド層、107 第1側面、108 活性層、109 第2側面、110 第2クラッド層、112 コンタクト層、120 第1電極、122 第2電極、130 反射部、152 多層部材、154,156 導電部材、170 第1端面、172 第2端面、180 利得領域、181 第1領域、182 第2領域、200,600 発光装置、602 絶縁部、610 柱状部、1000 発光モジュール、1100 発光装置ウェハ,2000,3000 発光モジュール
Claims (11)
- 導電部材と、
前記導電部材を介して積み重ねられた複数の発光装置と、
を含み、
前記複数の発光装置の各々は、
活性層と、
前記活性層を上方および下方から挟む一対のクラッド層と、
前記一対のクラッド層を上方および下方から挟む一対の電極と、
を有し、
前記活性層のうちの少なくとも一部は、利得領域を構成し、
前記利得領域は、平面的に見て、前記活性層の第1側面から該第1側面に平行な第2側面まで、前記第1側面の垂線に対して傾いた方向に向かって設けられ、
前記導電部材は、該導電部材を挟む一方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極、および、他方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極に電気的に接続されており、
平面的に見て、前記導電部材の外縁のうちの少なくとも一部は、前記複数の発光装置の外側に位置している、発光モジュール。 - 請求項1において、
前記導電部材を挟む一方の前記発光装置は、他方の前記発光装置を裏返したものと同じものである、発光モジュール。 - 請求項1または2において、
前記利得領域では、前記第1側面側から平面的に見て、前記第1側面側の端面と、前記第2側面側の端面とは、重なっていない、発光モジュール。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
レーザ光ではない光を発する、発光モジュール。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記複数の発光装置の各々の第2側面は、同じ側に向けられている、発光モジュール。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記導電部材の下面は、該導電部材を挟む一方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極の上面と貼り合わされており、
前記導電部材の上面は、該導電部材を挟む他方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極の下面と貼り合わされている、発光モジュール。 - 請求項6において、
前記導電部材は、該導電部材に貼り合わされている前記電極のうち、一体的に形成された該電極の前記上面および前記下面のうちの少なくとも一方の全面と貼り合わされている、発光モジュール。 - 請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記導電部材は、複数設けられており、
前記複数の発光装置は、複数の前記導電部材の各々を介して積み重ねられている、発光モジュール。 - 請求項1乃至8のいずれかにおいて、
前記利得領域は、複数設けられており、
複数の前記利得領域に生じる光の波長帯において、前記第1側面の反射率は、前記第2側面の反射率よりも高く、
前記複数の利得領域は、少なくとも1つの前記利得領域の対を成し、
前記利得領域の対の一方の第1利得領域は、一の方向に向かって設けられ、
前記利得領域の対の他方の第2利得領域は、前記一の方向とは異なる他の方向に向かって設けられ、
前記第1利得領域の前記第1側面側の端面のうちの少なくとも一部と、前記第2利得領域の前記第1側面側の端面のうちの少なくとも一部とは、重なっている、発光モジュール。 - 請求項1乃至9のいずれかにおいて、
前記一対の電極の各々は、オーミックコンタクトする層と接しており、
前記一対の電極のうちの少なくとも一方と、前記オーミックコンタクトする層との接触面は、前記利得領域と同じ平面形状を有する、発光モジュール。 - 複数の発光装置を形成する工程と、
前記複数の発光装置の各々を順次裏返しになるように、導電部材を介して積み重ねていく工程と、
を含み、
前記複数の発光装置を形成する工程は、
基板の上方に第1クラッド層を形成する工程と、
前記第1クラッド層の上方に活性層を形成する工程と、
前記活性層の上方に第2クラッド層を形成する工程と、
前記第1クラッド層および前記第2クラッド層を上方および下方から挟む一対の電極を形成する工程と、
を有し、
前記活性層のうちの少なくとも一部は、利得領域を構成するように形成され、
前記利得領域は、平面的に見て、前記活性層の第1側面から該第1側面に平行な第2側面まで、前記第1側面の垂線に対して傾いた方向に向かって形成され、
前記導電部材は、該導電部材を挟む一方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極、および、他方の前記発光装置の該導電部材側の前記電極に電気的に接続されるように形成され、
平面的に見て、前記導電部材の外縁のうちの少なくとも一部は、前記複数の発光装置の外側に位置するように形成される、発光モジュールの製造方法。
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JP2008080278A JP2009238845A (ja) | 2008-03-26 | 2008-03-26 | 発光モジュール及びその製造方法 |
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-
2008
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