JP5494991B2 - 発光装置 - Google Patents
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第1クラッド層と、
前記第1クラッド層の上方に形成された活性層と、
前記活性層の上方に形成された第2クラッド層と、
を含み、
前記活性層のうちの少なくとも一部は、複数の利得領域を構成し、
前記複数の利得領域に生じる光の波長帯において、前記活性層の第1側面の反射率は、該第1側面に平行な前記活性層の第2側面の反射率よりも高く、
前記複数の利得領域の各々は、平面的に見て、前記第1側面から前記第2側面まで、前記第1側面の垂線に対して傾いた方向に向かって設けられ、
前記複数の利得領域は、少なくとも1つの前記利得領域の対を成し、
前記利得領域の対の一方の第1利得領域は、一の方向に向かって設けられ、
前記利得領域の対の他方の第2利得領域は、前記一の方向とは異なる他の方向に向かって設けられ、
前記第1利得領域の前記第1側面側の端面のうちの少なくとも一部と、前記第2利得領域の前記第1側面側の端面のうちの少なくとも一部とは、重なっている。
。さらに、本発明に係る発光装置では、前記利得領域に生じる光は、該利得領域内において利得を受けながら進行して、外部に出射されることができる。従って、従来の一般的なLEDよりも高い出力を得ることができる。以上のように、本発明によれば、スペックルノイズを低減でき、かつ高出力である新規な発光装置を提供することができる。
前記第1利得領域の前記第1側面側の端面のうちの少なくとも一部と、前記第2利得領域の前記第1側面側の端面のうちの少なくとも一部とは、重なり面において重なっており、
前記第1利得領域に生じる光の一部は、前記重なり面において反射して、前記第2利得領域の前記第2側面側の端面から出射され、
前記第2利得領域に生じる光の一部は、前記重なり面において反射して、前記第1利得領域の前記第2側面側の端面から出射されることができる。
前記第1利得領域の平面形状と、前記第2利得領域の平面形状とは、前記第1利得領域または前記第2利得領域の前記第1側面側の前記端面内の垂線に対して線対称であることができる。
前記複数の利得領域の各々では、前記第1側面側から平面的に見て、前記第1側面側の端面と、前記第2側面側の端面とは、重なっていないことができる。
平面的に見て、前記第1側面側の前記端面の外側の端点における垂線に対する前記複数の利得領域の各々の外縁の傾き角θ、前記複数の利得領域の各々の前記第1側面側の端面の幅b、および、前記第1側面と前記第2側面との間の距離Lは、下記式(1)を満たすことができる。
平面的に見て、前記複数の利得領域のうちの少なくとも1つの前記第2側面側の端面の幅は、前記第1側面側の端面の幅と同じであることができる。
前記複数の利得領域に生じる光の波長帯において、前記第1側面の前記反射率Rは、下記式(I)を満たすことができる。
但し、eは、自然対数の底であり、Gは、g−αであり、gは、利得定数であり、αは、内部損失であり、θは、平面的に見て、前記第1側面の垂線に対する前記複数の利得領域の各々の傾き角であり、Lは、前記第1側面と前記第2側面との間の距離である。
前記第1クラッド層に電気的に接続された第1電極と、
前記第2クラッド層に電気的に接続された第2電極と、
を含むことができる。
前記第1電極は、オーミックコンタクトする第1層と接しており、
前記第2電極は、オーミックコンタクトする第2層と接しており、
前記第1電極と前記第1層との接触面、および、前記第2電極と前記第2層との接触面のうちの少なくとも一方は、前記複数の利得領域と同じ平面形状を有することができる。
前記第1層の前記接触面側の部分および前記第2層の前記接触面側の部分のうちの少なくとも一方は、柱状部の少なくとも一部を構成し、
前記柱状部は、前記複数の利得領域と同じ平面形状を有し、
前記柱状部の側方には、絶縁部が設けられており、
前記絶縁部は、平面的に見て、前記第1側面と前記第2側面との間において、前記柱状部の側面に接していることができる。
前記第1側面と前記第2側面との間において、少なくとも前記活性層の側面は、前記絶縁部により覆われていることができる。
前記複数の利得領域の各々の平面形状は、平行四辺形であることができる。
レーザ光ではない光を発することができる。
前記利得領域の対は、複数配列されていることができる。
前記複数の利得領域の第2側面側の端面は、互いに重なっていないことができる。
1.1. まず、第1の実施形態に係る発光装置100について説明する。
きる。このことは、他の利得領域についても同様である。
tanθ>b/L …(1)
なお、傾き角θは、平面的に見て、第1端面170の垂線であって、外側(第1利得領域180の傾いている側と反対側)の端点Qにおける垂線Sに対する第1利得領域180の外縁181の傾き角である。また、幅bは、平面的に見て、第1端面170の幅である。また、距離Lは、第1側面107と第2側面109との間の最短の長さである。また、図示の例では、平面的に見て(図2参照)、第1利得領域180及び第2利得領域182の各々の第2側面109側の端面172,176の幅aは、第1側面107側の端面170,174の幅bと同じである。
但し、eは、自然対数の底であり、Gは、g−αであり、gは、利得定数であり、αは、内部損失である。上記式(I)は、以下のようにして導かれる。
但し、Ispは、単位長さ当たりの自然放出光の出力であり、zは、垂線Pに対して角度θの傾きを有する第1方向Aにおける第1側面107から第2側面109までの位置を示す変数である。
この式を変形することにより、
R>(eGL/cosθ−1)/(2eGL/cosθ) …(I)
となる。以上のようにして、上記式(I)を導くことができる。
らなる。コンタクト層112としては、例えばp型GaAs層などを用いることができる。
る。反射部130及び反射防止部は、例えば、CVD(Chemical Vapor Deposition)法
、スパッタ法、イオンアシスト蒸着(Ion Assisted Deposition)法などにより形成される
。なお、反射部130及び反射防止部の形成順序は、特に限定されない。
72と第4端面176とを、互いに重ならせないことができる。
2.1. 次に、第2の実施形態に係る発光装置600について説明する。
きる。絶縁部602は、例えば、活性層108の第1側面107と第2側面109との間において、少なくとも活性層108の側面を覆うことができる。例えば、柱状部610の側面のうち、第1側面107側および第2側面109側以外の側面は、絶縁部602により覆われている。絶縁部602は、図14及び図15に示すように、第1側面107と第2側面109との間において、柱状部610の側面に接している。電極120,122間の電流は、絶縁部602を避けて、該絶縁部602に挟まれた柱状部610を流れることができる。活性層108の側面が絶縁部602により覆われていることにより、第1利得領域180と第2利得領域182のクロストークを防ぎ易くすることができる。
0が得られる。
うちの第2電極122との接触面側の部分(コンタクト層112の上部)が、柱状部610を構成することができる。例えば、柱状部610は、図示のように、第2クラッド層110の上部およびコンタクト層112から構成されることができる。絶縁部602は、例えば、第2クラッド層110の上面の一部、第2クラッド層110の側面の一部、及びコンタクト層112の側面を覆っている。絶縁部602の下面の位置は、例えば、活性層108の上面の位置よりも上である。図示の例では、上述した第2の変形例と同様に、第2電極122は、柱状部610及び絶縁部602の上の全面に形成されている。なお、図示しないが、柱状部610及び絶縁部602は、基板102側に形成されることもできる。
出射光、170 第1端面、172 第2端面、174 第3端面、176 第4端面、178 重なり面、180 第1利得領域、182 第2利得領域、183 利得領域対、200 発光装置、202 絶縁層、500,600 発光装置、602 絶縁部、610 柱状部、700 発光装置、704 マスク層,706 イオン
Claims (15)
- 第1クラッド層と、
第2クラッド層と、
前記第1クラッド層と前記第2クラッド層との間に位置する活性層と、
を含み、
前記活性層は、電流が注入されて光を発生する利得領域を構成し、
前記利得領域は、
前記活性層および前記第2クラッド層の積層方向からの平面視にて、前記活性層の第1側面から当該第1側面とは反対側に位置する前記活性層の第2側面にわたって、前記第1側面の垂線に対して傾いた第1の方向に一定の幅で延在している第1利得領域と、
前記積層方向からの平面視にて、前記第1側面から前記第2側面にわたって、前記第1の方向と異なり、かつ前記第1側面の垂線に対して傾いた第2の方向に前記一定の幅で延在している第2利得領域と、
を有し、
前記第1利得領域の前記第1側面と前記第2利得領域の前記第1側面とは、少なくとも一部が共通であり、
前記利得領域にて発生する光の波長帯において、前記第1側面の反射率は、前記第2側面の反射率よりも高く、
前記利得領域にて発生する光は、前記第1利得領域の前記第2側面および前記第2利得領域の前記第2側面から出射される、発光装置。 - 請求項1において、
前記第1利得領域にて発生する光の一部は、前記第1利得領域の前記第1側面と前記第2利得領域の前記第1側面との共通する部分において反射して、前記第2利得領域の前記第2側面から出射され、
前記第2利得領域にて発生する光の一部は、前記第1利得領域の前記第1側面と前記第2利得領域の前記第1側面との共通する部分において反射して、前記第1利得領域の前記第2側面から出射される、発光装置。 - 請求項1または2において、
前記積層方向からの平面視における前記第1利得領域の平面形状と、前記積層方向からの平面視における前記第2利得領域の平面形状とは、前記第1側面の垂線に対して線対称である、発光装置。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記利得領域は、前記第1側面側からの平面視において、前記利得領域の前記第1側面と、前記利得領域の前記第2側面とは、重なっていない、発光装置。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記積層方向からの平面視にて、前記第1側面の垂線に対する前記利得領域の外縁の傾き角θ、前記利得領域の前記第1側面の幅b、および、前記第1側面と前記第2側面との間の距離Lは、下記式(1)を満たす、発光装置。
tanθ>b/L …(1) - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記積層方向からの平面視にて、前記利得領域の前記第2側面の幅は、前記第1側面の幅と同じである、発光装置。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記利得領域に生じる光の波長帯において、前記第1側面の反射率Rは、下記式(I)を満たす、発光装置。
R>(eGL/cosθ−1)/(2eGL/cosθ) …(I)
但し、eは、自然対数の底であり、Gは、g−αであり、gは、利得定数であり、αは、内部損失であり、θは、前記積層方向からの平面視における、前記第1側面の垂線に対する前記利得領域の外縁の傾き角であり、Lは、前記第1側面と前記第2側面との間の距離である。 - 請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記第1クラッド層に電気的に接続された第1電極と、
前記第2クラッド層に電気的に接続された第2電極と、
を含む、発光装置。 - 請求項8において、
前記第1電極とオーミックコンタクトする第1層と、
前記第2電極とオーミックコンタクトする第2層と、
を含み、
前記第1電極と前記第1層との接触面、および、前記第2電極と前記第2層との接触面のうちの少なくとも一方は、前記積層方向からの平面視における前記利得領域と同じ平面形状を有する、発光装置。 - 請求項9において、
前記第1クラッド層、前記第2クラッド層、および、前記活性層を含んで柱状に形成された柱状部を含み、
前記第1層の前記接触面側の部分および前記第2層の前記接触面側の部分のうちの少なくとも一方は、前記柱状部の少なくとも一部を構成し、
前記柱状部は、前記利得領域と同じ平面形状を有し、
前記柱状部の側方には、絶縁部が設けられており、
前記絶縁部は、前記第1側面と前記第2側面との間において、前記柱状部の側面に接している、発光装置。 - 請求項10において、
前記第1側面と前記第2側面との間において、少なくとも前記活性層の側面は、前記絶縁部により覆われている、発光装置。 - 請求項1乃至11のいずれかにおいて、
前記第1利得領域および前記第2利得領域の前記積層方向からの平面視における平面形状は、平行四辺形である、発光装置。 - 請求項1乃至12のいずれかにおいて、
前記第1利得領域の前記第2側面および前記第2利得領域の前記第2側面から出射される光は、レーザ光ではない光である、発光装置。 - 請求項1乃至13のいずれかにおいて、
前記利得領域は、複数配列されている、発光装置。 - 請求項14において、
複数の前記利得領域の前記第2側面は、互いに重なっていない、発光装置。
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