JP5403305B2 - 発光装置 - Google Patents
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Description
第1クラッド層と、
前記第1クラッド層の上方に形成された活性層と、
前記活性層の上方に形成された第2クラッド層と、
を含み、
前記活性層のうちの少なくとも一部は、複数の利得領域を構成し、
前記複数の利得領域に生じる光の波長帯において、前記活性層の第1側面の反射率は、前記第1側面に対向する前記活性層の第2側面の反射率よりも高く、
前記複数の利得領域の各々は、前記第1側面側から前記第2側面側に向かって設けられ、
前記複数の利得領域は、少なくとも1つの利得領域対をなし、
前記利得領域対の一方の第1利得領域は、直線状の形状を有し、前記第1側面の垂線に対して傾いており、
前記利得領域対の他方の第2利得領域は、円弧の形状を有する曲がり導波路部を有し、
前記第1利得領域の前記第1側面側の端面と、前記第2利得領域の前記第1側面側の端面とは、重なり面において重なっており、
前記第1利得領域の前記第2側面側の端面から出射される光と、前記第2利得領域の前記第2側面側の端面から出射される光とは、同一の方向または集束する方向に進む。
前記第1利得領域に生じる光の一部は、前記重なり面において反射して、前記第2利得領域の前記第2側面側の端面から出射され、
前記第2利得領域に生じる光の一部は、前記重なり面において反射して、前記第1利得領域の前記第2側面側の端面から出射されることができる。
前記第1利得領域では、前記第1側面側から平面的にみて、前記第1側面側の端面と、前記第2側面側の端面とは、重なっていないことができる。
前記曲がり導波路部は、平面視において、前記活性層の外周と離間していることができる。
前記第2利得領域は、複数の前記曲がり導波路部を有することができる。
前記第1クラッド層に電気的に接続された第1電極と、
前記第2クラッド層に電気的に接続された第2電極と、
を含むことができる。
少なくとも前記第2クラッド層の一部は、柱状部を構成し、
前記柱状部は、前記複数の利得領域と同じ平面形状を有し、
前記柱状部の側方には、絶縁部が設けられていることができる。
レーザー光ではない光を発することができる。
1.1. 第1の実施形態に係る発光装置
まず、第1の実施形態に係る発光装置100について、図面を参照しながら説明する。図1は、発光装置100を模式的に示す斜視図である。図2は、発光装置100を模式的に示す平面図である。図3は、発光装置100を模式的に示す図2のIII−III線断面図である。なお、ここでは、発光装置100がInGaAlP系(赤色)の半導体発光装置である場合について説明する。
高い。例えば、図1および図2に示すように、第1側面105を反射部130によって覆うことにより、高い反射率を得ることができる。反射部130は、例えば誘電体多層膜ミラーなどである。具体的には、反射部130としては、例えば、第1側面105側からSiO2層、Ta2O5層の順序で10ペア積層したミラーなどを用いることができる。第1側面105の反射率は、100%、あるいはそれに近いことが望ましい。これに対し、第2側面107の反射率は、0%、あるいはそれに近いことが望ましい。例えば、第2側面107を反射防止部(図示せず)によって覆うことにより、低い反射率を得ることができる。なお、反射部130としては、上述した例に限定されるわけではなく、例えば、Al2O3層、TiO2層、SiN層や、これらの多層膜などを用いることができる。
られていることができる。曲がり導波路部166は、第1導波路部163および第2導波路部164と連続していることができる。曲がり導波路部166は、円弧の形状を有する。これにより、第2利得領域162を曲げることができ、第4端面176から出射される光22を、第2端面172から出射される光20と、同一の方向または集束する方向に進行させることができる。すなわち、第2利得領域162は、例えば活性層の側面や内部に設けられた反射面によって、屈曲しているわけではない。曲がり導波路部166は、図2に示すように平面視において、活性層106の外周と離間していることができる。曲がり導波路部166によって、第2利得領域162に生じる光を第3端面174と第4端面176との間で、直接的に多重反射させないことができる。その結果、直接的な共振器を構成させないことができるため、第2利得領域162に生じる光のレーザー発振を抑制または防止することができる。上述のとおり、第1利得領域160に生じる光のレーザー発振も抑制または防止されるため、発光装置100は、レーザー光ではない光を発することができる。
ッド層108、および活性層106から構成されていてもよいし、さらに、第1クラッド層104をも含んで構成されていてもよい。また、柱状部111の側面を傾斜させることもできる。
置、計測装置などの光源に適用されることができる。
次に、第1の実施形態に係る発光装置100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図5〜図7は、発光装置100の製造工程を模式的に示す断面図である。
2クラッド層108の上方(コンタクト層110上を含む)に絶縁層(図示せず)を成膜する。次に、例えば、エッチング技術などを用いて、コンタクト層110の上面を露出させる。以上の工程により、絶縁部116を形成することができる。
などにより形成される。なお、第1電極112、第2電極114および反射部130の形成順序は、特に限定されない。
2.1. 第2の実施形態に係る発光装置
次に、第2の実施形態に係る発光装置200について、図面を参照しながら説明する。図8は、発光装置200を模式的に示す平面図であり、発光装置100を模式的に示した図2に対応している。以下、第2の実施形態に係る発光装置200において、第1の実施形態に係る発光装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
第2の実施形態に係る発光装置200の製造方法は、基本的に、第1の実施形態に係る発光装置100の製造方法と同じである。したがって、その説明を省略する。
Claims (8)
- 第1クラッド層と、
第2クラッド層と、
前記第1クラッド層と前記第2クラッド層とに挟まれる位置に設けられる活性層と、
を含み、
前記活性層は、電流が注入されると光を発生する複数の利得領域を構成し、
前記利得領域は、
前記活性層および前記第2クラッド層の積層方向からの平面視にて、前記活性層の第1側面から前記活性層の第2側面にわたって、前記第1側面の垂線に対して傾いた第1の直線に沿って延在する第1利得領域と、
前記平面視にて、前記活性層の第1側面から前記活性層の第2側面にわたって設けられ、円弧の形状を有する曲がり導波路部を有する第2利得領域と、
を含み、
前記第1利得領域の前記第1側面側の端面と、前記第2利得領域の前記第1側面側の端面とは、前記第1側面の位置において重なって設けられ、
前記第1利得領域の前記第2側面側の端面から出射される光と、前記第2利得領域の前記第2側面側の端面から出射される光とは、同一の方向または集束する方向に進む、発光装置。 - 請求項1において、
前記第1利得領域に生じる光の一部は、前記第1側面において反射して、前記第2利得領域の前記第2側面側の端面から出射され、
前記第2利得領域に生じる光の一部は、前記第1側面において反射して、前記第1利得領域の前記第2側面側の端面から出射される、発光装置。 - 請求項1または2において、
前記第1利得領域では、前記第1側面の垂線の方向からみて、前記第1側面側の端面と、前記第2側面側の端面とは、重なっていない、発光装置。 - 請求項1ないし3のいずれかにおいて、
前記曲がり導波路部は、前記平面視において、前記活性層の外周と離間している、発光
装置。 - 請求項1ないし4のいずれかにおいて、
前記第2利得領域は、複数の前記曲がり導波路部を有する、発光装置。 - 請求項1ないし5のいずれかにおいて、
前記第1クラッド層に電気的に接続された第1電極と、
前記第2クラッド層に電気的に接続された第2電極と、
を含む、発光装置。 - 請求項1ないし6のいずれかにおいて、
少なくとも前記第2クラッド層の一部は、柱状部を構成し、
前記柱状部は、前記利得領域と同じ平面形状を有し、
前記柱状部の側方には、絶縁部が設けられている、発光装置。 - 請求項1ないし7のいずれかにおいて、
前記第1利得領域の前記第2側面側の端面から出射される光と、前記第2利得領域の前記第2側面側の端面から出射される光とは、レーザー光ではない、発光装置。
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