JP2010520436A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. コンジットを出る特定の気体流とともに使用される気体拡散装置であって、
   ａ．面を規定する周縁部を有する平らなシートであって、前記面に、ある領域を有し前記周縁部に対して内側に位置する第１のゾーンと、ある領域を有して前記第１のゾーンと前記周縁部との間に位置する第２のゾーンと、を有するシートと；
   ｂ．前記平らなシートの前記面の前記第１のゾーンを通る第１の複数の開口部であって、前記第１のゾーンの前記領域に対する開放領域の第１の割合を構成する開口部と；
   ｃ．前記平らなシートの前記面の前記第２のゾーンを通る第２の複数の開口部であって、前記第２のゾーンの前記領域に対する開放領域の第２の割合を構成し、前記開放領域の第１の割合が前記開放領域の第２の割合よりも小さい開口部と；
   ｄ．前記コンジットに隣接して前記平らなシートを保持するための取付具と；
   を具えることを特徴とする装置。
2. さらに、ある領域を有し前記第２のゾーンと前記周縁部との間に位置する前記面の第３のゾーンと、
   前記平らなシートの前記第３のゾーンを通る第３の複数の開口部と、を有しており、
   前記第３のゾーンの前記第３の複数の開口部が、前記第３のゾーンの前記領域の開放領域の第３の割合を構成し、
   前記開放領域の第２の割合が前記開放領域の第３の割合よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. さらに、ある領域を有し前記第３のゾーンと前記周縁部との間に位置する前記面の第４のゾーンと、前記平らなシートの前記第４のゾーンを通る第４の複数の開口部と、を具えており、
   前記第４の複数の開口部が、前記第４のゾーンの前記領域の開放領域の第４の割合を構成し、
   前記第３の割合が前記第４の割合よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載の装置。
4. 前記平らなシートの周縁部が多角形を具えており、
   前記第４のゾーンが少なくとも前記多角形の隅部に位置していることを特徴とする請求項３に記載の装置。
5. 前記シートの周縁部が、少なくとも部分的に湾曲していることを特徴とする請求項１に記載の装置。
6. 前記第２のゾーンが、前記第１のゾーンを少なくとも部分的に囲んでいることを特徴とする請求項１に記載の装置。
7. 前記第３のゾーンが、前記第２のゾーンを少なくとも部分的に囲んでいることを特徴とする請求項２に記載の装置。
8. さらに、前記シートが前記面から外側に延在する壁部を具えており、
   前記壁部が、そこを通る複数の開口部を有していることを特徴とする請求項１に記載の装置。