JP2010510666A - フォトリソグラフィ・スキャナ・フィールド投影装置用の反射光学システム - Google Patents
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Abstract
Description
R=k1λ/NA
によって見積もられるのが慣例であり、この式は、無単位のレイリー定数k1、光の波長λ、露光システムの開口数NAの関数として、最も小さい解像可能なハーフピッチ(最小ラインに最小スペースを加算したものの2分の1)で表して、解像度Rを表す。k1値は、リソグラフィ処理の化学的および他の側面に基づいて、リソグラフィ・プロセスの質の尺度として使用される。0.5のk1係数を仮定すると、この設計は、k1λ/NAによって0.5×13.5nm/0.5=13.5nmとして与えられる最小解像度を達成する。特別なプリンティング技法、および交互照明方式により、これを10nm未満に増大することができる。これは、シリコン半導体材料に関する動作の限界に近いものである。
Claims (21)
- フォトリソグラフィ・マスクの反射をウェハ上に結像するために少なくとも8つの反射表面を備え、少なくとも0.5の開口数を有することを特徴とするフォトリソグラフィ用の光学投影システム。
- 少なくとも1つの反射表面内にオブスキュレーションをさらに備え、前記反射が前記オブスキュレーションを通過することを可能にすることを特徴とする請求項1記載の光学投影システム。
- 前記オブスキュレーションは、前記ウェハに最も近い2つの前記反射表面内にあることを特徴とする請求項1記載の光学投影システム。
- フォトリソグラフィ・マスクの反射をウェハ上に結像するために少なくとも8つの反射表面を備え、各表面上での、前記マスクから前記ウェハに反射する光の入射角が18度以下であることを特徴とするフォトリソグラフィ用の光学投影システム。
- 8つの反射表面を備え、前記ウェハに最も近い2つの前記表面がオブスキュレーションを含み、前記マスクの前記反射がそれぞれのオブスキュレーションを通過することを可能にすることを特徴とする請求項4記載の光学投影システム。
- 前記反射表面は、多層Mo/Si膜を備えることを特徴とする請求項4記載の光学投影システム。
- フォトリソグラフィ・マスクの反射をウェハ上に結像するために少なくとも8つの反射表面を備え、第7および第8の表面がオブスキュレーションを有し、像が前記オブスキュレーションを通過することを可能にすることを特徴とするフォトリソグラフィ用の光学投影システム。
- 前記反射表面は、第1の中間像を生成するための第1の群と、第2の中間像を生成するための第2の群と、前記第2の中間像を前記ウェハ上に中継する、前記第7および第8の反射表面からなる第3の群とを形成することを特徴とする請求項7記載のシステム。
- 第7の反射表面は、前記第8の反射表面より前記マスクに近いことを特徴とする請求項7記載の光学投影システム。
- 前記オブスキュレーションは、照明の回折次数が軸外しとなるように位置決めされることを特徴とする請求項7記載の光学投影システム。
- フォトリソグラフィ・マスク上で環状の照明パターンを生成するための収集光学系と、
前記環状の照明パターンの中央部分と少なくとも部分的に一致するオブスキュレーションを有する反射表面を有する投影光学系と
を備えるフォトリソグラフィ用の光学システム。 - 前記投影光学系は複数の反射要素を備え、像に最も近い2つの前記反射要素はオブスキュレーションを有することを特徴とする請求項11記載の光学システム。
- 前記複数の反射要素は、5つの正の屈折力の反射表面と、3つの負の屈折力の反射表面とを備えることを特徴とする請求項12記載の光学投影システム。
- フォトリソグラフィ・マスクの反射をウェハ上に結像するために少なくとも8つの反射表面を備え、第2の反射表面と第3の反射表面との間に第1の仮想像を、また第6の反射表面と第7の反射表面との間に第2の仮想像を形成することを特徴とするフォトリソグラフィ用の光学投影システム。
- 第1および第2の光学要素は結像群を形成し、第7および第8の光学要素は中継群を形成することを特徴とする請求項14記載の光学投影システム。
- 前記8つの反射表面のうちの6つのそれぞれで反射する光の入射角は、8度以下であることを特徴とする請求項15記載の光学投影システム。
- フォトリソグラフィ・マスクの反射をウェハ上に結像するために少なくとも8つの反射表面を備え、前記8つの反射表面は、長共役から短共役にかけて、
凹面反射表面を有する第1のミラーと、
第2のミラーと、
第3のミラーと、
凹面反射表面を有する第4のミラーと、
凸面反射表面を有する第5のミラーと、
凹面反射表面を有する第6のミラーと、
凸面反射表面を有する第7のミラーと、
凹面反射表面を有する第8のミラーと
であることを特徴とするフォトリソグラフィ用の光学投影システム。 - 前記第2のミラーは凸面反射表面を有し、前記第3のミラーは凹面反射表面を有することを特徴とする請求項17記載のシステム。
- 前記第2のミラーは凹面反射表面を有し、前記第3のミラーは凸面反射表面を有することを特徴とする請求項17記載のシステム。
- 前記反射表面は、第1の中間像を生成するための第1の群と、第2の中間像を生成するための第2の群と、前記第2の中間像を前記ウェハ上に中継するための第3の群とを形成することを特徴とする請求項17記載のシステム。
- 前記8つの反射表面のうちの6つのそれぞれで反射する光の入射角は、8度以下であることを特徴とする請求項17記載のシステム。
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