JP5756121B2 - 結像光学系 - Google Patents
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Description
P(M)=D(SA)/(D(SA)+D(CR))≦0.9
P(M)=D(SA)/(D(SA)+D(CR))
このパラメータは、0.9よりも大きくない値を有する。
P(M)≦0.9
Claims (9)
- 物体平面(5)の物体視野(4)内の反射物体(12)の像平面(18)の像視野(17)内へのビームスプリッタを用いない結像のための、193nmよりも短い波長を有する結像光(3)の光束を複数のミラー(M1からM6)を用いて誘導するためのリソグラフィ投影露光のための結像光学系(16;31;37)であって、
ミラー(M1からM6)のうちの少なくとも1つが、近視野ミラーとして設計され、
前記物体視野(4)と前記像視野(17)の間の結像ビーム経路内の最初のミラー(M1)が、第1の掩蔽ミラー群の一部であって、ここで、前記第1の掩蔽ミラー群は、照明光を、物体視野点が、3°よりも小さい主光線角度(α)を有するように前記結像光学系に結合するための光学要素を配置することを可能とする、前記結像光(3)が通過するための貫通開口部を有する、
ことを特徴とする結像光学系(16;31;37)。 - 物体平面(5)の物体視野(4)内の反射物体(12)の像平面(18)の像視野(17)内へのビームスプリッタを用いない結像のための、193nmよりも短い波長を有する結像光(3)の光束を複数のミラー(M1からM6)を用いて誘導するためのリソグラフィ投影露光のための結像光学系(16;31;37)であって、
前記物体視野(4)と前記像視野(17)の間の結像ビーム経路内の最初のミラー(M1)が、前記結像光(3)が通過するための貫通開口部(21,22)を有し、
少なくとも1つのミラー(M3,M4)が、前記物体視野(4)と前記像視野(17)の間の前記結像ビーム経路内の前記最初のミラー(M1)と、該物体視野(4)と該像視野(17)の間の該結像ビーム経路内の最後のミラー(M6)との間に配置され、前記結像光を反射するのに使用される該少なくとも1つのミラー(M3,M4)の反射面は貫通開口部を有さず、
前記最初のミラー(M1)は、第1の掩蔽ミラー群の一部であって、ここで、前記第1の掩蔽ミラー群は、照明光を、物体視野点が、3°よりも小さい主光線角度(α)を有するように前記結像光学系に結合するための光学要素を配置することを可能とする貫通開口部を有する、
ことを特徴とする結像光学系(16;31;37)。 - 物体平面(5)の物体視野(4)内の反射物体(12)の像平面(18)の像視野(17)内へのビームスプリッタを用いない結像のための、193nmよりも短い波長を有する結像光(3)の光束を複数のミラー(M1からM6)を用いて誘導するためのリソグラフィ投影露光のための結像光学系(16;31;37)であって、
±1次の回折及び/又はより高次の回折のみの結像光(3’)が結像に使用され、
前記物体視野(4)と前記像視野(17)の間の結像ビーム経路内の最初のミラー(M1)が、第1の掩蔽ミラー群の一部であって、ここで、前記第1の掩蔽ミラー群は、照明光を、物体視野点が、3°よりも小さい主光線角度(α)を有するように前記結像光学系に結合するための光学要素を配置することを可能とする、前記結像光(3)が通過するための貫通開口部を有するような設計、
を特徴とする結像光学系(16;31;37)。 - 前記物体視野(4)と前記像視野(17)の間の前記結像ビーム経路内の最初のミラー(M1)が、凹であり、一方、該物体視野(4)と該像視野(17)の間の該結像ビーム経路内の第2のミラー(M2)が、凸であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の結像光学系。
- 193nmよりも短い波長を有する照明光(3)の光束の放射線源(2)から該照明光(3)に対して反射性である物体平面(5)の物体視野(4)内の物体(12)へのビームスプリッタを用いない誘導のためのリソグラフィ投影露光のための照明光学系(7;28)であって、
物体視野(4)の少なくとも1つの点に対して、照明光(3)の光束が、物体平面(5)に対する法線(14)との3°よりも小さい角度をなす該物体視野(4)上へのエネルギ重み付き光線入射方向(13)を有するような設計、
を特徴とする照明光学系(7;28)と、
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の結像光学系(16;31;37)と、
を含むことを特徴とする光学系。 - 前記照明光(3)の前記光束は、前記物体視野(4)上への10°よりも小さい最大入射角を有することを特徴とする請求項5に記載の光学系。
- 貫通開口部(22)を通じて前記結像光学系(16;31;37)のミラーのうちの1つ(M2)の中に照明光(3)を結合する前記照明光学系(7;28)の結合ミラー(11)を含むことを特徴とする請求項5又は6に記載の光学系。
- 請求項5から請求項7のいずれか1項に記載の光学系と、
照明及び結像光(3)を生成するための光源(2)と、
を含むことを特徴とする投影露光装置(1)。 - 構造化構成要素の製作の方法であって、
レチクル(12)及びウェーハ(19)を準備する段階と、
請求項8に記載の投影露光装置(1)を用いて、前記レチクル(12)上の構造を前記ウェーハ(19)の感光層上に投影する段階と、
前記ウェーハ(19)上に微細構造又はナノ構造を生成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US28606609P | 2009-12-14 | 2009-12-14 | |
US61/286,066 | 2009-12-14 | ||
PCT/EP2010/068782 WO2011073039A2 (en) | 2009-12-14 | 2010-12-03 | Imaging optics |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015108112A Division JP6132319B2 (ja) | 2009-12-14 | 2015-05-28 | 結像光学系 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013513957A JP2013513957A (ja) | 2013-04-22 |
JP5756121B2 true JP5756121B2 (ja) | 2015-07-29 |
Family
ID=43760101
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012543592A Active JP5756121B2 (ja) | 2009-12-14 | 2010-12-03 | 結像光学系 |
JP2015108112A Active JP6132319B2 (ja) | 2009-12-14 | 2015-05-28 | 結像光学系 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015108112A Active JP6132319B2 (ja) | 2009-12-14 | 2015-05-28 | 結像光学系 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120274917A1 (ja) |
EP (1) | EP2513697B1 (ja) |
JP (2) | JP5756121B2 (ja) |
CN (2) | CN102754009B (ja) |
WO (1) | WO2011073039A2 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010041623A1 (de) * | 2010-09-29 | 2012-03-29 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Spiegel |
KR102330570B1 (ko) | 2012-02-06 | 2021-11-25 | 가부시키가이샤 니콘 | 반사 결상 광학계, 노광 장치, 및 디바이스 제조 방법 |
DE102012209412A1 (de) * | 2012-06-04 | 2013-12-05 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches Verfahren und optische Messvorrichtung zum Messen von Winkellagen von Facetten zumindest eines Facettenspiegels für EUV-Anwendungen |
US9442387B2 (en) * | 2013-02-01 | 2016-09-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Extreme ultraviolet lithography process |
DE102013223935A1 (de) * | 2013-11-22 | 2015-05-28 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Beleuchtungssystem für die EUV-Belichtungslithographie |
DE102014223811B4 (de) | 2014-11-21 | 2016-09-29 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Abbildende Optik für die EUV-Projektionslithographie, Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zur Herstellung eines strukturierten Bauteils |
US10890849B2 (en) | 2016-05-19 | 2021-01-12 | Nikon Corporation | EUV lithography system for dense line patterning |
CN110753882A (zh) * | 2017-04-19 | 2020-02-04 | 株式会社尼康 | 在euv光谱区域中操作的光学物镜 |
TWI825014B (zh) * | 2017-04-19 | 2023-12-11 | 日商尼康股份有限公司 | 在euv光譜區域中操作光學物鏡 |
US11934105B2 (en) | 2017-04-19 | 2024-03-19 | Nikon Corporation | Optical objective for operation in EUV spectral region |
CN110892328B (zh) * | 2017-04-26 | 2022-04-29 | 株式会社尼康 | 反射系统、极紫外线曝光工具、光刻曝光工具及光学系统 |
US11054745B2 (en) | 2017-04-26 | 2021-07-06 | Nikon Corporation | Illumination system with flat 1D-patterned mask for use in EUV-exposure tool |
US11300884B2 (en) | 2017-05-11 | 2022-04-12 | Nikon Corporation | Illumination system with curved 1d-patterned mask for use in EUV-exposure tool |
CN109521652B (zh) * | 2018-12-11 | 2020-04-10 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于棱台分光的超分辨光刻装置 |
EP4152266A1 (en) * | 2021-09-16 | 2023-03-22 | Koninklijke Philips N.V. | Dark-field and phase-contrast tomography reconstruction algorithm |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5220590A (en) * | 1992-05-05 | 1993-06-15 | General Signal Corporation | X-ray projection lithography camera |
US6199991B1 (en) * | 1997-11-13 | 2001-03-13 | U.S. Philips Corporation | Mirror projection system for a scanning lithographic projection apparatus, and lithographic apparatus comprising such a system |
JPH11238666A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-31 | Nikon Corp | X線投影露光装置 |
JP4238390B2 (ja) * | 1998-02-27 | 2009-03-18 | 株式会社ニコン | 照明装置、該照明装置を備えた露光装置および該露光装置を用いて半導体デバイスを製造する方法 |
AU2549899A (en) * | 1998-03-02 | 1999-09-20 | Nikon Corporation | Method and apparatus for exposure, method of manufacture of exposure tool, device, and method of manufacture of device |
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EP1772775B1 (de) * | 1999-02-15 | 2008-11-05 | Carl Zeiss SMT AG | Mikrolithographie-Reduktionsobjektiveinrichtung sowie Projektionsbelichtungsanlage |
DE19910724A1 (de) * | 1999-03-11 | 2000-09-14 | Zeiss Carl Fa | Mikrolithographie-Projektionsobjektiveinrichtung sowie Projektionsbelichtungsanlage |
JP2000286189A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Nikon Corp | 露光装置および露光方法ならびにデバイス製造方法 |
DE10005189A1 (de) * | 2000-02-05 | 2001-08-09 | Zeiss Carl | Projektionsbelichtungsanlage mit reflektivem Retikel |
DE10139177A1 (de) | 2001-08-16 | 2003-02-27 | Zeiss Carl | Objektiv mit Pupillenobskuration |
JP2003233001A (ja) * | 2002-02-07 | 2003-08-22 | Canon Inc | 反射型投影光学系、露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2004029625A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-01-29 | Nikon Corp | 投影光学系、露光装置及び露光方法 |
JP2005276932A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
EP1950594A1 (de) | 2007-01-17 | 2008-07-30 | Carl Zeiss SMT AG | Abbildende Optik, Projektionsbelichtunsanlage für die Mikrolithographie mit einer derartigen abbildenden Optik, Verfahren zur Herstellung eines mikrostrukturierten Bauteils mit einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage, durch das Herstellungsverfahren gefertigtes mikrostrukturiertes Bauelement sowie Verwendung einer derartigen abbildenden Optik |
CN101836163B (zh) | 2007-08-20 | 2012-06-27 | 卡尔蔡司Smt有限责任公司 | 包括具有反射涂层的镜元件的投射物镜 |
US20090073392A1 (en) | 2007-09-14 | 2009-03-19 | Carl Zeiss Smt Ag | Illumination System Including Grazing Incidence Mirror For Microlithography Exposure System |
CN102819197B (zh) * | 2007-10-26 | 2016-06-22 | 卡尔蔡司Smt有限责任公司 | 成像光学系统、投射曝光设备、微结构部件及其产生方法 |
-
2010
- 2010-12-03 EP EP10792877.2A patent/EP2513697B1/en active Active
- 2010-12-03 CN CN201080063805.0A patent/CN102754009B/zh active Active
- 2010-12-03 WO PCT/EP2010/068782 patent/WO2011073039A2/en active Application Filing
- 2010-12-03 CN CN201610034283.0A patent/CN105511065B/zh active Active
- 2010-12-03 JP JP2012543592A patent/JP5756121B2/ja active Active
-
2012
- 2012-05-29 US US13/482,794 patent/US20120274917A1/en not_active Abandoned
-
2015
- 2015-05-28 JP JP2015108112A patent/JP6132319B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105511065A (zh) | 2016-04-20 |
CN102754009B (zh) | 2016-02-17 |
CN102754009A (zh) | 2012-10-24 |
EP2513697A2 (en) | 2012-10-24 |
US20120274917A1 (en) | 2012-11-01 |
JP2015158694A (ja) | 2015-09-03 |
CN105511065B (zh) | 2019-04-23 |
EP2513697B1 (en) | 2019-08-07 |
WO2011073039A3 (en) | 2011-09-29 |
JP2013513957A (ja) | 2013-04-22 |
JP6132319B2 (ja) | 2017-05-24 |
WO2011073039A2 (en) | 2011-06-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
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|
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
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|
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R250 | Receipt of annual fees |
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