JP2014529106A - 結像反射euv投影光学ユニット - Google Patents
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Abstract
Description
ここで、uは、結像光の最大反射偏光方向に対する結像光学ユニット内の全てのミラーの全体反射率を表し、vは、これに垂直な結像光の偏光に対する対応する全体反射率を表している。
は、結像光学ユニット7のダイアテニュエイションと呼ばれ、ここで、uは、結像光学ユニット内の全てのミラーM1からM6の最大反射偏光方向における全体反射率を表し、vは、この方向に対して垂直な対応する全体反射率を表している。
BDE y’軸の回りの度を単位とする角度ベータによる面の回転であり、これは、次に、y軸を回転させることによって出現する
CDE 第1にx軸の回り及び第2にy’軸の回りの回転によってz軸から出現したz’’軸の回りの度を単位とする角度ガンマによる面の回転
XDE x軸における面のmmを単位とする平行移動
YDE y軸における面のmmを単位とする平行移動
ZDE z軸における面のmmを単位とする平行移動
Claims (11)
- 物体平面(5)の物体視野(4)を像平面(9)の像視野(8)に結像する少なくとも4つのミラー(M1からM4;M1からM6)を有し、
ミラー(M1,M2;M5,M6)において反射中の中心物体視野点の主光線(16)の伝播によって定められる第1の主光線平面(yz)を有し、
他のミラー(M2;M3,M4)のうちの1つにおいて反射中の前記中心物体視野点の前記主光線(16)の伝播によって定められる第2の主光線平面(xy;xz)を有する、
結像反射EUV投影光学ユニット(7)であって、
前記2つの主光線平面(yz,xy;yz,xz)は、0とは異なる角度をなす、
ことを特徴とする結像光学ユニット。 - 前記2つの主光線平面(yz,xy;yz,xz)は、互いに垂直であることを特徴とする請求項1に記載の結像光学ユニット。
- ちょうど2つの主光線平面(yz,xy;yz,xz)を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の結像光学ユニット。
- 前記物体視野(4)と前記像視野(8)の間の結像ビーム経路における中間像(19)を特徴とする請求項1から請求項3に記載の結像光学ユニット。
- 物体平面(5)の物体視野(4)を像平面(9)の像視野(8)に結像する少なくとも4つのミラー(M1からM4;M1からM6)を有し、
少なくとも0.4の像側開口数を有する、
結像反射光学ユニット(7)であって、
前記像視野(8)で考えた場合に、特定のそれぞれ考えられる照明角度に対して10%の最大ダイアテニュエイション(D)を有する、
ことを特徴とする結像光学ユニット。 - 前記像視野(8)にわたって考えた場合に、全ての瞳座標(bx,by)に対して20%の最大ダイアテニュエイション(D)を有することを特徴とする請求項5に記載の結像光学ユニット。
- 物体平面(5)の物体視野(4)を像平面(9)の像視野(8)に結像する少なくとも4つのミラー(M1からM4;M1からM6)を有し、
少なくとも0.4の像側開口数を有する、
結像反射光学ユニット(7)であって、
結像光学ユニット(7)が、前記像視野(8)で考えた場合に、特定の照明角度に対するダイアテニュエイションを有し、該ダイアテニュエイションは、光学ユニット(7)の瞳の中心に対してタンジェンシャルに偏光された結像光をそれと垂直に偏光された結像光よりも低い程度に減衰させる、
ことを特徴とする結像反射光学ユニット。 - 物体視野(8)を照明光又は結像光(3)で照明するための照明光学ユニット(6)を有し、
請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の結像光学ユニット(7)を有する、
ことを特徴とする照明系。 - 請求項8に記載の照明系を有し、
照明光又は結像光(3)を発生させるための光源(2)を有する、
ことを特徴とする投影露光装置。 - 投影リソグラフィによる微細又はナノ構造化構成要素の製造方法であって、
感光材料の層が少なくとも各区画に上に付加された基板(12)を与える段階と、
結像される構造を有するレチクル(10)を与える段階と、
請求項9に記載の投影露光装置を与える段階と、
前記投影露光装置(1)を用いて、前記レチクル(10)の少なくとも1区画を前記基板(12)の前記感光層のある一定の領域上に投影する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項10に記載の方法に従って製造された構成要素。
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